JPH0618249A - センサターゲット - Google Patents
センサターゲットInfo
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- JPH0618249A JPH0618249A JP27378891A JP27378891A JPH0618249A JP H0618249 A JPH0618249 A JP H0618249A JP 27378891 A JP27378891 A JP 27378891A JP 27378891 A JP27378891 A JP 27378891A JP H0618249 A JPH0618249 A JP H0618249A
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- Japan
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- groove
- target
- displacement sensor
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 煩雑な処理等を必要とすること無く所定のセ
ンサ出力を得ることが出来る様なセンサターゲットの提
供。 【目的】 所定の方向に搬送されており且つ変位センサ
の検出対象物であるセンサターゲットの表面に溝を形成
し、該溝の断面形状は搬送方向において変化し以て変位
センサの出力信号が所望の特性を示す様に構成されてい
る。
ンサ出力を得ることが出来る様なセンサターゲットの提
供。 【目的】 所定の方向に搬送されており且つ変位センサ
の検出対象物であるセンサターゲットの表面に溝を形成
し、該溝の断面形状は搬送方向において変化し以て変位
センサの出力信号が所望の特性を示す様に構成されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は変位センサの検出対象物
であるセンサターゲットに関し、より詳細には、変位セ
ンサに相対的に移動し且つ変位センサにより位置を検出
されるセンサターゲットに関する。
であるセンサターゲットに関し、より詳細には、変位セ
ンサに相対的に移動し且つ変位センサにより位置を検出
されるセンサターゲットに関する。
【０００２】
【従来の技術】センサヘッドと検出対象物であるセンサ
ターゲットとの間隔を測定することにより、移動するセ
ンサターゲットの位置を検出する機構は知られており、
例えば実開昭６３−１２６８１７号公報等により示され
ている。
ターゲットとの間隔を測定することにより、移動するセ
ンサターゲットの位置を検出する機構は知られており、
例えば実開昭６３−１２６８１７号公報等により示され
ている。
【０００３】図９は、その様な従来の位置検出機構の原
理を示したものである。すなわち、固定された変位セン
サのセンサヘッド１とセンサターゲット２との間隔（垂
直方向距離）Ｌは、センサターゲット２の搬送方向Ｍ１
或いはＭ２方向の位置により変化する。従って、距離Ｌ
と搬送方向位置の特性、或いは該変位センサの出力信号
の特性を予め知っておけば、距離Ｌ或いはセンサ出力か
らセンサターゲット２の搬送方向位置が特定出来るので
ある。
理を示したものである。すなわち、固定された変位セン
サのセンサヘッド１とセンサターゲット２との間隔（垂
直方向距離）Ｌは、センサターゲット２の搬送方向Ｍ１
或いはＭ２方向の位置により変化する。従って、距離Ｌ
と搬送方向位置の特性、或いは該変位センサの出力信号
の特性を予め知っておけば、距離Ｌ或いはセンサ出力か
らセンサターゲット２の搬送方向位置が特定出来るので
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ここで、変位センサの
出力特性が線形であれば、センサ出力（距離Ｌの数値）
からセンサターゲット位置を特定するのが容易になり、
好都合である。
出力特性が線形であれば、センサ出力（距離Ｌの数値）
からセンサターゲット位置を特定するのが容易になり、
好都合である。
【０００５】しかし、変位センサの出力特性は必ずしも
線形になるものでは無い。そして、線形の出力特性を得
ようとするならば、センサの出力を増幅するアンプ等に
工夫を必要とするか、或いは、該センサ出力に対して非
常に煩雑な処理を必要とする場合が多い。
線形になるものでは無い。そして、線形の出力特性を得
ようとするならば、センサの出力を増幅するアンプ等に
工夫を必要とするか、或いは、該センサ出力に対して非
常に煩雑な処理を必要とする場合が多い。
【０００６】一方、上記したのとは逆に非線形のセンサ
出力が要求される場合も存在する。例えば高精度の位置
決め或いは整合が要求される場合には、センサターゲッ
トが特に微妙な位置決め調節が要求される箇所に位置し
ている時には該センサターゲットの変位に対するセンサ
出力の変化量が大きいことが望まれるが、その様な場合
には線形出力よりも（所定形状の）非線形出力が適当で
ある。そして、従来の機構において所定の非線形出力を
得ようとするならば、アンプに工夫を凝らす等の煩雑な
作業が要求されるという問題が存在した。
出力が要求される場合も存在する。例えば高精度の位置
決め或いは整合が要求される場合には、センサターゲッ
トが特に微妙な位置決め調節が要求される箇所に位置し
ている時には該センサターゲットの変位に対するセンサ
出力の変化量が大きいことが望まれるが、その様な場合
には線形出力よりも（所定形状の）非線形出力が適当で
ある。そして、従来の機構において所定の非線形出力を
得ようとするならば、アンプに工夫を凝らす等の煩雑な
作業が要求されるという問題が存在した。
【０００７】本発明は上記した従来技術に鑑みて提案さ
れたもので、煩雑な処理等を必要とすること無く所定の
センサ出力を得ることが出来る様なセンサターゲットの
提供を目的としている。
れたもので、煩雑な処理等を必要とすること無く所定の
センサ出力を得ることが出来る様なセンサターゲットの
提供を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のセンサターゲッ
トは、変位センサと相対的に移動されており且つ変位セ
ンサの検出対象物であるセンサターゲットの表面に溝を
形成し、該溝の断面形状は搬送方向において変化し以て
変位センサの出力信号が所望の特性を示す様に構成され
ている。
トは、変位センサと相対的に移動されており且つ変位セ
ンサの検出対象物であるセンサターゲットの表面に溝を
形成し、該溝の断面形状は搬送方向において変化し以て
変位センサの出力信号が所望の特性を示す様に構成され
ている。
【０００９】この本発明のセンサターゲットを実施する
に際して、前記溝の深さ寸法は一定であり、溝寸法が変
化しているのが好ましい。
に際して、前記溝の深さ寸法は一定であり、溝寸法が変
化しているのが好ましい。
【００１０】但し、前記溝の幅寸法を一定にして、深さ
寸法を変化させることにより、所定のセンサ出力を得る
様に構成することも可能である。さらに、溝の底部をセ
ンサターゲットのその他の表面よりも盛り上げて、すな
わち突起状に形成し、該突起の高さ方向寸法或いは幅方
向寸法を変化させて、所望の変位センサ出力特性を得る
様に構成することも可能である。
寸法を変化させることにより、所定のセンサ出力を得る
様に構成することも可能である。さらに、溝の底部をセ
ンサターゲットのその他の表面よりも盛り上げて、すな
わち突起状に形成し、該突起の高さ方向寸法或いは幅方
向寸法を変化させて、所望の変位センサ出力特性を得る
様に構成することも可能である。
【００１１】ここで、前記変位センサはレーザ光線によ
る測定を行うタイプ、静電容量の変化によりセンサヘッ
ドとセンサターゲット表面の間隔を検出するタイプ、そ
の他の種々のものが適用出来る。換言すると、センサヘ
ッドとセンサターゲット表面の測定点との間隔が測定出
来るセンサであれば、何等限定条件を必要としないので
ある。
る測定を行うタイプ、静電容量の変化によりセンサヘッ
ドとセンサターゲット表面の間隔を検出するタイプ、そ
の他の種々のものが適用出来る。換言すると、センサヘ
ッドとセンサターゲット表面の測定点との間隔が測定出
来るセンサであれば、何等限定条件を必要としないので
ある。
【００１２】
【作用】上記した様な構成を具備する本発明のセンサタ
ーゲットによれば、溝の断面形状が搬送方向において変
化し、以て変位センサの出力信号が所望の特性を示す様
に構成されているので、センサアンプの設計仕様を変更
したり、煩雑な処理を必要とすること無しに所望の出力
特性を得ることが出来る。すなわち、溝の断面形状を所
望の出力特性に対応して形成するという極めて簡単な処
理により、センサアンプの設計仕様を変更したり、煩雑
な処理をしたのと同様な効果が得られるのである。
ーゲットによれば、溝の断面形状が搬送方向において変
化し、以て変位センサの出力信号が所望の特性を示す様
に構成されているので、センサアンプの設計仕様を変更
したり、煩雑な処理を必要とすること無しに所望の出力
特性を得ることが出来る。すなわち、溝の断面形状を所
望の出力特性に対応して形成するという極めて簡単な処
理により、センサアンプの設計仕様を変更したり、煩雑
な処理をしたのと同様な効果が得られるのである。
【００１３】そして、所望のセンサ出力特性を得られる
ことから、位置制御の精度を向上することが出来るので
ある。
ことから、位置制御の精度を向上することが出来るので
ある。
【００１４】
【実施例】以下、図１〜８を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１５】図１、２は本発明の第１実施例を示してい
る。図１において、全体を符号１０で示すセンサターゲ
ットは矢印Ｍで示す方向に搬送されており（移動されて
おり）、或いは進行している。ここで、センサターゲッ
ト１０を固定して変位センサを矢印Ｍとは逆方向に移動
させても良い。換言すれば、図１における矢印Ｍは変位
センサに対するセンサターゲット１０の相対的な移動方
向を示しているのである。なお、センサターゲットの搬
送方向（或いは相対的な移動方向）Ｍはあくまでも例示
であり、図示の方向に限定される趣旨ではない。
る。図１において、全体を符号１０で示すセンサターゲ
ットは矢印Ｍで示す方向に搬送されており（移動されて
おり）、或いは進行している。ここで、センサターゲッ
ト１０を固定して変位センサを矢印Ｍとは逆方向に移動
させても良い。換言すれば、図１における矢印Ｍは変位
センサに対するセンサターゲット１０の相対的な移動方
向を示しているのである。なお、センサターゲットの搬
送方向（或いは相対的な移動方向）Ｍはあくまでも例示
であり、図示の方向に限定される趣旨ではない。
【００１６】そして、変位センサのセンサヘッド１に対
向する側には溝１２が形成されている。図１において、
溝１２はその深さ寸法Ｈは一定であるが、幅寸法Ｗは進
行方向Ｍ後方に向かって徐々に狭くなっている。
向する側には溝１２が形成されている。図１において、
溝１２はその深さ寸法Ｈは一定であるが、幅寸法Ｗは進
行方向Ｍ後方に向かって徐々に狭くなっている。
【００１７】図２は図１で示すセンサターゲット１０を
検出した変位センサの出力を示している。ここで、横軸
の記号ｘは進行方向Ｍにおけるセンサターゲット１０の
移動量を示す。また符号Ｖｓはセンサ出力の電圧値であ
る。
検出した変位センサの出力を示している。ここで、横軸
の記号ｘは進行方向Ｍにおけるセンサターゲット１０の
移動量を示す。また符号Ｖｓはセンサ出力の電圧値であ
る。
【００１８】図２から明らかなように、溝１２の形状に
よりセンサ出力は線形となっている。
よりセンサ出力は線形となっている。
【００１９】図３、４は本発明の第２実施例を示してい
る。第１実施例では線形のセンサ出力を得るための構造
を示しているが、図３、４の第２実施例は非線形であっ
て且つ制御に最適な出力を得るためのものである。
る。第１実施例では線形のセンサ出力を得るための構造
を示しているが、図３、４の第２実施例は非線形であっ
て且つ制御に最適な出力を得るためのものである。
【００２０】図３において、センサターゲット２０はそ
の表面に溝２２が形成されている。そして該センサヘッ
ドは、進行方向Ｍに移動しつつセンサヘッド１で計測さ
れている。
の表面に溝２２が形成されている。そして該センサヘッ
ドは、進行方向Ｍに移動しつつセンサヘッド１で計測さ
れている。
【００２１】この溝２２は第１実施例の場合と同様に深
さ方向寸法Ｈは一定であるが、幅寸法が変化している。
しかし第１実施例とは異なり、センサターゲット２０の
進行方向Ｍの中央部において幅寸法Ｗは最小であり、進
行方向Ｍ前方及び後方に向かって幅Ｗは徐々に大きくな
っている。
さ方向寸法Ｈは一定であるが、幅寸法が変化している。
しかし第１実施例とは異なり、センサターゲット２０の
進行方向Ｍの中央部において幅寸法Ｗは最小であり、進
行方向Ｍ前方及び後方に向かって幅Ｗは徐々に大きくな
っている。
【００２２】溝２２をこの様な形状とした結果、センサ
出力は図４で示す様な非線形となり、略々中央部にピー
クが存在する様な出力特性となる。この様な出力特性に
おいては、ピーク近傍位置におけるセンサターゲット２
０の進行方向Ｍの変位量に対するセンサ出力Ｖｓの変化
量が極めて大きくなる。従って、位置合わせ等の高精度
な位置検出が要求される場合に好都合である。また、ピ
ーク時のセンサ出力Ｖｓ及びその際のｘ座標の値が所定
の偏差内に存在するか否かを判断することにより、所定
の位置にセンサターゲット２０が存在するか否かが判断
されるのである。
出力は図４で示す様な非線形となり、略々中央部にピー
クが存在する様な出力特性となる。この様な出力特性に
おいては、ピーク近傍位置におけるセンサターゲット２
０の進行方向Ｍの変位量に対するセンサ出力Ｖｓの変化
量が極めて大きくなる。従って、位置合わせ等の高精度
な位置検出が要求される場合に好都合である。また、ピ
ーク時のセンサ出力Ｖｓ及びその際のｘ座標の値が所定
の偏差内に存在するか否かを判断することにより、所定
の位置にセンサターゲット２０が存在するか否かが判断
されるのである。
【００２３】図１〜４の第１実施例及び第２実施例にお
いては、溝の深さ寸法は一定で幅寸法が変化したが、そ
れとは逆の断面形状とすることも出来る。すなわち、図
５で示す様に、センサターゲット３０の溝３２の幅方向
寸法（図５では図示せず）は一定にして、深さ方向Ｈを
変化させても良い。図６で示す溝４２においても同様で
ある。
いては、溝の深さ寸法は一定で幅寸法が変化したが、そ
れとは逆の断面形状とすることも出来る。すなわち、図
５で示す様に、センサターゲット３０の溝３２の幅方向
寸法（図５では図示せず）は一定にして、深さ方向Ｈを
変化させても良い。図６で示す溝４２においても同様で
ある。
【００２４】さらに図７で示す様に、溝５２の底部５３
をセンサターゲット５０の表面５５よりも高くして、す
なわち突起状に形成することも可能である。図８で示す
溝（突起部分）６２についても同様である。
をセンサターゲット５０の表面５５よりも高くして、す
なわち突起状に形成することも可能である。図８で示す
溝（突起部分）６２についても同様である。
【００２５】なお、上述の実施例においては位置決め補
助機構に用いられる場合について説明したが、ターゲッ
ト或いはセンサヘッドの移動距離の検知という分野にお
いても本発明を適用することが可能である。例えばセン
サヘッドが移動している場合は、固定側にセンサターゲ
ットを設置すれば、そのターゲットの溝形状に対応した
センサ出力が得られる。そして、該出力をセンサヘッド
のターゲットに対するｘ座標（移動方向の座標）に変換
して、センサヘッドの位置座標或いはセンサヘッドの移
動速度が検知出来るのである。
助機構に用いられる場合について説明したが、ターゲッ
ト或いはセンサヘッドの移動距離の検知という分野にお
いても本発明を適用することが可能である。例えばセン
サヘッドが移動している場合は、固定側にセンサターゲ
ットを設置すれば、そのターゲットの溝形状に対応した
センサ出力が得られる。そして、該出力をセンサヘッド
のターゲットに対するｘ座標（移動方向の座標）に変換
して、センサヘッドの位置座標或いはセンサヘッドの移
動速度が検知出来るのである。
【００２６】
【発明の効果】上記した本発明によれば、溝の断面形状
を変化させるという極めて単純な作用により、所望の変
位センサ出力特性を得ることが出来る。これにより、位
置制御の精度を極めて容易に向上することが出来るので
ある。
を変化させるという極めて単純な作用により、所望の変
位センサ出力特性を得ることが出来る。これにより、位
置制御の精度を極めて容易に向上することが出来るので
ある。
【００２７】また、ターゲット或いはセンサヘッドの移
動距離の検知という分野にも適用可能である。
動距離の検知という分野にも適用可能である。
【図１】本発明の第１実施例の斜視図。
【図２】図１の第１実施例により得られた変位センサの
出力特性を示す図。
出力特性を示す図。
【図３】本発明の第２実施例の斜視図。
【図４】図３の第２実施例により得られた変位センサの
出力特性を示す図。
出力特性を示す図。
【図５】本発明のその他の実施例の要部を示す断面図。
【図６】本発明のその他の実施例の要部を示す断面図。
【図７】本発明のその他の実施例の要部を示す断面図。
【図８】本発明のその他の実施例の要部を示す断面図。
【図９】従来技術を示す側面図。
１・・・センサヘッド ２、１０、２０、３０、４０、５０、６０・・・センサ
ターゲット １２、２２、３２、４２・・・溝 ５２、６２・・・突起状に形成された溝部 Ｍ・・・進行方向 Ｈ・・・深さ寸法 Ｗ・・・幅寸法
ターゲット １２、２２、３２、４２・・・溝 ５２、６２・・・突起状に形成された溝部 Ｍ・・・進行方向 Ｈ・・・深さ寸法 Ｗ・・・幅寸法
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 敏 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 変位センサと相対的に移動されており且
つ変位センサの検出対象物であるセンサターゲットの表
面に溝を形成し、該溝の断面形状は搬送方向において変
化し以て変位センサの出力信号が所望の特性を示す様に
構成されていることを特徴とするセンサターゲット。 - 【請求項２】 前記溝の深さ寸法は一定であり、幅寸法
が変化している請求項１に記載のセンサターゲット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3273788A JP2641660B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | センサターゲット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3273788A JP2641660B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | センサターゲット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618249A true JPH0618249A (ja) | 1994-01-25 |
| JP2641660B2 JP2641660B2 (ja) | 1997-08-20 |
Family
ID=17532593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3273788A Expired - Lifetime JP2641660B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | センサターゲット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2641660B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007225446A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 表示値読取装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5054352A (ja) * | 1973-09-10 | 1975-05-14 | ||
| JPS6218009A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | 超電導マグネツト装置 |
| JPS6293948A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-30 | Rohm Co Ltd | 半導体レーザの製造方法 |
| JPH01170811A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-05 | Sharp Corp | 光学式位置および速度検出装置 |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP3273788A patent/JP2641660B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5054352A (ja) * | 1973-09-10 | 1975-05-14 | ||
| JPS6218009A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | 超電導マグネツト装置 |
| JPS6293948A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-30 | Rohm Co Ltd | 半導体レーザの製造方法 |
| JPH01170811A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-05 | Sharp Corp | 光学式位置および速度検出装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007225446A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 表示値読取装置 |
| JP4592615B2 (ja) * | 2006-02-23 | 2010-12-01 | 関西電力株式会社 | 表示値読取装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2641660B2 (ja) | 1997-08-20 |
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