JPH06196048A - 真空バルブの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 絶縁容器の内部を減圧操作している間、ロウ
材上に通気のための間隙を確保して、絶縁容器内を所定
の真空度まで迅速かつ確実に減圧できるようにする。 【構成】 絶縁容器１と金属キャップ２，５との接合部
間にロウ材１０を介装する。このロウ材１０には、所定
厚さで環状に形成された平板部分１１と、その表面にほ
ぼ放射状に配置された複数の突起部分１２とを設ける。
この状態で、減圧雰囲気中において絶縁容器１内を減圧
しながら、ロウ材１０を加熱溶融させて、絶縁容器１と
金属キャップ２，５とをロウ付け固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、真空バルブの製造方
法に係り、特に絶縁容器の開口端部に金属キャップを気
密封着する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の真空バルブの製造方法と
しては、次のような方法が知られている。すなわち、筒
状の絶縁容器内に一対の電極を接離可能に収容した状態
で、絶縁容器の開口端部と金属キャップとの間に平板状
又は側面波形状のロウ材を介装する。そして、これを減
圧加熱室等の減圧雰囲気中に配置し、ロウ材と金属キャ
ップや絶縁容器の開口端部との間隙を通して絶縁容器の
内部を減圧しながら、ロウ材を加熱溶融させて、絶縁容
器の開口端部に金属キャップを気密封着する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、平板状のロ
ウ材を使用する場合には、そのロウ材と金属キャップや
絶縁容器の開口端部との間隙が狭いため、絶縁容器内が
所定の真空度に達するまでに相当の時間を要したり、所
定の真空度まで減圧することができなかったりするとい
う問題があった。また、側面波形状のロウ材を使用する
場合には、絶縁容器の内部を減圧している途中で、ロウ
材が加熱軟化して平板状になり、上記と同様の問題があ
った。

【０００４】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであって、その目的
とするところは、絶縁容器の内部を減圧操作している
間、ロウ材上に間隙を確保しておくことができて、絶縁
容器内を所定の真空度まで迅速に、しかも確実に減圧す
ることができる真空バルブの製造方法を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、筒状の絶縁容器内に
一対の電極を接離可能に収容し、絶縁容器内を減圧しな
がら、その開口端部に金属キャップを気密封着する真空
バルブの製造方法において、前記絶縁容器と金属キャッ
プとの接合部間に、所定厚さで環状に形成された平板部
分と、その表面に設けられた複数の突起部分とよりなる
ロウ材を介装し、この状態で、減圧雰囲気中においてロ
ウ材を加熱溶融させて、絶縁容器と金属キャップとをロ
ウ付け固定することを特徴とするものである。

【０００６】また、請求項２に記載の発明では、請求項
１に記載の真空バルブの製造方法において、前記突起部
分は、ほぼ放射状に配置されていることを特徴とするも
のである。さらに、請求項３に記載の発明では、請求項
１に記載の発明において、前記ロウ材の突起部分を、平
板部分よりも溶融温度の高い材料で形成したことを特徴
とするものである。

【０００７】

【作用】上記のように構成された真空バルブの製造方法
によれば、ロウ材が環状の平板状部分と、その表面に設
けられた複数の突起部分とから構成されている。そのた
め、絶縁容器と金属キャップとの接合部間にロウ材を介
装した状態で、これを減圧雰囲気中において減圧加熱し
た場合、絶縁容器の内部を減圧している間中、複数の突
起部分間において通気のための間隙を確保しておくこと
ができる。従って、絶縁容器内を所定の真空度まで迅
速、かつ確実に減圧することができ、この状態でロウ材
の突起部分が溶融されて、絶縁容器と金属キャップとが
ロウ付け固定される。

【０００８】この場合、上記突起部分がほぼ放射状に配
置されているので、それら突起部分間において絶縁容器
から外向きに拡がる間隙が形成され、より効果的な減圧
操作を行うことができる。加えて、ロウ材の突起部分
を、平板部分よりも溶融温度の高い材料で形成すること
により、突起部分が減圧操作終了まで間隙を確保でき
る。

【０００９】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づいて
具体的に説明する。図３に示すように、セラミックスよ
りなる筒形の絶縁容器１の開口端部には、一対の金属キ
ャップ２，５がロウ付けによって気密封着されている。
一方の金属キャップ２には、ベローズ３を介して、可動
電極４が取付けられている。他方の金属キャップ５に
は、前記可動電極４と軸線を合わせて、固定電極６が取
付けられ、両電極４，６が接離可能に構成されている。
なお、７は絶縁容器１の内周面を保護するためのアーク
シールドである。

【００１０】次に、真空バルブのロウ付けについて説明
する。ロウ付けは、図１に示すように、絶縁容器１と金
属キャップ２，５の接合部間にロウ材１０を介装して実
施される。このロウ材１０は図２に示すように、環状に
形成された厚さｔの平板部分１１と、放射状に配置され
た突起部分１２とをもって構成されている。そして、こ
の突起部分１２は、その直径ｄが前記平板部分１１の厚
さｔより大きい丸棒状のロウを、接着により仮止めして
形成される。

【００１１】そして、真空バルブは、絶縁容器１と金属
キャップ２，５間に前記ロウ材１０を介装した状態で、
図示しない減圧加熱室中に配置される。次いで、ロウ付
けが、例えば図４に工程を表す符号Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ
及びＦに示すように、加熱及び減圧のための数段階の各
工程を経て行われる。

【００１２】さて、本発明では前記のように、平板部分
１１に突起部分１２を設けたロウ材１０によってロウ付
けが行われるので、前記Ｃ及びＤにおける減圧工程の
間、絶縁容器１と金属キャップ２，５の接合部間に間隙
Ｓが残り、この間隙から通気されて、絶縁容器１内の減
圧が継続される。

【００１３】また、この実施例では、突起部分１２を放
射状に配置したことによって、前記間隙Ｓが絶縁容器１
から外部に向けて扇状に拡がるようにしたので、絶縁容
器１内の減圧が迅速に進行して、所定の真空度を短時間
に得ることができる。

【００１４】さらに、前記のロウ材１０において、突起
部分１２の溶融温度、すなわちロウの融点が平板部分１
１より高くなる材料を選定して本発明を実施すれば、前
記間隙Ｓの確保が安定するので、真空度の向上や減圧時
間の短縮を図ることができる。

【００１５】なお、この発明は前記実施例の構成に限定
されるものではなく、例えば、前記実施例では突起部分
１２を丸棒状に形成したが、その他角柱状や半円柱状に
形成したり、突起部分１２の間隔を変えたり、突起部分
１２を所定間隔をおいて周方向に配置したり等、この発
明の趣旨から逸脱しない範囲で、各部の構成を任意に変
更して具体化してもよい。

【００１６】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているため、絶縁容器の内部を減圧操作している間、
ロウ材上に通気のための間隙を確保しておくことができ
て、絶縁容器内を所定の真空度まで迅速に、しかも確実
に減圧することができるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明を具体化した真空バルブの製造方法の
一実施例を示すもので、絶縁容器の開口端部に金属キャ
ップをロウ付け固定する状態を示す部分断面図である。

【図２】そのロウ付け固定に使用するロウ材を示す斜視
図である。

【図３】真空バルブの組付完了状態を部分的に断面にし
て示す正面図である。

【図４】減圧ロウ付け時における加熱特性を示すグラフ
である。

【符号の説明】

１…絶縁容器、２…金属キャップ、４…可動電極、６…
固定電極、１０…ロウ材、１１…平板部分、１２…突起
部分、Ｓ…間隙。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筒状の絶縁容器内に一対の電極を接離可
   能に収容し、絶縁容器内を減圧しながら、その開口端部
   に金属キャップを気密封着する真空バルブの製造方法に
   おいて、 前記絶縁容器と金属キャップとの接合部間に、所定厚さ
   で環状に形成された平板部分と、その表面に設けられた
   複数の突起部分とよりなるロウ材を介装し、この状態
   で、減圧雰囲気中においてロウ材を加熱溶融させて、絶
   縁容器と金属キャップとをロウ付け固定することを特徴
   とする真空バルブの製造方法。
2. 【請求項２】 前記突起部分は、ほぼ放射状に配置され
   ていることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブの
   製造方法。
3. 【請求項３】 前記ロウ材の突起部分を、平板部分より
   も溶融温度の高い材料で形成したことを特徴とする請求
   項１に記載の真空バルブの製造方法。