JPH06201916A - 光フィルタとその製造方法 - Google Patents
光フィルタとその製造方法Info
- Publication number
- JPH06201916A JPH06201916A JP43A JP35978092A JPH06201916A JP H06201916 A JPH06201916 A JP H06201916A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 35978092 A JP35978092 A JP 35978092A JP H06201916 A JPH06201916 A JP H06201916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- face
- film
- optical
- optical filter
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 光コネクタの接続端面にコア部を除く部分を
覆うレジストを設けた後に該端面をウェットエッチング
して該コア部を該接続端面から数μm 凹ませ、さらに該
コア部端面に波長選択性を有する誘電体多層膜フィルタ
を蒸着形成した後に上記レジストを除去することによ
り、該コア部端面に波長選択性を有する多層膜が形成さ
れた光フィルタを得る。 【効果】 結合箇所が少なく伝送損失が低減する。コネ
クタと一体に形成されているのでコネクタの接続と同時
に光フィルタを介設でき作業性に優れる。さらに接続端
面の光ファイバコア部に直接、誘電体多層膜を蒸着した
構造であるので、機械的構造不良による劣化がなく、し
かも小型化でき加工組立て工程も少ない。また接続端面
から僅かに凹ませたコア部に多層膜を形成しているの
で、他方の接続端面に多層膜が接触せず、多層膜の損傷
が防止され、耐久性と信頼性が高い。
覆うレジストを設けた後に該端面をウェットエッチング
して該コア部を該接続端面から数μm 凹ませ、さらに該
コア部端面に波長選択性を有する誘電体多層膜フィルタ
を蒸着形成した後に上記レジストを除去することによ
り、該コア部端面に波長選択性を有する多層膜が形成さ
れた光フィルタを得る。 【効果】 結合箇所が少なく伝送損失が低減する。コネ
クタと一体に形成されているのでコネクタの接続と同時
に光フィルタを介設でき作業性に優れる。さらに接続端
面の光ファイバコア部に直接、誘電体多層膜を蒸着した
構造であるので、機械的構造不良による劣化がなく、し
かも小型化でき加工組立て工程も少ない。また接続端面
から僅かに凹ませたコア部に多層膜を形成しているの
で、他方の接続端面に多層膜が接触せず、多層膜の損傷
が防止され、耐久性と信頼性が高い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光コネクタの接続端面
に形成された光フィルタに関し、さらに詳しくは、光コ
ネクタと一体に形成され、波長選択性を有し光の合波分
波器などに利用される光フィルタに関するものである。
に形成された光フィルタに関し、さらに詳しくは、光コ
ネクタと一体に形成され、波長選択性を有し光の合波分
波器などに利用される光フィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバを利用した通信装置や計測装
置が実用化され、これらの装置に付随する光部品として
分岐合流器、分波合波器および波長選択素子などの光学
素子が開発されている。これら光学素子の１種として、
特定の波長に対して波長選択性を有する誘電体多層膜か
らなる光フィルタが知られている。従来の光フィルタ５
０の一例を図５に示す。該光フィルタ５０は、光ファイ
バ５１、５２の端面間に介設した光フィルタチップ５３
によって形成されており、光ファイバ５１、５２は基板
５４に固定され、そのファイバ端面は互いに同軸に突合
わせて配置され、その間に波長選択性を有する誘電体多
層膜を設けた光フィルタチップ５３が光路を横切るよう
に挟み込んで設けられている。該チップ５３は石英ガラ
ス板の表面にＳｉＯ2 、ＴｉＯ2 などの屈折率の異なる
誘電体薄膜を交互に蒸着積層したものであり、基板５４
に穿設した溝５５に挿入して固定されており、該誘電体
多層膜を透過しない波長の光が入射側に戻るのを防止す
るために光ファイバの軸方向に対して斜めに設けられて
いる。
置が実用化され、これらの装置に付随する光部品として
分岐合流器、分波合波器および波長選択素子などの光学
素子が開発されている。これら光学素子の１種として、
特定の波長に対して波長選択性を有する誘電体多層膜か
らなる光フィルタが知られている。従来の光フィルタ５
０の一例を図５に示す。該光フィルタ５０は、光ファイ
バ５１、５２の端面間に介設した光フィルタチップ５３
によって形成されており、光ファイバ５１、５２は基板
５４に固定され、そのファイバ端面は互いに同軸に突合
わせて配置され、その間に波長選択性を有する誘電体多
層膜を設けた光フィルタチップ５３が光路を横切るよう
に挟み込んで設けられている。該チップ５３は石英ガラ
ス板の表面にＳｉＯ2 、ＴｉＯ2 などの屈折率の異なる
誘電体薄膜を交互に蒸着積層したものであり、基板５４
に穿設した溝５５に挿入して固定されており、該誘電体
多層膜を透過しない波長の光が入射側に戻るのを防止す
るために光ファイバの軸方向に対して斜めに設けられて
いる。
【０００３】
【発明の解決課題】図示するように、従来の光フィルタ
５０は、基板の上面に固定した光ファイバを横断して波
長選択性を有する誘電体多層膜を立設した構造であるの
で、加工組立てが面倒であり、また機械的強度にも限界
がある。さらに誘電体多層膜を光ファイバの間に挟み込
む構造であるので、光ファイバ端面と誘電体多層膜との
間に隙間が生じるのを避けることができない。この隙間
があると、コアと空気の屈折率が異なるためにフルネル
反射を生じ、伝送損失が増加する。このため従来はコア
と屈折率の等しい物質（整合剤）を隙間に充填している
が、伝送損失を完全に防止することはできず、しかも製
造工程において整合剤を充填する手間がかかる。また従
来の光フィルタは光ファイバの先端が誘電体多層膜に突
接した状態であるため組立時に膜面が損傷し易い。本発
明は、従来の光フィルタにおける上記課題を解決し、伝
送損失が少なく、製造が容易で機械的強度にも優れる光
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
５０は、基板の上面に固定した光ファイバを横断して波
長選択性を有する誘電体多層膜を立設した構造であるの
で、加工組立てが面倒であり、また機械的強度にも限界
がある。さらに誘電体多層膜を光ファイバの間に挟み込
む構造であるので、光ファイバ端面と誘電体多層膜との
間に隙間が生じるのを避けることができない。この隙間
があると、コアと空気の屈折率が異なるためにフルネル
反射を生じ、伝送損失が増加する。このため従来はコア
と屈折率の等しい物質（整合剤）を隙間に充填している
が、伝送損失を完全に防止することはできず、しかも製
造工程において整合剤を充填する手間がかかる。また従
来の光フィルタは光ファイバの先端が誘電体多層膜に突
接した状態であるため組立時に膜面が損傷し易い。本発
明は、従来の光フィルタにおける上記課題を解決し、伝
送損失が少なく、製造が容易で機械的強度にも優れる光
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題の解決手段】本発明によれば、 (1) 光コネクタ接続端面の光ファイバコア部が該端面よ
りも僅かに凹んで形成されており、該コア部端面に波長
選択性を有する多層膜が蒸着されていることを特徴とす
る光フィルタ、 (2) 光コネクタの接続プラグ間に、アダプタが設けられ
ており、該アダプタには接続プラグと同軸に光ファイバ
が内装され、該光ファイバのコア部端面が該アダプタの
接続端面よりも僅かに凹んで形成され、該コア部端面に
ＳｉＯ2 膜およびＴｉＯ2 膜を交互に蒸着してなる誘電
体多層膜フィルタが形成されている上記(1) の光フィル
タ。 (3) 光コネクタの接続端面にコア部を除く部分を覆うレ
ジストを設け、次いで該接続端面をウェットエッチング
して該コア部を該接続端面から数μm 凹ませ、さらに該
コア部端面にＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2 膜を交互に蒸着して
波長選択性を有する誘電体多層膜フィルタを形成した後
に上記レジストを除去することを特徴とする光フィルタ
の製造方法が提供される。
りも僅かに凹んで形成されており、該コア部端面に波長
選択性を有する多層膜が蒸着されていることを特徴とす
る光フィルタ、 (2) 光コネクタの接続プラグ間に、アダプタが設けられ
ており、該アダプタには接続プラグと同軸に光ファイバ
が内装され、該光ファイバのコア部端面が該アダプタの
接続端面よりも僅かに凹んで形成され、該コア部端面に
ＳｉＯ2 膜およびＴｉＯ2 膜を交互に蒸着してなる誘電
体多層膜フィルタが形成されている上記(1) の光フィル
タ。 (3) 光コネクタの接続端面にコア部を除く部分を覆うレ
ジストを設け、次いで該接続端面をウェットエッチング
して該コア部を該接続端面から数μm 凹ませ、さらに該
コア部端面にＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2 膜を交互に蒸着して
波長選択性を有する誘電体多層膜フィルタを形成した後
に上記レジストを除去することを特徴とする光フィルタ
の製造方法が提供される。
【０００５】以下に、本発明を図面に示す実施例と共に
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例に係る光フィ
ルタを有する光コネクタ１０の概略斜視図である。該光
コネクタ１０は、光ファイバ２１、２２の端部に装着さ
れた接続プラグ１１、１２を有し、この接続プラグ１
１、１２の間にアダプタ１５が設けられている。該アダ
プタ１５には接続プラグ１１、１２と同様の光ファイバ
１６が内装されており、アダプタ１５および接続プラグ
１１、１２を連結したときに連続した光路が形成される
ようにこれらの光ファイバは各々同軸に内装されてい
る。また、該アダプタ１５の接続端面にはガイドピン１
７が突設され、該接続端面に面する上記接続プラグ１
１、１２には該ガイドピン１７を受入れる嵌合孔２０が
穿設されており、該ガイドピン１７を介してこれら接続
プラグ１１、１２およびアダプタ１５が同軸に連結され
る。なお、接続プラグ１１、１２およびアダプタ１５の
接続端面相互の隙間にはコア部と同一の屈折率を有する
整合剤が充填される。
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例に係る光フィ
ルタを有する光コネクタ１０の概略斜視図である。該光
コネクタ１０は、光ファイバ２１、２２の端部に装着さ
れた接続プラグ１１、１２を有し、この接続プラグ１
１、１２の間にアダプタ１５が設けられている。該アダ
プタ１５には接続プラグ１１、１２と同様の光ファイバ
１６が内装されており、アダプタ１５および接続プラグ
１１、１２を連結したときに連続した光路が形成される
ようにこれらの光ファイバは各々同軸に内装されてい
る。また、該アダプタ１５の接続端面にはガイドピン１
７が突設され、該接続端面に面する上記接続プラグ１
１、１２には該ガイドピン１７を受入れる嵌合孔２０が
穿設されており、該ガイドピン１７を介してこれら接続
プラグ１１、１２およびアダプタ１５が同軸に連結され
る。なお、接続プラグ１１、１２およびアダプタ１５の
接続端面相互の隙間にはコア部と同一の屈折率を有する
整合剤が充填される。
【０００６】図２に示すように、上記光ファイバ１６の
クラッド部分１６ｂの端面は上記アダプタ１５の接続端
面１８とほぼ同一平面をなすが、該光ファイバ１６のコ
ア部１６ａは該接続端面１８より４〜６μm 程度凹んで
形成され、さらに該コア部端面に屈折率の小さい誘電体
膜と屈折率の大きい誘電体膜とが交互に積層された誘電
体多層膜１９が形成されている。一例としてＳｉＯ2 膜
とＴｉＯ2 膜とが交互に４２層程度、約１０μm の厚さ
に積層された該誘電体多層膜が形成されている。該誘電
体多層膜は膜組成、膜厚、積層数などにより特定の波長
に対する選択性を有し、帯域通過型、長波長域通過型、
短波長域通過型などのフィルタ特性を有する。光フィル
タはコネクタ１１、１２の接続端面に直接形成してもよ
いが、図示する実施例のように、コネクタの接続部分に
アダプタを着脱自在に介設し、該アダプタの端面に多層
膜１９を形成すれば、必要に応じて多層膜を容易に設け
ることができるので実用性が高い。また多層膜１９を有
するコア部端面を、図示するように接続端面１８よりも
僅かに凹ませて形成すれば、多層膜１９が他方の接続端
面に接触しないので、多層膜１９の損傷を防止すること
ができる。なお、図１には、４心構造の光ファイバを用
いた実施例を示したが、本発明の光フィルタは単心構造
および４心以外の多心構造の光ファイバについても同様
に実施することができる。
クラッド部分１６ｂの端面は上記アダプタ１５の接続端
面１８とほぼ同一平面をなすが、該光ファイバ１６のコ
ア部１６ａは該接続端面１８より４〜６μm 程度凹んで
形成され、さらに該コア部端面に屈折率の小さい誘電体
膜と屈折率の大きい誘電体膜とが交互に積層された誘電
体多層膜１９が形成されている。一例としてＳｉＯ2 膜
とＴｉＯ2 膜とが交互に４２層程度、約１０μm の厚さ
に積層された該誘電体多層膜が形成されている。該誘電
体多層膜は膜組成、膜厚、積層数などにより特定の波長
に対する選択性を有し、帯域通過型、長波長域通過型、
短波長域通過型などのフィルタ特性を有する。光フィル
タはコネクタ１１、１２の接続端面に直接形成してもよ
いが、図示する実施例のように、コネクタの接続部分に
アダプタを着脱自在に介設し、該アダプタの端面に多層
膜１９を形成すれば、必要に応じて多層膜を容易に設け
ることができるので実用性が高い。また多層膜１９を有
するコア部端面を、図示するように接続端面１８よりも
僅かに凹ませて形成すれば、多層膜１９が他方の接続端
面に接触しないので、多層膜１９の損傷を防止すること
ができる。なお、図１には、４心構造の光ファイバを用
いた実施例を示したが、本発明の光フィルタは単心構造
および４心以外の多心構造の光ファイバについても同様
に実施することができる。
【０００７】次に、本発明の光フィルタの製造方法の一
例を図３の工程図を参照して説明する。レジスト被着工程 アダプタ１５の接続端面にレジスト（10cpポジ型レジス
ト、厚さ20μm ）を塗布した後に該アダプタ１５をコネ
クタのプラグに接続し、光ファイバ２１を通じてコア部
を露光し、現像する。露光部分は現像によって洗い流さ
れ、コア部を除いた部分にレジストが残り、これを１２
０℃、３０分程乾燥して硬化させる。
例を図３の工程図を参照して説明する。レジスト被着工程 アダプタ１５の接続端面にレジスト（10cpポジ型レジス
ト、厚さ20μm ）を塗布した後に該アダプタ１５をコネ
クタのプラグに接続し、光ファイバ２１を通じてコア部
を露光し、現像する。露光部分は現像によって洗い流さ
れ、コア部を除いた部分にレジストが残り、これを１２
０℃、３０分程乾燥して硬化させる。
【０００８】エッチング工程 レジストを被着したアダプタを４０％濃度のフッ酸水溶
液に１０分間浸漬して光ファイバのコア部をレジスト表
面から約１０μm 程度の段差（凹み）が形成されるまで
エッチングする。多層膜蒸着工程 エッチング後のアダプタを蒸着室に装着し、レジストを
除去したコア部端面に、常法に従い、ＳｉＯ2 膜とＴｉ
Ｏ2 膜を交互に約１０μm の厚さ（42層）に蒸着積層す
ることにより誘電体多層膜１９を形成する。蒸着方法と
しては高エネルギーの得られる電子ビーム蒸着法などを
使用することができる。レジスト除去工程 蒸着後、アダプタ端面に設けたレジストの表面を剥離液
によって洗浄、除去し、純水にて洗い流す。以上の製造
工程を経て、図２に示すように、アダプタ端面の光ファ
イバコア部に特定の波長に対する選択性を有する誘電体
多層膜を形成した光フィルタが得られる。
液に１０分間浸漬して光ファイバのコア部をレジスト表
面から約１０μm 程度の段差（凹み）が形成されるまで
エッチングする。多層膜蒸着工程 エッチング後のアダプタを蒸着室に装着し、レジストを
除去したコア部端面に、常法に従い、ＳｉＯ2 膜とＴｉ
Ｏ2 膜を交互に約１０μm の厚さ（42層）に蒸着積層す
ることにより誘電体多層膜１９を形成する。蒸着方法と
しては高エネルギーの得られる電子ビーム蒸着法などを
使用することができる。レジスト除去工程 蒸着後、アダプタ端面に設けたレジストの表面を剥離液
によって洗浄、除去し、純水にて洗い流す。以上の製造
工程を経て、図２に示すように、アダプタ端面の光ファ
イバコア部に特定の波長に対する選択性を有する誘電体
多層膜を形成した光フィルタが得られる。
【０００９】図３の製造工程に従って得た光フィルタに
ついて、白色光源、スペクトルアナライザーを使用し、
サンプル挿入前後の波長特性を比較し、サンプル自体の
波長特性を調べた。この結果を図４に示した。図示する
ように、本実施例の光フィルタを通過する光は、１．３
１〜１．５５μm の波長領域において、伝送損失が０．
１１から５６ｄＢに急激に増大しており、従って、本発
明の光フィルタはこの部分の波長を有する光に対して良
好な波長選択性を有していることがわかる。
ついて、白色光源、スペクトルアナライザーを使用し、
サンプル挿入前後の波長特性を比較し、サンプル自体の
波長特性を調べた。この結果を図４に示した。図示する
ように、本実施例の光フィルタを通過する光は、１．３
１〜１．５５μm の波長領域において、伝送損失が０．
１１から５６ｄＢに急激に増大しており、従って、本発
明の光フィルタはこの部分の波長を有する光に対して良
好な波長選択性を有していることがわかる。
【００１０】
【発明の効果】従来はコネクタ部分と光フィルタ介設部
分との双方でファイバが結合されているが、本発明に係
る光フィルタは、コネクタの接続端面に波長選択性を有
する多層膜を形成しているので光ファイバの結合はコネ
クタ部分に限られ、結合箇所が少ないので伝送損失が低
減する。また、該光フィルタはコネクタと一体に形成さ
れているのでコネクタの接続と同時に光フィルタを介設
できるので作業性に優れる。さらに、本発明の光フィル
タは、接続端面の光ファイバコア部に直接、誘電体多層
膜を蒸着した構造であるので、従来のような機械的構造
不良による劣化がなく、しかも小型化でき、加工組立て
工程も少ない。また本発明の光フィルタは、接続端面か
ら僅かに凹ませたコア部に上記多層膜を形成しているの
で、他方の接続端面に多層膜が接触せず、多層膜の損傷
が防止され、耐久性と信頼性が高い。
分との双方でファイバが結合されているが、本発明に係
る光フィルタは、コネクタの接続端面に波長選択性を有
する多層膜を形成しているので光ファイバの結合はコネ
クタ部分に限られ、結合箇所が少ないので伝送損失が低
減する。また、該光フィルタはコネクタと一体に形成さ
れているのでコネクタの接続と同時に光フィルタを介設
できるので作業性に優れる。さらに、本発明の光フィル
タは、接続端面の光ファイバコア部に直接、誘電体多層
膜を蒸着した構造であるので、従来のような機械的構造
不良による劣化がなく、しかも小型化でき、加工組立て
工程も少ない。また本発明の光フィルタは、接続端面か
ら僅かに凹ませたコア部に上記多層膜を形成しているの
で、他方の接続端面に多層膜が接触せず、多層膜の損傷
が防止され、耐久性と信頼性が高い。
【図１】本発明に係る光フィルタの一例を示す部分組立
て概略斜視図。
て概略斜視図。
【図２】本発明に係る光フィルタの概略断面図。
【図３】本発明に係る光フィルタの製造工程図。
【図４】本発明に係る光フィルタの波長選択特性を示す
グラフ。
グラフ。
【図５】従来の光フィルタの一例を示す概略斜視図。
１１、１２−接続プラグ １５−アダプタ １６ー光ファイバ １６ａ−コア部 １６ｂ−クラッド １７−ガイドピン １８−接続端面 １９−多層膜 ２１、２２−光ファイバ
Claims (3)
- 【請求項１】 光コネクタ接続端面の光ファイバコア部
が該端面よりも僅かに凹んで形成されており、該コア部
端面に波長選択性を有する多層膜が蒸着されていること
を特徴とする光フィルタ。 - 【請求項２】 光コネクタの接続プラグ間に、アダプタ
が設けられており、該アダプタには接続プラグと同軸に
光ファイバが内装され、該光ファイバのコア部端面が該
アダプタの接続端面よりも僅かに凹んで形成され、該コ
ア部端面にＳｉＯ2 膜およびＴｉＯ2 膜を交互に蒸着し
てなる誘電体多層膜フィルタが形成されている請求項１
の光フィルタ。 - 【請求項３】 光コネクタの接続端面にコア部を除く部
分を覆うレジストを設け、次いで該接続端面をウェット
エッチングして該コア部を該接続端面から数μm 凹ま
せ、さらに該コア部端面にＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2 膜を交
互に蒸着して波長選択性を有する誘電体多層膜フィルタ
を形成した後に上記レジストを除去することを特徴とす
る光フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04359780A JP3141595B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 光フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04359780A JP3141595B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 光フィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201916A true JPH06201916A (ja) | 1994-07-22 |
| JP3141595B2 JP3141595B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=18466255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04359780A Expired - Fee Related JP3141595B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 光フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141595B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005208192A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujikura Ltd | 光通信線路用光部品 |
| KR20110126552A (ko) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 | 광 커넥터 모듈 |
| JPWO2017006399A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2018-05-24 | オリンパス株式会社 | 光源側コネクタ、内視鏡側コネクタ及び内視鏡用光コネクタ |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP04359780A patent/JP3141595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005208192A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujikura Ltd | 光通信線路用光部品 |
| KR20110126552A (ko) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 | 광 커넥터 모듈 |
| JP2012003245A (ja) * | 2010-05-17 | 2012-01-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光コネクタモジュール |
| US9046664B2 (en) | 2010-05-17 | 2015-06-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connector module |
| JPWO2017006399A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2018-05-24 | オリンパス株式会社 | 光源側コネクタ、内視鏡側コネクタ及び内視鏡用光コネクタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3141595B2 (ja) | 2001-03-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4296995A (en) | Optical fiber beam splitter couplers employing coatings with dichroic properties | |
| US6671438B2 (en) | Optical waveguide, optical module, and their fabrication method | |
| JP3197758B2 (ja) | 光結合装置およびその製造方法 | |
| US5930421A (en) | Optical fiber and method for coupling optical fibers | |
| US5546486A (en) | Optical fiber end for application in an optical isolator and a method of manufacture thereof | |
| US5978531A (en) | Optical isolator and optical amplifier waveguide device | |
| JP3141595B2 (ja) | 光フィルタの製造方法 | |
| JP2004013155A (ja) | シングルモード光スイッチ、薄膜光スイッチ、光スイッチ、及びシングルモード光スイッチの製造方法 | |
| KR20060108767A (ko) | 렌즈 섬유 및 렌즈 섬유의 제조방법 | |
| JPH11202126A (ja) | 誘電体多層膜フィルタ | |
| JP2608633B2 (ja) | 誘電体多層膜フィルタおよびその製造方法並びにこれを用いた光学要素 | |
| JP7338058B2 (ja) | フェルール、光コネクタ、光通信素子、通信装置、及び準備方法 | |
| JP2957399B2 (ja) | ビームスプリッタおよび光分岐回路 | |
| JPH063550A (ja) | 光ファイバーの接続部およびその製法 | |
| JP2000047043A (ja) | フィルタ挿入型導波路デバイスとその製造方法 | |
| DE112008000727T5 (de) | Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleitersubstrats für die Oberflächenbestückung | |
| US7224870B2 (en) | Method of coupling fiber to waveguide | |
| JPS6360410A (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
| JP2002182062A (ja) | コネクター型光合分波器 | |
| JPH10123366A (ja) | 光コネクタ | |
| JP2002258088A (ja) | プリント配線板への高分子光導波路形成方法 | |
| JP2004125946A (ja) | 導波路と光ファイバとの接続方法及びその接続構造 | |
| JPS63228110A (ja) | 薄膜被着方法 | |
| JP3886249B2 (ja) | ファイバアレイ | |
| JPH0538324Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |