JPH06158315A - 成膜室のディスク保持装置 - Google Patents
成膜室のディスク保持装置Info
- Publication number
- JPH06158315A JPH06158315A JP4341143A JP34114392A JPH06158315A JP H06158315 A JPH06158315 A JP H06158315A JP 4341143 A JP4341143 A JP 4341143A JP 34114392 A JP34114392 A JP 34114392A JP H06158315 A JPH06158315 A JP H06158315A
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- JP
- Japan
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- disk
- preventing plate
- plate
- adhesion preventing
- shaft
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成を簡単にし、メンテナンスを容易にす
る。 【構成】 搬送アーム２３の先端に着脱自在に支持され
ディスク２７が載置される防着板２５と、防着板２５の
下面の中央部に当接し防着板２５を押し上げる回転自在
の押上手段５２と、押し上げられた防着板２５の上面の
ディスク２７の中央部に当接し押上手段５２と防着板２
５，ディスク２７を挟持する回転自在の支持体５６とを
備える。
る。 【構成】 搬送アーム２３の先端に着脱自在に支持され
ディスク２７が載置される防着板２５と、防着板２５の
下面の中央部に当接し防着板２５を押し上げる回転自在
の押上手段５２と、押し上げられた防着板２５の上面の
ディスク２７の中央部に当接し押上手段５２と防着板２
５，ディスク２７を挟持する回転自在の支持体５６とを
備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオンビームスパッタ
リング装置等の成膜室において、ディスクを簡単な構成
により保持するようにした成膜室のディスク保持装置に
関する。
リング装置等の成膜室において、ディスクを簡単な構成
により保持するようにした成膜室のディスク保持装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種保持装置は、図２及び図３
に示すようになっている。それらの図において、１は上
下動自在の中空の主軸、２は主軸１の内側に軸受３を介
して回転自在に支持された中空のアーム軸、４はアーム
軸２の内側に軸受５を介して回転自在に支持された駆動
軸、６はアーム軸２の上端に水平方向に一体に形成され
た搬送アーム、７はアーム６の先端に軸受８を介して回
転自在に支持された自転軸、９は自転軸７の上端に一体
に形成された防着板、１０は防着板９に載置されたディ
スクである。
に示すようになっている。それらの図において、１は上
下動自在の中空の主軸、２は主軸１の内側に軸受３を介
して回転自在に支持された中空のアーム軸、４はアーム
軸２の内側に軸受５を介して回転自在に支持された駆動
軸、６はアーム軸２の上端に水平方向に一体に形成され
た搬送アーム、７はアーム６の先端に軸受８を介して回
転自在に支持された自転軸、９は自転軸７の上端に一体
に形成された防着板、１０は防着板９に載置されたディ
スクである。
【０００３】１１は駆動軸４の上端に固着された小プー
リ、１２は自転軸７の周面に固着された大プーリ、１３
は両プーリ１１，１２に巻回されたベルト、１４は自転
軸７の中央部に放射状に設けられそれぞれ中央部が支軸
１５に回転自在に支持された保持体、１６は各保持体１
４の下部を内方へ付勢したばね、１７は保持体１４の上
部の外側に突設された保持爪であり、ディスク１０の内
周縁部を押圧している。
リ、１２は自転軸７の周面に固着された大プーリ、１３
は両プーリ１１，１２に巻回されたベルト、１４は自転
軸７の中央部に放射状に設けられそれぞれ中央部が支軸
１５に回転自在に支持された保持体、１６は各保持体１
４の下部を内方へ付勢したばね、１７は保持体１４の上
部の外側に突設された保持爪であり、ディスク１０の内
周縁部を押圧している。
【０００４】１８は回転軸、１９は回転軸１８の下端か
ら斜方向に一体に形成された支持杆、２０は支持杆１９
の先端に固着されたマスクであり、各保持体１４を覆い
各保持体１４への着膜を防止する。２１はアーム軸２及
びアーム６に連通して形成された冷却水の水路であり、
スパッタ粒子による熱を吸収している。
ら斜方向に一体に形成された支持杆、２０は支持杆１９
の先端に固着されたマスクであり、各保持体１４を覆い
各保持体１４への着膜を防止する。２１はアーム軸２及
びアーム６に連通して形成された冷却水の水路であり、
スパッタ粒子による熱を吸収している。
【０００５】つぎに、動作について説明する。ロードロ
ック室において、各保持体１４の下部をばね１６に抗し
て外方へ押圧し、防着板９上にディスク１０を載置し、
前記押圧を外して各保持爪１７によりディスク１０を保
持し、アーム軸２により搬送アーム６を回転してディス
ク１０を成膜位置に搬送し、主軸１，アーム軸２，駆動
軸４等を押し上げ、マスク２０の下方に各保持爪１４を
位置させ、駆動軸４の回転により小プーリ１１，ベルト
１３，大プーリ１２，自転軸７，防着板９を介してディ
スク１０を回転し、成膜を行う。成膜終了後は、前記と
逆の工程によりディスク１０をロードロック室に搬入す
る。
ック室において、各保持体１４の下部をばね１６に抗し
て外方へ押圧し、防着板９上にディスク１０を載置し、
前記押圧を外して各保持爪１７によりディスク１０を保
持し、アーム軸２により搬送アーム６を回転してディス
ク１０を成膜位置に搬送し、主軸１，アーム軸２，駆動
軸４等を押し上げ、マスク２０の下方に各保持爪１４を
位置させ、駆動軸４の回転により小プーリ１１，ベルト
１３，大プーリ１２，自転軸７，防着板９を介してディ
スク１０を回転し、成膜を行う。成膜終了後は、前記と
逆の工程によりディスク１０をロードロック室に搬入す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記保持装置の
場合、つぎの種々の問題がある。 １．主軸１，アーム軸２，駆動軸４が３重軸構造になっ
ており、回転機構及び気密機構が複雑である。 ２．搬送アーム６の上方にベルト１３が配設され、厚み
が大きく、ロードロック室のゲートバルブに開口の大き
いものが必要になって高価になり、かつ、ロードロック
室の容積も大きくなって真空排気時間が長大になる。 ３．防着板９は最も着膜量の多い部材であり、頻繁にメ
ンテナンスを要するが、防着板９が自転軸７に一体構造
になっているため、自転軸７とともに分解せねばなら
ず、その作業が繁雑である。 ４．さらに、レーザディスク用のＰＭＭＡディスクの場
合、放射状の組織の方向性を有しているが、その中央部
を放射状の保持爪１７で押圧するため、ディスクが割れ
やすい。 ５．複数のロードロック室と複数の搬送アーム６を設け
る場合、搬送アーム６の数だけ複雑な３重軸構造を要す
る。
場合、つぎの種々の問題がある。 １．主軸１，アーム軸２，駆動軸４が３重軸構造になっ
ており、回転機構及び気密機構が複雑である。 ２．搬送アーム６の上方にベルト１３が配設され、厚み
が大きく、ロードロック室のゲートバルブに開口の大き
いものが必要になって高価になり、かつ、ロードロック
室の容積も大きくなって真空排気時間が長大になる。 ３．防着板９は最も着膜量の多い部材であり、頻繁にメ
ンテナンスを要するが、防着板９が自転軸７に一体構造
になっているため、自転軸７とともに分解せねばなら
ず、その作業が繁雑である。 ４．さらに、レーザディスク用のＰＭＭＡディスクの場
合、放射状の組織の方向性を有しているが、その中央部
を放射状の保持爪１７で押圧するため、ディスクが割れ
やすい。 ５．複数のロードロック室と複数の搬送アーム６を設け
る場合、搬送アーム６の数だけ複雑な３重軸構造を要す
る。
【０００７】本発明は、前記の点に留意し、搬送アーム
の軸の構成を簡単にするとともに、搬送アームを薄くで
きるようにし、防着板を搬送アームに着脱自在にしてメ
ンテナンスが容易になるなどの特徴を有する成膜室のデ
ィスク保持装置を提供することを目的とする。
の軸の構成を簡単にするとともに、搬送アームを薄くで
きるようにし、防着板を搬送アームに着脱自在にしてメ
ンテナンスが容易になるなどの特徴を有する成膜室のデ
ィスク保持装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の成膜室のディスク保持装置は、搬送アーム
の先端に着脱自在に支持されディスクが載置される防着
板と、防着板の下面の中央部に当接し防着板を押し上げ
る回転自在の押上手段と、押し上げられた防着板の上面
のディスクの中央部に当接し押上手段と防着板，ディス
クを挟持する回転自在の支持体とを備えたものである。
に、本発明の成膜室のディスク保持装置は、搬送アーム
の先端に着脱自在に支持されディスクが載置される防着
板と、防着板の下面の中央部に当接し防着板を押し上げ
る回転自在の押上手段と、押し上げられた防着板の上面
のディスクの中央部に当接し押上手段と防着板，ディス
クを挟持する回転自在の支持体とを備えたものである。
【０００９】
【作用】前記のように構成された本発明の成膜室のディ
スク保持装置は、搬送アームの先端に防着板が着脱自在
に支持され、押上手段により防着板とともに防着板に載
置されたディスクが押し上げられ、押し上げられた防着
板，ディスクが回転自在の押上手段と支持体とにより挟
持されるため、搬送アームの回転軸が１軸で構成が簡単
になり、搬送アームがディスクを支持するのみであるた
め薄くなり、防着板が搬送アームに対し着脱自在である
ため防着板のメンテナンスが簡単であり、支持体により
ディスクの上面を一様に押えることができてディスクの
割れを防ぐことができ、さらに、搬送アームの数が増加
した場合でもディスクを自転する押上手段が１個でよ
い。
スク保持装置は、搬送アームの先端に防着板が着脱自在
に支持され、押上手段により防着板とともに防着板に載
置されたディスクが押し上げられ、押し上げられた防着
板，ディスクが回転自在の押上手段と支持体とにより挟
持されるため、搬送アームの回転軸が１軸で構成が簡単
になり、搬送アームがディスクを支持するのみであるた
め薄くなり、防着板が搬送アームに対し着脱自在である
ため防着板のメンテナンスが簡単であり、支持体により
ディスクの上面を一様に押えることができてディスクの
割れを防ぐことができ、さらに、搬送アームの数が増加
した場合でもディスクを自転する押上手段が１個でよ
い。
【００１０】
【実施例】１実施例について図１を参照して説明する。
同図において、２２は駆動軸、２３は駆動軸２２の上端
に水平方向に一体に形成された搬送アーム、２４はアー
ム２３の先端に形成された平面Ｃ字形の受体、２５は受
体２４に載置された防着板、２６は防着板２５の中央部
に透設された透孔、２７は防着板２５に載置されたディ
スクである。
同図において、２２は駆動軸、２３は駆動軸２２の上端
に水平方向に一体に形成された搬送アーム、２４はアー
ム２３の先端に形成された平面Ｃ字形の受体、２５は受
体２４に載置された防着板、２６は防着板２５の中央部
に透設された透孔、２７は防着板２５に載置されたディ
スクである。
【００１１】２８は基台、２９は基台２８の円筒部３０
の上端にＯリング３１を介して当接された蓋板、３２は
蓋板２９を円筒部３０に固着したボルト、３３は蓋板２
９の中央部に透設された透孔、３４は円筒部３０内に上
下動自在に設けられた中空の主軸、３５は主軸３４の上
端部と蓋板２９の下面の透孔３３の周縁部との間に設け
られた昇降用ベローズ、３６は主軸３４の内側に設けら
れ下端部が主軸３４に固着された中空の支持軸、３７は
支持軸３６に軸受３８を介して回転自在に支持された自
転軸であり、主軸３４，支持軸３６，自転軸３７が一体
となって上下動する。
の上端にＯリング３１を介して当接された蓋板、３２は
蓋板２９を円筒部３０に固着したボルト、３３は蓋板２
９の中央部に透設された透孔、３４は円筒部３０内に上
下動自在に設けられた中空の主軸、３５は主軸３４の上
端部と蓋板２９の下面の透孔３３の周縁部との間に設け
られた昇降用ベローズ、３６は主軸３４の内側に設けら
れ下端部が主軸３４に固着された中空の支持軸、３７は
支持軸３６に軸受３８を介して回転自在に支持された自
転軸であり、主軸３４，支持軸３６，自転軸３７が一体
となって上下動する。
【００１２】３９は自転軸３７の上部にねじ４０により
固着された外筒、４１は外筒４０に透設された複数個の
縦長の長孔、４２は外筒３９の内側に上下動自在に設け
られた内筒、４３は内筒４２の外面に突設され長孔４１
に挿入された突部である。
固着された外筒、４１は外筒４０に透設された複数個の
縦長の長孔、４２は外筒３９の内側に上下動自在に設け
られた内筒、４３は内筒４２の外面に突設され長孔４１
に挿入された突部である。
【００１３】４４は内筒４２の上部と自転軸３７との間
に設けられた玉軸受、４５は玉軸受４４を支持したね
じ、４６は内筒４２の上端面にねじ４７により固着され
た受体２４の内径より小さい保持体、４８は保持体４６
の上面に突設された環状体であり、防着板２５の透孔２
６に挿入される。
に設けられた玉軸受、４５は玉軸受４４を支持したね
じ、４６は内筒４２の上端面にねじ４７により固着され
た受体２４の内径より小さい保持体、４８は保持体４６
の上面に突設された環状体であり、防着板２５の透孔２
６に挿入される。
【００１４】４９は玉軸受４４の下端に設けられたスペ
ーサ、５０はスペーサ４９と外筒３９の底面との間に設
けられたばねであり、スペーサ４９，玉軸受４４，内筒
４２を介して保持体４６を上方へ付勢している。
ーサ、５０はスペーサ４９と外筒３９の底面との間に設
けられたばねであり、スペーサ４９，玉軸受４４，内筒
４２を介して保持体４６を上方へ付勢している。
【００１５】５１は基台２８の円筒部３０，外筒３９，
内筒４２等を覆ったカバーであり、主軸３４，支持軸３
６，自転軸３７，外筒３９，内筒４２，保持体４６，ば
ね５０等により押上手段５２が構成されている。
内筒４２等を覆ったカバーであり、主軸３４，支持軸３
６，自転軸３７，外筒３９，内筒４２，保持体４６，ば
ね５０等により押上手段５２が構成されている。
【００１６】５３は支持杆、５４は支持杆５３の先端に
ねじ５５により固着されたマスク、５６は軸受５７を介
してマスク５４の下側に設けられた支持体、５８は支持
体５６の下面に突設された環状突部、５９はねじ６０に
より支持体５６に固着され支持体５６の軸受５７からの
逸脱を防ぐ保持具、６１は支持体５６の周縁部に設けら
れたテフロン等の絶縁物からなるディスク押え用リン
グ、６２はリング６１を支持体５６に固定した止め輪、
６３は支持杆５３を通りマスク５４の上面に配設された
冷却水の水路である。
ねじ５５により固着されたマスク、５６は軸受５７を介
してマスク５４の下側に設けられた支持体、５８は支持
体５６の下面に突設された環状突部、５９はねじ６０に
より支持体５６に固着され支持体５６の軸受５７からの
逸脱を防ぐ保持具、６１は支持体５６の周縁部に設けら
れたテフロン等の絶縁物からなるディスク押え用リン
グ、６２はリング６１を支持体５６に固定した止め輪、
６３は支持杆５３を通りマスク５４の上面に配設された
冷却水の水路である。
【００１７】つぎに、動作について説明する。ロードロ
ック室において、搬送アーム２３の受体２４上の防着板
２５にディスク２７を載置し、駆動軸２２を回転してデ
ィスク２７を成膜位置の直下に搬送し、自転軸３７を押
し上げ、自転軸３７の上端の保持体４６の環状体４８
が、防着板２５の透孔２６に嵌入し、防着板２５を受体
２４から離脱し、環状体４８の内側に支持体５６の環状
突部５８が嵌入し、ディスク２７の上面が支持体５６に
当接する。
ック室において、搬送アーム２３の受体２４上の防着板
２５にディスク２７を載置し、駆動軸２２を回転してデ
ィスク２７を成膜位置の直下に搬送し、自転軸３７を押
し上げ、自転軸３７の上端の保持体４６の環状体４８
が、防着板２５の透孔２６に嵌入し、防着板２５を受体
２４から離脱し、環状体４８の内側に支持体５６の環状
突部５８が嵌入し、ディスク２７の上面が支持体５６に
当接する。
【００１８】このとき、環状体４８と環状突部５８に形
成されたテーパにより位置ずれが吸収されて定位置にな
り、また、ばね５０により保持体４６と支持体５６との
衝撃が緩和される。
成されたテーパにより位置ずれが吸収されて定位置にな
り、また、ばね５０により保持体４６と支持体５６との
衝撃が緩和される。
【００１９】つぎに、駆動軸２２が逆回転し、Ｃ字形の
受体２４の開口部により自転軸３７の部分から受体２４
が外れ、自転軸３７の回転によりディスク２７に成膜が
行われる。このとき、マスク５４により機構部への着膜
及び過熱が防止される。
受体２４の開口部により自転軸３７の部分から受体２４
が外れ、自転軸３７の回転によりディスク２７に成膜が
行われる。このとき、マスク５４により機構部への着膜
及び過熱が防止される。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の成
膜室のディスク保持装置は、搬送アーム２３の先端に防
着板２５が着脱自在に支持され、押上手段５２により防
着板２５とともに防着板２５に載置されたディスク２７
が押し上げられ、押し上げられた防着板２５，ディスク
２７が回転自在の押上手段５２と回転自在の支持体５６
により挟持されるため、 １．搬送アーム２３の回転軸が１軸でよく、構成を簡単
にすることができる。 ２．搬送アーム２３がディスク２７を支持するのみであ
るため薄くなり、ロードロック室のゲートバルブの開口
及びロードロック室の容積を小さくでき、真空排気時間
を短縮することができる。 ３．防着板２５が搬送アーム２３に対し着脱自在である
ため防着板２５のメンテナンスを簡単にすることができ
る。 ４．さらに、支持体５６によりディスク２７の上面を一
様に押えることができ、ディスク２７の割れを防ぐこと
ができる。 ５．その上、搬送アーム２３の数が増加した場合でも、
ディスク２７を自転する押上手段５２を１個にすること
ができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の成
膜室のディスク保持装置は、搬送アーム２３の先端に防
着板２５が着脱自在に支持され、押上手段５２により防
着板２５とともに防着板２５に載置されたディスク２７
が押し上げられ、押し上げられた防着板２５，ディスク
２７が回転自在の押上手段５２と回転自在の支持体５６
により挟持されるため、 １．搬送アーム２３の回転軸が１軸でよく、構成を簡単
にすることができる。 ２．搬送アーム２３がディスク２７を支持するのみであ
るため薄くなり、ロードロック室のゲートバルブの開口
及びロードロック室の容積を小さくでき、真空排気時間
を短縮することができる。 ３．防着板２５が搬送アーム２３に対し着脱自在である
ため防着板２５のメンテナンスを簡単にすることができ
る。 ４．さらに、支持体５６によりディスク２７の上面を一
様に押えることができ、ディスク２７の割れを防ぐこと
ができる。 ５．その上、搬送アーム２３の数が増加した場合でも、
ディスク２７を自転する押上手段５２を１個にすること
ができる。
【図１】本発明の１実施例の一部分離切断正面図であ
る。
る。
【図２】従来例の切断正面図である。
【図３】図２の一部の平面図である。
２３ 搬送アーム ２５ 防着板 ２７ ディスク ５２ 押上手段 ５６ 支持体
Claims (1)
- 【請求項１】 搬送アームの先端に着脱自在に支持され
ディスクが載置される防着板と、 該防着板の下面の中央部に当接し前記防着板を押し上げ
る回転自在の押上手段と、 押し上げられた前記防着板の上面のディスクの中央部に
当接し前記押上手段と前記防着板，前記ディスクを挟持
する回転自在の支持体とを備えた成膜室のディスク保持
装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4341143A JPH06158315A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 成膜室のディスク保持装置 |
| US08/123,225 US5482607A (en) | 1992-09-21 | 1993-09-20 | Film forming apparatus |
| DE69307445T DE69307445T2 (de) | 1992-09-21 | 1993-09-21 | Schichtbildende Vorrichtung |
| EP93115193A EP0589416B1 (en) | 1992-09-21 | 1993-09-21 | Film forming apparatus |
| KR1019930019150A KR100254129B1 (ko) | 1992-09-21 | 1993-09-21 | 박막형성장치 |
| US08/250,500 US5674368A (en) | 1992-09-21 | 1994-05-27 | Film forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4341143A JPH06158315A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 成膜室のディスク保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06158315A true JPH06158315A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18343659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4341143A Pending JPH06158315A (ja) | 1992-09-21 | 1992-11-26 | 成膜室のディスク保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06158315A (ja) |
-
1992
- 1992-11-26 JP JP4341143A patent/JPH06158315A/ja active Pending
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