JPH06187935A - イオン源 - Google Patents
イオン源Info
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- JPH06187935A JPH06187935A JP4249244A JP24924492A JPH06187935A JP H06187935 A JPH06187935 A JP H06187935A JP 4249244 A JP4249244 A JP 4249244A JP 24924492 A JP24924492 A JP 24924492A JP H06187935 A JPH06187935 A JP H06187935A
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- Japan
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 26
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大きなイオン電流を取り出せるようにする。
【構成】 熱電子発生材料５ａを付設した引出電極５に
より、プラズマチャンバ１内で生成したイオンを引出電
極５により引き出すが、そのイオンの一部が、引出電極
５に付設した熱電子発生材料５ａに衝突し、熱電子発生
材料５ａを加熱する。すると、熱電子発生材料５ａが電
子を放出し、その電子をプラズマチャンバ内１へ供給す
る。 【効果】 プラズマチャンバ内の電子密度が高くなるの
で、イオン化効率を向上させることが出来る。従って、
イオン電流を大きく出来る。
より、プラズマチャンバ１内で生成したイオンを引出電
極５により引き出すが、そのイオンの一部が、引出電極
５に付設した熱電子発生材料５ａに衝突し、熱電子発生
材料５ａを加熱する。すると、熱電子発生材料５ａが電
子を放出し、その電子をプラズマチャンバ内１へ供給す
る。 【効果】 プラズマチャンバ内の電子密度が高くなるの
で、イオン化効率を向上させることが出来る。従って、
イオン電流を大きく出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、イオン源に関し、さ
らに詳しくは、イオン化効率を向上させることが可能な
イオン源に関する。
らに詳しくは、イオン化効率を向上させることが可能な
イオン源に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のイオン源としては、例えば、理化
学研究所報告（第６４巻 第４号 第１４３頁 １９８
８年１２月発行）に掲載された「ＥＣＲ（＝電子サイク
ロトロン共振）多価イオン源」が挙げられる。図３は、
その断面図である。このＥＣＲ多価イオン源Ｂでは、永
久磁石２とソレノイドコイル３とによる合成磁場を利用
して、プラズマチャンバ１内に、電子サイクロトロン共
振領域４が形成される。
学研究所報告（第６４巻 第４号 第１４３頁 １９８
８年１２月発行）に掲載された「ＥＣＲ（＝電子サイク
ロトロン共振）多価イオン源」が挙げられる。図３は、
その断面図である。このＥＣＲ多価イオン源Ｂでは、永
久磁石２とソレノイドコイル３とによる合成磁場を利用
して、プラズマチャンバ１内に、電子サイクロトロン共
振領域４が形成される。
【０００３】プラズマチャンバ１の一端（図中、左端）
１ａ側には、前記電子サイクロトロン共振領域４で生成
されたイオンを、外部へ導出するための引出電極５が配
設されている。プラズマチャンバ１の他端（図中、右
端）１ｂ側には、延長筒体６を介して、プラズマチャン
バ１内を高真空下に保つための真空ポンプ７およびプラ
ズマチャンバ１内へマイクロ波８を導入するためのマイ
クロ波導入管９が配設されている。また、前記延長筒体
６内には、プラズマチャンバ１内へガス１０を導入する
ためのガス導入管１１が配設されている。
１ａ側には、前記電子サイクロトロン共振領域４で生成
されたイオンを、外部へ導出するための引出電極５が配
設されている。プラズマチャンバ１の他端（図中、右
端）１ｂ側には、延長筒体６を介して、プラズマチャン
バ１内を高真空下に保つための真空ポンプ７およびプラ
ズマチャンバ１内へマイクロ波８を導入するためのマイ
クロ波導入管９が配設されている。また、前記延長筒体
６内には、プラズマチャンバ１内へガス１０を導入する
ためのガス導入管１１が配設されている。
【０００４】真空ポンプ７にてプラズマチャンバ１内を
例えば１０-6Torrの真空状態とした後、ソレノイドコイ
ル３を励磁し、マイクロ波８をプラズマチャンバ４内へ
導入すると、プラズマチャンバ１内に、電子サイクロト
ロン共振領域４が形成される。ガス１０を供給すると、
電子サイクロトロン共振領域４で、サイクロトロン共振
により加速された電子がガス分子に衝突し、ガス分子を
イオン化する。電子は、イオンにも衝突し、多価イオン
化する。こうして、電子サイクロトロン共振により多価
イオンが次第に高濃度になる。高濃度になった多価イオ
ンの一部は、引出電極５側に拡散し、引出電極５の電界
により引き出され、外部へ導出される。
例えば１０-6Torrの真空状態とした後、ソレノイドコイ
ル３を励磁し、マイクロ波８をプラズマチャンバ４内へ
導入すると、プラズマチャンバ１内に、電子サイクロト
ロン共振領域４が形成される。ガス１０を供給すると、
電子サイクロトロン共振領域４で、サイクロトロン共振
により加速された電子がガス分子に衝突し、ガス分子を
イオン化する。電子は、イオンにも衝突し、多価イオン
化する。こうして、電子サイクロトロン共振により多価
イオンが次第に高濃度になる。高濃度になった多価イオ
ンの一部は、引出電極５側に拡散し、引出電極５の電界
により引き出され、外部へ導出される。
【０００５】
【発明が解決しょうとする課題】上記従来のＥＣＲ多価
イオン源Ｂにおいて、イオン電流を大きくするために
は、多価イオンを高濃度に生成すればよいが、電子サイ
クロトロン共振領域４でトラップされている電子が限ら
れているため、生成できる多価イオンに限界があり、イ
オン電流を大きくできない問題点があった。そこで、こ
の発明の目的は、電子サイクロトロン共振領域に電子を
外から供給することにより多価イオンを高濃度化可能と
し，これによりイオン電流を大きく出来るようにしたイ
オン源を提供することにある。
イオン源Ｂにおいて、イオン電流を大きくするために
は、多価イオンを高濃度に生成すればよいが、電子サイ
クロトロン共振領域４でトラップされている電子が限ら
れているため、生成できる多価イオンに限界があり、イ
オン電流を大きくできない問題点があった。そこで、こ
の発明の目的は、電子サイクロトロン共振領域に電子を
外から供給することにより多価イオンを高濃度化可能と
し，これによりイオン電流を大きく出来るようにしたイ
オン源を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明のイオン源は、
プラズマチャンバ内で生成されたイオンを引出電極によ
り引き出して外部へ導出するイオン源において、引出電
極に熱電子発生材料を付設し、プラズマチャンバ内から
引き出されたイオンとの衝突により前記熱電子発生材料
がプラズマチャンバ内へ電子を供給することを構成上の
特徴とするものである。上記構成において、熱電子発生
材料としては、ホウ化ランタン（LaB6）を用いることが
好ましい。また、上記構成において、引出電極は、移動
可能とすることが好ましい。
プラズマチャンバ内で生成されたイオンを引出電極によ
り引き出して外部へ導出するイオン源において、引出電
極に熱電子発生材料を付設し、プラズマチャンバ内から
引き出されたイオンとの衝突により前記熱電子発生材料
がプラズマチャンバ内へ電子を供給することを構成上の
特徴とするものである。上記構成において、熱電子発生
材料としては、ホウ化ランタン（LaB6）を用いることが
好ましい。また、上記構成において、引出電極は、移動
可能とすることが好ましい。
【０００７】
【作用】この発明のイオン源では、引出電極に熱電子発
生材料が付設されている。このため、プラズマチャンバ
内から引き出されたイオンの一部が熱電子発生材料に衝
突する。すると、熱電子発生材料が加熱され、電子を放
出する。熱電子発生材料から放出された電子は、電界ま
たは拡散によりプラズマチャンバ内へ飛行する。したが
って、プラズマチャンバ内の電子密度が高くなり、イオ
ン化効率を向上させることが出来る。
生材料が付設されている。このため、プラズマチャンバ
内から引き出されたイオンの一部が熱電子発生材料に衝
突する。すると、熱電子発生材料が加熱され、電子を放
出する。熱電子発生材料から放出された電子は、電界ま
たは拡散によりプラズマチャンバ内へ飛行する。したが
って、プラズマチャンバ内の電子密度が高くなり、イオ
ン化効率を向上させることが出来る。
【０００８】
【実施例】以下、図に示す実施例に基づいてこの発明を
さらに詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限
定されるものではない。図１は、この発明の電子サイク
ロトロン共振イオン源の一実施例の断面図である。な
お、従来例と同様の構成要素には、同じ参照番号を付し
ている。この電子サイクロトロン共振イオン源Ａでは、
その中央部に、円筒状のプラズマチャンバ１を備えてい
る。
さらに詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限
定されるものではない。図１は、この発明の電子サイク
ロトロン共振イオン源の一実施例の断面図である。な
お、従来例と同様の構成要素には、同じ参照番号を付し
ている。この電子サイクロトロン共振イオン源Ａでは、
その中央部に、円筒状のプラズマチャンバ１を備えてい
る。
【０００９】永久磁石２は、プラズマチャンバ１の径方
向（図中、上下方向）に磁場を形成する。ソレノイドコ
イル３は、ソレノイドコイル用電源３Ａから供給される
コイル電流によって励磁され、プラズマチャンバ１の軸
線方向（図中、左右方向）に磁場を形成する。電子サイ
クロトロン共振領域４は、前記永久磁石２とソレノイド
コイル３とによる合成磁場および後述するマイクロ波に
より、プラズマチャンバ１内に形成される。
向（図中、上下方向）に磁場を形成する。ソレノイドコ
イル３は、ソレノイドコイル用電源３Ａから供給される
コイル電流によって励磁され、プラズマチャンバ１の軸
線方向（図中、左右方向）に磁場を形成する。電子サイ
クロトロン共振領域４は、前記永久磁石２とソレノイド
コイル３とによる合成磁場および後述するマイクロ波に
より、プラズマチャンバ１内に形成される。
【００１０】プラズマチャンバ１の一端（図中、左端）
１ａ側には、前記電子サイクロトロン共振領域４で生成
されたイオンを、導出管２４へ導出するための引出電極
５が配設されている。引出電極５は、プラズマチャンバ
１の軸線方向に移動可能な状態で保持筒体２１に保持さ
れている。引出電極５のプラズマチャンバ１側の先端部
には、図２に詳細に示すように、熱電子発生材料５ａが
付設されている。この熱電子発生材料５ａは、例えばホ
ウ化ランタン（LaB6）である。前記保持筒体２１は、絶
縁体２２を介して、前記プラズマチャンバ１の一端１ａ
と接続している。
１ａ側には、前記電子サイクロトロン共振領域４で生成
されたイオンを、導出管２４へ導出するための引出電極
５が配設されている。引出電極５は、プラズマチャンバ
１の軸線方向に移動可能な状態で保持筒体２１に保持さ
れている。引出電極５のプラズマチャンバ１側の先端部
には、図２に詳細に示すように、熱電子発生材料５ａが
付設されている。この熱電子発生材料５ａは、例えばホ
ウ化ランタン（LaB6）である。前記保持筒体２１は、絶
縁体２２を介して、前記プラズマチャンバ１の一端１ａ
と接続している。
【００１１】プラズマチャンバ１の他端（図中、右端）
１ｂ側には、延長筒体６を介して、プラズマチャンバ１
内を高真空に保つための真空ポンプ７が配設されてい
る。また、前記延長筒体６内には、プラズマチャンバ１
内へガス１０を導入するためのガス導入管１１が配設さ
れている。
１ｂ側には、延長筒体６を介して、プラズマチャンバ１
内を高真空に保つための真空ポンプ７が配設されてい
る。また、前記延長筒体６内には、プラズマチャンバ１
内へガス１０を導入するためのガス導入管１１が配設さ
れている。
【００１２】前記引出電極５を保持する保持筒体２１と
真空ポンプ７との間には、引出電極用高圧電源２５が接
続されており、前記プラズマチャンバ１の一端１ａと引
出電極５との間に高電圧の引出電圧が加わるようになっ
ている。但し、プラズマチャンバ１の一端１ａが正極で
あり、引出電極５が負極である。プラズマチャンバ１の
中央部には、マイクロ波源２０で発生するマイクロ波８
をプラズマチャンバ１内へ導入するためのマイクロ波導
波管８Ａが配設されている。
真空ポンプ７との間には、引出電極用高圧電源２５が接
続されており、前記プラズマチャンバ１の一端１ａと引
出電極５との間に高電圧の引出電圧が加わるようになっ
ている。但し、プラズマチャンバ１の一端１ａが正極で
あり、引出電極５が負極である。プラズマチャンバ１の
中央部には、マイクロ波源２０で発生するマイクロ波８
をプラズマチャンバ１内へ導入するためのマイクロ波導
波管８Ａが配設されている。
【００１３】次に、動作について説明する。真空ポンプ
７にてプラズマチャンバ１内を例えば１０-6Torrの真空
状態とした後、ソレノイドコイル用電源３Ａからコイル
電流を供給してソレノイドコイル３を励磁し、プラズマ
チャンバ１内へマイクロ波８を導入すると、プラズマチ
ャンバ１内に電子サイクロトロン共振領域４が形成され
る。ガス１０を供給すると、電子サイクロトロン共振領
域４で、サイクロトロン共振により加速された電子がガ
ス分子に衝突しガス分子をイオン化する。また、電子
は、イオンにも衝突し、多価イオン化する。こうして、
電子サイクロトロン共振により多価イオンが次第に高濃
度になる。高濃度になった多価イオンの一部は、引出電
極５側に拡散し、引出電極５の電界により引き出され、
導出管２４へ導出される。
７にてプラズマチャンバ１内を例えば１０-6Torrの真空
状態とした後、ソレノイドコイル用電源３Ａからコイル
電流を供給してソレノイドコイル３を励磁し、プラズマ
チャンバ１内へマイクロ波８を導入すると、プラズマチ
ャンバ１内に電子サイクロトロン共振領域４が形成され
る。ガス１０を供給すると、電子サイクロトロン共振領
域４で、サイクロトロン共振により加速された電子がガ
ス分子に衝突しガス分子をイオン化する。また、電子
は、イオンにも衝突し、多価イオン化する。こうして、
電子サイクロトロン共振により多価イオンが次第に高濃
度になる。高濃度になった多価イオンの一部は、引出電
極５側に拡散し、引出電極５の電界により引き出され、
導出管２４へ導出される。
【００１４】このとき、プラズマチャンバ１内から引き
出されたイオンの一部が、引出電極５に付設した熱電子
発生材料５ａに衝突して、熱電子発生材料５ａを加熱す
る。加熱された熱電子発生材料５ａは、電子を放出す
る。熱電子発生材料５ａから放出された電子は、前記プ
ラズマチャンバ１の一端１ａと引出電極５との間の電界
によって、イオンとは反対向きに加速されて、プラズマ
チャンバ１の一端１ａの開口を通って電子サイクロトロ
ン共振領域４へ飛行する。電子サイクロトロン共振領域
４へ入った電子は、サイクロトロン共振により加速され
て、ガス分子に衝突し、ガス分子をイオン化する。ま
た、イオンに衝突し、多価イオン化する。かくして、イ
オン化効率が向上し、大きなイオン電流を取り出せるよ
うになる。
出されたイオンの一部が、引出電極５に付設した熱電子
発生材料５ａに衝突して、熱電子発生材料５ａを加熱す
る。加熱された熱電子発生材料５ａは、電子を放出す
る。熱電子発生材料５ａから放出された電子は、前記プ
ラズマチャンバ１の一端１ａと引出電極５との間の電界
によって、イオンとは反対向きに加速されて、プラズマ
チャンバ１の一端１ａの開口を通って電子サイクロトロ
ン共振領域４へ飛行する。電子サイクロトロン共振領域
４へ入った電子は、サイクロトロン共振により加速され
て、ガス分子に衝突し、ガス分子をイオン化する。ま
た、イオンに衝突し、多価イオン化する。かくして、イ
オン化効率が向上し、大きなイオン電流を取り出せるよ
うになる。
【００１５】なお、プラズマチャンバ１内から引き出さ
れたイオンの一部が好適に熱電子発生材料５ａに衝突す
るように、引出電極５を軸線方向に移動して、位置調整
するのが好ましい。
れたイオンの一部が好適に熱電子発生材料５ａに衝突す
るように、引出電極５を軸線方向に移動して、位置調整
するのが好ましい。
【００１６】上記実施例では、電子サイクロトロン共振
イオン源について説明したが、他のタイプのイオン源
（例えばマグネトロンを利用したタイプのイオン源）に
も、この発明を適用可能である。
イオン源について説明したが、他のタイプのイオン源
（例えばマグネトロンを利用したタイプのイオン源）に
も、この発明を適用可能である。
【００１７】
【発明の効果】この発明のイオン源によれば、熱電子発
生材料から電子を放出してプラズマチャンバへ供給し，
プラズマチャンバ内の電子密度を高くできるので、イオ
ン化効率を向上させることが出来る。従って、イオン電
流を大きく出来る。
生材料から電子を放出してプラズマチャンバへ供給し，
プラズマチャンバ内の電子密度を高くできるので、イオ
ン化効率を向上させることが出来る。従って、イオン電
流を大きく出来る。
【図１】この発明のイオン源の一実施例の断面図であ
る。
る。
【図２】図１の装置の引出電極と熱電子発生材料につい
ての断面図である。
ての断面図である。
【図３】従来のイオン源の一例の断面図である。
Ａ 電子サイクロトロン共振イオン源 １ プラズマチャンバ ２ 永久磁石 ３ ソレノイドコイル ４ 電子サイクロトロン共振領域 ５ 引出電極 ５ａ 熱電子発生材料 ８ マイクロ波 １０ ガス ２５ 引出電極用高圧電源
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマチャンバ内で生成されたイオン
を引出電極により引き出して外部へ導出するイオン源に
おいて、 引出電極に熱電子発生材料を付設し、プラズマチャンバ
内から引き出されたイオンとの衝突により前記熱電子発
生材料がプラズマチャンバ内へ電子を供給することを特
徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24924492A JP3154018B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24924492A JP3154018B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06187935A true JPH06187935A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3154018B2 JP3154018B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=17190075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24924492A Expired - Fee Related JP3154018B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3154018B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19609677A1 (de) * | 1995-03-16 | 1996-09-19 | Nissan Motor | Ausspülvorrichtung für verdampften Kraftstoff für einen Motor |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP24924492A patent/JP3154018B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19609677A1 (de) * | 1995-03-16 | 1996-09-19 | Nissan Motor | Ausspülvorrichtung für verdampften Kraftstoff für einen Motor |
| DE19609677C2 (de) * | 1995-03-16 | 1998-03-19 | Nissan Motor | Ausspülvorrichtung für verdampften Kraftstoff für einen Motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3154018B2 (ja) | 2001-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |