JPH06205970A - 反応器装置 - Google Patents
反応器装置Info
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- JPH06205970A JPH06205970A JP5233676A JP23367693A JPH06205970A JP H06205970 A JPH06205970 A JP H06205970A JP 5233676 A JP5233676 A JP 5233676A JP 23367693 A JP23367693 A JP 23367693A JP H06205970 A JPH06205970 A JP H06205970A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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- C23C16/482—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation using incoherent light, UV to IR, e.g. lamps
-
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、処理される構造要素、半製品
及び粗製品の大きさ及び形状寸法に反応器装置を常に適
合できるように、反応器装置の寸法を形成することであ
る。 【構成】上記目的を達成するために、少なくとも１つの
ランプユニット（２）、ベ−スユニット（３）、装入ユ
ニット（４）及び供給・取出しユニット（５）より構成
される反応器装置はモジュ−ル構造体状に組立可能であ
る。
及び粗製品の大きさ及び形状寸法に反応器装置を常に適
合できるように、反応器装置の寸法を形成することであ
る。 【構成】上記目的を達成するために、少なくとも１つの
ランプユニット（２）、ベ−スユニット（３）、装入ユ
ニット（４）及び供給・取出しユニット（５）より構成
される反応器装置はモジュ−ル構造体状に組立可能であ
る。
Description
【０００１】
【発明上の利用分野】本発明は固体の材料、液体及び気
体を処理する反応器装置に関する。
体を処理する反応器装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記反応器装置は、例えば、任意の形状
寸法を有する構造要素の金属化に用いられ、該金属化は
光分解で紫外線によって有機金属化合物を分解すること
によってなされ、紫外線照射はエクサイマによって生起
される。
寸法を有する構造要素の金属化に用いられ、該金属化は
光分解で紫外線によって有機金属化合物を分解すること
によってなされ、紫外線照射はエクサイマによって生起
される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、処理
される構造要素、半製品及び粗製品の大きさ及び形状寸
法に反応器装置を常に適合できるように、反応器装置の
寸法を形成することである。
される構造要素、半製品及び粗製品の大きさ及び形状寸
法に反応器装置を常に適合できるように、反応器装置の
寸法を形成することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題は、各反応器装
置が複数の構造ユニットによってモジュ−ル構造体状に
組立可能であることにより解決される。
置が複数の構造ユニットによってモジュ−ル構造体状に
組立可能であることにより解決される。
【０００５】本発明によれば、各反応器装置は複数のユ
ニットによって構成される。こうしたユニットの各々は
可変に構成され、モデルに区分されさえする。更に、２
つ又はそれ以上のユニットは着脱自在又は動かないよう
に統合されてモデルに形成される。各ユニットは、それ
を他の各々のユニットと組み立てることができる組立寸
法をもって形成され、こうして組み立られるようにフラ
ンジを有する。これにより、反応器の種々な形を現存の
ユニットの枠内で製造するときに用いることができるモ
ジュ−ル構造体が準備される。従って、各々の反応器装
置は加工し処理される構造要素及び工作物の形状寸法及
び寸法に問題なく適合される。一般的には、各反応器装
置はランプユニットと、ベ−スユニットと、装入ユニッ
トと、供給・取出しユニットとを有する。ランプユニッ
トは紫外線高出力放射器を収容するために用いられる。
該紫外線高出力放射器の数は、構造要素の、その時々に
加工し処理される領域の大きさに適合される。各ランプ
ユニットには、丸形放射器、平坦放射器、球形放射器、
鍋形放射器、指形放射器、内部放射器又は外部放射器と
して形成されている紫外線高出力放射器が取着される。
更に、ランプユニットには、可変の直径及び長さを有す
る放射器あるいは可変の数の放射器を取着することがで
きるように、放射器又は放射器電極用の冷却装置、盲フ
ランジ及びテ−パ部材が設置されている。放射器電極は
放射器の特別な構造形体であり、放射器を開放放射器と
して駆動することができる。紫外線高出力放射器は保持
装置に設置するのが好ましく、該保持装置はランプユニ
ットに着脱自在に組み込まれるので、組立済みの副集成
部品(Baugruppe) として交換される。付属部品は高周波
発生器、整合変成器及び水冷装置である。その時々の処
理形体が真空を必要とする場合には、ベ−スユニットは
真空を生起することができる。更に、気体が必要とされ
る場合には、ベ−スユニットに気体を供給することがで
きる。ベ−スユニットに真空ポンプを接続することによ
って、個々の反応器装置の内部に真空を形成する。更
に、ベ−スユニットには、測定用端子(Messanschluess
e) 、制御用端子(Steueranschluesse) 及び監視用端子
(Ueberwachungsanschluesse)が具備されている。更に、
ベ−スユニットは少なくとも１つの位置決め装置を収容
するために用いられる。各々のベ−スユニットには、外
側から高さを調節することができる水平方向に移動可能
な少なくとも１つの支持装置が具備され、該支持装置の
上には処理される構造要素が載っている。支持装置はデ
スクとして、固定デスクとして又は締付装置として形成
される。装入ユニットは、連続操作又は積重ね操作で装
入を行なうことができる少なくとも１つの装入装置を有
する。装入ユニットの対向する２つの側には、密封及び
／又は閉鎖可能な開口部が設けられており、処理される
構造要素は開口部を通って反応器装置に搬送される。装
入ユニットがフランジ、マニプレ−タ、反転機、方向転
換ロ−ラ及び接続部材を具備していることは好ましい。
更に、装入ユニットは石英製の分離板を具備しており、
装入ユニットの内部領域は分離板によって隣接のユニッ
トから区分されている。これによって、反応器装置にお
いて表面を処理するＣＶＤ法を実行することができる。
公知の方法で別個の室で構造要素に被覆をコ−ティング
し、該被覆は続いて反応器装置に更に加工される。反応
器装置では、上記被覆は紫外線によって更に処理され、
予定の場合には、金属層に変えられる。反応器装置を開
放放射器で駆動することもできる。上記ユニットの他
に、供給・取出しユニットも設けられている。該供給・
取出しユニットを介してオゾンが排出される。当該の紫
外線高出力放射器が突出するように組み込まれている場
合には、オゾンは紫外線高出力放射器の両端で空気中で
生起される。従って、供給・取出しユニットは少なくと
も１つの吸引装置を有し、オゾンは該吸引装置によって
反応器装置から取り出され、オゾン破壊装置に送られ
る。更に、供給・取出しユニットは放射器の駆動に必要
な給電及び冷却を導くブッシングを有する。
ニットによって構成される。こうしたユニットの各々は
可変に構成され、モデルに区分されさえする。更に、２
つ又はそれ以上のユニットは着脱自在又は動かないよう
に統合されてモデルに形成される。各ユニットは、それ
を他の各々のユニットと組み立てることができる組立寸
法をもって形成され、こうして組み立られるようにフラ
ンジを有する。これにより、反応器の種々な形を現存の
ユニットの枠内で製造するときに用いることができるモ
ジュ−ル構造体が準備される。従って、各々の反応器装
置は加工し処理される構造要素及び工作物の形状寸法及
び寸法に問題なく適合される。一般的には、各反応器装
置はランプユニットと、ベ−スユニットと、装入ユニッ
トと、供給・取出しユニットとを有する。ランプユニッ
トは紫外線高出力放射器を収容するために用いられる。
該紫外線高出力放射器の数は、構造要素の、その時々に
加工し処理される領域の大きさに適合される。各ランプ
ユニットには、丸形放射器、平坦放射器、球形放射器、
鍋形放射器、指形放射器、内部放射器又は外部放射器と
して形成されている紫外線高出力放射器が取着される。
更に、ランプユニットには、可変の直径及び長さを有す
る放射器あるいは可変の数の放射器を取着することがで
きるように、放射器又は放射器電極用の冷却装置、盲フ
ランジ及びテ−パ部材が設置されている。放射器電極は
放射器の特別な構造形体であり、放射器を開放放射器と
して駆動することができる。紫外線高出力放射器は保持
装置に設置するのが好ましく、該保持装置はランプユニ
ットに着脱自在に組み込まれるので、組立済みの副集成
部品(Baugruppe) として交換される。付属部品は高周波
発生器、整合変成器及び水冷装置である。その時々の処
理形体が真空を必要とする場合には、ベ−スユニットは
真空を生起することができる。更に、気体が必要とされ
る場合には、ベ−スユニットに気体を供給することがで
きる。ベ−スユニットに真空ポンプを接続することによ
って、個々の反応器装置の内部に真空を形成する。更
に、ベ−スユニットには、測定用端子(Messanschluess
e) 、制御用端子(Steueranschluesse) 及び監視用端子
(Ueberwachungsanschluesse)が具備されている。更に、
ベ−スユニットは少なくとも１つの位置決め装置を収容
するために用いられる。各々のベ−スユニットには、外
側から高さを調節することができる水平方向に移動可能
な少なくとも１つの支持装置が具備され、該支持装置の
上には処理される構造要素が載っている。支持装置はデ
スクとして、固定デスクとして又は締付装置として形成
される。装入ユニットは、連続操作又は積重ね操作で装
入を行なうことができる少なくとも１つの装入装置を有
する。装入ユニットの対向する２つの側には、密封及び
／又は閉鎖可能な開口部が設けられており、処理される
構造要素は開口部を通って反応器装置に搬送される。装
入ユニットがフランジ、マニプレ−タ、反転機、方向転
換ロ−ラ及び接続部材を具備していることは好ましい。
更に、装入ユニットは石英製の分離板を具備しており、
装入ユニットの内部領域は分離板によって隣接のユニッ
トから区分されている。これによって、反応器装置にお
いて表面を処理するＣＶＤ法を実行することができる。
公知の方法で別個の室で構造要素に被覆をコ−ティング
し、該被覆は続いて反応器装置に更に加工される。反応
器装置では、上記被覆は紫外線によって更に処理され、
予定の場合には、金属層に変えられる。反応器装置を開
放放射器で駆動することもできる。上記ユニットの他
に、供給・取出しユニットも設けられている。該供給・
取出しユニットを介してオゾンが排出される。当該の紫
外線高出力放射器が突出するように組み込まれている場
合には、オゾンは紫外線高出力放射器の両端で空気中で
生起される。従って、供給・取出しユニットは少なくと
も１つの吸引装置を有し、オゾンは該吸引装置によって
反応器装置から取り出され、オゾン破壊装置に送られ
る。更に、供給・取出しユニットは放射器の駆動に必要
な給電及び冷却を導くブッシングを有する。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１に示した反応器装置１はランプユニット２
と、ベ−スユニット３と、装入ユニット４と、供給・取
出しユニット５とを有する。該ユニット２，３，４及び
５は、別個に製造されかつ反応器装置１へと組立て可能
であるように、形成されている。ランプユニット２はコ
の字形の横断面を有し、縦方向に延び、直方体に似てお
りかつ一側で開放されているケ−シング２Ｇによって形
成されている。該ケ−シング２Ｇはアルミニウム又はＶ
２Ａ鋼で製造されている。ケ−シング２Ｇの唯一の広い
内面２Ｉでは、紫外線高出力放射器１０は、該紫外線高
出力放射器１０の縦軸線が内面２Ｉの縦軸線に対し平行
に延びているように設置されている。紫外線高出力放射
器１０は着脱自在にランプユニット２に取着され、該ラ
ンプユニット２から何時でも取り外され、他の紫外線高
出力放射器と交換される。ランプユニット２は、自らの
側方の境界面には、外側に向いたフランジ２Ｆを具備し
ている。該フランジ２Ｆは、装入ユニット４の、外側に
向いたフランジ４Ｄに取り付けられている。ランプユニ
ット２のケ−シング２Ｇは装入ユニット４に向かって開
放されている。ケ−シング２Ｇと同様に直方体に似た装
入ユニット４は４つのコの字形の異形材によって組み立
てられており、該異形材はアルミニウム又はＶ２Ａ鋼で
製造されており、外側に向いたフランジ４Ｄ及び４Ｅが
形成されるように配置されている。装入ユニット４の内
径はランプユニット２の内径に適合している。装入ユニ
ット４はランプユニット２に向かって開放されており、
石英板６によってランプユニット２から分離されてい
る。装入ユニット４のフランジ４Ｅは、ベ−スユニット
３の、外側に向いたフランジ３Ｆに取り付けられてい
る。ベ−スユニット３は直方体に似たケ−シング３Ｇに
よって区画され、該ケ−シング３Ｇはランプユニット２
のケ−シング２Ｇと同様に形成されている。ベ−スユニ
ット３の内径は装入ユニット４の内径に適合しており、
ベ−スユニット３は装入ユニット４に向かって開放され
ている。３つのユニット２，３及び４はフランジ２Ｆ，
３Ｆ，４Ｄ及び４Ｅによって互いに気密に結合されてい
る。該フランジ２Ｆ，３Ｆ，４Ｄ及び４Ｅは所定の基準
で製造されているので、同一の内径を有するユニットと
なるよう常に組み立てることができる。各ユニットはね
じによって着脱自在に又は溶接によって動かないように
結合される。供給・取出しユニット５は、装入ユニット
４と同様に、直方体に似た形状を有する。供給・取出し
ユニット５は電気的な給電線７用のブッシング及び冷却
体用の供給・排出管８を有する。給電線７は紫外線高出
力放射器１０を駆動するために必要である。供給・取出
しユニット５を区画するケ−シング５Ｇはプレキシグラ
ス製である。図１から分かるように、ケ−シング５Ｇの
寸法は、該ケ−シング５Ｇがランプユニット２と、該ラ
ンプユニット２の、外側に向いたフランジ２Ｆとを覆
い、かつケ−シング５Ｇの側方の境界面がフランジ２Ｆ
の外縁部に取り付けられるように、選択されている。更
に、供給・取出しユニット５は、場合によってはオゾン
破壊装置(Ozonvernichter)（図示せず）に接続されてい
る吸引装置９を具備している。吸引装置９が要らなくて
も良いのは、紫外線高出力放射器１０がランプユニット
２のケ−シング２Ｇから突出していないように設置され
ている場合か、又はオゾンを発生する紫外線高出力放射
器１０が組み込まれていない場合である。図２から明ら
かなように、ランプユニット２内に紫外線高出力放射器
１０が配置され、それは高さの調節が可能な保持装置２
Ｈに取着されている。該保持装置２Ｈはコの字形の横断
面を有する。紫外線高出力放射器１０は保持装置２Ｈの
外面に所定の間隔をあけて配置されている。保持装置２
Ｈはランプユニット２から容易に取り外され、例えば多
少とも紫外線高出力放射器１０を有する他の保持装置と
交換される。図３はランプユニット２の変形例を示して
いる。図３では、図１に示すような紫外線高出力放射器
１０は、所定の間隔をあけて、該紫外線高出力放射器１
０の縦軸線が互いに平行に延びておりかつ同一の水平面
に形成されているように配置されている。この実施例で
は、紫外線高出力放射器１０の端部はランプユニット２
の壁部から突出している。図４に基づくランプユニット
２の他の実施例では、紫外線高出力放射器１０は、該紫
外線高出力放射器１０の縦軸線が同一の垂直面に沿って
所定の間隔をあけて互いに平行に延びているように配置
されている。ランプユニット２のこの実施例でも、紫外
線高出力放射器１０の端部はランプユニット２のケ−シ
ングから突出している。
する。図１に示した反応器装置１はランプユニット２
と、ベ−スユニット３と、装入ユニット４と、供給・取
出しユニット５とを有する。該ユニット２，３，４及び
５は、別個に製造されかつ反応器装置１へと組立て可能
であるように、形成されている。ランプユニット２はコ
の字形の横断面を有し、縦方向に延び、直方体に似てお
りかつ一側で開放されているケ−シング２Ｇによって形
成されている。該ケ−シング２Ｇはアルミニウム又はＶ
２Ａ鋼で製造されている。ケ−シング２Ｇの唯一の広い
内面２Ｉでは、紫外線高出力放射器１０は、該紫外線高
出力放射器１０の縦軸線が内面２Ｉの縦軸線に対し平行
に延びているように設置されている。紫外線高出力放射
器１０は着脱自在にランプユニット２に取着され、該ラ
ンプユニット２から何時でも取り外され、他の紫外線高
出力放射器と交換される。ランプユニット２は、自らの
側方の境界面には、外側に向いたフランジ２Ｆを具備し
ている。該フランジ２Ｆは、装入ユニット４の、外側に
向いたフランジ４Ｄに取り付けられている。ランプユニ
ット２のケ−シング２Ｇは装入ユニット４に向かって開
放されている。ケ−シング２Ｇと同様に直方体に似た装
入ユニット４は４つのコの字形の異形材によって組み立
てられており、該異形材はアルミニウム又はＶ２Ａ鋼で
製造されており、外側に向いたフランジ４Ｄ及び４Ｅが
形成されるように配置されている。装入ユニット４の内
径はランプユニット２の内径に適合している。装入ユニ
ット４はランプユニット２に向かって開放されており、
石英板６によってランプユニット２から分離されてい
る。装入ユニット４のフランジ４Ｅは、ベ−スユニット
３の、外側に向いたフランジ３Ｆに取り付けられてい
る。ベ−スユニット３は直方体に似たケ−シング３Ｇに
よって区画され、該ケ−シング３Ｇはランプユニット２
のケ−シング２Ｇと同様に形成されている。ベ−スユニ
ット３の内径は装入ユニット４の内径に適合しており、
ベ−スユニット３は装入ユニット４に向かって開放され
ている。３つのユニット２，３及び４はフランジ２Ｆ，
３Ｆ，４Ｄ及び４Ｅによって互いに気密に結合されてい
る。該フランジ２Ｆ，３Ｆ，４Ｄ及び４Ｅは所定の基準
で製造されているので、同一の内径を有するユニットと
なるよう常に組み立てることができる。各ユニットはね
じによって着脱自在に又は溶接によって動かないように
結合される。供給・取出しユニット５は、装入ユニット
４と同様に、直方体に似た形状を有する。供給・取出し
ユニット５は電気的な給電線７用のブッシング及び冷却
体用の供給・排出管８を有する。給電線７は紫外線高出
力放射器１０を駆動するために必要である。供給・取出
しユニット５を区画するケ−シング５Ｇはプレキシグラ
ス製である。図１から分かるように、ケ−シング５Ｇの
寸法は、該ケ−シング５Ｇがランプユニット２と、該ラ
ンプユニット２の、外側に向いたフランジ２Ｆとを覆
い、かつケ−シング５Ｇの側方の境界面がフランジ２Ｆ
の外縁部に取り付けられるように、選択されている。更
に、供給・取出しユニット５は、場合によってはオゾン
破壊装置(Ozonvernichter)（図示せず）に接続されてい
る吸引装置９を具備している。吸引装置９が要らなくて
も良いのは、紫外線高出力放射器１０がランプユニット
２のケ−シング２Ｇから突出していないように設置され
ている場合か、又はオゾンを発生する紫外線高出力放射
器１０が組み込まれていない場合である。図２から明ら
かなように、ランプユニット２内に紫外線高出力放射器
１０が配置され、それは高さの調節が可能な保持装置２
Ｈに取着されている。該保持装置２Ｈはコの字形の横断
面を有する。紫外線高出力放射器１０は保持装置２Ｈの
外面に所定の間隔をあけて配置されている。保持装置２
Ｈはランプユニット２から容易に取り外され、例えば多
少とも紫外線高出力放射器１０を有する他の保持装置と
交換される。図３はランプユニット２の変形例を示して
いる。図３では、図１に示すような紫外線高出力放射器
１０は、所定の間隔をあけて、該紫外線高出力放射器１
０の縦軸線が互いに平行に延びておりかつ同一の水平面
に形成されているように配置されている。この実施例で
は、紫外線高出力放射器１０の端部はランプユニット２
の壁部から突出している。図４に基づくランプユニット
２の他の実施例では、紫外線高出力放射器１０は、該紫
外線高出力放射器１０の縦軸線が同一の垂直面に沿って
所定の間隔をあけて互いに平行に延びているように配置
されている。ランプユニット２のこの実施例でも、紫外
線高出力放射器１０の端部はランプユニット２のケ−シ
ングから突出している。
【０００７】図５は、該図５では３つの紫外線高出力放
射器１０によって形成される内部放射器セット１０Ｂの
断面を示している。紫外線高出力放射器１０の数は３つ
に限定されず、任意に選択される。該紫外線高出力放射
器１０は、液状又は気体状の流体１０Ｍが紫外線高出力
放射器１０の内部領域１０Ｅ内を導かれ、そこで紫外線
の作用に晒されるように、形成されている。
射器１０によって形成される内部放射器セット１０Ｂの
断面を示している。紫外線高出力放射器１０の数は３つ
に限定されず、任意に選択される。該紫外線高出力放射
器１０は、液状又は気体状の流体１０Ｍが紫外線高出力
放射器１０の内部領域１０Ｅ内を導かれ、そこで紫外線
の作用に晒されるように、形成されている。
【０００８】流体と同様に、適当な寸法を有する固体
（図示せず）も紫外線高出力放射器１０内を搬送され
て、照射される。内部放射器セット１０Ｂはモジュ−ル
構造体の特別な構造形体として単独で用いられるか、あ
るいは自らのフランジ１０Ｆを介して装入ユニット４又
はベ−スユニット３と動かないように又は材質自体によ
り(stoffschluessig) 結合される。
（図示せず）も紫外線高出力放射器１０内を搬送され
て、照射される。内部放射器セット１０Ｂはモジュ−ル
構造体の特別な構造形体として単独で用いられるか、あ
るいは自らのフランジ１０Ｆを介して装入ユニット４又
はベ−スユニット３と動かないように又は材質自体によ
り(stoffschluessig) 結合される。
【０００９】図６は連続操作に適当である装入ユニット
４の可能な実施例を示している。該装入ユニット４の対
向する２つの側には開口部４０が設けられている。該開
口部４０は例えば気体によって又は機械的に密封される
か又は閉じられる。装入ユニット４は、更に、フラン
ジ、マニプレ−タ、反転機(Wendevorrichtungen)、方向
転換ロ−ラ、石英板及び接続部材（いずれも図示せず）
を具備している。
４の可能な実施例を示している。該装入ユニット４の対
向する２つの側には開口部４０が設けられている。該開
口部４０は例えば気体によって又は機械的に密封される
か又は閉じられる。装入ユニット４は、更に、フラン
ジ、マニプレ−タ、反転機(Wendevorrichtungen)、方向
転換ロ−ラ、石英板及び接続部材（いずれも図示せず）
を具備している。
【００１０】図７及び８は装入ユニット４の他の実施例
の縦断面を示している。図７に基づく装入ユニット４は
ドア４Ｔによって閉じられる開口部４０を有する。図８
に図示されている装入ユニット４は、図７に基づく装入
ユニット４よりも丈が高く形成されており、中を見える
ようにした窓４Ｓを具備している。このように、装入ユ
ニット４をモジュ−ル構造体のように変化できることが
明らかであり、当然ながらこうした変化は他のすべての
ユニット２，３及び５でも考えられる。
の縦断面を示している。図７に基づく装入ユニット４は
ドア４Ｔによって閉じられる開口部４０を有する。図８
に図示されている装入ユニット４は、図７に基づく装入
ユニット４よりも丈が高く形成されており、中を見える
ようにした窓４Ｓを具備している。このように、装入ユ
ニット４をモジュ−ル構造体のように変化できることが
明らかであり、当然ながらこうした変化は他のすべての
ユニット２，３及び５でも考えられる。
【００１１】図９はランプユニット２と同様に直方体に
似た形体を有するベ−スユニット３の縦断面を示してい
る。ベ−スユニット３は真空ポンプ１１に接続されてい
る。ベ−スユニット３の内部には、高さを調節できかつ
水平方向に可動である支持装置３０が設けられている。
該支持装置３０の上には、加工される構造要素が載せら
れている。支持装置３０は、図示のように、高さを調節
できるデスクとして、固定デスク（図示せず）として又
は移動可能な締付装置（図示せず）として形成される。
支持装置３０は必要な場合には、装入ユニット４を通っ
てベ−スユニット３から取り出される。更に、ベ−スユ
ニット３は接続部材３Ａ、マニプレ−タ、盲フランジ、
シ−リングリング、フランジ、熱電素子、同軸ケ−ブル
用ブッシング、ベロ−チュ−ブ(Faltenbalgschlaeuch
e)、弁、結合要素、受圧器(Druckmessdosen)、圧力表示
器、温度表示器、ホトダイオ−ド、測定値増幅器及びデ
−タ記録装置（いずれも図示せず）を具備している。
似た形体を有するベ−スユニット３の縦断面を示してい
る。ベ−スユニット３は真空ポンプ１１に接続されてい
る。ベ−スユニット３の内部には、高さを調節できかつ
水平方向に可動である支持装置３０が設けられている。
該支持装置３０の上には、加工される構造要素が載せら
れている。支持装置３０は、図示のように、高さを調節
できるデスクとして、固定デスク（図示せず）として又
は移動可能な締付装置（図示せず）として形成される。
支持装置３０は必要な場合には、装入ユニット４を通っ
てベ−スユニット３から取り出される。更に、ベ−スユ
ニット３は接続部材３Ａ、マニプレ−タ、盲フランジ、
シ−リングリング、フランジ、熱電素子、同軸ケ−ブル
用ブッシング、ベロ−チュ−ブ(Faltenbalgschlaeuch
e)、弁、結合要素、受圧器(Druckmessdosen)、圧力表示
器、温度表示器、ホトダイオ−ド、測定値増幅器及びデ
−タ記録装置（いずれも図示せず）を具備している。
【００１２】図１０は本発明の反応器装置１の変形例を
示しており、該反応器装置１は複数のユニット２，３，
４及び５により組み立てられ、各ユニット２及び５はモ
ジュ−ル６０に統合され、各ユニット３及び４はモジュ
−ル７０に統合される。図１０から見られるように、反
応器装置１は２つのモジュ−ル６０及び２つのモジュ−
ル７０を有する。２つのモジュ−ル６０及び２つのモジ
ュ−ル７０は並設されており、壁部８０によって互いに
分離されている。すべてのモジュ−ル６０及びモジュ−
ル７０は動かないように結合されている。壁部８０によ
って反応器装置１は２つの領域に区分されている。これ
により、支持装置（図示せず）の上に載せられた２つの
構造要素が平行的又は非循環的(antizyklische) に加工
される。装入をするのに用いる開口部８１は、反応器装
置１の側方の境界面に形成され、ドア８２によって閉じ
られている。本発明はユニットを統合して形成されかつ
ここに図示したモジュ−ル６０及び７０に限定する訳で
はなく、装入のために適合する他も組合わせも含む。
示しており、該反応器装置１は複数のユニット２，３，
４及び５により組み立てられ、各ユニット２及び５はモ
ジュ−ル６０に統合され、各ユニット３及び４はモジュ
−ル７０に統合される。図１０から見られるように、反
応器装置１は２つのモジュ−ル６０及び２つのモジュ−
ル７０を有する。２つのモジュ−ル６０及び２つのモジ
ュ−ル７０は並設されており、壁部８０によって互いに
分離されている。すべてのモジュ−ル６０及びモジュ−
ル７０は動かないように結合されている。壁部８０によ
って反応器装置１は２つの領域に区分されている。これ
により、支持装置（図示せず）の上に載せられた２つの
構造要素が平行的又は非循環的(antizyklische) に加工
される。装入をするのに用いる開口部８１は、反応器装
置１の側方の境界面に形成され、ドア８２によって閉じ
られている。本発明はユニットを統合して形成されかつ
ここに図示したモジュ−ル６０及び７０に限定する訳で
はなく、装入のために適合する他も組合わせも含む。
【図１】モジュ−ル構造体をなす反応器装置の縦断面
図。
図。
【図２】ランプユニットの図。
【図３】図２に示したランプユニットの変形例の図。
【図４】ランプユニットの他の実施例の図。
【図５】内部放射器セットの図。
【図６】装入ユニットの図。
【図７】図６に示した装入ユニットの変形例の図。
【図８】図７に示した装入ユニットの他の実施例の図。
【図９】ベ−スユニットの縦断面図。
【図１０】図１に示した反応器装置の変形例の図。
１…反応器装置、２…ランプユニット、２Ｇ…ケ−シン
グ壁、２Ｈ…保持装置、３…ベ−スユニット、３Ａ…接
続部材、３Ｆ…フランジ、３Ｇ…ケ−シング、３Ｓ…
窓、４…装入ユニット、５…供給・取出しユニット、５
Ｇ…ケ−シング、６…石英板、７…給電線、８…冷却体
用の供給・排出管、９…吸引装置、１０…紫外線高出力
放射器、１０Ｂ…内部放射器セット、３０…支持装置、
６０，７０…モジュ−ル、８０…壁部、８１…開口部、
８２…ドア、１００…構造要素。
グ壁、２Ｈ…保持装置、３…ベ−スユニット、３Ａ…接
続部材、３Ｆ…フランジ、３Ｇ…ケ−シング、３Ｓ…
窓、４…装入ユニット、５…供給・取出しユニット、５
Ｇ…ケ−シング、６…石英板、７…給電線、８…冷却体
用の供給・排出管、９…吸引装置、１０…紫外線高出力
放射器、１０Ｂ…内部放射器セット、３０…支持装置、
６０，７０…モジュ−ル、８０…壁部、８１…開口部、
８２…ドア、１００…構造要素。
フロントページの続き (72)発明者 トーマス・ブレンデル ドイツ連邦共和国、69198 シュリースハ イム、ヘルトベーク 12 (72)発明者 ヒルマール・エスロム ドイツ連邦共和国、68535 ネッカルハウ ゼン、アウフ・デル・ヘーヘ ６
Claims (10)
- 【請求項１】 固体の材料、液体及び気体を処理する反
応器装置において、各反応器装置（１）は複数の構造ユ
ニット（２，３，４及び５）によってモジュ−ル構造体
状に組立可能であること、を特徴とする反応器装置。 - 【請求項２】 少なくとも１つのランプユニット
（２）、ベ−スユニット（３）、装入ユニット（４）及
び供給・取出しユニット（５）はモジュ−ル構造体状
に、形状係合又は材質自体によって組立可能であるこ
と、を特徴とする請求項１に記載の反応器装置。 - 【請求項３】 各ランプユニット（２）、各ベ−スユニ
ット（３）、各装入ユニット（４）及び各供給・取出し
ユニット（５）の構造は可変に形成可能であること、及
びすべてのユニット（２，３，４，５）は形状に無関係
に、モジュ−ル構造体状に組立可能であり、適用例に応
じて個々のユニットは要らなくても良いこと、を特徴と
する請求項１又は２に記載の反応器装置。 - 【請求項４】 前記ランプユニット（２）は同一の水平
面又は垂直面に形成された縦軸線を有する少なくとも１
つの紫外線高出力放射器（１０）を具備していること、
及び前記ランプユニット（２）から取除き可能であり前
記紫外線高出力放射器（１０）を取着する保持装置（２
Ｈ）が具備されていること、又は前記紫外線高出力放射
器（１０）は前記ランプユニット（２）のケ−シング壁
（２Ｇ）から突出して前記ランプユニット（２）に直接
取着されていること、を特徴とする請求項１乃至３のい
ずれか１に記載の反応器装置。 - 【請求項５】 前記装入ユニット（４）は連続操作又は
積重ね操作のために形成され、気体によって密封可能又
は機械的に閉鎖可能な開口部又はスリット（８１）を介
して、前記装入ユニット（４）に、扱い難い又は平坦な
構造要素（１００）は装入可能であること、該平坦な構
造要素（１００）は前記スリット（８１）を通過可能で
あること、及び気体状又は液状の材料は前記開口部を通
って導入され、処理のために内部放射器セット（１０
Ｂ）に供給可能であること、を特徴とする請求項１乃至
４のいずれか１に記載の反応器装置。 - 【請求項６】 前記各ベ−スユニット（３）は、高さを
調節でき、水平移動可能であり、かつデスクとして、固
定デスクとして又は移動装置として形成されるデスクと
して、固定デスクとして又は移動装置として形成される
支持装置（３０）を有していること、および少なくとも
１つの組立用フラップ、中を見えるようにした窓（３
Ｓ）、フランジ（３Ｆ）は所定の取付寸法を有し、接続
部材（３Ａ）は同様に所定の寸法を有すること、を特徴
とする請求項１乃至５のいずれか１に記載の反応器装
置。 - 【請求項７】 前記各供給・取出しユニット（５）は給
電線（７）用のブッシング、冷却体用の供給・排出管
（８）及び吸引装置（９）を有すること、を特徴とする
請求項１乃至６のいずれか１に記載の反応器装置。 - 【請求項８】 前記ユニット（２，３及び４）のケ−シ
ング（２Ｇ，３Ｇ及び４Ｇ）は耐腐蝕性の金属、好まし
くはＶ２Ａ鋼又はアルミニウムで製造されていること、
及び前記供給・取出しユニット（５）のケ−シング（５
Ｇ）はプレキシグラスで製造されていること、を特徴と
する請求項１乃至７のいずれか１に記載の反応器装置。 - 【請求項９】 各ランプユニット（２）及び供給・取出
しユニット（５）並びに各ベ−スユニット（３）および
装入ユニット（４）はモジュ−ル（６０，７０）に統合
されていること、及び２つ又はそれ以上のモジュ−ル
（６０，７０）は反応器装置（１）と動かないように又
は着脱自在に結合され、各壁部（８０）によって互いに
分離されていること、及びドア（８２）によって密封可
能な開口部（８１）を介して前記反応器装置（１）の側
面への装入がなされること、を特徴とする請求項１乃至
８のいずれか１に記載の反応器装置。 - 【請求項１０】 前記反応器装置（１）が開放放射器と
して用いられるように、又は紫外線高出力放射から誘導
された気相プロセスの実行が保証されるように、個々の
ユニット（２，３，４，５）の間には少なくともその時
々に１枚の石英板（６）が設けられていること、を特徴
とする請求項１乃至９のいずれか１に記載の反応器装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4231367.8 | 1992-09-18 | ||
| DE4231367A DE4231367A1 (de) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | Reaktorvorrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06205970A true JPH06205970A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=6468320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5233676A Pending JPH06205970A (ja) | 1992-09-18 | 1993-09-20 | 反応器装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5422488A (ja) |
| EP (1) | EP0588044B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06205970A (ja) |
| DE (2) | DE4231367A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19545252A1 (de) * | 1995-11-24 | 1997-05-28 | Helmut Kaeufer | Aggregatkapsel als Verfahrensbaustein |
| DE19937360A1 (de) * | 1999-08-12 | 2001-02-22 | Innolabtec Gmbh | Reaktionsapparat |
| DE10101816A1 (de) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Peter Ueberall | Flachdiffusor zur Änderung des Strömungsquerschnittes in einem Strömungskanal |
| US20050250346A1 (en) * | 2004-05-06 | 2005-11-10 | Applied Materials, Inc. | Process and apparatus for post deposition treatment of low k dielectric materials |
| US20060251827A1 (en) | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Applied Materials, Inc. | Tandem uv chamber for curing dielectric materials |
| US20060249175A1 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Applied Materials, Inc. | High efficiency UV curing system |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE888447C (de) * | 1942-05-22 | 1953-09-03 | Siemens Ag | Einrichtung zur Ultraviolettbestrahlung von Stoffen, insbesondere von Fluessigkeiten |
| US3079498A (en) * | 1960-07-15 | 1963-02-26 | Ruffin Hoebel Corp | Swimming pool water purifier |
| US3864571A (en) * | 1971-02-10 | 1975-02-04 | Wheeler International Inc | Method and Apparatus for Automatically, Identifying and Counting Various Cells in Body Fluids |
| DE2205598A1 (de) * | 1971-04-23 | 1973-08-16 | Georg Horstmann | Vorrichtung zum entkeimen von fluessigkeiten oder gasen |
| DE2300273C3 (de) * | 1972-01-07 | 1982-05-06 | Toray Industries, Inc., Tokyo | Vorrichtung für Abwasserreinigung |
| US3769517A (en) * | 1972-01-21 | 1973-10-30 | Ppg Industries Inc | Controlled atmosphere chamber |
| DE2515604C2 (de) * | 1975-04-10 | 1977-06-08 | Alfred Graentzel | Apparatur zur bestrahlung stroemungsfaehiger medien zum erzielen chemischer reaktionen bzw. reaktionsprodukte |
| DE2904242A1 (de) * | 1979-02-05 | 1980-08-14 | Guenther O Prof Dr Schenck | Verfahren und vorrichtung zur reinigung, insbesondere zur entkeimung und desinfektion |
| DE8111288U1 (de) * | 1981-04-14 | 1982-12-16 | Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen | "einrichtung zur durchfuehrung verfahrenstechnischer prozesse" |
| US4448750A (en) * | 1981-06-05 | 1984-05-15 | Fuesting Michael L | Sterilization method |
| US4798702A (en) * | 1986-09-10 | 1989-01-17 | Tucker Robert E | Sterilizer unit for fluid media and process |
| US4786812A (en) * | 1986-11-28 | 1988-11-22 | Dora Dicamillo 1988 Trust | Portable germicidal ultraviolet lamp |
| DE3740005A1 (de) * | 1987-11-25 | 1989-06-08 | Katadyn Produkte Ag | Vorrichtung zur desinfektion von abwasser |
| US4899056A (en) * | 1988-07-07 | 1990-02-06 | Ultraviolet Purification Systems, Inc. | Cleaning system for ultraviolet light producing lamps |
| US5156820A (en) * | 1989-05-15 | 1992-10-20 | Rapro Technology, Inc. | Reaction chamber with controlled radiant energy heating and distributed reactant flow |
| US5227140A (en) * | 1990-04-13 | 1993-07-13 | Peroxidation Systems, Inc. | Modular self-cleaning oxidation chamber |
| US5144144A (en) * | 1991-07-19 | 1992-09-01 | American Vision, Inc. | Contact lens cleaning and disinfecting system |
-
1992
- 1992-09-18 DE DE4231367A patent/DE4231367A1/de not_active Withdrawn
-
1993
- 1993-08-05 EP EP93112559A patent/EP0588044B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-08-05 DE DE59301403T patent/DE59301403D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-09-17 US US08/123,522 patent/US5422488A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-09-20 JP JP5233676A patent/JPH06205970A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| EP0588044B1 (de) | 1996-01-10 |
| EP0588044A1 (de) | 1994-03-23 |
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