JPH0617864B2 - 熱膨張振動を用いた試料評価方法 - Google Patents
熱膨張振動を用いた試料評価方法Info
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- JPH0617864B2 JPH0617864B2 JP2070967A JP7096790A JPH0617864B2 JP H0617864 B2 JPH0617864 B2 JP H0617864B2 JP 2070967 A JP2070967 A JP 2070967A JP 7096790 A JP7096790 A JP 7096790A JP H0617864 B2 JPH0617864 B2 JP H0617864B2
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- Japan
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は試料に周期的に強度変調した励起光を照射し、
これにより生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料
の欠陥等を評価する試料評価方法に関する。
これにより生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料
の欠陥等を評価する試料評価方法に関する。
試料に周期的に強度変調した励起光を照射すると、試料
はこの光の吸収により発熱し、これにより熱膨張する。
照射光は周期的に強度変調しているため、発熱による試
料の温度変化は周期的となり、試料は熱膨張振動をおこ
す。これらの熱応答を計測することにより試料を評価す
る手法は光音響計測技術として知られている。
はこの光の吸収により発熱し、これにより熱膨張する。
照射光は周期的に強度変調しているため、発熱による試
料の温度変化は周期的となり、試料は熱膨張振動をおこ
す。これらの熱応答を計測することにより試料を評価す
る手法は光音響計測技術として知られている。
第３図はマイケルソン型レーザ光干渉法により試料の熱
膨張振動を計測する手法を示したものである(Miranda,A
PPLID OPTICS vo122,No18,P2882(1983))。ここに６１は
被測定試料、６２は試料に熱膨張振動を与えるための励
起光源であり、チョッパー６３により励起光源６２から
の光を強度変調し、試料６１に照射する。この熱膨張振
動をレーザ光干渉法により計測する。そのために測定用
レーザ６４からの光を半透鏡６５で二分し、一方を、試
料の熱膨張測定点に、他方を空間的に固定した鏡６６に
照射させ、これらからの反射光を干渉させ光電変換器６
７で受光する。光電変換器６７からの電気出力Ｅは Ｅ＝Ｃ１＋Ｃ２cos(Ｐ(t)＋φ)…（１） ここで、Ｃ１，Ｃ２及びφは試料６１や干渉計の構成や
光電変換係数等に依存する定数、λは測定用レーザの波
長である。Ｐ(t)は励起光照射による熱膨張振動による
試料の表面変位による位相変化であり、この計測により
試料の熱膨張振動（位相φ及び振幅Ｌ）を計測し、試料
の熱弾性的性質を評価する。第４図は反射率計測法に基
づく手法である（特開昭６１−２０４６）。励起レーザ
３０からの光を変調器３２に周期的に強度変調し試料２
２に照射し、試料に周期的温度変化を与える。この温度
変化が試料に光反射率の変化をもたらす。この反射率の
変化を検出するために測定用レーザ５０を、試料の温度
変化計測点（本図においては励起レーザ照射点と同位
置）にミラー３６を通して照射し、その反射光を光検出
器５６で検出する。この出力から信号処理回路５８によ
り、反射率の変化を求める。
膨張振動を計測する手法を示したものである(Miranda,A
PPLID OPTICS vo122,No18,P2882(1983))。ここに６１は
被測定試料、６２は試料に熱膨張振動を与えるための励
起光源であり、チョッパー６３により励起光源６２から
の光を強度変調し、試料６１に照射する。この熱膨張振
動をレーザ光干渉法により計測する。そのために測定用
レーザ６４からの光を半透鏡６５で二分し、一方を、試
料の熱膨張測定点に、他方を空間的に固定した鏡６６に
照射させ、これらからの反射光を干渉させ光電変換器６
７で受光する。光電変換器６７からの電気出力Ｅは Ｅ＝Ｃ１＋Ｃ２cos(Ｐ(t)＋φ)…（１） ここで、Ｃ１，Ｃ２及びφは試料６１や干渉計の構成や
光電変換係数等に依存する定数、λは測定用レーザの波
長である。Ｐ(t)は励起光照射による熱膨張振動による
試料の表面変位による位相変化であり、この計測により
試料の熱膨張振動（位相φ及び振幅Ｌ）を計測し、試料
の熱弾性的性質を評価する。第４図は反射率計測法に基
づく手法である（特開昭６１−２０４６）。励起レーザ
３０からの光を変調器３２に周期的に強度変調し試料２
２に照射し、試料に周期的温度変化を与える。この温度
変化が試料に光反射率の変化をもたらす。この反射率の
変化を検出するために測定用レーザ５０を、試料の温度
変化計測点（本図においては励起レーザ照射点と同位
置）にミラー３６を通して照射し、その反射光を光検出
器５６で検出する。この出力から信号処理回路５８によ
り、反射率の変化を求める。
前者のマイケルソン型レーザ光干渉により試料の熱膨張
を計測する手法では、前記式（１）における定数Ｃ１，
Ｃ２の変化が外乱として測定精度を低下させる。
を計測する手法では、前記式（１）における定数Ｃ１，
Ｃ２の変化が外乱として測定精度を低下させる。
例えば励起光照射による試料の温度変化およびプラズマ
（電子、ホール）密度の変化（半導体試料の場合）によ
り試料の反射率が変化する場合がある。この場合、干渉
光の信号は、反射率変化に伴う外乱信号を含んでいるこ
とになり、干渉光の信号から真の熱膨張信号を計測でき
ない。
（電子、ホール）密度の変化（半導体試料の場合）によ
り試料の反射率が変化する場合がある。この場合、干渉
光の信号は、反射率変化に伴う外乱信号を含んでいるこ
とになり、干渉光の信号から真の熱膨張信号を計測でき
ない。
また、後者の反射率計測法に基づく手法は、試料の温度
変化、プラズマ密度変化の計測であるため、試料の熱膨
張率等の熱弾性的性質を得ることができない。また熱拡
散長内の情報しか獲られないため、試料深部を評価でき
ないという欠点がある。更に基本的に温度変化にたいし
て、反射率が変化する試料しか適用できない。
変化、プラズマ密度変化の計測であるため、試料の熱膨
張率等の熱弾性的性質を得ることができない。また熱拡
散長内の情報しか獲られないため、試料深部を評価でき
ないという欠点がある。更に基本的に温度変化にたいし
て、反射率が変化する試料しか適用できない。
従って本発明が目的とするところは、試料の温度変化、
プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といっ
た外乱の影響を受けず、試料の真の熱膨張振動を計測す
ることのできる熱膨張振動による試料評価方法を提供す
ることである。
プラズマ密度の変化等による試料の反射率の変化といっ
た外乱の影響を受けず、試料の真の熱膨張振動を計測す
ることのできる熱膨張振動による試料評価方法を提供す
ることである。
上記目的を達成するために本発明は、試料に周期的（周
波数：Ｆ）に強度変調した励起光を照射し、これによっ
て生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価す
る方法において、前記励起光照射によって熱膨張振動を
生じる試料表面位置に、振動周波数Ｆ１なる測定光（ビ
ーム１）を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参
照光（ビーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換し
た電気信号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号
Ｅ１（ビート周波数：Ｆｂ（Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２））を取
り出し、上記ビート波信号Ｅ１を２値化処理して２値信
号Ｅ２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−Ｆｂ
あるいはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び
位相により試料を評価することを特徴とする熱膨張振動
を用いた試料評価方法として構成されている。
波数：Ｆ）に強度変調した励起光を照射し、これによっ
て生じる試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価す
る方法において、前記励起光照射によって熱膨張振動を
生じる試料表面位置に、振動周波数Ｆ１なる測定光（ビ
ーム１）を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参
照光（ビーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換し
た電気信号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号
Ｅ１（ビート周波数：Ｆｂ（Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２））を取
り出し、上記ビート波信号Ｅ１を２値化処理して２値信
号Ｅ２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−Ｆｂ
あるいはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び
位相により試料を評価することを特徴とする熱膨張振動
を用いた試料評価方法として構成されている。
続いて第１図，第２図を参照して本発明を具体化した実
施例につき説明する。
施例につき説明する。
ここに第１図は一実施例装置のブロック図、第２図は試
料の内部欠陥を検出する手法の概念図である。
料の内部欠陥を検出する手法の概念図である。
尚、以下の実施例は本発明を具体化した一例にすぎず、
本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
第１図に示す如く、試料４に熱膨張振動をあたえる励起
レーザとして半導体レーザ１用いられる。同レーザ１へ
の注入電流の変化により、励起光を周波数Ｆで強度変調
し、ダイクロイックミラー２で反射させ、レンズ３で集
光し、試料４に照射する。
レーザとして半導体レーザ１用いられる。同レーザ１へ
の注入電流の変化により、励起光を周波数Ｆで強度変調
し、ダイクロイックミラー２で反射させ、レンズ３で集
光し、試料４に照射する。
試料４は、この周期的な光照射により、周期的な加熱を
うけ、熱膨張振動をおこす。この熱膨張振動を次に述べ
るレーザ光干渉法で計測する。
うけ、熱膨張振動をおこす。この熱膨張振動を次に述べ
るレーザ光干渉法で計測する。
測定用レーザとして、Ｈｅ−Ｎｅレーザが用いられる。
この出射光を周波数シフター６により互いに直交し周波
数差がＦｂなる測定光（ビーム１）、参照光（ビーム
２）を生成する。これらの光を偏光ビームスプリッタ７
により２つに分け、ビーム１ダイクロイックミラー２を
透過させ、レンズ３で集光し、試料４に照射し、ビーム
２をミラー８に照射する。ビーム１の試料４からの反射
光は、1/4波長板９を通過後、偏光面が９０度変化する
ため、偏光ビームスプリッタ７で、今度は反射する。同
様にビーム２のミラー８からの反射光は偏光ビームスプ
リッタ７を透過する。これらのレーザ光は直交している
ため偏光板１０を透過さすことにより、これらのビーム
を干渉させ、この干渉光を光電変換器１１で受光する。
この出射光を周波数シフター６により互いに直交し周波
数差がＦｂなる測定光（ビーム１）、参照光（ビーム
２）を生成する。これらの光を偏光ビームスプリッタ７
により２つに分け、ビーム１ダイクロイックミラー２を
透過させ、レンズ３で集光し、試料４に照射し、ビーム
２をミラー８に照射する。ビーム１の試料４からの反射
光は、1/4波長板９を通過後、偏光面が９０度変化する
ため、偏光ビームスプリッタ７で、今度は反射する。同
様にビーム２のミラー８からの反射光は偏光ビームスプ
リッタ７を透過する。これらのレーザ光は直交している
ため偏光板１０を透過さすことにより、これらのビーム
を干渉させ、この干渉光を光電変換器１１で受光する。
光電変換器１１からの出力Ｖをフィルタ１２を通し干渉
光におけるビート波信号Ｅ１を取り出す。
光におけるビート波信号Ｅ１を取り出す。
Ｅ１は Ｅ１＝Ａｃｏｓ（２πＦｂｔ＋Ｐ(t)＋φ）…（２） で与えられる。ここでＡは試料、干渉光学系等に依存す
る値（（１）式のＣ２に相当）、Ｐ(t)は試料の熱膨張
振動によるビーム１の位相変化、φはＰ(t)が零のとき
のビーム１、ビーム２間の光路長差による位相差であ
る。試料の振動の振幅をＬ、位相をＰとするとＰ(t)は で与れられる。ここでＬ＜＜λのときＥ１の周波数Ｆｂ
−Ｆをもつ信号成分Ｖは となり、この周波数成分の信号の振幅Ｌ、位相Ｐの計測
により試料の熱膨張振動の計測が可能である。しかし前
述のようにＡは試料の温度変化、プラズマ密度変化に伴
って変化する試料の反射率に影響されるのえ、これが変
動する場合、ノイズとなり正確に熱膨張振動を計測でき
ない。
る値（（１）式のＣ２に相当）、Ｐ(t)は試料の熱膨張
振動によるビーム１の位相変化、φはＰ(t)が零のとき
のビーム１、ビーム２間の光路長差による位相差であ
る。試料の振動の振幅をＬ、位相をＰとするとＰ(t)は で与れられる。ここでＬ＜＜λのときＥ１の周波数Ｆｂ
−Ｆをもつ信号成分Ｖは となり、この周波数成分の信号の振幅Ｌ、位相Ｐの計測
により試料の熱膨張振動の計測が可能である。しかし前
述のようにＡは試料の温度変化、プラズマ密度変化に伴
って変化する試料の反射率に影響されるのえ、これが変
動する場合、ノイズとなり正確に熱膨張振動を計測でき
ない。
そこで、本実施例では、Ｅ１の値を零レベル（しきい
値）と比較し、Ｅ１が零レベル以上ならＥ１＝Ｖ、Ｅ１
が零レベル以下ならＥ１＝−Ｖとなるようにコンパレー
タ（１３）で２値化による波形変換を行う。この波形変
換後の信号Ｅ２は となる。この場合、Ｅ２においてＬ＜＜λのときの周波
数Ｆｂ−Ｆをもつ信号成分 となり、Ａを含まないため、正確に熱膨張振動（振幅
Ｌ，位相Ｐ）を計測できる。
値）と比較し、Ｅ１が零レベル以上ならＥ１＝Ｖ、Ｅ１
が零レベル以下ならＥ１＝−Ｖとなるようにコンパレー
タ（１３）で２値化による波形変換を行う。この波形変
換後の信号Ｅ２は となる。この場合、Ｅ２においてＬ＜＜λのときの周波
数Ｆｂ−Ｆをもつ信号成分 となり、Ａを含まないため、正確に熱膨張振動（振幅
Ｌ，位相Ｐ）を計測できる。
Ｅ２から周波数Ｆｂ−Ｆをもつ信号成分を抽出するため
に、周波数解析器、ＦＭチューナー等の利用が考えられ
るが、信号レベルが小さいときには、同期検波方式を用
いるのが適している。この場合、同期検波において、参
照信号として周波数Ｆｂ−Ｆをもつ信号で同期検波をお
こなえばよい。しかし、一般に光学干渉計は空気の揺ら
ぎや外乱振動等の影響を受け易くこれがノイズとなり、
（２）式、（５）式における位相φに時間的変動をもた
らす。φの変動はＶの変動となり、安定に熱膨張振動を
計測できない。
に、周波数解析器、ＦＭチューナー等の利用が考えられ
るが、信号レベルが小さいときには、同期検波方式を用
いるのが適している。この場合、同期検波において、参
照信号として周波数Ｆｂ−Ｆをもつ信号で同期検波をお
こなえばよい。しかし、一般に光学干渉計は空気の揺ら
ぎや外乱振動等の影響を受け易くこれがノイズとなり、
（２）式、（５）式における位相φに時間的変動をもた
らす。φの変動はＶの変動となり、安定に熱膨張振動を
計測できない。
そこで、本実施例では、まずＥ２に変調信号(M・sin(2π
Ft+q))を乗算器１４で乗算する。Ｍおよびｑは既知の定
数。乗算後の信号Ｖｍは、 Ｖｍ＝Ｒcos（２π（Ｆｂ＋Ｆ）ｔ＋φ＋ｑ） ＋Ｒcos（２π（Ｆｂ−Ｆ）ｔ＋φ−ｑ）…（７） （Ｒ＝2MV／π） になる。次にＶｍをフィルタ１５に通し上式の右辺にお
ける第２項の信号Ｖｒを取り出す。このＶｒを参照信号
として同期検波を行う。Ｖｒには位相φを含んでいるた
めＶｒを参照信号として同期検波１６を行えば、Ｖにお
ける位相φの影響は相殺される。同期検波出力Ｖｏは となり、位相φはなくなり安定にＶｏを計測でき、これ
により熱膨張振動（Ｌ，Ｐ）を高精度で計測できる。
Ft+q))を乗算器１４で乗算する。Ｍおよびｑは既知の定
数。乗算後の信号Ｖｍは、 Ｖｍ＝Ｒcos（２π（Ｆｂ＋Ｆ）ｔ＋φ＋ｑ） ＋Ｒcos（２π（Ｆｂ−Ｆ）ｔ＋φ−ｑ）…（７） （Ｒ＝2MV／π） になる。次にＶｍをフィルタ１５に通し上式の右辺にお
ける第２項の信号Ｖｒを取り出す。このＶｒを参照信号
として同期検波を行う。Ｖｒには位相φを含んでいるた
めＶｒを参照信号として同期検波１６を行えば、Ｖにお
ける位相φの影響は相殺される。同期検波出力Ｖｏは となり、位相φはなくなり安定にＶｏを計測でき、これ
により熱膨張振動（Ｌ，Ｐ）を高精度で計測できる。
なお上記においては、周波数Ｆｂ−Ｆの抽出について記
したが、Ｅ２において周波数Ｆｂ＋Ｆの成分にも熱膨張
振動の情報が含まれる。従って（７）式のＶｍの右辺の
第１項の信号を参照信号として用いても熱膨張振動を計
測できる。
したが、Ｅ２において周波数Ｆｂ＋Ｆの成分にも熱膨張
振動の情報が含まれる。従って（７）式のＶｍの右辺の
第１項の信号を参照信号として用いても熱膨張振動を計
測できる。
第２図の試料の内部欠陥の検出方法を示す。即ち、同図
は試料の表面に熱膨張信号を誘起するレーザ光を照射さ
せ、熱膨張振動による歪波を試料の背面あるいは照射点
から離れた地点で検出する構成を示している。この場
合、検出される振動には、弾性波伝搬中の情報（弾性的
特性）を含んでおり、試料内部の欠陥、表面クラックの
等が検出できる。前記従来の反射率計測法では、励起光
の拡散長内の情報しか得られないため、このような評価
はできない。
は試料の表面に熱膨張信号を誘起するレーザ光を照射さ
せ、熱膨張振動による歪波を試料の背面あるいは照射点
から離れた地点で検出する構成を示している。この場
合、検出される振動には、弾性波伝搬中の情報（弾性的
特性）を含んでおり、試料内部の欠陥、表面クラックの
等が検出できる。前記従来の反射率計測法では、励起光
の拡散長内の情報しか得られないため、このような評価
はできない。
本発明は以上述べたように、試料に周期的（周波数：
Ｆ）に強度変調した励起光を照射し、これによって生じ
る試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価する方法
において、前記励起光照射によって熱膨張振動を生じる
試料表面位置に、振動周波数Ｆ１なる測定光（ビーム
１）を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参照光
（ビーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換した電
気信号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号Ｅ１
（ビート周波数：Ｆｂ（Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２））を取り出
し、上記ビート波信号Ｅ１を２値化処理して２値信号Ｅ
２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−Ｆｂある
いはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び位相
により試料を評価することを特徴とする熱膨張振動を用
いた試料評価方法であるから、試料の温度変化又はプラ
ズマ密度の変化等に伴う反射率の変化により生じる測定
光の振幅変化の影響がキャンセルされるので、試料の真
の熱膨張振動を計測することができる。
Ｆ）に強度変調した励起光を照射し、これによって生じ
る試料表面の熱膨張振動を測定して試料を評価する方法
において、前記励起光照射によって熱膨張振動を生じる
試料表面位置に、振動周波数Ｆ１なる測定光（ビーム
１）を照射し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参照光
（ビーム２）を干渉させ、上記干渉光を光電変換した電
気信号Ｅを得た後、上記電気信号Ｅのビート波信号Ｅ１
（ビート周波数：Ｆｂ（Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２））を取り出
し、上記ビート波信号Ｅ１を２値化処理して２値信号Ｅ
２に変換し、上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−Ｆｂある
いはＦ＋Ｆｂの成分を抽出し、この成分の振幅及び位相
により試料を評価することを特徴とする熱膨張振動を用
いた試料評価方法であるから、試料の温度変化又はプラ
ズマ密度の変化等に伴う反射率の変化により生じる測定
光の振幅変化の影響がキャンセルされるので、試料の真
の熱膨張振動を計測することができる。
第１図は本発明の一実施例に係る評価方法の実施に使用
する装置を示すブロック図、第２図は試料の内部欠陥の
検出方法を示す概念図、第３図は従来の熱膨張振動を計
測する手法の概念図、第４図は従来の反射率計測法に基
づく試料評価手法を示す概念図である。 〔符号の説明〕 １……励起レーザ ２……ダイクロイックミラー ３……レンズ ４……試料 ５……測定用レーザ ６……周波数シフタ ７……偏向ビームスプリッタ ８……参照ミラー ９……1/4波長板、１０……偏光板 １１……光電変換器、１２……フィルタ １３……コンパレータ、１４……乗算器 １５……フィルタ、１６……同期検波器
する装置を示すブロック図、第２図は試料の内部欠陥の
検出方法を示す概念図、第３図は従来の熱膨張振動を計
測する手法の概念図、第４図は従来の反射率計測法に基
づく試料評価手法を示す概念図である。 〔符号の説明〕 １……励起レーザ ２……ダイクロイックミラー ３……レンズ ４……試料 ５……測定用レーザ ６……周波数シフタ ７……偏向ビームスプリッタ ８……参照ミラー ９……1/4波長板、１０……偏光板 １１……光電変換器、１２……フィルタ １３……コンパレータ、１４……乗算器 １５……フィルタ、１６……同期検波器
Claims (1)
- 【請求項１】試料に周期的（周波数：Ｆ）に強度変調し
た励起光を照射し、これによって生じる試料表面の熱膨
張振動を測定して試料を評価する方法において、 前記励起光照射によって熱膨張振動を生じる試料表面位
置に、振動周波数Ｆ１なる測定光（ビーム１）を照射
し、その反射光と振動周波数Ｆ２なる参照光（ビーム
２）を干渉させ、 上記干渉光を光電変換した電気信号Ｅを得た後、 上記電気信号Ｅのビート波信号Ｅ１（ビート周波数：Ｆ
ｂ（Ｆｂ＝Ｆ１−Ｆ２））を取り出し、 上記ビート波信号Ｅ１を２値化処理して２値信号Ｅ２に
変換し、 上記２値信号Ｅ２から周波数Ｆ−ＦｂあるいはＦ＋Ｆｂ
の成分を抽出し、この成分の振幅及び位相により試料を
評価することを特徴とする熱膨張振動を用いた試料評価
方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2070967A JPH0617864B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 熱膨張振動を用いた試料評価方法 |
| KR1019910004405A KR0168444B1 (ko) | 1990-03-20 | 1991-03-20 | 열팽창진동을 이용한 시료평가방법 |
| DE4109182A DE4109182A1 (de) | 1990-03-20 | 1991-03-20 | Verfahren zur probenbewertung durch nutzung der waermeausdehnungsverformung |
| US07/955,241 US5298970A (en) | 1990-03-20 | 1992-10-01 | Sample evaluating method by using thermal expansion displacement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2070967A JPH0617864B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 熱膨張振動を用いた試料評価方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03269345A JPH03269345A (ja) | 1991-11-29 |
| JPH0617864B2 true JPH0617864B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=13446806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2070967A Expired - Fee Related JPH0617864B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 熱膨張振動を用いた試料評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617864B2 (ja) |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP2070967A patent/JPH0617864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03269345A (ja) | 1991-11-29 |
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