JPH06174477A - 振動ジャイロ用振動子 - Google Patents
振動ジャイロ用振動子Info
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- JPH06174477A JPH06174477A JP4352643A JP35264392A JPH06174477A JP H06174477 A JPH06174477 A JP H06174477A JP 4352643 A JP4352643 A JP 4352643A JP 35264392 A JP35264392 A JP 35264392A JP H06174477 A JPH06174477 A JP H06174477A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 出力応答特性およびドリフト特性のよい、振
動ジャイロ用振動子を提供する。 【構成】 振動子１０は正３角柱状の振動体１２を含
む。振動体１２の３つの側面の中央には、圧電素子１４
ａ，１４ｂおよび１４ｃがそれぞれ形成される。２つの
圧電素子１４ａおよび１４ｂは、たとえば、駆動用かつ
検出用として用いられる。他の圧電素子１４ｃは、たと
えば、帰還用として用いられる。振動体１２の稜線部１
２ａ，１２ｂおよび１２ｃがトリミングされることによ
って、検出側の共振周波数が、駆動側の共振周波数より
たとえば３Ｈｚ低くなるように調整されている。
動ジャイロ用振動子を提供する。 【構成】 振動子１０は正３角柱状の振動体１２を含
む。振動体１２の３つの側面の中央には、圧電素子１４
ａ，１４ｂおよび１４ｃがそれぞれ形成される。２つの
圧電素子１４ａおよび１４ｂは、たとえば、駆動用かつ
検出用として用いられる。他の圧電素子１４ｃは、たと
えば、帰還用として用いられる。振動体１２の稜線部１
２ａ，１２ｂおよび１２ｃがトリミングされることによ
って、検出側の共振周波数が、駆動側の共振周波数より
たとえば３Ｈｚ低くなるように調整されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロ用振動子
に関し、特にたとえば、角速度を検知することにより移
動体の位置を検出して適切な誘導を行うナビゲーション
システム、あるいは外的振動を検知して適切な制振を行
うヨーレートセンサなどに応用できる振動ジャイロに用
いられる振動子に関する。
に関し、特にたとえば、角速度を検知することにより移
動体の位置を検出して適切な誘導を行うナビゲーション
システム、あるいは外的振動を検知して適切な制振を行
うヨーレートセンサなどに応用できる振動ジャイロに用
いられる振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の振動ジャイロ用振動子の一
例を示す斜視図であり、図８は図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩ
ＩＩにおける断面図である。この振動子１は振動体２を
含む。振動体２は、たとえば恒弾性金属材料で、正３角
柱状に形成される。振動体２の３つの側面の中央には、
圧電素子３ａ，３ｂおよび３ｃがそれぞれ形成される。
これらの圧電素子３ａ，３ｂおよび３ｃは、それぞれ、
たとえば圧電セラミックの両主面に電極を形成したもの
である。
例を示す斜視図であり、図８は図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩ
ＩＩにおける断面図である。この振動子１は振動体２を
含む。振動体２は、たとえば恒弾性金属材料で、正３角
柱状に形成される。振動体２の３つの側面の中央には、
圧電素子３ａ，３ｂおよび３ｃがそれぞれ形成される。
これらの圧電素子３ａ，３ｂおよび３ｃは、それぞれ、
たとえば圧電セラミックの両主面に電極を形成したもの
である。
【０００３】この振動子１では、たとえば、２つの圧電
素子３ａおよび３ｂが、駆動用かつ検出用として用いら
れ、他の圧電素子３ｃが帰還用として用いられる。
素子３ａおよび３ｂが、駆動用かつ検出用として用いら
れ、他の圧電素子３ｃが帰還用として用いられる。
【０００４】さらに、この振動子１では、振動体２の稜
線部２ａ，２ｂおよび２ｃの中間部を適宜削ることによ
って、駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数とが一
致されている。
線部２ａ，２ｂおよび２ｃの中間部を適宜削ることによ
って、駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数とが一
致されている。
【０００５】そして、この振動子１を振動ジャイロに用
いるためには、たとえば、帰還用の圧電素子３ｃと駆動
用の圧電素子３ａおよび３ｂとの間に、自励振駆動する
ための帰還ループとして発振回路が接続される。この発
振回路からの信号によって、振動体２は帰還用の圧電素
子３ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動する。この状態
で、振動子１が回転すれば、検出用の２つの圧電素子３
ａおよび３ｂ間に出力差が生じ、その出力差を測定する
ことによって回転角速度を検知することができる。
いるためには、たとえば、帰還用の圧電素子３ｃと駆動
用の圧電素子３ａおよび３ｂとの間に、自励振駆動する
ための帰還ループとして発振回路が接続される。この発
振回路からの信号によって、振動体２は帰還用の圧電素
子３ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動する。この状態
で、振動子１が回転すれば、検出用の２つの圧電素子３
ａおよび３ｂ間に出力差が生じ、その出力差を測定する
ことによって回転角速度を検知することができる。
【０００６】なお、この振動子１は、たとえば、２つの
圧電素子３ａおよび３ｂを帰還用かつ検出用として用
い、他の圧電素子３ｃを駆動用として用いることもでき
る。
圧電素子３ａおよび３ｂを帰還用かつ検出用として用
い、他の圧電素子３ｃを駆動用として用いることもでき
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図７および図８に示す
振動子では、駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数
とが一致されているので、検出側の等価Ｑが高い。その
ため、この振動子では、検出側の出力の位相遅れが大き
く、出力応答特性がわるい。
振動子では、駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数
とが一致されているので、検出側の等価Ｑが高い。その
ため、この振動子では、検出側の出力の位相遅れが大き
く、出力応答特性がわるい。
【０００８】さらに、図７および図８に示す振動子で
は、駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数とが一致
されているので、振動子の発振周波数が検出側の共振周
波数と一致する。ところが、共振周波数付近では振動子
のインピーダンス周波数特性がノンリニアな領域である
ため、温度変化などによって振動子の発振周波数やイン
ピーダンス周波数特性が変動した場合、２つの検出用の
圧電素子の出力差にドリフトが発生しやすい。
は、駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数とが一致
されているので、振動子の発振周波数が検出側の共振周
波数と一致する。ところが、共振周波数付近では振動子
のインピーダンス周波数特性がノンリニアな領域である
ため、温度変化などによって振動子の発振周波数やイン
ピーダンス周波数特性が変動した場合、２つの検出用の
圧電素子の出力差にドリフトが発生しやすい。
【０００９】それゆえに、この発明の主たる目的は、出
力応答特性およびドリフト特性のよい、振動ジャイロ用
振動子を提供することである。
力応答特性およびドリフト特性のよい、振動ジャイロ用
振動子を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、角柱状の振
動体と、振動体の側面に形成される圧電素子とを含み、
振動体の稜線部の中間部をトリミングして、駆動側の共
振周波数と検出側の共振周波数とを異ならせた、振動ジ
ャイロ用振動子である。
動体と、振動体の側面に形成される圧電素子とを含み、
振動体の稜線部の中間部をトリミングして、駆動側の共
振周波数と検出側の共振周波数とを異ならせた、振動ジ
ャイロ用振動子である。
【００１１】
【作用】この発明にかかる振動子は、駆動側の共振周波
数と検出側の共振周波数とを異ならせたので、検出側の
等価Ｑが低くなる。そのため、この発明にかかる振動子
では、検出側の出力の位相遅れが小さくなり、出力応答
特性がよくなる。
数と検出側の共振周波数とを異ならせたので、検出側の
等価Ｑが低くなる。そのため、この発明にかかる振動子
では、検出側の出力の位相遅れが小さくなり、出力応答
特性がよくなる。
【００１２】さらに、この発明にかかる振動子は、駆動
側の共振周波数と検出側の共振周波数とを異ならせたの
で、検出側のインピーダンス周波数特性がリニアな領域
で発振する。そのため、この発明にかかる振動子は、ド
リフト特性がよくなる。
側の共振周波数と検出側の共振周波数とを異ならせたの
で、検出側のインピーダンス周波数特性がリニアな領域
で発振する。そのため、この発明にかかる振動子は、ド
リフト特性がよくなる。
【００１３】
【発明の効果】この発明によれば、出力応答特性および
ドリフト特性のよい、振動ジャイロ用振動子が得られ
る。
ドリフト特性のよい、振動ジャイロ用振動子が得られ
る。
【００１４】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１５】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図２は図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図である。
振動子１０は振動体１２を含む。振動体１２は、たとえ
ば恒弾性金属材料などで、正３角柱状に形成される。振
動体１２の３つの側面の中央には、圧電素子１４ａ，１
４ｂおよび１４ｃがそれぞれ形成される。圧電素子１４
ａは、たとえば圧電体１６ａを含む。この圧電体１６ａ
の両面には、電極１８ａおよび２０ａが形成される。そ
して、一方の電極２０ａが、振動体１２の側面に接着さ
れる。同様に、圧電素子１４ｂおよび１４ｃは、圧電体
１６ｂおよび１６ｃを含み、これらの圧電体１６ｂおよ
び１６ｃの両面にも、電極１８ｂ，１８ｃ，２０ｂおよ
び２０ｃがそれぞれ形成される。そして、電極２０ｂお
よび電極２０ｃが、振動体１２の側面に接着される。こ
の振動子１２では、２つの圧電素子１４ａおよび１４ｂ
が駆動用かつ検出用として用いられ、他の圧電素子１４
ｃが帰還用として用いられる。
り、図２は図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図である。
振動子１０は振動体１２を含む。振動体１２は、たとえ
ば恒弾性金属材料などで、正３角柱状に形成される。振
動体１２の３つの側面の中央には、圧電素子１４ａ，１
４ｂおよび１４ｃがそれぞれ形成される。圧電素子１４
ａは、たとえば圧電体１６ａを含む。この圧電体１６ａ
の両面には、電極１８ａおよび２０ａが形成される。そ
して、一方の電極２０ａが、振動体１２の側面に接着さ
れる。同様に、圧電素子１４ｂおよび１４ｃは、圧電体
１６ｂおよび１６ｃを含み、これらの圧電体１６ｂおよ
び１６ｃの両面にも、電極１８ｂ，１８ｃ，２０ｂおよ
び２０ｃがそれぞれ形成される。そして、電極２０ｂお
よび電極２０ｃが、振動体１２の側面に接着される。こ
の振動子１２では、２つの圧電素子１４ａおよび１４ｂ
が駆動用かつ検出用として用いられ、他の圧電素子１４
ｃが帰還用として用いられる。
【００１６】さらに、この振動子１０では、振動体１２
の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリミ
ングすることによって、駆動側の共振周波数と検出側の
２つの共振周波数とを異ならせている。なお、振動体１
２の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリ
ミングするためには、トリミングする部分を削ったり、
レーザによって熱溶融したりすればよい。この場合、駆
動側の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４
ａおよび１４ｂの間の稜線部１２ａの中間部のトリミン
グ量を多くするに従って低くなる。また、検出側の一方
の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４ｂお
よび１４ｃの間の稜線部１２ｂの中間部のトリミング量
を多くするに従って低くなり、検出側の他方の共振周波
数は、振動体１２において圧電素子１４ａおよび１４ｃ
の間の稜線部１２ｃの中間部のトリミング量を多くする
に従って低くなる。この実施例では、駆動側の２つの共
振周波数がほぼ一致され、検出側の共振周波数が駆動側
の共振周波数よりたとえば３Ｈｚ低くなるように調整さ
れている。
の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリミ
ングすることによって、駆動側の共振周波数と検出側の
２つの共振周波数とを異ならせている。なお、振動体１
２の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリ
ミングするためには、トリミングする部分を削ったり、
レーザによって熱溶融したりすればよい。この場合、駆
動側の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４
ａおよび１４ｂの間の稜線部１２ａの中間部のトリミン
グ量を多くするに従って低くなる。また、検出側の一方
の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４ｂお
よび１４ｃの間の稜線部１２ｂの中間部のトリミング量
を多くするに従って低くなり、検出側の他方の共振周波
数は、振動体１２において圧電素子１４ａおよび１４ｃ
の間の稜線部１２ｃの中間部のトリミング量を多くする
に従って低くなる。この実施例では、駆動側の２つの共
振周波数がほぼ一致され、検出側の共振周波数が駆動側
の共振周波数よりたとえば３Ｈｚ低くなるように調整さ
れている。
【００１７】この振動子１０の駆動側および検出側にお
けるインピーダンス周波数特性および位相周波数特性を
図３に示す。
けるインピーダンス周波数特性および位相周波数特性を
図３に示す。
【００１８】この振動子１０を振動ジャイロに用いるた
めには、たとえば、帰還用の圧電素子１４ｃと駆動用の
圧電素子１４ａおよび１４ｂとの間に、自励振駆動する
ための帰還ループとして発振回路が接続される。さら
に、検出用の２つの圧電素子１４ａおよび１４ｂが、検
出回路として差動増幅回路の２つの入力端にそれぞれ接
続される。
めには、たとえば、帰還用の圧電素子１４ｃと駆動用の
圧電素子１４ａおよび１４ｂとの間に、自励振駆動する
ための帰還ループとして発振回路が接続される。さら
に、検出用の２つの圧電素子１４ａおよび１４ｂが、検
出回路として差動増幅回路の２つの入力端にそれぞれ接
続される。
【００１９】したがって、この振動子１０は、発振回路
からの信号によって、帰還用の圧電素子１４ｃ形成面に
直交する方向に屈曲振動する。
からの信号によって、帰還用の圧電素子１４ｃ形成面に
直交する方向に屈曲振動する。
【００２０】この状態で、振動子１０がその軸方向を中
心として回転すると、コリオリ力によって振動子１０の
振動方向が変わり、検出用の２つの圧電素子１４ａおよ
び１４ｂに発生する電圧に差が生じる。これらの圧電素
子１４ａおよび１４ｂの出力電圧の差は、差動増幅回路
によって増幅される。したがって、差動増幅回路の出力
から、振動子１０に加わった回転角速度を検出すること
ができる。
心として回転すると、コリオリ力によって振動子１０の
振動方向が変わり、検出用の２つの圧電素子１４ａおよ
び１４ｂに発生する電圧に差が生じる。これらの圧電素
子１４ａおよび１４ｂの出力電圧の差は、差動増幅回路
によって増幅される。したがって、差動増幅回路の出力
から、振動子１０に加わった回転角速度を検出すること
ができる。
【００２１】この振動子１０は、駆動側の共振周波数と
検出側の共振周波数とを異ならせたので、検出側の等価
Ｑが低くなる。そのため、この振動子１０では、検出側
の出力の位相遅れが小さくなり、出力応答特性がよくな
る。
検出側の共振周波数とを異ならせたので、検出側の等価
Ｑが低くなる。そのため、この振動子１０では、検出側
の出力の位相遅れが小さくなり、出力応答特性がよくな
る。
【００２２】さらに、この振動子１０は、駆動側の共振
周波数と検出側の共振周波数とを異ならせたので、検出
側のインピーダンス周波数特性がリニアな領域で発振す
る。そのため、この振動子１０は、ドリフト特性がよく
なる。
周波数と検出側の共振周波数とを異ならせたので、検出
側のインピーダンス周波数特性がリニアな領域で発振す
る。そのため、この振動子１０は、ドリフト特性がよく
なる。
【００２３】図４は、図１および図２に示す実施例、図
１および図２に示す実施例において検出側の共振周波数
を駆動側の共振周波数よりたとえば１Ｈｚ低くした実施
例、および図７および図８に示す従来例において、角速
度の周波数に対する出力位相遅れ特性を示すグラフであ
る。
１および図２に示す実施例において検出側の共振周波数
を駆動側の共振周波数よりたとえば１Ｈｚ低くした実施
例、および図７および図８に示す従来例において、角速
度の周波数に対する出力位相遅れ特性を示すグラフであ
る。
【００２４】図５は、５Ｈｚの角速度を加えたときの振
動子の駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数との差
に対する出力位相遅れ特性を示すグラフである。
動子の駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数との差
に対する出力位相遅れ特性を示すグラフである。
【００２５】図４および図５に示すグラフより、振動子
において駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数とを
異ならせれば、出力応答特性がよくなることがわかる。
において駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数とを
異ならせれば、出力応答特性がよくなることがわかる。
【００２６】なお、図１および図２に振動子１０では、
２つの圧電素子１４ａおよび１４ｂが帰還用かつ検出用
として用いられ、１つの圧電素子１４ｃが駆動用として
用いられてもよい。
２つの圧電素子１４ａおよび１４ｂが帰還用かつ検出用
として用いられ、１つの圧電素子１４ｃが駆動用として
用いられてもよい。
【００２７】図６はこの発明の他の実施例を示す断面図
である。図６に示す振動子１０は、特に、正４角柱状の
振動体１２を含む。この振動子１２の４つの側面の中央
には、圧電素子１４ａ，１４ｂ，１４ｃおよび１４ｄが
それぞれ形成される。
である。図６に示す振動子１０は、特に、正４角柱状の
振動体１２を含む。この振動子１２の４つの側面の中央
には、圧電素子１４ａ，１４ｂ，１４ｃおよび１４ｄが
それぞれ形成される。
【００２８】図６に示す振動子１０では、２つの圧電素
子１４ａおよび１４ｂが駆動用かつ検出用として用いら
れ、他の２つの圧電素子１４ｃおよび１４ｄが帰還用と
して用いられる。
子１４ａおよび１４ｂが駆動用かつ検出用として用いら
れ、他の２つの圧電素子１４ｃおよび１４ｄが帰還用と
して用いられる。
【００２９】さらに、図６に示す振動子１０では、振動
体１２の稜線部１２ａ，１２ｂ，１２ｃおよび１２ｄの
中間部をトリミングすることによって、駆動側の共振周
波数と検出側の２つの共振周波数とを異ならせている。
この場合、駆動側の共振周波数は、振動体１２において
圧電素子１４ａおよび１４ｂの間の稜線部１２ａあるい
は圧電素子１４ｃおよび１４ｄの間の稜線部１２ｃの中
間部のトリミング量を多くするに従って低くなる。ま
た、検出側の一方の共振周波数は、振動体１２において
圧電素子１４ｂおよび１４ｃの間の稜線部１２ｂの中間
部のトリミング量を多くするに従って低くなり、検出側
の他方の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１
４ａおよび１４ｄの間の稜線部１２ｄの中間部のトリミ
ング量を多くするに従って低くなる。
体１２の稜線部１２ａ，１２ｂ，１２ｃおよび１２ｄの
中間部をトリミングすることによって、駆動側の共振周
波数と検出側の２つの共振周波数とを異ならせている。
この場合、駆動側の共振周波数は、振動体１２において
圧電素子１４ａおよび１４ｂの間の稜線部１２ａあるい
は圧電素子１４ｃおよび１４ｄの間の稜線部１２ｃの中
間部のトリミング量を多くするに従って低くなる。ま
た、検出側の一方の共振周波数は、振動体１２において
圧電素子１４ｂおよび１４ｃの間の稜線部１２ｂの中間
部のトリミング量を多くするに従って低くなり、検出側
の他方の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１
４ａおよび１４ｄの間の稜線部１２ｄの中間部のトリミ
ング量を多くするに従って低くなる。
【００３０】図６に示す振動子１０でも、駆動側の共振
周波数と検出側の共振周波数とを異ならせたので、出力
応答特性およびドリフト特性がよい。
周波数と検出側の共振周波数とを異ならせたので、出力
応答特性およびドリフト特性がよい。
【００３１】なお、図６に示す振動子１０において、２
つの圧電素子１４ａおよび１４ｂが駆動用として用いら
れ、他の２つの圧電素子１４ｃおよび１４ｄが帰還用か
つ検出用として用いられてもよい。
つの圧電素子１４ａおよび１４ｂが駆動用として用いら
れ、他の２つの圧電素子１４ｃおよび１４ｄが帰還用か
つ検出用として用いられてもよい。
【００３２】上述の各実施例において、帰還用のみに用
いられる圧電素子は形成されなくてもよい。この場合、
駆動用の圧電素子が帰還用としても用いられる。
いられる圧電素子は形成されなくてもよい。この場合、
駆動用の圧電素子が帰還用としても用いられる。
【００３３】また、この発明では、正３角柱状や正４角
柱状に限らず他の多角柱状の振動体の稜線部の中間部を
トリミングして、駆動側の共振周波数と検出側の共振周
波数とを異ならせてもよい。
柱状に限らず他の多角柱状の振動体の稜線部の中間部を
トリミングして、駆動側の共振周波数と検出側の共振周
波数とを異ならせてもよい。
【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図である。
【図３】図１および図２に示す実施例の駆動側および検
出側におけるインピーダンス周波数特性および位相周波
数特性を示すグラフである。
出側におけるインピーダンス周波数特性および位相周波
数特性を示すグラフである。
【図４】図１および図２に示す実施例、図１および図２
に示す実施例において検出側の共振周波数を駆動側の共
振周波数よりたとえば１Ｈｚ低くした実施例、および図
７および図８に示す従来例において、角速度の周波数に
対する出力位相遅れ特性を示すグラフである。
に示す実施例において検出側の共振周波数を駆動側の共
振周波数よりたとえば１Ｈｚ低くした実施例、および図
７および図８に示す従来例において、角速度の周波数に
対する出力位相遅れ特性を示すグラフである。
【図５】５Ｈｚの角速度を加えたときの振動子の駆動側
の共振周波数と検出側の共振周波数との差に対する出力
位相遅れ特性を示すグラフである。
の共振周波数と検出側の共振周波数との差に対する出力
位相遅れ特性を示すグラフである。
【図６】この発明の他の実施例を示す断面図である。
【図７】従来の振動ジャイロ用振動子の一例を示す斜視
図である。
図である。
【図８】図７の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩにおける断面図で
ある。
ある。
１０ 振動子 １２ 振動体 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ 稜線部 １４ａ，１４ｂ，１４ｃ 圧電素子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年３月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】さらに、この振動子１０では、振動体１２
の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリミ
ングすることによって、駆動側の共振周波数と検出側の
２つの共振周波数とを異ならせている。なお、振動体１
２の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリ
ミングするためには、トリミングする部分を削ったり、
レーザによって熱溶融したりすればよい。この場合、駆
動側の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４
ａおよび１４ｂの間の稜線部１２ａの中間部のトリミン
グ量を多くするに従って低くなる。また、検出側の一方
の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４ｂお
よび１４ｃの間の稜線部１２ｂの中間部のトリミング量
を多くするに従って低くなり、検出側の他方の共振周波
数は、振動体１２において圧電素子１４ａおよび１４ｃ
の間の稜線部１２ｃの中間部のトリミング量を多くする
に従って低くなる。この実施例では、検出側の２つの共
振周波数がほぼ一致され、検出側の共振周波数が駆動側
の共振周波数よりたとえば３Ｈｚ低くなるように調整さ
れている。
の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリミ
ングすることによって、駆動側の共振周波数と検出側の
２つの共振周波数とを異ならせている。なお、振動体１
２の稜線部１２ａ，１２ｂおよび１２ｃの中間部をトリ
ミングするためには、トリミングする部分を削ったり、
レーザによって熱溶融したりすればよい。この場合、駆
動側の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４
ａおよび１４ｂの間の稜線部１２ａの中間部のトリミン
グ量を多くするに従って低くなる。また、検出側の一方
の共振周波数は、振動体１２において圧電素子１４ｂお
よび１４ｃの間の稜線部１２ｂの中間部のトリミング量
を多くするに従って低くなり、検出側の他方の共振周波
数は、振動体１２において圧電素子１４ａおよび１４ｃ
の間の稜線部１２ｃの中間部のトリミング量を多くする
に従って低くなる。この実施例では、検出側の２つの共
振周波数がほぼ一致され、検出側の共振周波数が駆動側
の共振周波数よりたとえば３Ｈｚ低くなるように調整さ
れている。
Claims (1)
- 【請求項１】 角柱状の振動体、および前記振動体の側
面に形成される圧電素子を含み、 前記振動体の稜線部の中間部をトリミングして、駆動側
の共振周波数と検出側の共振周波数とを異ならせた、振
動ジャイロ用振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4352643A JPH06174477A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 振動ジャイロ用振動子 |
| DE69310799T DE69310799T2 (de) | 1992-03-30 | 1993-03-23 | Vibrator mit abgeglichenen Kantenbereichen |
| EP93104799A EP0563761B1 (en) | 1992-03-30 | 1993-03-23 | Vibrator with trimmed ledge-line portions |
| US08/036,723 US5349261A (en) | 1992-03-30 | 1993-03-25 | Vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4352643A JPH06174477A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 振動ジャイロ用振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174477A true JPH06174477A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18425451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4352643A Pending JPH06174477A (ja) | 1992-03-30 | 1992-12-09 | 振動ジャイロ用振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06174477A (ja) |
-
1992
- 1992-12-09 JP JP4352643A patent/JPH06174477A/ja active Pending
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