JPH06194114A - 静電容量センサ - Google Patents
静電容量センサInfo
- Publication number
- JPH06194114A JPH06194114A JP4356956A JP35695692A JPH06194114A JP H06194114 A JPH06194114 A JP H06194114A JP 4356956 A JP4356956 A JP 4356956A JP 35695692 A JP35695692 A JP 35695692A JP H06194114 A JPH06194114 A JP H06194114A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- inner electrode
- film thickness
- capacitance
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 非接触で膜厚などをより正確に検知できるよ
うにする。 【構成】 絶縁物製の面状基板１の片面に内電極３とこ
れを囲む形状の外電極２とを配置した。 【効果】 面状基板の他面に生ずる液の膜厚に応じて内
外電極間の静電容量が変化し、この静電容量に対応した
出力電圧が得られるので、膜厚を正確に検知できるセン
サが得られる。
うにする。 【構成】 絶縁物製の面状基板１の片面に内電極３とこ
れを囲む形状の外電極２とを配置した。 【効果】 面状基板の他面に生ずる液の膜厚に応じて内
外電極間の静電容量が変化し、この静電容量に対応した
出力電圧が得られるので、膜厚を正確に検知できるセン
サが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液の膜厚等の測定に
用いられる静電容量センサに関するものである。
用いられる静電容量センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の静電容量センサの代表的なもの
としては、図３のようなものが知られている。これは、
平板状の電極１１に向かい合う平板状の対電極１３を設
け、その間の静電容量を測定することにより、電極１３
上に存在する被測定物１２の膜厚を検出する静電容量セ
ンサである。
としては、図３のようなものが知られている。これは、
平板状の電極１１に向かい合う平板状の対電極１３を設
け、その間の静電容量を測定することにより、電極１３
上に存在する被測定物１２の膜厚を検出する静電容量セ
ンサである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法で
は一対の平板状電極を向い合わせに設ける必要があるた
め、自動車のフロントガラス等に代表される基板上の液
の膜厚測定には種々の制約があり、実用化は極めて困難
である。この発明はこれらの点に着目し、従来に比べて
制約の少ない静電容量センサを提供し、面体や管体内の
液の膜厚などをより正確に検知できるようにすることを
課題としてなされたものである。
は一対の平板状電極を向い合わせに設ける必要があるた
め、自動車のフロントガラス等に代表される基板上の液
の膜厚測定には種々の制約があり、実用化は極めて困難
である。この発明はこれらの点に着目し、従来に比べて
制約の少ない静電容量センサを提供し、面体や管体内の
液の膜厚などをより正確に検知できるようにすることを
課題としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、絶縁物からなる面状基板の片面に
内電極とこの内電極を囲む形状の外電極とを配置してい
る。この場合、内電極を陽極として、外電極を陰極とし
てそれぞれ用いることが望ましい。
めに、この発明では、絶縁物からなる面状基板の片面に
内電極とこの内電極を囲む形状の外電極とを配置してい
る。この場合、内電極を陽極として、外電極を陰極とし
てそれぞれ用いることが望ましい。
【０００５】
【作用】この発明においては、面状基板の片面に配置さ
れた内電極と外電極との間に電界が形成され、その分布
の状態が基板の他面上に形成される液膜の厚さに応じて
変化し、両電極間の静電容量が変化する。静電容量の変
化は出力電圧の増減として検知されるので、あらかじめ
測定しておいた基準値と比較することにより、液の膜厚
が検出される。
れた内電極と外電極との間に電界が形成され、その分布
の状態が基板の他面上に形成される液膜の厚さに応じて
変化し、両電極間の静電容量が変化する。静電容量の変
化は出力電圧の増減として検知されるので、あらかじめ
測定しておいた基準値と比較することにより、液の膜厚
が検出される。
【０００６】
【実施例】以下、図示の実施例について説明する。図１
において、１は例えばガラス板やアクリル板のような絶
縁物製の面状基板、２及び３は面状基板１の片面に形成
された外電極及び内電極であり、この面状基板１は平面
あるいは曲面のいずれであってもよい。電極２，３は例
えばアルミニウム箔の接着や導電性塗料の塗布により形
成したもので、図のように円形の内側電極３を囲んで外
側電極２が閉じたリング状に形成されている。４は面状
基板１の表面に存在する液膜を示している。
において、１は例えばガラス板やアクリル板のような絶
縁物製の面状基板、２及び３は面状基板１の片面に形成
された外電極及び内電極であり、この面状基板１は平面
あるいは曲面のいずれであってもよい。電極２，３は例
えばアルミニウム箔の接着や導電性塗料の塗布により形
成したもので、図のように円形の内側電極３を囲んで外
側電極２が閉じたリング状に形成されている。４は面状
基板１の表面に存在する液膜を示している。
【０００７】この実施例は、例えば自動車のフロントガ
ラス表面の水膜のように、絶縁性の基板上に形成される
導電性液体の膜厚測定に利用できる。すなわち、外電極
２及び内電極３との間に形成される電界は面状基板１上
の液膜４の厚みによりその分布が変わり、それに応じて
両電極２，３間の静電容量が変化するので、あらかじめ
測定しておいた基準値と対比することによって膜厚を検
出できるのである。
ラス表面の水膜のように、絶縁性の基板上に形成される
導電性液体の膜厚測定に利用できる。すなわち、外電極
２及び内電極３との間に形成される電界は面状基板１上
の液膜４の厚みによりその分布が変わり、それに応じて
両電極２，３間の静電容量が変化するので、あらかじめ
測定しておいた基準値と対比することによって膜厚を検
出できるのである。
【０００８】図１の実施例は狭い範囲の局所的な測定に
適しているが、図２に示すように電極２，３を細長い形
状とすることにより、比較的広い範囲の平均値を測定す
るのに適したセンサが得られる。また、図２のセンサを
例えば長い管体に管軸方向に配置し、あるいは液タンク
の壁面に縦に配置することにより、液面レベルの検出に
も使用することができる。また、図１及び図２の実施例
においては、電極２を陰極、電極３を陽極としてそれぞ
れ使用する。これにより、電極２にシールド効果が生じ
て外乱が外電極に吸収され、電極２と３の間に形成され
る電界に影響を与えにくくなる。更に、センサ範囲外の
本来不必要なデータも検出しにくくなり、測定結果に大
きな誤差を生ずることが防止される。
適しているが、図２に示すように電極２，３を細長い形
状とすることにより、比較的広い範囲の平均値を測定す
るのに適したセンサが得られる。また、図２のセンサを
例えば長い管体に管軸方向に配置し、あるいは液タンク
の壁面に縦に配置することにより、液面レベルの検出に
も使用することができる。また、図１及び図２の実施例
においては、電極２を陰極、電極３を陽極としてそれぞ
れ使用する。これにより、電極２にシールド効果が生じ
て外乱が外電極に吸収され、電極２と３の間に形成され
る電界に影響を与えにくくなる。更に、センサ範囲外の
本来不必要なデータも検出しにくくなり、測定結果に大
きな誤差を生ずることが防止される。
【０００９】なお、図１及び図２の実施例においては、
面状基板１上の液膜が一様な膜厚で形成されている場合
と滴状となって分布している場合とを出力電圧から区別
することはできないが、そのいずれであるかは被測定物
の種類や測定の条件等から事前に分かっているので、測
定に支障が生ずることはない。
面状基板１上の液膜が一様な膜厚で形成されている場合
と滴状となって分布している場合とを出力電圧から区別
することはできないが、そのいずれであるかは被測定物
の種類や測定の条件等から事前に分かっているので、測
定に支障が生ずることはない。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明は、絶縁物からなる面状基板の片面に内電極とこの内
電極を囲む形状の外電極とを配置したものである。従っ
て、その構造上の特徴からセンサ取り付け位置や姿勢に
制約を受けることがなく、また液膜の生成などを阻害す
ることもなく面状基板上に生ずる液の膜厚を測定するこ
とが可能となる。特に、内電極を陽極として、外電極を
陰極として用いたものでは、シールド効果が発揮されて
外乱の影響を受けにくくなり、測定精度が向上される。
明は、絶縁物からなる面状基板の片面に内電極とこの内
電極を囲む形状の外電極とを配置したものである。従っ
て、その構造上の特徴からセンサ取り付け位置や姿勢に
制約を受けることがなく、また液膜の生成などを阻害す
ることもなく面状基板上に生ずる液の膜厚を測定するこ
とが可能となる。特に、内電極を陽極として、外電極を
陰極として用いたものでは、シールド効果が発揮されて
外乱の影響を受けにくくなり、測定精度が向上される。
【図１】この発明の一実施例の断面図及び平面図であ
る。
る。
【図２】他の実施例の電極配置を示す平面図である。
【図３】従来例の縦断面図である。
１ 面状基板 ２ 外電極 ３ 内電極
Claims (2)
- 【請求項１】 絶縁物からなる面状基板の片面に内電極
とこの内電極を囲む形状の外電極とを配置したことを特
徴とする静電容量センサ。 - 【請求項２】 内電極が陽極であり、外電極が陰極であ
る請求項１記載の静電容量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4356956A JPH06194114A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | 静電容量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4356956A JPH06194114A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | 静電容量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06194114A true JPH06194114A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18451626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4356956A Pending JPH06194114A (ja) | 1992-12-22 | 1992-12-22 | 静電容量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06194114A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000283702A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Fotonikusu:Kk | 距離センサおよび距離測定装置 |
| JP2000304504A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Fotonikusu:Kk | 厚みセンサおよび厚み測定装置 |
| US6575621B1 (en) * | 1998-10-30 | 2003-06-10 | Optiguide Ltd. | Dew point hygrometers and dew sensors |
| US6926439B2 (en) | 1998-10-30 | 2005-08-09 | Optiguide Ltd. | Dew point hygrometers and dew sensors |
| CN109708564A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-05-03 | 天津大学 | 气液/油气水多相流液膜厚度分布式电导测量方法 |
-
1992
- 1992-12-22 JP JP4356956A patent/JPH06194114A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6575621B1 (en) * | 1998-10-30 | 2003-06-10 | Optiguide Ltd. | Dew point hygrometers and dew sensors |
| US6926439B2 (en) | 1998-10-30 | 2005-08-09 | Optiguide Ltd. | Dew point hygrometers and dew sensors |
| JP2000283702A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Fotonikusu:Kk | 距離センサおよび距離測定装置 |
| JP2000304504A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Fotonikusu:Kk | 厚みセンサおよび厚み測定装置 |
| CN109708564A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-05-03 | 天津大学 | 气液/油气水多相流液膜厚度分布式电导测量方法 |
| CN109708564B (zh) * | 2018-12-13 | 2020-11-06 | 天津大学 | 气液/油气水多相流液膜厚度分布式电导测量方法 |
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