JPH06159940A - 乾燥機 - Google Patents
乾燥機Info
- Publication number
- JPH06159940A JPH06159940A JP33537692A JP33537692A JPH06159940A JP H06159940 A JPH06159940 A JP H06159940A JP 33537692 A JP33537692 A JP 33537692A JP 33537692 A JP33537692 A JP 33537692A JP H06159940 A JPH06159940 A JP H06159940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- air volume
- intake
- exhaust
- drying furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 乾燥炉に対する吸気風量と排気風量とを自動
調整して、炉内の圧力制御を自動化する。 【構成】 吸気手段２で吸気した空気を温風生成手段３
により加熱して乾燥炉１内へ送り込み、排気手段５で乾
燥炉１の外へ排気する。乾燥炉１の空気吸気側に設けた
風量検知手段４と、風量検知手段４で検出した風量情報
が入力されると共に吸気風量に対して最適な排気風量と
なるように信号変換して排気手段５を制御する信号変換
手段６とを備える。
調整して、炉内の圧力制御を自動化する。 【構成】 吸気手段２で吸気した空気を温風生成手段３
により加熱して乾燥炉１内へ送り込み、排気手段５で乾
燥炉１の外へ排気する。乾燥炉１の空気吸気側に設けた
風量検知手段４と、風量検知手段４で検出した風量情報
が入力されると共に吸気風量に対して最適な排気風量と
なるように信号変換して排気手段５を制御する信号変換
手段６とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は温風により乾燥を行う乾
燥機に関する。
燥機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４はシリコン基板などのワークを清浄
な状態で乾燥するため特開平３−１６２１３号公報に記
載された従来の乾燥機を示す。この乾燥機はワークの洗
浄，リンスなどを行う洗浄システムの最終工程に組み込
まれて使用されるものであり、窒素，酸素などの空気を
濾過するフィルター１１０と、フィルター１１０からの
空気を加熱して温風とする温風生成手段１２０と、ワー
ク１３０が載置されるテーブル１４０が設けられた乾燥
炉１５０とを備えている。乾燥炉１５０内には温風生成
手段１２０からの温風をワーク１３０に吹き付ける放出
口１６０がワーク１３０との対向位置に設けられている
と共に、導入された温風を乾燥炉１５０の外部に排気す
る排気口１６０が形成されている。このような乾燥機に
おいて、乾燥炉１５０に生成した隙間から炉内に汚染さ
れた外気が進入するのを防いだり、ワーク１３０に付着
していた洗浄液やリンス液が炉内で気化して生成した気
体を炉外へ漏らさない必要がある場合、炉の内圧を外気
圧に対して、正圧や負圧に保つなどの炉内圧制御が必要
となる。このような場合における制御は、吸気風量と排
気風量との差により炉内を所定の圧力状態とすることで
なされていた。
な状態で乾燥するため特開平３−１６２１３号公報に記
載された従来の乾燥機を示す。この乾燥機はワークの洗
浄，リンスなどを行う洗浄システムの最終工程に組み込
まれて使用されるものであり、窒素，酸素などの空気を
濾過するフィルター１１０と、フィルター１１０からの
空気を加熱して温風とする温風生成手段１２０と、ワー
ク１３０が載置されるテーブル１４０が設けられた乾燥
炉１５０とを備えている。乾燥炉１５０内には温風生成
手段１２０からの温風をワーク１３０に吹き付ける放出
口１６０がワーク１３０との対向位置に設けられている
と共に、導入された温風を乾燥炉１５０の外部に排気す
る排気口１６０が形成されている。このような乾燥機に
おいて、乾燥炉１５０に生成した隙間から炉内に汚染さ
れた外気が進入するのを防いだり、ワーク１３０に付着
していた洗浄液やリンス液が炉内で気化して生成した気
体を炉外へ漏らさない必要がある場合、炉の内圧を外気
圧に対して、正圧や負圧に保つなどの炉内圧制御が必要
となる。このような場合における制御は、吸気風量と排
気風量との差により炉内を所定の圧力状態とすることで
なされていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の炉
の内圧調整はまず吸気風量を設定し、その後、吸気風量
に対する排気風量を設定して圧力差を生じさせる個別調
整であり、その操作が煩雑となっていた。また、このよ
うな調整を風量の変化毎に行う場合には、さらに面倒で
あり、正確性に欠け、誤設定する不都合もあった。本発
明は上記事情を考慮してなされたものであり、吸気風量
を設定することにより排気風量を自動的に設定すること
が可能な乾燥機を提供することを目的とする。
の内圧調整はまず吸気風量を設定し、その後、吸気風量
に対する排気風量を設定して圧力差を生じさせる個別調
整であり、その操作が煩雑となっていた。また、このよ
うな調整を風量の変化毎に行う場合には、さらに面倒で
あり、正確性に欠け、誤設定する不都合もあった。本発
明は上記事情を考慮してなされたものであり、吸気風量
を設定することにより排気風量を自動的に設定すること
が可能な乾燥機を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため本発明は、吸気手段で吸気した空気を温風生
成手段により加熱して乾燥炉内へ送り込み、排気手段で
乾燥炉の外へ排気する乾燥機において、前記乾燥炉の空
気吸気側に設けられた風量検知手段と、この風量検知手
段で検出した風量情報が入力されると共に吸気風量に対
して最適な排気風量となるように信号変換して前記排気
手段を制御する信号変換手段とを備えていることを特徴
とする。
成するため本発明は、吸気手段で吸気した空気を温風生
成手段により加熱して乾燥炉内へ送り込み、排気手段で
乾燥炉の外へ排気する乾燥機において、前記乾燥炉の空
気吸気側に設けられた風量検知手段と、この風量検知手
段で検出した風量情報が入力されると共に吸気風量に対
して最適な排気風量となるように信号変換して前記排気
手段を制御する信号変換手段とを備えていることを特徴
とする。
【０００５】図１は本発明の基本構成を示し、ワークな
どの被乾燥物の乾燥を行う乾燥炉１の吸気側には風量調
整可能な吸気手段２と、空気を加熱する温風生成手段３
が順に備えられて炉内に温風を送り込んでいる。また、
排気側には、排気手段５が備えられて乾燥に使用された
後の炉内の空気を炉外へ排出している。乾燥炉１の吸気
口または、吸気手段２と吸気口との間に吸気風量を検知
する風量検知手段４が備えられ、この風量検知手段４に
信号変換手段６が接続されている。信号変換手段６は、
風量検知手段４からの風量情報に基づいて最適な排気風
量となるような信号に変換する。この信号変換手段６に
は、排気手段５が接続されて同手段５の排気風量の調整
を制御する。
どの被乾燥物の乾燥を行う乾燥炉１の吸気側には風量調
整可能な吸気手段２と、空気を加熱する温風生成手段３
が順に備えられて炉内に温風を送り込んでいる。また、
排気側には、排気手段５が備えられて乾燥に使用された
後の炉内の空気を炉外へ排出している。乾燥炉１の吸気
口または、吸気手段２と吸気口との間に吸気風量を検知
する風量検知手段４が備えられ、この風量検知手段４に
信号変換手段６が接続されている。信号変換手段６は、
風量検知手段４からの風量情報に基づいて最適な排気風
量となるような信号に変換する。この信号変換手段６に
は、排気手段５が接続されて同手段５の排気風量の調整
を制御する。
【０００６】上記構成において、吸気手段２により設定
されて乾燥炉１へ送り込まれる温風の風量を風量検知手
段４が検知し、この検出した風量情報を信号変換手段６
が排気風量調整可能な信号へ変換する。そしてその信号
を排気風量が吸気風量に対して最適な値となるように設
定して排気手段５へ送出する。これにより乾燥機運転中
に炉内圧を変更せずに風量を変更したい場合には、作業
者は吸気風量だけを設定することにより、それに応じて
所定の炉内圧に保つ排気風量が自動的に設定されて制御
される。また排気風量の制御は実際に乾燥炉１へ送り込
まれている風量を測定した風量情報に基づいて行ってい
るため確実な炉内圧制御を行うことができる。
されて乾燥炉１へ送り込まれる温風の風量を風量検知手
段４が検知し、この検出した風量情報を信号変換手段６
が排気風量調整可能な信号へ変換する。そしてその信号
を排気風量が吸気風量に対して最適な値となるように設
定して排気手段５へ送出する。これにより乾燥機運転中
に炉内圧を変更せずに風量を変更したい場合には、作業
者は吸気風量だけを設定することにより、それに応じて
所定の炉内圧に保つ排気風量が自動的に設定されて制御
される。また排気風量の制御は実際に乾燥炉１へ送り込
まれている風量を測定した風量情報に基づいて行ってい
るため確実な炉内圧制御を行うことができる。
【０００７】
【実施例１】図２は本発明の実施例１を示す。同図にお
いて、乾燥炉１には吸気ダクト１８および排気ダクト１
９が設けられており、乾燥炉の入口部分の吸気ダクト１
８側には、ＨＥＰＡフィルタ１６が設けられて、吸気の
際に炉内が汚染することを防いでいる。また、乾燥炉１
内へワーク１７を搬入したり、再び炉外へ搬出するた
め、コンベア３０と、コンベア３０の作動に連動して開
閉される搬入用シャッター２８および搬出用シャッター
２９が設けられている。これらのシャッター２８，２９
は閉じた状態においても乾燥炉１に多少の隙間が存在す
るように取付けられている。吸気ダクト１８には一次フ
ィルター１５で濾過した空気を炉内へ吸引する吸気手段
としてのの吸気ブロアー７と、吸気ブロアー７を制御す
るインバータ８および周波数設定用ボリューム９が備え
られている。
いて、乾燥炉１には吸気ダクト１８および排気ダクト１
９が設けられており、乾燥炉の入口部分の吸気ダクト１
８側には、ＨＥＰＡフィルタ１６が設けられて、吸気の
際に炉内が汚染することを防いでいる。また、乾燥炉１
内へワーク１７を搬入したり、再び炉外へ搬出するた
め、コンベア３０と、コンベア３０の作動に連動して開
閉される搬入用シャッター２８および搬出用シャッター
２９が設けられている。これらのシャッター２８，２９
は閉じた状態においても乾燥炉１に多少の隙間が存在す
るように取付けられている。吸気ダクト１８には一次フ
ィルター１５で濾過した空気を炉内へ吸引する吸気手段
としてのの吸気ブロアー７と、吸気ブロアー７を制御す
るインバータ８および周波数設定用ボリューム９が備え
られている。
【０００８】吸気ブロアー７により吸引された空気は温
風生成手段としてのヒータ１０を通過する際に温められ
て温風となり、風速計１１，ＨＥＰＡフィルタ１６を通
って乾燥炉１へ送られる。排気ダクト１９には排気手段
としての排気ブロアー１３がインバータ１４に接続され
て備えられており、炉内の空気を炉外へ排出している。
又、インバータ１４には、風速計１１が出力した信号が
入力され、この信号を変換する為のパルス／電圧変換器
１２が接続されている。
風生成手段としてのヒータ１０を通過する際に温められ
て温風となり、風速計１１，ＨＥＰＡフィルタ１６を通
って乾燥炉１へ送られる。排気ダクト１９には排気手段
としての排気ブロアー１３がインバータ１４に接続され
て備えられており、炉内の空気を炉外へ排出している。
又、インバータ１４には、風速計１１が出力した信号が
入力され、この信号を変換する為のパルス／電圧変換器
１２が接続されている。
【０００９】上記構成において、乾燥機の風量を増加し
たい場合、周波数設定用ボリューム９を操作してインバ
ータ８の周波数を変化させ、吸気ブロアー７の回転数を
増加して吸気風量を増やす。この吸気風量が増加するこ
とにより、吸気ダクト１８内に取付けられた風速計１１
のパルス数が増加する。この風速計１１の出力パルスは
パルス／電圧変換器１２に送出される。パルス／電圧変
換器１２の出力電圧レベルはパルスの増加に伴って上昇
し、これが排気用インバータ１４の周波数設定に入力さ
れてインバータ１４の出力周波数が上昇する。これによ
り排気ブロアー１３の回転数が増加して排気風量が増加
し、排気風量の自動設定が終了するとともにそれ以降、
自動制御され続ける。ところで乾燥炉１にはシャッター
の開閉部分を含め隙間があり、炉外の空気が炉内へ入り
込んでワーク１７を汚染しないように炉内の空気圧を正
圧に保つ必要がある。上記作動では、パルス／電圧変換
器１２の入力パルスに対する出力電圧値が炉内を正圧を
保つように設定されている為、吸気風量を変化させても
排気風量がそれを上回ることはない。
たい場合、周波数設定用ボリューム９を操作してインバ
ータ８の周波数を変化させ、吸気ブロアー７の回転数を
増加して吸気風量を増やす。この吸気風量が増加するこ
とにより、吸気ダクト１８内に取付けられた風速計１１
のパルス数が増加する。この風速計１１の出力パルスは
パルス／電圧変換器１２に送出される。パルス／電圧変
換器１２の出力電圧レベルはパルスの増加に伴って上昇
し、これが排気用インバータ１４の周波数設定に入力さ
れてインバータ１４の出力周波数が上昇する。これによ
り排気ブロアー１３の回転数が増加して排気風量が増加
し、排気風量の自動設定が終了するとともにそれ以降、
自動制御され続ける。ところで乾燥炉１にはシャッター
の開閉部分を含め隙間があり、炉外の空気が炉内へ入り
込んでワーク１７を汚染しないように炉内の空気圧を正
圧に保つ必要がある。上記作動では、パルス／電圧変換
器１２の入力パルスに対する出力電圧値が炉内を正圧を
保つように設定されている為、吸気風量を変化させても
排気風量がそれを上回ることはない。
【００１０】したがって、このような構成では操作者
は、周波数設定用ボリューム９を調整し、吸気風量を設
定するだけで排気風量の自動的な制御を行うことがで
き、さらに外気に対して炉内が負圧になることもない
為、乾燥炉１の隙間から外気が侵入してワーク１７を汚
染することもない。また、吸気風量の検知を炉の直前の
吸気ダクトで行っている為、吸気ダクト詰まり等による
吸気風量の変化に対しても排気風量を自動的に変化し、
これにより炉内圧を正常に保つことができる。
は、周波数設定用ボリューム９を調整し、吸気風量を設
定するだけで排気風量の自動的な制御を行うことがで
き、さらに外気に対して炉内が負圧になることもない
為、乾燥炉１の隙間から外気が侵入してワーク１７を汚
染することもない。また、吸気風量の検知を炉の直前の
吸気ダクトで行っている為、吸気ダクト詰まり等による
吸気風量の変化に対しても排気風量を自動的に変化し、
これにより炉内圧を正常に保つことができる。
【００１１】
【実施例２】図３は本発明の実施例２を示し、同図にお
いて、乾燥炉１と吸気ダクト１８、排気ダクト１９およ
びヒータ１０、ＨＥＰＡフィルタ１６は実施例１と同様
となっている。吸気ダクト１８に吸気ブロアー７と吸気
ダンパー２０とが設けられることにより、吸気手段が構
成されており、手動で吸気ダンパー２０を開／閉するこ
とによって吸気風量を調節することができる。一方、排
気ブロアー１３と電動操作バルブ２３とが排気ダクト１
９に設けられることにより排気手段が構成されている。
この排気手段は、電動操作バルブ２３に電圧を入力する
ことにより、そのレベルに応じてバルブを開／閉し、排
気風量を調整する。又、風量検知手段としてマスフロー
メータ２１を吸気ダクト１８に設け、吸気風量に応じた
電圧レベルを出力するようになっている。そして、この
出力は、信号変換手段としての電圧レベル変換器２２を
経て、電動操作バルブ２３へ入力される。
いて、乾燥炉１と吸気ダクト１８、排気ダクト１９およ
びヒータ１０、ＨＥＰＡフィルタ１６は実施例１と同様
となっている。吸気ダクト１８に吸気ブロアー７と吸気
ダンパー２０とが設けられることにより、吸気手段が構
成されており、手動で吸気ダンパー２０を開／閉するこ
とによって吸気風量を調節することができる。一方、排
気ブロアー１３と電動操作バルブ２３とが排気ダクト１
９に設けられることにより排気手段が構成されている。
この排気手段は、電動操作バルブ２３に電圧を入力する
ことにより、そのレベルに応じてバルブを開／閉し、排
気風量を調整する。又、風量検知手段としてマスフロー
メータ２１を吸気ダクト１８に設け、吸気風量に応じた
電圧レベルを出力するようになっている。そして、この
出力は、信号変換手段としての電圧レベル変換器２２を
経て、電動操作バルブ２３へ入力される。
【００１２】上記構成において、吸気用ダンパー２０を
開き、吸気風量を増して、吸気風量が増えると、マスフ
ロメータ２１の出力電圧が上昇する。この出力電圧は、
電圧レベル変換器２２により、その吸気風量に対して最
適な排気風量となる電動操作バルブ２３の開閉が得られ
るような電圧へと変換され同バルブ２３へ入力される。
入力された電圧レベルに従って、電動操作バルブ２３
は、バルブを開き、排気風量が増加して排気風量の自動
設定が終了すると共に、その後も同様にして自動制御さ
れ続ける。このように、吸気や排気の調整をダンパーや
バルブの開／閉で行った場合にも、風量の自動制御を簡
単に行うことができる。
開き、吸気風量を増して、吸気風量が増えると、マスフ
ロメータ２１の出力電圧が上昇する。この出力電圧は、
電圧レベル変換器２２により、その吸気風量に対して最
適な排気風量となる電動操作バルブ２３の開閉が得られ
るような電圧へと変換され同バルブ２３へ入力される。
入力された電圧レベルに従って、電動操作バルブ２３
は、バルブを開き、排気風量が増加して排気風量の自動
設定が終了すると共に、その後も同様にして自動制御さ
れ続ける。このように、吸気や排気の調整をダンパーや
バルブの開／閉で行った場合にも、風量の自動制御を簡
単に行うことができる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明は、乾燥用空気の風
量を調整する際に、吸気風量を設定するだけで、炉内へ
送り込まれる吸気風量を基に排気風量の自動設定、自動
制御を行うため、その操作が簡便で、しかも正確な設定
を行うことができる。
量を調整する際に、吸気風量を設定するだけで、炉内へ
送り込まれる吸気風量を基に排気風量の自動設定、自動
制御を行うため、その操作が簡便で、しかも正確な設定
を行うことができる。
【図１】本発明の基本構成を示す断面図。
【図２】本発明の実施例１の断面図。
【図３】本発明の実施例２の断面図。
【図４】従来装置の断面図。
１ 乾燥炉 ２ 吸気手段 ３ 温風生成手段 ４ 風量検知手段 ５ 排気手段 ６ 信号変換手段
Claims (1)
- 【請求項１】 吸気手段で吸気した空気を温風生成手段
により加熱して乾燥炉内へ送り込み、排気手段で乾燥炉
の外へ排気する乾燥機において、前記乾燥炉の空気吸気
側に設けられた風量検知手段と、この風量検知手段で検
出した風量情報が入力されると共に吸気風量に対して最
適な排気風量となるように信号変換して前記排気手段を
制御する信号変換手段とを備えていることを特徴とする
乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33537692A JPH06159940A (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33537692A JPH06159940A (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 乾燥機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159940A true JPH06159940A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18287850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33537692A Withdrawn JPH06159940A (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06159940A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003105208A1 (ja) * | 2002-06-11 | 2003-12-18 | 株式会社ダン・タクマ | 洗浄乾燥装置 |
| KR100503521B1 (ko) * | 1998-07-10 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 건조시스템 |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP33537692A patent/JPH06159940A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100503521B1 (ko) * | 1998-07-10 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 건조시스템 |
| WO2003105208A1 (ja) * | 2002-06-11 | 2003-12-18 | 株式会社ダン・タクマ | 洗浄乾燥装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |