JPH06159286A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH06159286A JPH06159286A JP30897892A JP30897892A JPH06159286A JP H06159286 A JPH06159286 A JP H06159286A JP 30897892 A JP30897892 A JP 30897892A JP 30897892 A JP30897892 A JP 30897892A JP H06159286 A JPH06159286 A JP H06159286A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- pressure
- vacuum
- axial
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】低真空度を所要の精度で安価に測定できる真空
ポンプを得る。 【構成】ロータシャフト３をアキシャル磁気軸受９によ
り非接触的に支持する真空ポンプである。アキシャル磁
気軸受９の電磁石９ａ，９ｂへの通電電流を調整して、
磁気保持力によりロータ２を軸方向の所要位置に保持す
る。ディジタル表示計Ａは、電磁石９ａ，９ｂに流れる
電流値に基づいて被減圧部Ｖ内の圧力を表示する。
ポンプを得る。 【構成】ロータシャフト３をアキシャル磁気軸受９によ
り非接触的に支持する真空ポンプである。アキシャル磁
気軸受９の電磁石９ａ，９ｂへの通電電流を調整して、
磁気保持力によりロータ２を軸方向の所要位置に保持す
る。ディジタル表示計Ａは、電磁石９ａ，９ｂに流れる
電流値に基づいて被減圧部Ｖ内の圧力を表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空ポンプに関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、大気圧から１０-4torr程度までの
圧力領域において排気性能を有する真空ポンプでは、被
減圧部Ｖの真空度を検知するために、通常、大気圧から
１０-2torr程度までを測定する真空計（例えばピラニゲ
ージ）と、これより低い圧力を測定する真空計（例えば
電離真空計）が、その到達圧力の測定に必要であった。
圧力領域において排気性能を有する真空ポンプでは、被
減圧部Ｖの真空度を検知するために、通常、大気圧から
１０-2torr程度までを測定する真空計（例えばピラニゲ
ージ）と、これより低い圧力を測定する真空計（例えば
電離真空計）が、その到達圧力の測定に必要であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、真空度計
が２個必要であるうえ、上記低真空時の圧力を測定する
ためのピラニゲージ等が高価であるため、製造コストが
高くなるという問題があった。ところで、ピラニゲージ
は測定精度が良いという利点がある。しかしながら、大
気圧から１０-2torr程度までの減圧時には、真空度の測
定値は、それほど精度は要求されず、むしろ、真空引き
が進んでいることを所要の精度で確認できれば十分であ
るという面もあった。
が２個必要であるうえ、上記低真空時の圧力を測定する
ためのピラニゲージ等が高価であるため、製造コストが
高くなるという問題があった。ところで、ピラニゲージ
は測定精度が良いという利点がある。しかしながら、大
気圧から１０-2torr程度までの減圧時には、真空度の測
定値は、それほど精度は要求されず、むしろ、真空引き
が進んでいることを所要の精度で確認できれば十分であ
るという面もあった。
【０００４】そこで、この発明の目的は、低真空度を、
所望の精度で且つ安価に測定できる真空ポンプを提供す
ることである。
所望の精度で且つ安価に測定できる真空ポンプを提供す
ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明に係る真空ポンプは、ロータと、該ロータ
を非接触的に支持する電磁石を有するアキシャル磁気軸
受と、該ロータを軸方向の所要位置に保持するべく上記
アキシャル磁気軸受の上記電磁石への通電電流を制御す
る手段を備えた真空ポンプにおいて、上記電磁石に流れ
る電流値に基づいて被減圧部の真空度を表示する表示手
段を備えたことを特徴とするものである。
め、この発明に係る真空ポンプは、ロータと、該ロータ
を非接触的に支持する電磁石を有するアキシャル磁気軸
受と、該ロータを軸方向の所要位置に保持するべく上記
アキシャル磁気軸受の上記電磁石への通電電流を制御す
る手段を備えた真空ポンプにおいて、上記電磁石に流れ
る電流値に基づいて被減圧部の真空度を表示する表示手
段を備えたことを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上記の構成の真空ポンプによれば、ロータは、
被減圧部と大気圧との差圧に応じて軸方向の力を受ける
が、これに対して、制御手段が、アキシャル磁気軸受の
電磁石の電流値を調整し、上記軸方向の力に抗する電磁
力による磁気保持力を発生させる。これにより、ロータ
が軸方向の所要位置に保持される。また、表示手段は、
電磁石への通電電流値に基づいて被減圧部の圧力に応じ
た表示を行う。
被減圧部と大気圧との差圧に応じて軸方向の力を受ける
が、これに対して、制御手段が、アキシャル磁気軸受の
電磁石の電流値を調整し、上記軸方向の力に抗する電磁
力による磁気保持力を発生させる。これにより、ロータ
が軸方向の所要位置に保持される。また、表示手段は、
電磁石への通電電流値に基づいて被減圧部の圧力に応じ
た表示を行う。
【０００７】被減圧部と大気圧との差圧は上記軸方向の
力に比例しており、当該力に応じて上記通電電流値が可
変されるので、上記表示手段による通電電流値に基づい
た表示は、被減圧部の圧力との間に十分な相関を持つこ
とになる。
力に比例しており、当該力に応じて上記通電電流値が可
変されるので、上記表示手段による通電電流値に基づい
た表示は、被減圧部の圧力との間に十分な相関を持つこ
とになる。
【０００８】
【実施例】以下実施例を示す添付図面によって詳細に説
明する。図１は、この発明の一実施例としての真空ポン
プの概略構成図である。同図を参照して、この真空ポン
プは、上部のポンプハウジングＰＨおよび下部のモータ
ハウジングＭＨからなるハウジングＨと、ポンプハウジ
ングＰＨ内に形成され被減圧部Ｖと連通したロータ室１
に配置され動翼を有するロータ２と、このロータ２と同
軸に固定され、モータハウジングＭＨ内に延び、モータ
ハウジングＭＨ内で非接触支持された状態で回転駆動さ
れるロータシャフト３と、アナログ演算回路やディジタ
ル演算回路（マイコン）等の電子回路で構成され、ロー
タ室１内の真空度合いを演算する演算手段Ｃと、この演
算手段Ｃより演算された真空度合いを表示する表示手段
としてのディジタル表示計Ａとを備えている。
明する。図１は、この発明の一実施例としての真空ポン
プの概略構成図である。同図を参照して、この真空ポン
プは、上部のポンプハウジングＰＨおよび下部のモータ
ハウジングＭＨからなるハウジングＨと、ポンプハウジ
ングＰＨ内に形成され被減圧部Ｖと連通したロータ室１
に配置され動翼を有するロータ２と、このロータ２と同
軸に固定され、モータハウジングＭＨ内に延び、モータ
ハウジングＭＨ内で非接触支持された状態で回転駆動さ
れるロータシャフト３と、アナログ演算回路やディジタ
ル演算回路（マイコン）等の電子回路で構成され、ロー
タ室１内の真空度合いを演算する演算手段Ｃと、この演
算手段Ｃより演算された真空度合いを表示する表示手段
としてのディジタル表示計Ａとを備えている。
【０００９】また、モータハウジングＭＨ内には、上部
から、ロータシャフト３の停止時にこれを受ける上部タ
ッチダウン軸受４、ロータシャフト３を径方向に非接触
的に支持するラジアル磁気軸受５、ロータシャフト３を
回転駆動するビルトインモータ６、ラジアル磁気軸受
７、下部タッチダウン軸受８、ロータシャフト３の下端
部に固定されたディスク３ａを軸方向に非接触的に支持
するアキシャル磁気軸受９、およびロータシャフト３の
下端面に対向しロータシャフト３の軸方向変位を非接触
で検出するアキシャルセンサ１０が備えられている。
から、ロータシャフト３の停止時にこれを受ける上部タ
ッチダウン軸受４、ロータシャフト３を径方向に非接触
的に支持するラジアル磁気軸受５、ロータシャフト３を
回転駆動するビルトインモータ６、ラジアル磁気軸受
７、下部タッチダウン軸受８、ロータシャフト３の下端
部に固定されたディスク３ａを軸方向に非接触的に支持
するアキシャル磁気軸受９、およびロータシャフト３の
下端面に対向しロータシャフト３の軸方向変位を非接触
で検出するアキシャルセンサ１０が備えられている。
【００１０】ポンプハウジングＰＨの上部には、被減圧
部Ｖとロータ室１とを連通する吸込口１ａが設けられ、
ポンプハウジングＰＨの下部には、ロータ室１内の空気
を大気圧側へ排気する排気口１ｂが設けられている。ア
キシャル磁気軸受９は、ディスク３ａを挟んで対向配置
される一対の電磁石９ａ，９ｂを有している。この真空
ポンプでは、当該真空ポンプの作動を制御する処理部
（図示せず）に含まれる制御手段（図示せず）によっ
て、ロータシャフト３を軸方向の所要位置に保持するよ
うにしている。すなわち、この制御手段は、アキシャル
センサ１０によって検出されるロータシャフト３の軸方
向変位に基づいて、電磁石９ａ，９ｂの通電電流を調整
し、これにより、電磁石９ａ，９ｂの吸引力を調整して
ロータシャフト３を軸方向の所要位置に磁気浮上させ
る。
部Ｖとロータ室１とを連通する吸込口１ａが設けられ、
ポンプハウジングＰＨの下部には、ロータ室１内の空気
を大気圧側へ排気する排気口１ｂが設けられている。ア
キシャル磁気軸受９は、ディスク３ａを挟んで対向配置
される一対の電磁石９ａ，９ｂを有している。この真空
ポンプでは、当該真空ポンプの作動を制御する処理部
（図示せず）に含まれる制御手段（図示せず）によっ
て、ロータシャフト３を軸方向の所要位置に保持するよ
うにしている。すなわち、この制御手段は、アキシャル
センサ１０によって検出されるロータシャフト３の軸方
向変位に基づいて、電磁石９ａ，９ｂの通電電流を調整
し、これにより、電磁石９ａ，９ｂの吸引力を調整して
ロータシャフト３を軸方向の所要位置に磁気浮上させ
る。
【００１１】演算手段Ｃは、上記処理部に含まれてお
り、下記式（Ｐ），（Ｑ），（Ｒ）に基づいてロータ室
１の吸込口１ａ側（被減圧部Ｖ）の圧力と排気口１ｂ側
の圧力（大気圧）との差圧ΔＰを演算するとともに、こ
の差圧ΔＰから被減圧部Ｖの圧力Ｐを演算し、この圧力
Ｐに基づく信号をディジタル表示計Ａに出力する。 Ｆz ＝〔Ｋ1 （Ｉ1 ／δ1 ）2 −Ｋ2 （Ｉ2 ／δ2 ）2 〕 … （Ｐ） ΔＰ＝Ｆz ／Ｓ … （Ｑ） Ｐ＝Ｐ0 −ΔＰ … （Ｒ） ただし、Ｆz は差圧ΔＰにより生ずるロータ２を軸方向
上向きへ押し上げようとする力、Ｓはロータ２の受圧面
積、δ1 ，δ2 はアキシャルセンサ１０からの信号に基
づいて得られる、各電磁石９ａ，９ｂとディスク３ａと
の間のエアギャップ量、Ｉ1 ，Ｉ2 は各電磁石９ａ，９
ｂに通電される通電電流値、Ｐ0 は大気圧である。
り、下記式（Ｐ），（Ｑ），（Ｒ）に基づいてロータ室
１の吸込口１ａ側（被減圧部Ｖ）の圧力と排気口１ｂ側
の圧力（大気圧）との差圧ΔＰを演算するとともに、こ
の差圧ΔＰから被減圧部Ｖの圧力Ｐを演算し、この圧力
Ｐに基づく信号をディジタル表示計Ａに出力する。 Ｆz ＝〔Ｋ1 （Ｉ1 ／δ1 ）2 −Ｋ2 （Ｉ2 ／δ2 ）2 〕 … （Ｐ） ΔＰ＝Ｆz ／Ｓ … （Ｑ） Ｐ＝Ｐ0 −ΔＰ … （Ｒ） ただし、Ｆz は差圧ΔＰにより生ずるロータ２を軸方向
上向きへ押し上げようとする力、Ｓはロータ２の受圧面
積、δ1 ，δ2 はアキシャルセンサ１０からの信号に基
づいて得られる、各電磁石９ａ，９ｂとディスク３ａと
の間のエアギャップ量、Ｉ1 ，Ｉ2 は各電磁石９ａ，９
ｂに通電される通電電流値、Ｐ0 は大気圧である。
【００１２】ディジタル表示計Ａは、演算手段Ｃから
の、圧力Ｐに基づく信号に応じて、表示数値を可変す
る。この真空ポンプの動作について説明する。ロータシ
ャフト３が、ラジアル磁気軸受５，７およびアキシャル
磁気軸受９によって非接触的に支持された状態で、ビル
トインモータ６によりロータシャフト３が駆動される
と、被減圧部Ｖから吸込口１ａを通して吸引された空気
は排気口１ｂから大気中に排出され、被減圧部Ｖ内が減
圧されていく。この被減圧部Ｖ内の減圧が進むにしたが
って、ロータ２は、差圧ΔＰに比例した軸方向上向きの
力Ｆz を受けロータ２とロータシャフト３は所要の位置
から上方へ移動しようとする。このロータシャフト３の
軸方向変位をアキシャルセンサ１０が検出し、この検出
出力に基づいて、制御手段が、アキシャル磁気軸受９の
電磁石９ａ，９ｂの電流値Ｉ1 ，Ｉ2 を調整し、上記軸
方向の力Ｆz に抗する電磁力による磁気保持力を発生さ
せる。これにより、ロータ２が軸方向の所要位置に保持
される。
の、圧力Ｐに基づく信号に応じて、表示数値を可変す
る。この真空ポンプの動作について説明する。ロータシ
ャフト３が、ラジアル磁気軸受５，７およびアキシャル
磁気軸受９によって非接触的に支持された状態で、ビル
トインモータ６によりロータシャフト３が駆動される
と、被減圧部Ｖから吸込口１ａを通して吸引された空気
は排気口１ｂから大気中に排出され、被減圧部Ｖ内が減
圧されていく。この被減圧部Ｖ内の減圧が進むにしたが
って、ロータ２は、差圧ΔＰに比例した軸方向上向きの
力Ｆz を受けロータ２とロータシャフト３は所要の位置
から上方へ移動しようとする。このロータシャフト３の
軸方向変位をアキシャルセンサ１０が検出し、この検出
出力に基づいて、制御手段が、アキシャル磁気軸受９の
電磁石９ａ，９ｂの電流値Ｉ1 ，Ｉ2 を調整し、上記軸
方向の力Ｆz に抗する電磁力による磁気保持力を発生さ
せる。これにより、ロータ２が軸方向の所要位置に保持
される。
【００１３】この実施例によれば、演算手段Ｃは電磁石
９ａ，９ｂへの通電電流値Ｉ1 ，Ｉ 2 や上記エアギャッ
プ量δ1 ，δ2 に基づいて上記の式（Ｐ）、（Ｑ）、
（Ｒ）を演算し、その演算結果（被減圧部Ｖの圧力Ｐ）
をディジタル表示計Ａに出力する。ディジタル表示計Ａ
は演算結果Ｃの演算結果を表示する。これにより、被減
圧部Ｖの真空度を認知することができる。上記差圧ΔＰ
は式（Ｐ）、（Ｑ）に示されたとおり、ロータ２にかか
る軸方向の力Ｆｚに比例しており、当該力Ｆｚに応じて
上記エアギャップ量δ1 ，δ2 が変化し、上記通電電流
値Ｉ1 ，Ｉ2 が可変されるので、通電電流値Ｉ1 ，
Ｉ2 、エアギャップ量δ1 ，δ2 に基づいた上記表示
は、被減圧部Ｖの圧力との間に十分な相関を持つことに
なり、したがって、所要の精度を有した被減圧部Ｖの真
空度を得ることができる。しかも、従来の高価なピラニ
ゲージ等に比べて安価な電子回路で構成された演算手段
Ｃおよびディジタル表示計Ａを設けるのみで、上記真空
度を認知することができる。特に、通電電流値Ｉ1 ，Ｉ
2 やエアギャップ量δ1 ，δ2 に関しては、もともとこ
れをロータ２の軸方向位置保持のための制御用の信号と
して用いているものであり、これらを把握するための新
たな手段を設ける必要がないので、コスト的に有利であ
る。
９ａ，９ｂへの通電電流値Ｉ1 ，Ｉ 2 や上記エアギャッ
プ量δ1 ，δ2 に基づいて上記の式（Ｐ）、（Ｑ）、
（Ｒ）を演算し、その演算結果（被減圧部Ｖの圧力Ｐ）
をディジタル表示計Ａに出力する。ディジタル表示計Ａ
は演算結果Ｃの演算結果を表示する。これにより、被減
圧部Ｖの真空度を認知することができる。上記差圧ΔＰ
は式（Ｐ）、（Ｑ）に示されたとおり、ロータ２にかか
る軸方向の力Ｆｚに比例しており、当該力Ｆｚに応じて
上記エアギャップ量δ1 ，δ2 が変化し、上記通電電流
値Ｉ1 ，Ｉ2 が可変されるので、通電電流値Ｉ1 ，
Ｉ2 、エアギャップ量δ1 ，δ2 に基づいた上記表示
は、被減圧部Ｖの圧力との間に十分な相関を持つことに
なり、したがって、所要の精度を有した被減圧部Ｖの真
空度を得ることができる。しかも、従来の高価なピラニ
ゲージ等に比べて安価な電子回路で構成された演算手段
Ｃおよびディジタル表示計Ａを設けるのみで、上記真空
度を認知することができる。特に、通電電流値Ｉ1 ，Ｉ
2 やエアギャップ量δ1 ，δ2 に関しては、もともとこ
れをロータ２の軸方向位置保持のための制御用の信号と
して用いているものであり、これらを把握するための新
たな手段を設ける必要がないので、コスト的に有利であ
る。
【００１４】なお、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、例えば、上記実施例においては被減圧部
Ｖの圧力に応じた数値を表示したが、上記差圧ΔＰに応
じた数値を表示しても良い。また、上記実施例において
演算手段Ｃを廃止し、ディジタル表示計Ａによって、通
電電流値Ｉ1 ，Ｉ2 をそのまま表示するようにしても良
い。この場合でも、予め真空度と通電電流値Ｉ1 ，Ｉ2
との対応関係を求めておけば、真空度を知ることができ
る。しかも、一層製造コストを安価にすることができ
る。
ものではなく、例えば、上記実施例においては被減圧部
Ｖの圧力に応じた数値を表示したが、上記差圧ΔＰに応
じた数値を表示しても良い。また、上記実施例において
演算手段Ｃを廃止し、ディジタル表示計Ａによって、通
電電流値Ｉ1 ，Ｉ2 をそのまま表示するようにしても良
い。この場合でも、予め真空度と通電電流値Ｉ1 ，Ｉ2
との対応関係を求めておけば、真空度を知ることができ
る。しかも、一層製造コストを安価にすることができ
る。
【００１５】また、表示手段としては、上記実施例の他
に、アナログ表示計を使用することもできる。また、真
空度のレベルに応じた複数のランプを順次に点灯させる
ようにしても良い。さらに、単一のランプを用い、真空
度のレベルに応じて点滅間隔を変えるようにしても良
い。尚、アキシャル磁気軸受９の構成は、上記実施例に
示したものの他に、一方の電磁石の代わりに永久磁石を
用いて残りの１つの電磁石でディスク３ａの軸方向変位
を制御するようにしたものであっても良い。このような
アキシャル磁気軸受においても、１つの電磁石の通電電
流値から真空度を検出することができる。
に、アナログ表示計を使用することもできる。また、真
空度のレベルに応じた複数のランプを順次に点灯させる
ようにしても良い。さらに、単一のランプを用い、真空
度のレベルに応じて点滅間隔を変えるようにしても良
い。尚、アキシャル磁気軸受９の構成は、上記実施例に
示したものの他に、一方の電磁石の代わりに永久磁石を
用いて残りの１つの電磁石でディスク３ａの軸方向変位
を制御するようにしたものであっても良い。このような
アキシャル磁気軸受においても、１つの電磁石の通電電
流値から真空度を検出することができる。
【００１６】その他、この発明の要旨を変更しない範囲
で種々の設計変更を施すことができる。
で種々の設計変更を施すことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明の真空ポンプによれ
ば、ロータを非接触的に支持するアキシャル磁気軸受の
電磁石に流れる電流値に基づいて被減圧部の真空度を表
示するので、従来のピラニゲージ等の真空計を用いる場
合と比較して製造コストが安価である。しかも、被減圧
部と大気圧との差圧は上記軸方向の力に比例しており、
当該力に応じて電磁石への通電電流値が可変されるの
で、表示手段による通電電流値に基づいた表示は、被減
圧部の圧力との間に十分な相関を持ち、したがって、所
要の精度で低真空度を測定し、これを認知させることが
できる。
ば、ロータを非接触的に支持するアキシャル磁気軸受の
電磁石に流れる電流値に基づいて被減圧部の真空度を表
示するので、従来のピラニゲージ等の真空計を用いる場
合と比較して製造コストが安価である。しかも、被減圧
部と大気圧との差圧は上記軸方向の力に比例しており、
当該力に応じて電磁石への通電電流値が可変されるの
で、表示手段による通電電流値に基づいた表示は、被減
圧部の圧力との間に十分な相関を持ち、したがって、所
要の精度で低真空度を測定し、これを認知させることが
できる。
【図１】本発明の一実施例の真空ポンプの概略構成図で
ある。
ある。
１ ロータ室 ２ ロータ ３ ロータシャフト ３ａ ディスク ９ アキシャル磁気軸受 ９ａ，９ｂ 電磁石 Ａ ディジタル表示計（表示手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上山 拓知 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋 精工株式会社内 (72)発明者 山本 隆司 大阪府堺市築港新町３丁12番地 ダイキン 工業株式会社堺製作所臨海工場内
Claims (1)
- 【請求項１】ロータと、該ロータを非接触的に支持する
電磁石を有するアキシャル磁気軸受と、該ロータを軸方
向の所要位置に保持するべく上記アキシャル磁気軸受の
上記電磁石への通電電流を制御する手段を備えた真空ポ
ンプにおいて、 上記電磁石に流れる電流値に基づいて被減圧部の真空度
を表示する表示手段を備えたことを特徴とする真空ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04308978A JP3103222B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04308978A JP3103222B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159286A true JPH06159286A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3103222B2 JP3103222B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=17987500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04308978A Expired - Fee Related JP3103222B2 (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3103222B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286036A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
| JP2008275102A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Jtekt Corp | 軸受装置 |
| EP3438460A1 (de) * | 2017-08-04 | 2019-02-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP04308978A patent/JP3103222B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286036A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
| JP2008275102A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Jtekt Corp | 軸受装置 |
| EP3438460A1 (de) * | 2017-08-04 | 2019-02-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| US11078916B2 (en) | 2017-08-04 | 2021-08-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3103222B2 (ja) | 2000-10-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |