JPH04186101A - うず電流式センサによる移動物体の移動量の検出装置 - Google Patents
うず電流式センサによる移動物体の移動量の検出装置Info
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- JPH04186101A JPH04186101A JP31424890A JP31424890A JPH04186101A JP H04186101 A JPH04186101 A JP H04186101A JP 31424890 A JP31424890 A JP 31424890A JP 31424890 A JP31424890 A JP 31424890A JP H04186101 A JPH04186101 A JP H04186101A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、うず電流式センサによる移動物体の移動量の
検出装置に関する。
検出装置に関する。
［従来の技術］
比較的大きい移動を行う移動物体の移動量を、うず電流
式センサと、移動物体に設けたセンサターゲットにより
検出するには、通常、複数の前記センサを移動方向に沿
って配設し、これら複数のセンサからの信号を処理する
ことにより行っている。
式センサと、移動物体に設けたセンサターゲットにより
検出するには、通常、複数の前記センサを移動方向に沿
って配設し、これら複数のセンサからの信号を処理する
ことにより行っている。
［発明が解決しようする課題］
従来の上記装置においては、複数のうず電流式センサと
、これらセンサを信号処理装置に接続する電気回路とが
必要で、構成が複雑で高価である。
、これらセンサを信号処理装置に接続する電気回路とが
必要で、構成が複雑で高価である。
本発明は、最小のセンサで移動量を検出するうず電流式
センサによる移動物体の移動量の検出装置を提供するこ
とを目的としている。
センサによる移動物体の移動量の検出装置を提供するこ
とを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明による検出装置は、センシング方向が比較的大き
い移動を行う移動物体の移動方向に直交するように固設
されたうず電流式センサと、前記移動物体に取付けられ
移動方向に平行な面を備え表面性状及び又は内部形状が
連続的又は断続的に変化するセンサターゲットと、前記
うず電流式セー ２ ＝ ンサからの信号を処理して前記移動物体の移動変位量ま
たは移動速度を検出する信号処理装置とからなっている
。
い移動を行う移動物体の移動方向に直交するように固設
されたうず電流式センサと、前記移動物体に取付けられ
移動方向に平行な面を備え表面性状及び又は内部形状が
連続的又は断続的に変化するセンサターゲットと、前記
うず電流式セー ２ ＝ ンサからの信号を処理して前記移動物体の移動変位量ま
たは移動速度を検出する信号処理装置とからなっている
。
上記センサターゲットの連続的又は断続的に変化する表
面性状及び又は内部性状は、利料の表面をスパッタリン
グなどの加工技術により層状に変化を与えたもの、異種
の材料、内部性状を深さ方向に変化させたものなどで得
るのが好ましいか、センサとセンサターゲットとに発生
ずる磁束が変化し、うず電流の出力電圧が相互に異なる
ものであればよい。
面性状及び又は内部性状は、利料の表面をスパッタリン
グなどの加工技術により層状に変化を与えたもの、異種
の材料、内部性状を深さ方向に変化させたものなどで得
るのが好ましいか、センサとセンサターゲットとに発生
ずる磁束が変化し、うず電流の出力電圧が相互に異なる
ものであればよい。
また、うず電流式センサは、１個が好ましいが、対向［
７て２個設け、移動物体の移動方向に直交する運動によ
るセンサの出力変動分をキャンセルすることができる。
７て２個設け、移動物体の移動方向に直交する運動によ
るセンサの出力変動分をキャンセルすることができる。
［作用］
上記のように構成されたうず電流式センサによる移動物
体の移動量の検出装置においては、うず電流式センサの
出力電圧は、センサターゲットの変化する表面性状及び
又は内部性状の各部分毎に変化する磁束により変化する
。しまたがって、信号処理装置によりセンサからの出力
電圧が変化する信号を処理Ｉ７、移動物体のセンサター
ゲットの各部を判別して移動量を求める。
体の移動量の検出装置においては、うず電流式センサの
出力電圧は、センサターゲットの変化する表面性状及び
又は内部性状の各部分毎に変化する磁束により変化する
。しまたがって、信号処理装置によりセンサからの出力
電圧が変化する信号を処理Ｉ７、移動物体のセンサター
ゲットの各部を判別して移動量を求める。
［実施例］
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
図において、移動物体である例えば磁気浮上搬送装置の
搬送台１は、図示１．ない駆動部により前方Ｆ又は後方
Ｒに比較的大きい移動をするようになっている。
搬送台１は、図示１．ない駆動部により前方Ｆ又は後方
Ｒに比較的大きい移動をするようになっている。
その搬送台１の対向する面には、それぞれ全体を符号２
て示す同じ構成のセンサターゲットが設けられている。
て示す同じ構成のセンサターゲットが設けられている。
このセンサターゲット２の表面は、移動方向と平行な面
に形成され、図示の例では５個の部分２ａ〜２ｅに画成
されている。そして、これら５個の部分は、表面性状及
び又は内部性状が、表面をスパッタリングなとで加工し
層状に変化させる、異種の材料の使用する、内部性状を
深さ方向に変化させることなどにより相互に異なるよう
に形成されている。この相互に異なるように形成する方
法は、上記のものに限られるものではなく、後記のうず
電流式センサ３ａ、３ｂとの間に発生する磁束が変化し
、うず電流の出力電圧が相互に異なるように形成する方
法であればよい。
に形成され、図示の例では５個の部分２ａ〜２ｅに画成
されている。そして、これら５個の部分は、表面性状及
び又は内部性状が、表面をスパッタリングなとで加工し
層状に変化させる、異種の材料の使用する、内部性状を
深さ方向に変化させることなどにより相互に異なるよう
に形成されている。この相互に異なるように形成する方
法は、上記のものに限られるものではなく、後記のうず
電流式センサ３ａ、３ｂとの間に発生する磁束が変化し
、うず電流の出力電圧が相互に異なるように形成する方
法であればよい。
他方、センサターゲット２．２に対向し移動方向に直交
するように一対のうず電流式センサ３ ａ ％３ｂが設
けられている。そのセンサ３ａは、電気回路Ｌａにより
センサアンプ４ａ、オフセット回路５ａを介して加算器
６に接続され、センサ３ｂは、電気回路Ｌ ｂによりセ
ンサアンプ４ｂ、オフセット回路５ｂを介して加算器６
に接続されている。そして、加算器６は電気回路りによ
り信号処理装置７に接続されている。なお、上記構成に
おいて、搬送台１の移動方向と直交する運動が無視でき
る程度であれば、一方のセンサ３ｂ、センサアンプ４ｂ
、オフセット回路５ｂ、加算器６及び電気回路Ｌｂを省
くことができる。
するように一対のうず電流式センサ３ ａ ％３ｂが設
けられている。そのセンサ３ａは、電気回路Ｌａにより
センサアンプ４ａ、オフセット回路５ａを介して加算器
６に接続され、センサ３ｂは、電気回路Ｌ ｂによりセ
ンサアンプ４ｂ、オフセット回路５ｂを介して加算器６
に接続されている。そして、加算器６は電気回路りによ
り信号処理装置７に接続されている。なお、上記構成に
おいて、搬送台１の移動方向と直交する運動が無視でき
る程度であれば、一方のセンサ３ｂ、センサアンプ４ｂ
、オフセット回路５ｂ、加算器６及び電気回路Ｌｂを省
くことができる。
次に作用について説明する。
搬送台１−が例えば前方Ｆに移動すると、センサ−５−
、。
、。
３ａ、３ｂに対向するセンサターゲット２の部分２ａ〜
２ｅは、部分２ａから部分２ｅ側に変化する。これらの
部分２８〜２ｅの表面性状又は内部性状は前記したよう
に異なっているので、センサ３ ａ、 ３ ｂとの間に
発生する磁束は、それぞれ変化する。したがって、セン
サ３ ａ −、３ｂの出力電圧は、部分２ａ〜３ｅ毎に
変化する。この際、２つのセンサ３ａ、３ｂの出力電圧
を加算器６で加算しているので、搬送台１が移動方向に
直交する運動をして例えばセンサ３ａ側に変位し、セン
サ３ａの出力電圧が減少しても、センサ３ａの出力電圧
はその分だけ増加するので、加算器６においてキャンセ
ルされる。
２ｅは、部分２ａから部分２ｅ側に変化する。これらの
部分２８〜２ｅの表面性状又は内部性状は前記したよう
に異なっているので、センサ３ ａ、 ３ ｂとの間に
発生する磁束は、それぞれ変化する。したがって、セン
サ３ ａ −、３ｂの出力電圧は、部分２ａ〜３ｅ毎に
変化する。この際、２つのセンサ３ａ、３ｂの出力電圧
を加算器６で加算しているので、搬送台１が移動方向に
直交する運動をして例えばセンサ３ａ側に変位し、セン
サ３ａの出力電圧が減少しても、センサ３ａの出力電圧
はその分だけ増加するので、加算器６においてキャンセ
ルされる。
信号処理装置７は、加算器６からの変動する出力電圧信
号を処理し、センサターゲット２の部分２ａ〜２ｅを判
別して搬送台１．の移動量を求める。、［発明の効果コ 本発明は、以上説明したように構成されているので、１
−組又は１個の最小のうず電流式センサにより移動物体
の移動量を検出することができる。
号を処理し、センサターゲット２の部分２ａ〜２ｅを判
別して搬送台１．の移動量を求める。、［発明の効果コ 本発明は、以上説明したように構成されているので、１
−組又は１個の最小のうず電流式センサにより移動物体
の移動量を検出することができる。
図は本発明の一実施例を示す全体構成図である。
１−・・・搬送台 ２・・・センサターゲット２ａ〜
２ｅ・・・センサターゲットの部分３ａ、３ｂ・・・う
ず電流式センサ ７・・・信号処理装置
２ｅ・・・センサターゲットの部分３ａ、３ｂ・・・う
ず電流式センサ ７・・・信号処理装置
Claims (1)
- センシング方向が比較的大きい移動を行う移動物体の
移動方向に直交するように固設されたうず電流式センサ
と、前記移動物体に取付けられ移動方向に平行な面を備
え表面性状及び又は内部形状が連続的又は断続的に変化
するセンサターゲットと、前記うず電流式センサからの
信号を処理して前記移動物体の移動変位量または移動速
度を検出する信号処理装置とからなることを特徴とする
うず電流式センサによる移動物体の移動量の検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31424890A JPH04186101A (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | うず電流式センサによる移動物体の移動量の検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31424890A JPH04186101A (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | うず電流式センサによる移動物体の移動量の検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04186101A true JPH04186101A (ja) | 1992-07-02 |
Family
ID=18051069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31424890A Pending JPH04186101A (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | うず電流式センサによる移動物体の移動量の検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04186101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200015501A (ko) * | 2017-05-26 | 2020-02-12 | 알레그로 마이크로시스템스, 엘엘씨 | 코일 구동 위치 센서들을 위한 타겟들 |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP31424890A patent/JPH04186101A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200015501A (ko) * | 2017-05-26 | 2020-02-12 | 알레그로 마이크로시스템스, 엘엘씨 | 코일 구동 위치 센서들을 위한 타겟들 |
| JP2020521962A (ja) * | 2017-05-26 | 2020-07-27 | アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー | コイル作動型位置センサのための標的 |
| US11320496B2 (en) | 2017-05-26 | 2022-05-03 | Allegro Microsystems, Llc | Targets for coil actuated position sensors |
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