JPH0618289A - エンコーダ装置 - Google Patents

エンコーダ装置

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JPH0618289A
JPH0618289A JP17314492A JP17314492A JPH0618289A JP H0618289 A JPH0618289 A JP H0618289A JP 17314492 A JP17314492 A JP 17314492A JP 17314492 A JP17314492 A JP 17314492A JP H0618289 A JPH0618289 A JP H0618289A
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JP17314492A
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Hitoshi Inoue
仁 井上
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Hamamatsu Photonics KK
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Hamamatsu Photonics KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 誤差の小さい位置検出を可能にする。 【構成】 スリット板110は、測定対象と一次元的に
連動し、等しい間隔Pでスリット112a,b,c…及
びスリット113a,b,c…が設けられている。光検
出器140は、フォトダイオード140a〜dはスリッ
トを通過した光を検出する。LED120は、点光源と
近似できる程度の小型発光源であり、光検出器140の
中心近傍の鉛直線上に設けられている。信号処理回路1
50は、フォトダイオード140a〜dの検出出力IA
〜ID から出力パルスVA ,VB を生成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象の動きに応じ
てパルスを発生するエンコーダ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】物体の動きを検出するための装置は種々
考案されているが、コンピュータなど、ディジタル技術
を用いた装置へのインターフェイスとしては、その動き
をパルス信号に変換するものが望ましい。エンコーダ装
置は、物体の動きをパルス信号に変換する装置のひとつ
であり、種々のものが考案されていて、例えば「特開平
2−26012」、「特開昭60−35382」などが
ある。この装置は、測定すべき対象と連動する部材に開
孔を光源と受光素子の間に設け、部材が動くことで生ず
る光のON−OFFを電気信号に変換して出力するもの
である。上記「特開平2−26012」、「特開昭60
−35382」では、光源と受光素子の間にスリットを
さらに設け、等価的に台形状の波形を発生させている。
【0003】図13は本件の発明者が前述の従来例をも
とに考察した装置を示したものである。スリット板をス
リットが一定間隔で並んだものとし(図14)、また、
光検出器には、4つ並んだ同一形状のフォトダイオード
240a〜dを用いている(図15)。図16は各部の
波形の変化を示したものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】近年の位置制御を行う
際には、簡素な構成にしうること、マイコン制御との相
性の良さなどの観点から、ステップモータが用いられる
ことが多くなっている。ステップモータによる位置制御
にをより良好にするために、エンコーダ装置においても
多相出力をしうるものが望まれている。
【0005】しかし、上述したように、エンコーダ装置
においては光ON−OFFを検出するものであるので、
光学系を精密に制作することが要求される。開孔の設け
られた部材に面ブレがあると、受光素子へ照射される領
域の面積が変化し、「ON」になる部材の位置と、「O
FF」になる部材の位置が異なったものになる。
【0006】これは、多相出力の場合でも同様に生じ、
部材の面ブレがそのまま検出誤差となって現れる。すな
わちデューティ比とともに位相差を生じることになる。
【0007】機械的な位置誤差は、装置のアセンブリ時
にかならず生じ、量産する際には、制作しやすくするよ
うに、許容誤差が大きいものがより望ましい。しかし、
上述したように、エンコーダ装置では、これが、部材の
位置に対する検出出力のデューティ比の変化、位相差を
生じ、検出誤差としてあらわれることになる。そのた
め、正しい位置検出ができなくなるという問題がある。
【0008】上記「特開平2−26012」、「特開昭
60−35382」においても、機械的な手法で三角波
を発生されていることから、機械的誤差が必然的に検出
誤差に現れていることになる。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のエンコーダ装置は、第1の列及び第2の列
をなして共に略等しい間隔で並んだ開孔を有し、測定対
象の動きに応じて開孔が並んだ方向の移動をする部材
と、方向にそって配置され、第1の列の開孔を通過した
光を検出する第1及び第2の受光素子と、方向にそって
配置され、第2の列の開孔を通過した光を検出する第3
および第4の受光素子と、第1及び第2の受光素子から
の検出出力を比較して第1の相の出力パルスを発生し、
第3及び第4の受光素子からの検出出力を比較して第2
の相の出力パルスを発生する信号処理手段とを有し、第
1,第2の受光素子の受光部の間隔及び第3,第4の受
光素子の受光部の間隔は、前記各受光部の置かれた面上
に前記光が照射される領域の間隔の1/2から1/3で
あることを特徴としても良い。
【0010】開孔の方向の間隔が略一定、かつ各開孔部
の幅が略一定であることを特徴としても良い。
【0011】第1の列の開孔は、第2の列に対してその
開孔の間隔の略1/4ずれた位置に形成されていること
を特徴としても良い。
【0012】第1ないし第4の受光素子の受光部は、略
等しい形状で形成されていることを特徴としても良い。
【0013】
【作用】本発明のエンコーダ装置では、測定対象の動き
に応じて、部材とともに開孔部も一次元的に移動する。
開孔部を通過した光が照射される領域は、開孔部に対応
して略等しい間隔で並んでおり、これらの領域も、順次
第1〜4の受光素子が置かれた面上を移動する。
【0014】第1,2の受光素子では、上記各領域が、
その受光面上にきたとき光が検出されることにより、第
1,2の受光素子の検出出力は、位相の異なるパルス信
号となっている。ここで、とりつけ誤差により、部材の
位置にずれが生じた場合、開孔の位置が変わって、上記
領域の大きさが変化することになる。
【0015】第1,2の受光素子の受光部の間隔が開孔
の間隔の1/2〜1/3であるので、上記領域のうち1
つについてその重心が、或いは、上記領域の2つの中点
が、第1,2の受光素子の中点上近傍にあると、その領
域のうち、第1の受光素子の受光部上にある部分の面積
と第2の受光素子の受光部上にある部分の面積とが等し
くなる。この時、第1の受光素子の検出出力と第2の受
光素子の検出出力は等しくなる。信号処理手段では、こ
れらの受光素子の検出出力を比較して第1の列に対応し
た第1の相のパルスを発生する。一方、第2の列につい
ても同様に対応した第2の相のパルスを発生する。その
ため、第1及び第2の相の出力パルスは、部材の位置ず
れにかかわらず、部材が一定の位置にきたときに変化す
る。
【0016】上記開孔の幅が、開孔の配置された間隔の
略1/2である場合、第1および第2のパルス出力のデ
ューティ比は50%となる。
【0017】第1の列と第2の列とが開孔の間隔の略1
/4ずれた位置に形成されている場合、第1及び第2の
相の出力パルスの位相差は略90度になる。
【0018】これらの場合では、第1、第2のパルス出
力のデューティ比を容易に略50%にしうる。また、位
相差を略90度一定にしうる。
【0019】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図1は本発明のエンコーダ装置の構成例を示したもので
ある。この装置は、LED120と、フォトダイオード
140a,b,c,dを有する光検出器140と、これ
らの間にスリット板110とを備え、フォトダイオード
140a〜dの検出出力Ia〜Idから2相の出力パル
スVA ,VB を生成する信号処理回路150を備える。
【0020】スリット板110は、図示せぬ測定対象
(例えば、フロッピーディスクドライブの磁気ヘッドな
ど)と連動して、一次元的に移動し、その移動方向にそ
ってほぼ等しい間隔Pで第1列のスリット112a,
b,c…及び第2列のスリット113a,b,c…が設
けられている。これらの各スリットは等しい幅を持ち、
その幅は各スリットの間隔Pのおよそ1/2で形成され
ている(図2)。
【0021】光検出器140は、このスリット板110
のすぐ下に設けられ、フォトダイオード140a,cは
第1列のスリット112a,b,c…を通過した光を検
出する。また、フォトダイオード140b,dは第2列
のスリット113a,b,c…を通過した光を検出す
る。図3は光検出器140の受光面上のフォトダイオー
ド140a〜dの配置を示したものである。フォトダイ
オード140a,c及びフォトダイオード140b,d
はスリット板110の移動方向にそって順に配置され、
これらは同じ幅で同等の形状で形成されている。スリッ
ト板110の移動方向の長さWは同じにしておけば良
く、図の斜線のように形成しておいても良い。
【0022】LED120は、点光源と近似できる程度
の小型発光源であり、フォトダイオード140bの中心
近傍の鉛直線上に設けられている。LED120からの
光のうちスリットを通過したものによって、検出器14
0の受光面上にその光が照射される複数の領域(以下、
単に領域144(第1列),145(第2列)とする)
が形成される。これらの領域144の間隔P’は、スリ
ット112a,b,c…又はスリット113a,b,c
…の間隔Pよりも若干大きなものになる。本実施例で
は、フォトダイオード140a,c及びフォトダイオー
ド140b,dの間隔は、間隔P’のおよそ1/2とし
ている。
【0023】信号処理回路150は、フォトダイオード
140a,cの検出出力IA ,ICから出力パルスVA
を生成する回路150Aと、フォトダイオード140
b,dの検出出力IB ,ID から出力パルスVB を生成
する回路150Bとで構成される。図4は、信号処理回
路150の回路例を示したものであり、この回路例で
は、I−V変換回路152a,c及びコンパレータ15
4Aで信号処理回路150Aを、I−V変換回路152
b,d及びコンパレータ154Bで信号処理回路150
Bを構成している。I−V変換回路152a〜dはOP
アンプを用いて実現することができ、その帰還抵抗RA
〜RD でゲインが決まる。また、コンパレータ154
A,Bは、出力のチャタリングを抑え得る程度の同じヒ
ステリシス幅ΔVhA,ΔVhBをもつヒシテリシスコンパ
レータがもちいられている。図4の回路では、抵抗RA
〜RD を等しいものとしており、「検出出力IA
C 」の時出力パルスVA はハイに、「検出出力IB
D 」の時出力パルスVB はハイになる。これら以外の
場合では、ローである。
【0024】次にこの装置の動作について説明する。
【0025】図5(a)は、領域144a,b及び領域
145a,bを示したもので、これらはスリット板11
0の移動方向(回の右方向)に対して等間隔で並んでい
て、その各領域の幅は間隔P’の半分(1/2P’)に
なっている。測定対象が移動すると、これとともにスリ
ット板110も移動し、領域144a,b及び領域14
5a,bも移動する。図5(b)は、光検出器140上
の位置t1 〜t7 を示すためのもので、領域144a,
b及び領域145a,bの重心がこれらの位置にきたと
きに応じて光検出器140及び信号処理回路150の各
部の波形(検出出力IA 〜IC ,ID 、出力パルス
A ,VB )は図6のような変化を示す。ここでは、長
さWを間隔P’のおよそ1/4としている。
【0026】領域144aの重心が位置t5 にあると
き、領域144aは位置t3 〜t7 までまたがってい
る。フォトダイオード140aには光があたらず、フォ
トダイオード140cには全部に光があたっている。一
方、領域145aはその中心が位置t3 にあって、位置
1 〜t5 までまたがっている。フォトダイオード14
0dには光があたらず、フォトダイオード140bには
全部に光があたっている。そのため、検出出力IA ,I
D は最小値、検出出力IB ,IC は最大値をとってい
る。
【0027】スリット板110が図の右方向に移動する
と、フォトダイオード140bと領域145aの重なっ
た部分が減少する。つまりフォトダイオード140bの
うける光量が減少し、検出出力IB は減少する。また、
フォトダイオード140dと領域145aの重なった部
分が増加し、検出出力ID は増加する。そして、検出出
力IB が最大値の半分即ち検出出力ID 以下になったと
き、出力パルスVB はハイからローに立ち下がる。領域
144aは位置t6 にあり、フォトダイオード140b
に半分しか光があたっていない状態であり、LED12
0、スリット板110、フォトダイオード140の位置
関係は、図7(a)に示すものになっている。また、検
出出力IA 〜ID はアナログ的な変化を示しているが、
ヒシテリシスコンパレータに所定のヒステリシス幅ΔV
hをもたせてスレッショルドレベル近傍におけるノイズ
などに起因するチャタリングを抑えている。これは以下
の動作についても同様である。
【0028】領域144aの中心が位置t7 にくると、
フォトダイオード140bに光があたらなくなって検出
出力IB は最小値をとり、この位置よりの右に移動する
につれてフォトダイオード140cと144aの重なる
領域が減少する。一方、領域144bの右端は、位置t
1 から右へ移動し、フォトダイオード140aの光があ
たる部分が増加する。このため、検出出力IC が減少
し、検出出力IA が増加する。その後、検出出力IC
検出出力IA が同じ値となると出力パルスVA はローか
らハイに立ち上がる。このとき、フォトダイオード14
0bと領域145bは未だ重なっておらず、フォトダイ
オード140dは、領域145aと全面が重なってい
る。LED120、スリット板110、フォトダイオー
ド144の位置関係は図7(b)に示すものになる。
【0029】フォトダイオード140cと領域144a
の重なりがなくなり、領域144bの中心が位置t1
くると、フォトダイオード140aの全部に光があたる
ようになる。そして、検出出力IA は最大値をとり、検
出出力IC は最小値をとる。また、フォトダイオード1
40bに光があたるようになって、検出出力IB が増加
し、一方、検出出力ID は減少する。位置t2 において
検出出力IB は検出出力ID よりも大きくなって、出力
パルスVB はローからハイに立ち上がる。領域144b
は位置t2 にあり、LED120,スリット板110,
フォトダイオード140の位置関係は図7(a)と逆に
なっている。
【0030】領域144bが位置t3 にくると、検出出
力IB は最大値をとる。この位置から、右へ移動する
と、フォトダイオード140aと領域144bが重なる
部分が増加する。検出出力IA が減少し、検出出力IC
が増加し、検出出力IA が検出出力IC より小さくなっ
たの位置t4 では、出力パルスVA はハイからローに立
ち下がる。このとき領域144bは位置t4 に位置し、
LED120、スリット板110、フォトダイオード1
40の位置関係は図7(b)と逆になる。このとき、図
7(b)において、光が通る部分とさえぎられる部分が
逆になったものになっていて、フォトダイオード140
aと領域144bが重なる部分と、フォトダイオード1
40cと領域144bが重なる部分とは等しくなってい
る。
【0031】領域144bの中心が位置t5 にくると検
出出力IA は最小値IC は最小値をとり、そして、領域
144bが位置t6 にきたとき出力パルスVB は立ち下
がる(図7(a))。前述した領域144aが移動する
場合と同様の変化をし、出力パルスVA ,VB が出力さ
れる。
【0032】これら出力パルスVA ,VB と領域144
の移動距離L144 の関係は図6(e),(f)で示すも
のになる。領域144の位置即ちスリット板110の位
置に対して、出力パルスVA ,VB は90度の位相差を
持つ波形となっている。出力パルスVA ,VB の状態か
ら、スリット板110の位置がえられ、その分解能はP
/4になっている。
【0033】ここで、LED120に光量の変動があっ
たとしても、図6(a)〜(d)の波形は相対的には変
わらないため、出力パルスVA ,VB に変化はない。ま
た、スリット板110bに面ブレがある場合、領域14
4a,b,c…の大きさが変化する(図8)。図9は、
面ブレによって、領域144a,b及び間隔P’が1.
25倍なった場合について、検出出力IA 〜IC
D 、出力パルスVA ,VB の変化を示したものであ
る。
【0034】この場合においては、前述と同様の動作に
て出力パルスVA ,VB が得られる。出力パルスV
A は、図7(a),(c)と同様、フォトダイオード1
40aと領域144と重なった部分と、フォトダイオー
ド140cと領域144の重なった部分が等しいとき
に、立ち上がりまたは立ち下がる。出力パルスVB は、
フォトダイオード140bと領域144との重なりが領
域144bの半分のときに立ち下がりまたは立ち下が
る。この場合では、出力パルスVA ,VB と領域144
の移動距離L144 の関係は図10(e),(f)で示さ
れ、領域144a,bの位置関係は、図5に対してずれ
たもの(1.25倍)になっている。
【0035】しかし、領域144の移動距離L144 とス
リット板110の移動距離L110 との関係は、比例関係
にあり、スリット板110の面ブレがあるとその比例定
数は変化する。図7,8に示した幾何学的関係から、ス
リット板110の移動距離L110 に対する出力パルスV
A ,VB のエッジの位置は一定なものとなっている。そ
のため、スリット板110の面ブレがあったとしても、
この位置は変わらず、誤差の非常に小さな測定を可能に
している。特に、コンパレータ154A,Bのヒステリ
シス幅ΔVhA,ΔVhBを大きくとれば、面ブレの大きさ
を無限大のものにし得る。図11,12は間隔P’が3
倍になった場合のものを示している。このように非常に
許容範囲の広いものになっている。
【0036】このように図1の装置においては、スリッ
ト板110の面ブレが、出力パルスVA ,VB の立上が
り、立ち下がりの位置に与える影響が非常に小さいもの
になっている。面ブレで間隔P’が1.25倍になるこ
とは通常はおこりえないものであるのだが、このような
極端なものに対しても、出力パルスVA ,VB の立上が
り、立ち下がりの位置に変化はなく、誤差の非常に小さ
な測定を可能にしている。
【0037】前述の図13の装置においても、スリット
板210の移動とともにパルスを発生し、出力パルスV
A の立上がり、立ち下がりは、フォトダイオード240
a〜dと領域244との重なりできまり、フォトダイオ
ード240aと領域244とが重なった部分と、フォト
ダイオード240cと領域244とが重なった部分が等
しいときに、立ち上がりまたは立ち下がる。出力パルス
A の立上がりは、領域244の中心がフォトダイオー
ド240bの中心近傍の時であり、出力パルスVA の立
下がりは立ち上がる位置の中点である。
【0038】一方、出力パルスVB も、フォトダイオー
ド240bと領域244とが重なった部分と、フォトダ
イオード240dと領域244とが重なった部分が等し
いときに、立ち上がりまたは立ち下がる。出力パルスV
B の立上がりは、領域244の中心がフォトダイオード
240cの中心近傍の時であり、出力パルスVB の立下
がりは立ち上がる位置の中点である。
【0039】図13の装置において、光源120からの
光が平行光線であると、スリット板110の面ブレがあ
っても、出力パルスVA ,VB の波形に変化は生じな
い。しかし、点光源からの光であると波形に変化が生じ
ることになる。図17は、スリット板110の面ブレに
よって領域244が1.25倍なった場合について、検
出出力IA 〜ID 、出力パルスVA ,VB の変化を示し
たものである。これはスリット板110の位置によって
領域244の大きさが変化し、そのため、出力パルスV
A ,VB の立上がり、立ち下がりの位置に変化が生じて
いる。
【0040】前述の実施例においては、前述の図7,8
に示したように領域144の大きさは変化するが、出力
パルスVA ,VB の波形に変化はなく、分解能にも変化
はない。また、図1のy方向のずれがあったとしても、
フォトダイオード240a〜dへの光量が減少するが、
これは等価的にLED120の光量が減少することを意
味し、出力パルスVA ,VB の波形,分解能にも変化は
ない。そのため、より小さな検出誤差でスリット板11
0の移動を検出することができ、光源120からの光が
平行光線でなくても、より正確な測定対象の測定を可能
にしている。
【0041】図1の装置及び図13の装置いずれにおい
ても、図示したごとくLED120がフォトダイオード
140a〜dの幾何学的中心点の軸上にある場合、最良
のものになる。この位置からLED120がずれると、
フォトダイオード140a〜dへの光量が変化し、出力
パルスVA ,VB の立上がり,立ち下がりの位置がずれ
る。図18は、図13の装置においてLED120の位
置がずれた場合のフォトダイオード240a〜dへの光
量の変化を示したものである。この図においてフォトダ
イオード240a,cの光量が等しいものになっている
が、このときフォトダイオード240b,dの光量の比
は5:3になって図16又は17の波形が変化する。こ
のため、出力パルスVA ,VB の立上がり,立ち下がり
の位置がずれることになる。図1の装置においては、フ
ォトダイオード140a〜dがこれらの幾何学的中心点
のより近いところに位置するため、光量の変化は小さい
(図19)。そのため、図1の装置は、LED120の
位置のずれに対しても誤差の小さいものになる。さら
に、誤差を小さくするとすれば、図20に示すように、
光量の分布が緩やか(例えばスクエアカーブ)になるよ
うに、LED120に光学系を設けると良い。
【0042】本発明は前述の実施例に限らず様々な変形
が可能である。
【0043】ここでは、フォトダイオード140a〜d
を同じ大きさにし、抵抗RA 〜RCを同じ値にしたが、
必ずしもこのようにする必要はない。フォトダイオード
140a〜cの検出感度に応じて抵抗RA 〜Rd を変え
ることで或いは補正用のアンプを付加することで同一の
動作をなすことが可能である。一例を挙げれば、フォト
ダイオード140a,cの検出感度をSa,Sc(また
は受光面の面積比)とすると、抵抗RA /RC 比は「S
c/Sa」とすれば良い。フォトダイオード140bと
140d、抵抗RC とRD についても同様である。
【0044】また、フォトダイオード140a〜c,d
は四角形状のものを図に示したが、中心の位置関係が保
てれば、円形など他の形でも良い。そして、検出出力の
位相差を90度にするため、スリットの開孔位置のブレ
とスリット間隔の1/4に設けたが、この位置をずらす
ことで位相差を変えることができる。
【0045】さらに、信号処理回路ではヒステリシスを
持つコンパレータで比較演算を行ったが、このほかのも
の(例えば、A/Dコンバータとマイクロプロセッサな
ど)を用いて構成しても良い。
【0046】
【発明の効果】以上の通り本発明のエンコーダ装置によ
れば、光が照射される領域の重心或いは光が照射される
領域の2つの中点が、第1,2の受光素子の中点上近傍
にあるとき、第1,2の受光素子の検出出力或いは第
3,4の受光素子の検出出力が等しく、部材の位置ずれ
があってもこれが変化しないため、一定の位相差を持つ
第1及び第2の出力パルスを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の構成図。
【図2】スリット板を示す図。
【図3】光検出器の構成図。
【図4】信号処理回路の構成図。
【図5】光のあたる領域とフォトダイオード140a〜
cの状の位置を示す図。
【図6】検出出力IA 〜IC ,ID 、出力パルスVA
B の変化を示す図。
【図7】LED120、スリット板110、フォトダイ
オード140の位置関係をしめす図。
【図8】LED120、スリット板110、フォトダイ
オード140の位置関係をしめす図。
【図9】光のあたる領域とフォトダイオード140a〜
cの状の位置を示す図。
【図10】検出出力IA 〜IC ,ID 、出力パルス
A ,VB の変化を示す図。
【図11】光のあたる領域とフォトダイオード140a
〜cの状の位置を示す図。
【図12】検出出力IA 〜IC ,ID 、出力パルス
A ,VB の変化を示す図。
【図13】比較例の構成図。
【図14】比較例のスリット板を示す図。
【図15】比較例の光検出器の構成図。
【図16】比較例の検出出力IA 〜IC ,ID 、出力パ
ルスVA ,VB の変化を示す図。
【図17】比較例の検出出力IA 〜IC ,ID 、出力パ
ルスVA ,VB の変化を示す図。
【図18】比較例の光検出器への光量の分布図。
【図19】実施例の光検出器への光量の分布図。
【図20】実施例の光検出器への光量の分布図。
【符号の説明】
110…スリット板、140a〜c,d…フォトダイオ
ード、150…信号処理回路、120…LED、112
a,b,c…スリット、P…間隔,IA ,IB ,IC
D …検出出力、VA ,VB …出力パルス、150…信
号処理回路、152a〜d…I−V変換回路、154
A,154B…コンパレータ、t1 〜t7 …位置、14
4a,b…領域。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の列及び第2の列をなして共に略等
    しい間隔で並んだ開孔を有し、測定対象の動きに応じて
    前記開孔が並んだ方向の移動をする部材と、 前記方向にそって配置され、前記第1の列の開孔を通過
    した光を検出する第1及び第2の受光素子と、 前記方向にそって配置され、前記第2の列の開孔を通過
    した光を検出する第3および第4の受光素子と、 前記第1及び第2の受光素子からの検出出力を比較して
    第1の相の出力パルスを発生し、前記第3及び第4の受
    光素子からの検出出力を比較して第2の相の出力パルス
    を発生する信号処理手段とを有し、 前記第1,第2の受光素子の受光部の間隔及び前記第
    3,第4の受光素子の受光部の間隔は、前記各受光部の
    置かれた面上に前記光が照射される領域の間隔の1/2
    から1/3であることを特徴とするエンコーダ装置。
  2. 【請求項2】 前記開孔の前記方向の間隔が略一定、か
    つ各開孔部の幅が略一定であることを特徴とする請求項
    1記載のエンコーダ装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の列の開孔は、前記第2の列に
    対してその開孔の間隔の略1/4ずれた位置に形成され
    ていることを特徴とする請求項1記載のエンコーダ装
    置。
  4. 【請求項4】 前記第1ないし第4の受光素子の受光部
    は、略等しい形状で形成されていることを特徴とする請
    求項3記載のエンコーダ装置。
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