JPH06162496A

JPH06162496A - 磁気ディスク検査装置

Info

Publication number: JPH06162496A
Application number: JP18199393A
Authority: JP
Inventors: Kyoichi Mori; 恭一森
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1992-09-22
Filing date: 1993-06-28
Publication date: 1994-06-10
Anticipated expiration: 2014-08-30
Also published as: JP2944018B2

Abstract

(57)【要約】【目的】高密度記録の磁気ディスクを効率よくテスト
することができる磁気ディスクの検査装置を提供するこ
とにある。【構成】この発明の磁気ディスク検査装置は、バーニ
ッシュやグライドテストのいずれかのヘッドとサーティ
ファイテストを行うヘッドとをヘッドを移動させる方向
に対して直角な方向に並べて取付けたヘッド移動機構を
２つ備えていて、ヘッド切換えのための各ヘッドの移動
をヘッド移動機構側ではなしに、スピンドル側をヘッド
の移動方向に対して直角に移動させることで行うように
したものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、高密度記録の磁気デ
ィスクを効率よくテストすることができるような磁気デ
ィスクの検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータの外部記憶装置の１つであ
るハードディスクデバイス（ＨＤＤ）には、その記録媒
体として磁気ディスクが使用される。磁気ディスクは、
アルミニュームやガラスなどの円板をベースとし、その
表面に磁性膜が塗布され、さらに、その上に保護膜がコ
ーテングされている。磁性膜，保護膜が塗布されたその
表面は、突起などの凹凸ができるだけ少ない平滑な平面
であることが望ましく、また、これは、記録性能が良好
なことが要求される。そこで、その平滑度はグライドテ
スターにより、また、その記録性能はサーティファイヤ
によりそれぞれ検査される。

【０００３】図３は、従来から行われている磁気ディス
クの製造と検査の工程の概要を示す。まず、アルミニュ
ームなどのディスクに対して磁性膜，保護膜が塗布など
によって形成される磁性膜形成工程があり、その次に
磁性膜，保護膜が形成されたディスク（磁気ディスク）
の表面の凹凸をできるだけ少なくするために、表面が研
磨（グライド）されるグライド工程がある。工程で
磁気ディスクが研磨されても、なお、磁気ディスクの表
面には凹凸が残留する。そこでその次の工程で、バーニ
ッシュヘッドとよばれるヘッドを、回転する磁気ディス
クの表面に対して微小な高さで浮上させ、残留した突起
を削り取る。これがバーニッシュ工程である。これが
一応終了すると、グライドテスト工程において、グラ
イドテストヘッドにより突起の存在とその数とが検査さ
れる。この検査の結果、所定数量以上の突起がまだ残留
しているときには、検査結果はＮＧとなり、再びバーニ
ッシュ工程に戻る。ここで再びバーニッシュが行わ
れ、再びグライドテスト工程になる。

【０００４】一方、前記の検査の結果が良好（ＯＫ）で
あるときには、その次のサーティファイテスト工程に
移る。この工程では、サーティファイテストヘッドによ
り磁性膜の記録性能が検査される。その結果として磁気
ディスクの品質が保証（サーティファイ）される。

【０００５】さて、前記のグライド工程では、研磨ク
ズが発生して周囲の環境を汚染する。そこで、従来は、
この工程の処理を行う室と、バーニッシュ工程、グ
ライドテスト工程の各工程を行う室とを分けている。
後者は、別室で１台の検査装置によって一括して処理が
行なわれている。さらに、記録性能を検査するサーティ
ファイテスト工程は、後者の工程とは検査内容が相違
し、さに後者の工程でもバーニッシュによる突起の削り
クズが発生するので後者の室とは別室でサーティファイ
ヤによりサーティファイテストが行われる。

【０００６】図４は、バーニッシュ工程とグライドテ
スト工程とを一括して行うグライドテスターの要部の
構成を示している。この構成は、特開昭63-175228 です
でに公知である。検査対象となる磁気ディスク１はスピ
ンドル２に装着されてθ方向に回転する。スピンドル２
の回転中心Ｏに対して、例えば、互いに直角方向に２組
のヘッドポジショナ（ヘッドキャリッジ機構３Ａ，３
Ｂ）が設けられている。これらヘッドキャリッジ機構
（以下単にキャリッジ）３Ａ，３Ｂには、それぞれバー
ニッシュヘッドＢＨ（以下単にヘッドＢＨ）と、グライ
ドテストヘッドＧＨ（以下単にヘッドＧＨ）が取り付け
られている。

【０００７】そして、各キャリッジ３Ａ，３Ｂにより、
ヘッドＢＨ，ヘッドＧＨを磁気ディスク１の半径Ｒ₁ ，
Ｒ₂ に沿ってその表面からヘッドを浮上させて移動させ
る。これにより上記のバーニッシュ工程とグライドテ
スト工程とが１つの装置で実施できる。この場合、工
程と工程とを別工程とはせずに、ヘッドＢＨとヘッ
ドＧＨとが同一のトラックＴ_R 上をトレースして工程
に続いて工程が実施されることも行われる。この場合
には、バーニッシュの結果についてただちにグイドテス
トができるので検査処理のスループットが向上する。

【０００８】サーティファイテスト工程は、磁気ディ
スクを検査するのに比較的長い時間を要する。この検査
時間を短縮するために、磁気ディスク１の表面を半径Ｒ
の方向に２分割して並列に検査することが行われてい
る。

【０００９】図５は、この分割並列方法で検査行うサー
ティファイヤの要部を示している。この構成は、特開昭
62-163581 ですでに公知である。磁気ディスク１の表面
は、磁気記録媒体として半径方向に有効に利用できる範
囲のほぼ中央を境とし、この境を示す中央線Ｃで半径方
向に領域１a と１b とに２分割して磁気ディスク１の検
査が行われる。そのためにスピンドル２の回転中心Ｏに
関して、対称的に２組のキャリッジ４Ａ，４Ｂが設けら
れ、これらキャリッジにそれぞれ第１のサーティファイ
テストヘッドＣＨ_A （以下単にヘッドＣＨ_A ）と第２の
サーティファイテストヘッドＣＨ_B （以下単にヘッドＣ
Ｈ_B ）とが取付けられている。ヘッドＣＨ_A とヘッドＣ
Ｈ_B とは、それぞれ領域１a と領域１b 内で独立に移動
する。そしてそれぞれの領域の検査が並列に行われる。

【００１０】ところで、最近では、磁気ディスクの磁性
膜の形成を塗布に代わってスパッタやメッキなどの方法
で行うようになってきている。後者の方法により形成さ
れた磁性膜は、凹凸が非常に少なく良質である。そのた
め、グライド工程が省略できる。また、バーニッシュ
工程で発生する突起の削りクズは非常に少ない。そこ
で、サーティファイテスト工程を特に別室とする必要
がなくなる。

【００１１】この種の磁気ディスクの検査装置では、前
記の工程〜が同一装置で一元的に実施され、かつ、
分割並列方法によるサーティファイテストが可能であ
る。この種の検査装置としてすでに公知となっているＰ
ｒｏＱｕｉｐ，Ｉｎｃ．社（米国の会社）の製品のカタ
ログを参考にした装置の概要を図６に示す。

【００１２】図６において、例えば、スピンドル２の回
転中心Ｏを原点とし、図示する方向にＸ，Ｙの座標軸を
採ったとする。この装置には、それぞれＸ方向とＹ方向
に移動する一対のキャリッジ５Ａと５Ｂが設けられる。
さらに、キャリッジ５ＡにはＹ方向に対するＹ移動機構
６ｙが、またキャリッジ５ＢにはＸ方向に対するＸ移動
機構６ｘが、それぞれのキャリッジの上に積み上げられ
た状態で設けらている。そして、Ｙ移動機構６ｙの移動
台にはヘッド固定板６１ａが固定され、これにヘッドＢ
ＨとヘッドＣＨ_A とが距離Ｙ₁ の間隔で取り付けられて
いる。Ｘ移動機構６ｘの移動台にはヘッド固定板６１ｂ
が固定され、これにヘッドＧＨとヘッドＣＨ_B とが距離
Ｘ₁ の間隔で取り付けられている。

【００１３】この検査装置の動作を説明すると、まず、
ヘッドＢＨとヘッドＧＨの位置を、原点Ｏを通る線上に
なる、図示する位置とし、キャリッジ５Ａ，５Ｂにより
ヘッドＢＨをＸ方向に、ヘッドＧＨをＹ方向にそれぞれ
移動する。そして、バーニッシュ工程とグライドテス
ト工程とを順次繰り返して行う。グライドテストの
結果が良好（ＯＫ）になると、Ｙ移動機構６ｙによりヘ
ッドＣＨ_A を距離Ｙ₁だけ移動しかつＸ移動機構６ｘに
よりヘッドＣＨ_B を距離Ｘ₁ だけ移動する。これにより
それぞれのヘッドを切り替える。この状態で原点Ｏを通
る線上にそれぞれのヘッドを位置付けて、キャリッジ５
Ａ，５ＢによりヘッドＣＨ_A とヘッドＣＨ_B とをＸ、Ｙ
方向にそれぞれ移動する。これにより図５に示すように
２分割された各領域１ａ，１ｂに対してサーティファイ
テストが実施される。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、高密度記録
の磁気ディスクは、トラック数や記録密度が高い。そし
て、磁気ディスクの記録密度が向上するにつれて検査効
率は低下する傾向にある。この検査効率を向上させる、
強い要請が磁気ディスク検査装置を使用するユーザから
ある。そのためには前記のヘッドは、高速かつ高精度に
位置決めできることが必要であるが、それが難しい。す
なわち、前記の図６に示す検査装置の構成では、各キャ
リッジ５Ａ，５Ｂの負荷が大きいので、キャリッジを高
速に移動させると、ヘッドの位置決めが高精度にできな
い問題がある。逆に、ヘッドの位置決めを高精度にする
と、キャリッジの高速移動が制限されて検査効率が低下
する。

【００１５】

【課題を解決するための手段】図６に示すような検査装
置にあっては、キャリッジ５Ａには、Ｙ移動機構６ｙが
その上に積まれ、キャリッジ５Ｂには、Ｘ移動機構６ｘ
がその上に積まれている。その結果、キャリッジの移動
方向とヘッドの移動方向とが直角方向になる。このよう
に、ヘッドの位置決めがキャリッジの移動方向ではな
く、これに対し直角な方向の移動により決定されると、
ヘッドを高速移動させた際にヘッドの位置決めにずれが
生じ易い。しかも、前記の関係では移動機構の構成がや
や複雑になる。

【００１６】また、検査効率を向上させるために、領域
分割してサーティファイテストを行う場合には、高記録
密度の磁気ディスクでは前記のずれが生じると、分割し
たそれぞれの領域での各トラックの中心の基準がずれた
りする。また、それぞれの領域相互間で、各トラックの
中心の基準がそれぞれ相違する危険性が高くなる。これ
により高密度記録の磁気ディスクのサーティファイテス
トにおける品質保証が低下する。

【００１７】また、記録密度が高くなるにつれてヘッド
も小さくなり、磁気ディスクとヘッドとのギャップも微
少になってきている。ヘッドを支持する板ばねも薄くな
り、ヘッドを高速かつ高精度に位置決めするためには、
ヘッドがキャリッジの移動方向と直角な方向に移動する
のは好ましくない。なぜなら、ヘッドを直角方向に高速
に移動させると、ヘッドが横ブレし易く、精度の高いテ
ストができない虞があるからである。

【００１８】したがって、この発明の目的は、高密度記
録の磁気ディスクを効率よくテストすることができる磁
気ディスクの検査装置を提供することにある。また、こ
の発明の他の目的は、信頼性の高い高密度記録の磁気デ
ィスクをユーザに供給することができる磁気ディスクの
検査装置を提供することにある。

【００１９】このような目的を達成する磁気ディスク検
査装置の特徴は、バーニッシュやグライドテストのいず
れかのヘッドとサーティファイテストを行うヘッドとを
ヘッドを移動させる方向に対して直角な方向に並べたヘ
ッド移動機構を２つ備えていて、ヘッド切換えのための
各ヘッドの移動をヘッド移動機構側ではなしに、スピン
ドル側をヘッドの移動方向に対して直角に移動させるこ
とで行うようにしたものである。

【００２０】その具体的な構成として、この検査装置
は、磁気ディスクが装着されるスピンドルと、第１の方
向、例えばＹ方向にこのスピンドルをある位置から一定
の距離Ｙ₁ だけ移動させかつ元の位置に戻すスピンドル
移動機構と、ヘッドＢＨとヘッドＣＨ_A とが前記距離Ｙ
₁ だけ離れて固定されていてこれら固定された２つのヘ
ッドを前記第１の方向に対して直角な第２の方向、例え
ばＸ方向に進退させる第１のヘッド移動機構（例えばキ
ャリッジあるいはヘッドポジショナ）と、ヘッドＧＨと
ヘッドＣＨ_B とが前記距離Ｙ₁ だけ離れて固定されてい
てこれら固定された２つのヘッドを前記第２の方向に進
退させる、前記スピンドルを間にして前記第１のヘッド
移動機構に対向して設けられた第２のヘッド移動機構と
を備えていて、前記スピンドルが前記元の位置にあると
きには前記第１及び第２のヘッド移動機構それぞれの２
つのヘッドのいずれか一方が前記磁気ディスクの半径に
沿って移動する位置に配置され、前記スピンドルが前記
距離Ｙ₁ だけ移動した位置にあるときには前記第１及び
第２のヘッド移動機構それぞれの２つのヘッドのいずれ
か他方が前記磁気ディスクの半径方向に沿って移動する
位置に配置されるものである。

【００２１】

【作用】このような検査装置にあっては、各ヘッド移動
機構の上にヘッド切り替えのためのヘッド移動機構を載
置しないで済む。そこで、ヘッド移動機構の移動部分の
負荷が低減し、磁気ディスクの半径に沿って高速にかつ
高精度でヘッドを移動させることができる。また、ヘッ
ドがヘッド移動機構に直接搭載でき、しかも対向するヘ
ッドがスピンドルの両側に配置されるので、各ヘッド移
動機構に搭載されたヘッドをスピンドルに対して一度精
度よく位置決めして固定すれば、その精度の関係は特別
な事情がない限り、保持される。したがって、各ヘッド
とトラックとの位置ずれが少ない。

【００２２】そこで、例えば、第１の位置において、ヘ
ッドＢＨとヘッドＧＨとがスピンドルに対向していてそ
れぞれのヘッドがそれぞれのヘッド移動機構により磁気
ディスクの半径方向にその表面に沿って移動させること
によりこの第１の位置において磁気ディスクの表面に対
するバーニッシュとグライドテストとを順次繰り返して
行うことができる。このグライドテストの終了後に、ス
ピンドル移動機構によりスピンドルを距離Ｙ₁ だけシフ
トさせて第２の位置に設定すると、今度は、第２の位置
においてヘッドＣＨ_A とヘッドＣＨ_B とがスピンドルに
対向する。そこで、それぞれのヘッド移動機構によりそ
れぞれのヘッドを磁気ディスクの半径方向にその表面に
沿って移動させることにより２分割された各領域をアク
セスして各領域に対するサーティファイテストを精度よ
く並列に行うことができる。

【００２３】しかも、この検査装置では、ヘッドを切り
替えるための移動機構がスピンドル移動機構１つに簡略
化されているので、機構部分が簡単になりかつ高精度の
ヘッド位置決めが可能になる。また、ヘッド切り替えの
ためのヘッドの移動がないのでヘッドの横ブレもなく、
磁気ディスクに対して高速で高精度の検査ができる。

【００２４】

【実施例】図１(a) は、この発明の一実施例の磁気ディ
スク検査装置の平面図、図１(b)はそのＩ−Ｉ断面図で
ある。図１において、１０は、磁気ディスク検査装置で
あって、そのベース７の中央部には矩形の開口７０が設
けられ、スピンドル２がこの開口７０の上部に配置され
ている。図（ｂ）に示すように、スピンドル２は、駆動
モータ２１の軸に結合されていて、駆動モータ２１の下
側がその下側に設けられたスピンドル移動機構８に固定
されている。スピンドル移動機構８は、開口７０より一
回り大きな函形の固定部材７１の底部にその下面で固定
されている。固定部材７１は、その上部の開放側におい
てその周囲がベース７の裏面に固定されている。

【００２５】駆動モータ２１の外形は、開口７０の幅よ
り小さい径の円筒形をしていて、開口７０との間には間
隙７２がある。スピンドル２には、磁気ディスク１の中
心部に設けられた孔の内径に係合するチャックが設けら
れているが、これは、発明に直接関係していないので省
略してある。スピンドル２は、スピンドル移動機構８に
よりその回転中心が点Ｏ₁ と点Ｏ₂ で示す第１及び第２
の位置の間を往復移動する。点Ｏ₁ ，Ｏ₂ の距離は、距
離Ｙ₁ であり、これを矢印で示す。

【００２６】一対のキャリッジ９Ａ，９Ｂは、スピンド
ル２の両側でスピンドル２の回転中心に対してほぼ対称
に配置され、Ｘ方向にヘッドを移動させる。これらは、
点Ｏ₁ ，Ｏ₂ を結ぶ線分（矢印の線Ｙ₁ 参照）の中点を
キャリッジの移動中心の線Ｍが通るように位置付けら
れ、ベース７に固定されている。ヘッドＢＨとヘッドＣ
Ｈ_A は、線Ｍに対して対称で距離Ｙ₁ の間隔を保持して
キャリッジ９Ａの移動台９１ａに固定されている。ま
た、ヘッドＧＨと第２のヘッドＣＨ_B は、同様に線Ｍに
対して対称で距離Ｙ₁ の間隔を保持してキャリッジ９Ｂ
の移動台９１ｂに固定されている。

【００２７】ここで、距離Ｙ₁ は、キャリッジ９Ａある
いは９Ｂの一方のヘッドが磁気ディスクの半径方向にそ
の表面に沿って中心に向かって移動したときに、同一キ
ャリッジの他方のヘッドが磁気ディスクの外周の近傍に
位置するような距離である。なお、発明に直接関係ない
ので、図ではキャリッジ９Ａ，９Ｂの内部構造を省略し
ているが、内部には、例えばボイスコイルモータ等のア
クチュエータが内蔵されていて、このアクチュエータに
より移動台９１ａ，９１ｂが駆動される。スピンドル移
動機構８は、スピンドル２の回転中心が正確に点Ｏ₁ ，
Ｏ₂ に位置決めされるように、突当て部材を設けてベー
ス７又はこれに結合した部材の壁面に突き当てることで
位置決めする構成を採る。その詳細を示すのが図２であ
る。

【００２８】図２に見るスピンドル移動機構８は、比較
的幅と厚みのあるベースブロック８０を有していて、こ
のブロック８０の中央部に階段状に下る２段の切込み溝
８１が設けられている。このそれぞれの１段目の床面に
は、リニア軸受機構８２，８２が固定されている。８２
ａは、そのガイドレールであり、８２ｂがこのガイドレ
ール８２ａを跨ぐ形で設けられた移動台である。ガイド
レール８２ａの両側壁面には、三角形（＜）の切り溝が
設けられ、これに対応して移動台８２ｂの内側の壁面に
も三角形の切り溝（＞）が設けられている。そして、こ
れらの切り溝の間（＜＞）にはベアアングが装着されて
いる。

【００２９】８３は、ほぼ正方形のモータ取付プレート
であって、リニア軸受機構８２，８２の２つの移動台８
２ｂに橋渡しされそれらに固定されている。取付プレー
ト８３の中央部には、駆動モータ２１（点線部参照）の
外形より少し大きな円形の開口８３ａが設けらている。
駆動モータ２１の円筒の筐体部分が開口８３ａに挿入さ
れ、取付プレート８３に取付けられる。その取付は、ス
ピンドル２の回転中心があらかじめ決められた中心位置
に一致するように駆動モータ２１の位置が微調整されて
断面Ｌ字形のリンク形状をしたブラケット部材８４（点
線で示す）により駆動モータ２１が、例えば、その筐体
部分が締め付けて支持され、調整用の長孔を介してねじ
にて取付プレート８３に固定される。

【００３０】取付プレート８３の左右の側面には、それ
ぞれアーム８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄが固定され
ている。これらアームは、それぞれブロック８０の側壁
面から所定の距離離れて側壁面に沿ってほぼ平行に横方
向外側に延びている。そして、ここでの所定の距離は、
Ｙ₁ ／２の距離にさらに調整分の距離だけ加えたもので
ある。図面左側の前後のアーム８４ａ，８４ｂには、停
止位置調整用の調整ねじ８５ａ，８５ｂが埋め込まれて
いる。このねじに対応するブロック８０の側壁面には調
整ねじの受け座８５ｃ，８５ｄが固定されている。

【００３１】また、アーム８４ｃ，８４ｄに対向するブ
ロック８０の側壁面には、ショックアブソーバ８５ｅ，
８５ｆが埋め込まれていて、そのピン８５ｇ，８５ｈが
ブロック８０の側壁面より突出している。さらに、アー
ム８４ｃ，８４ｄの先端側には、ホトインタラプタの光
を遮るためのプレート８６ａ，８６ｂがそれぞれ取付け
られ、これらに対応してブロック８０側の側壁面にはホ
トインタラプタ８６ｃ，８６ｄが設けられている。な
お、このホトインタラプタに替えて他のホトセンサが使
用されてもよい。

【００３２】８７は、エアーシリンダであって、そのピ
ストンロッド８７ａは、ブロック８０の側面の貫通孔８
０ａを貫通して反対側まで突出している。前記したアー
ム８４ａには、その先端側にブラケット８６ｅが取付け
られている。このブラケット８６ｅは、ブロック８０の
側壁面に沿って貫通孔８０ａの開口部分を覆うところま
で下側に延びている。このブラケット８６ｅに前記のピ
ストンロッド８７ａの先端が埋め込まれて固定されてい
る。そこで、エアーシリンダ８７が進退駆動されると、
そのピストンロッド８７ａが進退してアーム８４ａが進
退する。アーム８４ａの進退は、取付プレート８３に伝
達される。その結果、駆動モータ２１が距離Ｙ₁ 分の往
復移動をする。

【００３３】この往復移動に応じてアーム８４ａ，８４
ｂにそれぞれ固定された調整ねじ８５ａ，８５ｂのいず
れかが一方がブロック８０の側壁面の受け座８５ｃ，８
５ｄの一方に突き当たり、スピンドル２が正確に位置決
めされる。すなわち、スピンドル２の回転中心が点Ｏ₁
と点Ｏ₂ の位置に正確な位置決めされるための位置調整
は、停止位置調整ねじ８５ａ，８５ｂによりなされる。
また、ブロック８０は、ベース７におけるあらかじめ定
められた基準位置にスピンドル２の回転中心が一致する
ように正確に位置決めされて図１(b) に示す固定部材７
１に取付けられる。

【００３４】ところで、スピンドル移動機構８の駆動モ
ータ２１あるいはスピンドル２そのものの距離Ｙ₁ 分の
シフトは、この実施例に示すエアーシリンダによる必要
はない。他のアクチュエータを使用することもできる。
例えば、モータ等の駆動機構とスライダ・クランク機構
や直動カムとリンク機構などを用いても前記のスピンド
ル２のシフトは可能である。しかし、これらの場合、ス
ピンドル２の回転中心を高い精度で点Ｏ₁ ，Ｏ₂ に高速
かつ高精度に位置決めしかつ往復運動させる機構が必要
になる。

【００３５】図１の１００は、コントローラであって、
エアーシリンダ８７の切り替え弁を制御する。それによ
りスピンドル移動機構８を駆動してスピンドル２の回転
中心を点Ｏ₁ ，Ｏ₂ に位置付け、かつこれらの間をシフ
トさせる。また、コントローラ１００は、キャリッジ９
Ａ，９Ｂの駆動も制御する。キャリッジ９Ａ，９Ｂは、
これにより磁気ディスク１に対して各ヘッドを移動さ
せ、あるいは、磁気ディスク１から退避させて図１に示
す状態に戻す。

【００３６】この検査装置１０の動作を説明すると、ス
ピンドル２の回転中心が点Ｏ₁ の位置（第１の位置）に
あるとすると、スピンドル２に装着された検査対象の磁
気ディスク１が一点鎖線で示す位置になる。コントロー
ラ６の制御により、各キャリッジ９Ａ，９Ｂによりヘッ
ドＢＨとヘッドＧＨをそれぞれＸ方向において磁気ディ
スク１の半径方向にその表面に沿って移動させて図４ま
たは図６の場合と同様に、同一のトラックＴ_R をトレー
スして、バーニッシュとグライドテストを順次繰り返し
て行う。グライドテストの結果が良好（ＯＫ）となった
ときヘッドＢＨとヘッドＧＨを後退させて、コントロー
ラ６の制御により移動機構８を駆動してスピンドル２を
距離Ｙ₁ 分シフトさせて点Ｏ₂ の位置（第２の位置）に
設定する。これにより磁気ディスク１の位置は、二点鎖
線で図示する位置になる。コントローラ６によりキャリ
ッジ９Ａ，９Ｂが制御され、ヘッドＣＨ_A ，ヘッドＣＨ
_B とが磁気ディスク１の半径方向にその表面に沿って移
動して図４に示す中央線Ｃで２分割された各領域につい
てサーティファイテストが並列に実施される。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、ヘッドを切り替えるための移動機構がスピンドル移
動機構１つに簡略化されているので、機構部分が簡単に
なりかつ高精度のヘッド位置決めが可能になる。また、
ヘッド切り替えのためのヘッドの移動がないのでヘッド
の横ブレもなく、磁気ディスクに対して高速で高精度の
検査ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１(a) は、この発明の一実施例の磁気ディス
ク検査装置の平面図、図１(b)はそのＩ−Ｉ断面図であ
る。

【図２】図２は、スピンドル移動機構の概要を示す斜視
図である。

【図３】図３は、従来から行われている磁気ディスクの
製造と検査の工程の説明図である。

【図４】図４は、バーニッシュとグライドテストを一括
して行うグライドテスターの要部の説明図である。

【図５】図５は、分割並列方法によるサーティファイヤ
の要部の説明図である。

【図６】図６は、この発明の従来技術となる磁気ディス
ク検査装置の説明図である。

【符号の説明】

１…磁気ディスク、１ａ，１ｂ…２分割されたテスト領
域、２…スピンドル、２１…駆動モータ、３Ａ，３Ｂ，
４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，９Ａ，９Ｂ…キャリッジ機
構、６ｘ…Ｘ移動機構、６ｙ…Ｙ移動機構、６１ａ，６
１ｂ，９１ａ，９１ｂ…ヘッド固定板、７…ベース、７
１…固定部材、８…スピンドル移動機構、１０…磁気デ
ィスク検査装置、ＢＨ…バーニッシュ・ヘッド、ＧＨ…
グライドテスト・ヘッド、ＣＨ_A,ＣＨ_B …サーティファ
イテスト・ヘッド。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ディスクが装着されるスピンドルと、バーニッシュヘッド及びグライドテストヘッドの一方と
第１のサーティファイテストヘッドとがこれらヘッドを
移動させる方向に対して直角な方向に並べられた第１の
ヘッド移動機構と、前記バーニッシュヘッド及び前記グライドテストヘッド
の他方と第２のサーティファイテストヘッドとがこれら
ヘッドを移動させる方向に対して直角な方向に並べられ
た第２のヘッド移動機構と、とを備えていて、前記一方のヘッド及び前記他方のヘッドから前記第１及
び第２のサーティファイテストヘッドへヘッド切替を行
うものであって、前記ヘッド切替を前記各ヘッドの移動
方向に対して直角な方向に前記スピンドル側を移動させ
ることにより行う磁気ディスク検査装置。
【請求項２】第１及び第２のヘッド移動機構はそれぞれ
ヘッドポジショナであり、これらは、スピンドルを間に
して対向して配置されていて、さらに前記スピンドルを
一定距離往復移動させるスピンドル移動機構を備え、前
記スピンドルの移動は、スピンドル移動機構により行わ
れる請求項１記載の磁気ディスク検査装置。
【請求項３】前記第１及び第２のヘッド移動機構それぞ
れの前記２つのヘッドは、前記一定の距離だけはなれて
並べられ、前記スピンドル移動機構は、前記スピンドル
に回転軸が結合されたモータを前記一定距離移動させる
プレートを有し、前記一定距離が前記プレートに結合さ
れた部材をベースあるいはこれに結合された部材に付き
当てることで決定される請求項２記載の磁気ディスク検
査装置。