JPH06201935A - 導波路型光制御デバイス及びその製造方法 - Google Patents
導波路型光制御デバイス及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH06201935A JPH06201935A JP34751192A JP34751192A JPH06201935A JP H06201935 A JPH06201935 A JP H06201935A JP 34751192 A JP34751192 A JP 34751192A JP 34751192 A JP34751192 A JP 34751192A JP H06201935 A JPH06201935 A JP H06201935A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- waveguide
- polarization
- optical waveguide
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光導波路と偏波面保存光ファイバとの光軸合
わせや偏波面の角度決めを、高精度でかつ簡便に行う事
ができる導波路型光制御デバイス及びその製造方法を提
供すること。 【構成】 異方性光学結晶基板１上に形成した光導波路
２と、該光導波路２の導波光を制御するための金属電極
と、前記光導波路２に導波光を入力及び／又は出力する
ための１本以上の偏波面保存光ファイバとから成り、光
導波路２と並列に、偏波面保存光ファイバの光軸と偏波
面とを位置合わせするための光軸調整用光導波路３を設
け、かつ該光軸調整用光導波路３上に金属膜４を形成し
たことを特徴とする。
わせや偏波面の角度決めを、高精度でかつ簡便に行う事
ができる導波路型光制御デバイス及びその製造方法を提
供すること。 【構成】 異方性光学結晶基板１上に形成した光導波路
２と、該光導波路２の導波光を制御するための金属電極
と、前記光導波路２に導波光を入力及び／又は出力する
ための１本以上の偏波面保存光ファイバとから成り、光
導波路２と並列に、偏波面保存光ファイバの光軸と偏波
面とを位置合わせするための光軸調整用光導波路３を設
け、かつ該光軸調整用光導波路３上に金属膜４を形成し
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ通信システ
ム、光ファイバセンサ、光計測等に用いられる導波路型
光制御デバイス及びその製造方法に関する。
ム、光ファイバセンサ、光計測等に用いられる導波路型
光制御デバイス及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、小型で集積化が可能な種々の光導
波路デバイスが提案、実用化されている。特に光制御を
目的とした導波路型光制御デバイスにおいては、結晶方
向により光学特性の異なる異方性結晶材料を基板として
用いることが多いため、通常は入出射光ファイバ（特に
入射光ファイバ）に偏波面保存光ファイバが用いられて
いる。これは、特定の導波モード（偏光面が基板に水平
なＴＥモード及び基板に垂直なＴＭモード）に対して所
望の光制御を行うために、特定の直線偏光を入出射する
ためのものである。
波路デバイスが提案、実用化されている。特に光制御を
目的とした導波路型光制御デバイスにおいては、結晶方
向により光学特性の異なる異方性結晶材料を基板として
用いることが多いため、通常は入出射光ファイバ（特に
入射光ファイバ）に偏波面保存光ファイバが用いられて
いる。これは、特定の導波モード（偏光面が基板に水平
なＴＥモード及び基板に垂直なＴＭモード）に対して所
望の光制御を行うために、特定の直線偏光を入出射する
ためのものである。
【０００３】その一例として、図４に示すようなマッハ
ツェンダ干渉計型光変調器（以下、ＭＺ光変調器と記
す）がある。これは、例えばニオブ酸リチウム（ＬｉＮ
ｂＯ3；以下、ＬＮと略記する）等の基板１１が用いら
れ、Ｔｉ等の金属をこの基板１１上にパターニング形成
し、１０００℃程度の高温で金属を基板１１内へ拡散さ
せることにより、容易に所望の光導波路１２を形成する
事ができる。この光導波路１２上に、直接もしくはバッ
ファ層を介するなどして電極（図示せず）を形成し、光
導波路１２の一部分に電界を印加する事により、光パワ
ーの強度変調を行うものである。ここで、基板１１とし
て、ＺカットＬＮ基板を用いた場合はＴＭモードを、ま
たＸカットＬＮ基板を用いた場合はＴＥモードで動作さ
せるため、入射光ファイバ１５としては偏波面保存光フ
ァイバを用いる必要がある。なお、図中１６は出射光フ
ァイバである。
ツェンダ干渉計型光変調器（以下、ＭＺ光変調器と記
す）がある。これは、例えばニオブ酸リチウム（ＬｉＮ
ｂＯ3；以下、ＬＮと略記する）等の基板１１が用いら
れ、Ｔｉ等の金属をこの基板１１上にパターニング形成
し、１０００℃程度の高温で金属を基板１１内へ拡散さ
せることにより、容易に所望の光導波路１２を形成する
事ができる。この光導波路１２上に、直接もしくはバッ
ファ層を介するなどして電極（図示せず）を形成し、光
導波路１２の一部分に電界を印加する事により、光パワ
ーの強度変調を行うものである。ここで、基板１１とし
て、ＺカットＬＮ基板を用いた場合はＴＭモードを、ま
たＸカットＬＮ基板を用いた場合はＴＥモードで動作さ
せるため、入射光ファイバ１５としては偏波面保存光フ
ァイバを用いる必要がある。なお、図中１６は出射光フ
ァイバである。
【０００４】従来、光導波路と偏波面保存光ファイバと
の接続には、偏波面保存光ファイバの端面もしくは側面
から応力付与部等を目視や顕微鏡等で観察したりする事
により、その偏波面を幾何学的に決めた後、光導波路と
の位置合わせを行い、光導波路の一端と偏波面保存光フ
ァイバの端面とを接続・固着する方法と、Ｖ溝を形成し
たシリコンやセラミックの部材に、偏波面保存光ファイ
バの偏波面を決定した状態でこれを接着固定しておき、
しかる後にこの部材ごと光導波路基板と一体固定する方
法とが提案されている（特開平4-199109号公報等参
照）。
の接続には、偏波面保存光ファイバの端面もしくは側面
から応力付与部等を目視や顕微鏡等で観察したりする事
により、その偏波面を幾何学的に決めた後、光導波路と
の位置合わせを行い、光導波路の一端と偏波面保存光フ
ァイバの端面とを接続・固着する方法と、Ｖ溝を形成し
たシリコンやセラミックの部材に、偏波面保存光ファイ
バの偏波面を決定した状態でこれを接着固定しておき、
しかる後にこの部材ごと光導波路基板と一体固定する方
法とが提案されている（特開平4-199109号公報等参
照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、光導波路の一端に偏波面保存光ファイバの端
面を接続・固着する方法では、偏波面保存光ファイバの
端面もしくは側面から応力付与部等を目視や顕微鏡等で
観察する方法であるので、光導波路に対する偏波面の位
置ズレ量が大きく、接続・固定後の光伝搬損失が大きく
なるばかりでなく、作業性も非常に悪いという欠点があ
った。
たように、光導波路の一端に偏波面保存光ファイバの端
面を接続・固着する方法では、偏波面保存光ファイバの
端面もしくは側面から応力付与部等を目視や顕微鏡等で
観察する方法であるので、光導波路に対する偏波面の位
置ズレ量が大きく、接続・固定後の光伝搬損失が大きく
なるばかりでなく、作業性も非常に悪いという欠点があ
った。
【０００６】また、別工程で偏波面の角度合わせを行う
場合、偏波面保存光ファイバの端面を直接観察した後、
その応力付与部の幾何学的な位置関係等に基づいて角度
決めを行うため、高精度の角度決めが困難であった。
場合、偏波面保存光ファイバの端面を直接観察した後、
その応力付与部の幾何学的な位置関係等に基づいて角度
決めを行うため、高精度の角度決めが困難であった。
【０００７】
【発明の目的】そこで、本発明は光導波路デバイスと偏
波面保存光ファイバとの接続が容易に行え、高精度でか
つ生産性に優れた導波路型光制御デバイス及びその製造
方法を提供することを目的とする。
波面保存光ファイバとの接続が容易に行え、高精度でか
つ生産性に優れた導波路型光制御デバイス及びその製造
方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の導波路型光制御デバイスは、異方性光学
結晶基板上に形成した光導波路と、該光導波路の導波光
を制御するための金属電極と、前記光導波路に導波光を
入力及び／又は出力するための１本以上の偏波面保存光
ファイバとから成り、光導波路と並列に、偏波面保存光
ファイバの光軸と偏波面とを位置合わせするための光軸
調整用光導波路を設け、かつ該光軸調整用光導波路上に
金属膜を形成したことを特徴とする。
めに、本発明の導波路型光制御デバイスは、異方性光学
結晶基板上に形成した光導波路と、該光導波路の導波光
を制御するための金属電極と、前記光導波路に導波光を
入力及び／又は出力するための１本以上の偏波面保存光
ファイバとから成り、光導波路と並列に、偏波面保存光
ファイバの光軸と偏波面とを位置合わせするための光軸
調整用光導波路を設け、かつ該光軸調整用光導波路上に
金属膜を形成したことを特徴とする。
【０００９】また、製造方法は、異方性光学結晶基板上
に光導波路及び光軸調整用光導波路を形成する工程と、
光導波路及び光軸調整用光導波路上に制御用電極及び金
属膜を同時に形成する工程と、光軸調整用光導波路の一
端に、導波光を入力及び／又は出力するための偏波面保
存光ファイバの光軸と偏波面とを位置合わせする工程
と、光導波路の一端に、偏波面保存光ファイバの光軸を
位置合わせする工程と、光導波路の一端と偏波面保存光
ファイバの端面とを接続し固着する工程と、から成る。
に光導波路及び光軸調整用光導波路を形成する工程と、
光導波路及び光軸調整用光導波路上に制御用電極及び金
属膜を同時に形成する工程と、光軸調整用光導波路の一
端に、導波光を入力及び／又は出力するための偏波面保
存光ファイバの光軸と偏波面とを位置合わせする工程
と、光導波路の一端に、偏波面保存光ファイバの光軸を
位置合わせする工程と、光導波路の一端と偏波面保存光
ファイバの端面とを接続し固着する工程と、から成る。
【００１０】
【作用】上記のような構成によれば、光軸調整用光導波
路において、金属クラッディングによるＴＥとＴＭモー
ドの伝搬損失の差を利用して精密な偏波面の角度合わせ
を行う事ができる。すなわち、光軸調整用光導波路に入
出射光ファイバを位置合わせし、入射光ファイバの偏波
面保存光ファイバを回転することにより出射光強度が変
化する（図３参照）。出射光強度が最大になる位置がＴ
Ｅモード伝搬となり、出射光強度が最小になる位置がＴ
Ｍモード伝搬となる。このため、予め別工程で偏波面の
角度合わせを行う必要がなく、また、偏波面保存光ファ
イバの偏波面の角度調整後、速やかに光導波路との位置
合わせが行うことができるので、非常に簡便にかつ短時
間で光導波路と入出射光ファイバとの接続・固着ができ
る。
路において、金属クラッディングによるＴＥとＴＭモー
ドの伝搬損失の差を利用して精密な偏波面の角度合わせ
を行う事ができる。すなわち、光軸調整用光導波路に入
出射光ファイバを位置合わせし、入射光ファイバの偏波
面保存光ファイバを回転することにより出射光強度が変
化する（図３参照）。出射光強度が最大になる位置がＴ
Ｅモード伝搬となり、出射光強度が最小になる位置がＴ
Ｍモード伝搬となる。このため、予め別工程で偏波面の
角度合わせを行う必要がなく、また、偏波面保存光ファ
イバの偏波面の角度調整後、速やかに光導波路との位置
合わせが行うことができるので、非常に簡便にかつ短時
間で光導波路と入出射光ファイバとの接続・固着ができ
る。
【００１１】また、実際の基板上に形成した光軸調整用
光導波路を用いて、しかも、光学特性をモニターしなが
ら偏波面の角度合わせを行うため、実際のデバイスの光
学特性に即した高精度の偏波面の角度合わせが可能とな
る。
光導波路を用いて、しかも、光学特性をモニターしなが
ら偏波面の角度合わせを行うため、実際のデバイスの光
学特性に即した高精度の偏波面の角度合わせが可能とな
る。
【００１２】
【実施例】本発明に係る一実施例の導波路型光制御デバ
イス及びその製造方法について図面に基づき詳細に説明
する。なお簡単のため、従来の技術で説明した、入出力
端子が各１端子であるＭＺ光変調器を用いて説明する。
イス及びその製造方法について図面に基づき詳細に説明
する。なお簡単のため、従来の技術で説明した、入出力
端子が各１端子であるＭＺ光変調器を用いて説明する。
【００１３】図１に示すように、導波路型光制御デバイ
スＷは、異方性光学結晶であるＬＮ単結晶の基板１上に
光制御用の光導波路２を設け、この制御用光導波路２と
並列に、偏波面保存光ファイバである入射光ファイバ５
に対して位置合わせを行うための光軸調整用光導波路３
を設け、この光軸調整用光導波路３上の一部領域に導波
光を逃さないようにするための金属膜４を形成したもの
である。
スＷは、異方性光学結晶であるＬＮ単結晶の基板１上に
光制御用の光導波路２を設け、この制御用光導波路２と
並列に、偏波面保存光ファイバである入射光ファイバ５
に対して位置合わせを行うための光軸調整用光導波路３
を設け、この光軸調整用光導波路３上の一部領域に導波
光を逃さないようにするための金属膜４を形成したもの
である。
【００１４】次に、この導波路型光制御デバイスＷの具
体的な製造方法について説明する。まず、チョクラルス
キー法等の周知の単結晶育成法により作製したＬＮの単
結晶体を、そのＣ軸に対し垂直に切断し、この切断面を
主面とするＺカットＬＮ基板を用意する。そしてこの基
板１上に所望形状の光導波路が作製できように、Ｔｉを
パターニング形成し、約1000℃でＴｉ等の金属の拡散を
行わせ、光導波路２を形成する。このとき同時に、光導
波路２に対して並列に直線状の光軸調整用光導波路３を
形成する。
体的な製造方法について説明する。まず、チョクラルス
キー法等の周知の単結晶育成法により作製したＬＮの単
結晶体を、そのＣ軸に対し垂直に切断し、この切断面を
主面とするＺカットＬＮ基板を用意する。そしてこの基
板１上に所望形状の光導波路が作製できように、Ｔｉを
パターニング形成し、約1000℃でＴｉ等の金属の拡散を
行わせ、光導波路２を形成する。このとき同時に、光導
波路２に対して並列に直線状の光軸調整用光導波路３を
形成する。
【００１５】ここで、特にこの光軸調整用光導波路３を
光導波路２と同一幅で、かつ各入出力端どうしをそれぞ
れ同一間隔だけ離れた位置に形成する事により、次のよ
うな利点がある。すなわち、両光導波路が同一の光伝
搬特性を有することになり、入射光を同一条件で導波で
きる（すなわち、導波路型光制御デバイスＷが例えばシ
ングルモード動作デバイスであれば光軸調整用光導波路
３もシングルモードとなる。）。各入出力端どうしを
それぞれ同一間隔離れた位置に形成しておくことによ
り、光軸調整用光導波路３で光軸及び偏波面の角度合わ
せを行った後、この間隔だけ平行移動する事により、容
易に光導波路２との位置合わせができるため自動制御等
に大変効果的である。
光導波路２と同一幅で、かつ各入出力端どうしをそれぞ
れ同一間隔だけ離れた位置に形成する事により、次のよ
うな利点がある。すなわち、両光導波路が同一の光伝
搬特性を有することになり、入射光を同一条件で導波で
きる（すなわち、導波路型光制御デバイスＷが例えばシ
ングルモード動作デバイスであれば光軸調整用光導波路
３もシングルモードとなる。）。各入出力端どうしを
それぞれ同一間隔離れた位置に形成しておくことによ
り、光軸調整用光導波路３で光軸及び偏波面の角度合わ
せを行った後、この間隔だけ平行移動する事により、容
易に光導波路２との位置合わせができるため自動制御等
に大変効果的である。
【００１６】次に、光軸調整用光導波路３をのぞく領域
にＳｉＯ2 等のバッファ層を形成した後、光制御用導波
路２上の電極（図示せず）及び光軸調整用光導波路３上
の金属膜４を同時に形成する。金属膜４の材料としては
Ａｌなどの電極材料と同一材料を用いる事により、金属
膜４と電極とを同時に形成することが可能となり工程上
簡便である。また、これのパターニング方法について
も、周知のエッチング・リフトオフ法などを用いること
ができる。なお、基板１としてＹカットＬＮ基板を用い
る際は、ＴＥモードなのでバッファ層は不要で電極構造
も導波路直上に電極が装着されない場合が多い。
にＳｉＯ2 等のバッファ層を形成した後、光制御用導波
路２上の電極（図示せず）及び光軸調整用光導波路３上
の金属膜４を同時に形成する。金属膜４の材料としては
Ａｌなどの電極材料と同一材料を用いる事により、金属
膜４と電極とを同時に形成することが可能となり工程上
簡便である。また、これのパターニング方法について
も、周知のエッチング・リフトオフ法などを用いること
ができる。なお、基板１としてＹカットＬＮ基板を用い
る際は、ＴＥモードなのでバッファ層は不要で電極構造
も導波路直上に電極が装着されない場合が多い。
【００１７】次に、入出射光ファイバ５，６の端面と光
導波路２の一端との接続、固着方法について説明する。
図２（ａ）に示すように、入射光ファイバ５及び出射光
ファイバ６を結合効率（入射側からの出射光強度に対す
る受光側への入射光強度の比率）が最大になるように位
置決めを行う場合、光強度のみをモニターして位置決め
を行うので入射光ファイバ５（偏波面保存光ファイバ）
の偏波面の方向は問わない。しかし、ＴＭモード伝搬と
なるときは出力レベルが非常に小さくなるので注意を要
する。次に、入射光ファイバ５を適当に回転して、出射
光ファイバ６の光強度変化をモニターする。図３に示す
ような、金属クラッディングによる伝搬損失特性から、
ＴＥモード動作デバイスについては光出力が最大になる
位置で、また、ＴＭモードデバイスについては光出力が
最小になる位置で入出射光ファイバ５，６を光導波路２
へ接続・固定する。
導波路２の一端との接続、固着方法について説明する。
図２（ａ）に示すように、入射光ファイバ５及び出射光
ファイバ６を結合効率（入射側からの出射光強度に対す
る受光側への入射光強度の比率）が最大になるように位
置決めを行う場合、光強度のみをモニターして位置決め
を行うので入射光ファイバ５（偏波面保存光ファイバ）
の偏波面の方向は問わない。しかし、ＴＭモード伝搬と
なるときは出力レベルが非常に小さくなるので注意を要
する。次に、入射光ファイバ５を適当に回転して、出射
光ファイバ６の光強度変化をモニターする。図３に示す
ような、金属クラッディングによる伝搬損失特性から、
ＴＥモード動作デバイスについては光出力が最大になる
位置で、また、ＴＭモードデバイスについては光出力が
最小になる位置で入出射光ファイバ５，６を光導波路２
へ接続・固定する。
【００１８】さらに図２（ｂ）では、図２（ａ）が終了
後所定量だけ入出射光ファイバ５，６を光導波路２側へ
移動させ、再度精密な位置合わせを行い、光導波路２の
一端に入出射光ファイバ５，６のそれぞれを接続・固着
する。
後所定量だけ入出射光ファイバ５，６を光導波路２側へ
移動させ、再度精密な位置合わせを行い、光導波路２の
一端に入出射光ファイバ５，６のそれぞれを接続・固着
する。
【００１９】なお、本実施例においては、特に接続部の
構造については詳細に述べていないが、偏波面保存光フ
ァイバの偏波面の調整を光導波路への接続・固着直前に
行う構成であれば、いかなる構成であっても適宜変更し
実施適用できることはいうまでもない。
構造については詳細に述べていないが、偏波面保存光フ
ァイバの偏波面の調整を光導波路への接続・固着直前に
行う構成であれば、いかなる構成であっても適宜変更し
実施適用できることはいうまでもない。
【００２０】
【発明の効果】本発明の導波路型光制御デバイス及びそ
の製造方法を用いる事により、光導波路と偏波面保存光
ファイバとの接続・固着が容易に行え、高精度でかつ生
産性に著しく優れた導波路型光制御デバイス及びその製
造方法を提供することができる。
の製造方法を用いる事により、光導波路と偏波面保存光
ファイバとの接続・固着が容易に行え、高精度でかつ生
産性に著しく優れた導波路型光制御デバイス及びその製
造方法を提供することができる。
【図１】本発明に係る導波路型光制御デバイスの一実施
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図２】本発明の導波路型光制御デバイスに入出射光フ
ァイバを接続・固定する方法を説明するための上面図で
あり、（ａ）は入出射光ファイバを光軸調整用光導波路
に位置合わせを行い、偏波面の角度合わせる方法を説明
するための図、（ｂ）は（ａ）が終了後、光導波路との
位置合わせの方法を説明するための図である。
ァイバを接続・固定する方法を説明するための上面図で
あり、（ａ）は入出射光ファイバを光軸調整用光導波路
に位置合わせを行い、偏波面の角度合わせる方法を説明
するための図、（ｂ）は（ａ）が終了後、光導波路との
位置合わせの方法を説明するための図である。
【図３】入射光ファイバの回転に伴う、出射光ファイバ
の出力光パワーの変化を説明するグラフである。
の出力光パワーの変化を説明するグラフである。
【図４】従来の導波路型光制御デバイスの概要を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
１ ・・・ 基板 ２ ・・・ 光導波路 ３ ・・・ 光軸調整用光導波路 ４ ・・・ 金属膜 ５，６ ・・・ 入出射光ファイバ
Claims (2)
- 【請求項１】 異方性光学結晶基板上に形成した光導波
路と、該光導波路の導波光を制御するための金属電極
と、前記光導波路に導波光を入力及び／又は出力するた
めの１本以上の偏波面保存光ファイバとから成る導波路
型光制御デバイスであって、 前記光導波路と並列に、前記偏波面保存光ファイバの光
軸と偏波面とを位置合わせするための光軸調整用光導波
路を設け、かつ該光軸調整用光導波路上に金属膜を形成
したことを特徴とする導波路型光制御デバイス。 - 【請求項２】異方性光学結晶基板上に光導波路及び光軸
調整用光導波路を形成する工程と、 該光導波路及び光軸調整用光導波路上に制御用電極及び
金属膜を同時に形成する工程と、 前記光軸調整用光導波路の一端に、導波光を入力及び／
又は出力するための偏波面保存光ファイバの光軸と偏波
面とを位置合わせする工程と、 前記光導波路の一端に、前記偏波面保存光ファイバの光
軸を位置合わせする工程と、 前記光導波路の一端と前記偏波面保存光ファイバの端面
とを接続し固着する工程と、から成る導波路型光制御デ
バイスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34751192A JPH06201935A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 導波路型光制御デバイス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34751192A JPH06201935A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 導波路型光制御デバイス及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201935A true JPH06201935A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18390722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34751192A Pending JPH06201935A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 導波路型光制御デバイス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201935A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1393334A2 (en) * | 2001-05-11 | 2004-03-03 | Fibersense Technology Corporation | Method of aligning optical fibers to an ioc |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34751192A patent/JPH06201935A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1393334A2 (en) * | 2001-05-11 | 2004-03-03 | Fibersense Technology Corporation | Method of aligning optical fibers to an ioc |
| EP1393334A4 (en) * | 2001-05-11 | 2005-02-16 | Fibersense Technology Corp | METHOD FOR ALIGNING OPTICAL FIBERS ON AN INTEGRATED OPTICAL CIRCUIT |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0145432B1 (en) | Fiber optic polarizer with error signal feedback | |
| CA2244496C (en) | Optical fiber passive alignment apparatus using alignment platform | |
| US4871226A (en) | Mounting of optical fibers to integrated optical chips | |
| Bulmer et al. | High‐efficiency flip‐chip coupling between single‐mode fibers and LiNbO3 channel waveguides | |
| JP2773990B2 (ja) | 光導波路基板と光ファイバ整列用基板との結合体の製造方法 | |
| Hsu et al. | Flip-chip approach to endfire coupling between single-mode optical fibres and channel waveguides | |
| EP0867743B1 (en) | Optical fiber modulator having an optical fiber having poled portion serving as an electrooptic element and method for making same | |
| US6215576B1 (en) | Method for making a second-order nonlinear optical material, the material obtained by the method, and an optical modulation device comprising the material | |
| US5625726A (en) | Optical waveguide substrate, an article comprising the same and a substrate coupled thereto for holding optical fibers | |
| JPH0194305A (ja) | 光回路装置 | |
| JPH06201935A (ja) | 導波路型光制御デバイス及びその製造方法 | |
| JP3195033B2 (ja) | 光導波路およびその形成方法 | |
| JP3398191B2 (ja) | 導波路型光制御デバイス | |
| JPH019933Y2 (ja) | ||
| JPH04156423A (ja) | 光導波路型偏光子及び該偏光子を備えた光導波路デバイス並びに該デバイスの製造方法 | |
| JPH10221014A (ja) | 光導波路型変位センサ | |
| JPH10274759A (ja) | 一体化光学素子の製造において不合格品を減少させる方法および光電素子 | |
| JPH10232109A (ja) | 光変位センサー | |
| JPH04371913A (ja) | 光変調器および光スイッチ | |
| JP3036610B2 (ja) | 偏波方向切り替え器 | |
| JPH02157730A (ja) | 基板型光スイッチ | |
| JPH0743652A (ja) | 光導波路デバイス | |
| JPH0212108A (ja) | 導波型偏光子素子の作製方法 | |
| JPH063555A (ja) | 光分岐デバイス | |
| JPH0346604A (ja) | 光集積回路 |