JPH0615767A - 複合部材及びその加工方法 - Google Patents
複合部材及びその加工方法Info
- Publication number
- JPH0615767A JPH0615767A JP17440492A JP17440492A JPH0615767A JP H0615767 A JPH0615767 A JP H0615767A JP 17440492 A JP17440492 A JP 17440492A JP 17440492 A JP17440492 A JP 17440492A JP H0615767 A JPH0615767 A JP H0615767A
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- mask material
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】マイクロマシンに使用されるような微小機構で
も精度良く、効率的に、しかも、加工し易い複合部材を
得ようとするものである。 【構成】母材１、１５の表面に所要のパターンを形成し
たマスク材２、１４を固着し、そのマスク材上から微粒
子から成る子材８、１６を含む固気２相流６を噴射し
て、その母材の露出した表面に子材を堆積固定すること
により、複合部材を得る加工方法である。
も精度良く、効率的に、しかも、加工し易い複合部材を
得ようとするものである。 【構成】母材１、１５の表面に所要のパターンを形成し
たマスク材２、１４を固着し、そのマスク材上から微粒
子から成る子材８、１６を含む固気２相流６を噴射し
て、その母材の露出した表面に子材を堆積固定すること
により、複合部材を得る加工方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、母材の表面に所要パタ
ーンを形成したマスク材を固着し、前記マスク上から微
粒子から成る子材を含む固気２相流を噴射して、母材の
露出した表面に子材を堆積固定したものであって、マイ
クロマシン等に用いて好適な複合部材及びその加工方法
に関する。
ーンを形成したマスク材を固着し、前記マスク上から微
粒子から成る子材を含む固気２相流を噴射して、母材の
露出した表面に子材を堆積固定したものであって、マイ
クロマシン等に用いて好適な複合部材及びその加工方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】母材にマスク材を施し、被膜を形成する
方法を用いて複合部材を得るために、メタルオーガニッ
クケミカルベーパーデポジションのように紫外線を利用
したもの、又は、イオンビームデポジションのようにイ
オンを利用したもの、又は、ケミカルベーパーデポジシ
ョンやフィジカルベーパーデポジションのように分子を
利用したもの等がある。
方法を用いて複合部材を得るために、メタルオーガニッ
クケミカルベーパーデポジションのように紫外線を利用
したもの、又は、イオンビームデポジションのようにイ
オンを利用したもの、又は、ケミカルベーパーデポジシ
ョンやフィジカルベーパーデポジションのように分子を
利用したもの等がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし以上述べたデポ
ジションは、半導体装置としては実績はあるものの、一
般の加工方法として見た場合、実に作業性、能率が悪い
ために、マイクロマシンに適していない等の問題があっ
た。また、母材に被膜を形成する方法としては、薄膜を
厚くすることが問題であった。このために板厚の厚い複
合部材を加工する方法としては難があった。この発明
は、このような点に鑑み提案されたものであって、マイ
クロマシンに使用されるような微小機構に適用される、
精度が良く、効率的に、しかも、加工し易い複合部材を
提供することを課題とする。
ジションは、半導体装置としては実績はあるものの、一
般の加工方法として見た場合、実に作業性、能率が悪い
ために、マイクロマシンに適していない等の問題があっ
た。また、母材に被膜を形成する方法としては、薄膜を
厚くすることが問題であった。このために板厚の厚い複
合部材を加工する方法としては難があった。この発明
は、このような点に鑑み提案されたものであって、マイ
クロマシンに使用されるような微小機構に適用される、
精度が良く、効率的に、しかも、加工し易い複合部材を
提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、母材
の表面にマスク材を固着し、そのマスク材上から露出し
た母材の表面に微粒子から成る子材を含む固気２相流を
噴射して子材を堆積固定することにより、複合部材を得
るようにした。
の表面にマスク材を固着し、そのマスク材上から露出し
た母材の表面に微粒子から成る子材を含む固気２相流を
噴射して子材を堆積固定することにより、複合部材を得
るようにした。
【０００５】
【作用】従って、厚さが数μｍ〜数１００μｍの厚さで
も、精度良く、効率的に、複合部材を加工でき、感光性
合成樹脂薄板の層が制振効果、緩衝効果、絶縁効果をも
たらすので、マイクロマシンに用いられる部品、例えば
マイクロオペレーション用の光顕微鏡、マイクロマニピ
ュレータ、マイクロステージ等の部品に適用すると効果
的である。
も、精度良く、効率的に、複合部材を加工でき、感光性
合成樹脂薄板の層が制振効果、緩衝効果、絶縁効果をも
たらすので、マイクロマシンに用いられる部品、例えば
マイクロオペレーション用の光顕微鏡、マイクロマニピ
ュレータ、マイクロステージ等の部品に適用すると効果
的である。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の複合部材の加工方法を示す斜視
図、図２乃至図４は本発明の複合部材の第１の実施例で
あり、図２はその平面図、図３は図２のＸ1 −Ｘ2 線上
の断面図であり、図４は図３を変形した実施例で、その
断面図である。また、図５乃至図７は第２の実施例であ
り、図５はその平面図、図６は図５のＸ3 −Ｘ4線上の
断面図であり、図７は図６を変形した実施例で、その断
面図である。
する。図１は本発明の複合部材の加工方法を示す斜視
図、図２乃至図４は本発明の複合部材の第１の実施例で
あり、図２はその平面図、図３は図２のＸ1 −Ｘ2 線上
の断面図であり、図４は図３を変形した実施例で、その
断面図である。また、図５乃至図７は第２の実施例であ
り、図５はその平面図、図６は図５のＸ3 −Ｘ4線上の
断面図であり、図７は図６を変形した実施例で、その断
面図である。
【０００７】まず始めに、図１を用いて本発明の複合部
材の加工方法について説明する。１は複合部材になる母
材で、用途に応じて素材を選べばよい。実施例では、Ａ
ｌ、Ｃｕ、Ｆｅ等の金属材料基板を用いた。２は厚さが
２０〜１００μｍの感光性合成樹脂（例えばウレタン系
樹脂）を用いたマスク材で、制振、緩衝、絶縁性の効果
がある。このような母材１とマスク材２を接着して合体
している。
材の加工方法について説明する。１は複合部材になる母
材で、用途に応じて素材を選べばよい。実施例では、Ａ
ｌ、Ｃｕ、Ｆｅ等の金属材料基板を用いた。２は厚さが
２０〜１００μｍの感光性合成樹脂（例えばウレタン系
樹脂）を用いたマスク材で、制振、緩衝、絶縁性の効果
がある。このような母材１とマスク材２を接着して合体
している。
【０００８】感光性合成樹脂を用いたマスク材２には、
紫外線露光法により所要のマスクパターンを形成させ
る。この実施例では、図２に示すように、一辺Ｄ＝約１
５０μｍの正方形穴３が、等間隔Ｅ＝約２００μｍにな
るように、２５個設けられたマスクパターンで形成され
たマスク材２を用いた。
紫外線露光法により所要のマスクパターンを形成させ
る。この実施例では、図２に示すように、一辺Ｄ＝約１
５０μｍの正方形穴３が、等間隔Ｅ＝約２００μｍにな
るように、２５個設けられたマスクパターンで形成され
たマスク材２を用いた。
【０００９】次に、このマスク材２の上部には、噴射ノ
ズル４を配置し、その噴射口５から固気２相流６をマス
ク材２に向けて噴射し、矢印７の方向に連続又は間欠的
に移動させる。固気２相流６は、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ、
ＳｉＯ2 、Ｓｉ3 Ｎ4 等のセラミックス材料の粒径が
０．１μｍ程度の微粒子から成る子材８を１〜１０ｋｇ
／ｃｍ2の高圧の空気又はドライ窒素から成る気体中に
均一に分散したものである。
ズル４を配置し、その噴射口５から固気２相流６をマス
ク材２に向けて噴射し、矢印７の方向に連続又は間欠的
に移動させる。固気２相流６は、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＣ、
ＳｉＯ2 、Ｓｉ3 Ｎ4 等のセラミックス材料の粒径が
０．１μｍ程度の微粒子から成る子材８を１〜１０ｋｇ
／ｃｍ2の高圧の空気又はドライ窒素から成る気体中に
均一に分散したものである。
【００１０】また、噴射口５の断面形状は長方形になっ
ていて、その長辺寸法Ａが図２で示す最大加工寸法Ｂよ
りも大きく、その短辺寸法Ｃが図２で示す単一加工寸法
Ｄより大きいものを使用すると良い。実施例では次式を
満足させる条件を与えた。 Ａ＞Ｂ＝約１０００μｍ、Ｃ＞Ｄ＝約１５０μｍ
ていて、その長辺寸法Ａが図２で示す最大加工寸法Ｂよ
りも大きく、その短辺寸法Ｃが図２で示す単一加工寸法
Ｄより大きいものを使用すると良い。実施例では次式を
満足させる条件を与えた。 Ａ＞Ｂ＝約１０００μｍ、Ｃ＞Ｄ＝約１５０μｍ
【００１１】このような噴射口５を有する噴射ノズル４
を用い、マスク材２上から固気２相流６を噴射して、母
材１に子材８を均一に堆積固定させる。ここで噴射ノズ
ルの高さＨ＝５ｍｍとする。このようにして噴射ノズル
４から前記固気２相流６をマスク材２に向けて噴射し、
矢印７方向に連続又は間欠的に移動させることにより、
マスク材２に覆われていない母材１に微粒子から成る子
材８がマスク材２に形成された２５個の正方形穴３に均
一に堆積固定される。
を用い、マスク材２上から固気２相流６を噴射して、母
材１に子材８を均一に堆積固定させる。ここで噴射ノズ
ルの高さＨ＝５ｍｍとする。このようにして噴射ノズル
４から前記固気２相流６をマスク材２に向けて噴射し、
矢印７方向に連続又は間欠的に移動させることにより、
マスク材２に覆われていない母材１に微粒子から成る子
材８がマスク材２に形成された２５個の正方形穴３に均
一に堆積固定される。
【００１２】次に、図２〜図４は図１の加工方法を用い
た複合部材１０及び１１の第１の実施例である。図３は
母材１の片面にマスク材２と子材８を形成したものであ
り、図４は母材１の両面にマスク材２と子材８を形成し
たものである。
た複合部材１０及び１１の第１の実施例である。図３は
母材１の片面にマスク材２と子材８を形成したものであ
り、図４は母材１の両面にマスク材２と子材８を形成し
たものである。
【００１３】前記したと同様に、図５〜図７は図１の加
工方法を用いた複合部材１２及び１３の第２の実施例で
ある。ここでは、感光性合成樹脂（例えばウレタン系樹
脂）を用いたマスク材１４は一辺Ｆ＝約１５０μｍの正
方形で形成され、これらの隣接する正方形が等間隔Ｇ＝
約２００μｍになるようにＡｌ、Ｃｕ、Ｆｅ等の金属材
料から成る母材１５上に接着して合体している。
工方法を用いた複合部材１２及び１３の第２の実施例で
ある。ここでは、感光性合成樹脂（例えばウレタン系樹
脂）を用いたマスク材１４は一辺Ｆ＝約１５０μｍの正
方形で形成され、これらの隣接する正方形が等間隔Ｇ＝
約２００μｍになるようにＡｌ、Ｃｕ、Ｆｅ等の金属材
料から成る母材１５上に接着して合体している。
【００１４】図１に示すように、マスク材１４の上部に
は、噴射ノズル４を配置し、噴射ノズル４の噴射口５か
らマスク材１４に向けて固気２相流６を噴射し、矢印７
の方向に連続又は間欠的に移動させると、マスク材１４
に覆われていない母材１５の表面に前記微粒子から成る
子材１６が均一に堆積固定される。
は、噴射ノズル４を配置し、噴射ノズル４の噴射口５か
らマスク材１４に向けて固気２相流６を噴射し、矢印７
の方向に連続又は間欠的に移動させると、マスク材１４
に覆われていない母材１５の表面に前記微粒子から成る
子材１６が均一に堆積固定される。
【００１５】このようにして図６では、母材１５の片面
に感光性合成樹脂から成るマスク材１４と微粒子から成
る子材１６を形成したものであり、図７では母材１５の
両面に感光性合成樹脂から成るマスク材１４と微粒子か
ら成る子材１６を形成したものである。
に感光性合成樹脂から成るマスク材１４と微粒子から成
る子材１６を形成したものであり、図７では母材１５の
両面に感光性合成樹脂から成るマスク材１４と微粒子か
ら成る子材１６を形成したものである。
【００１６】前記実施例の複合部材１０〜１３は、マイ
クロマシンに用いられる部品、例えばマイクロオペレー
ション用の光顕微鏡、マイクロマニピュレータ、マイク
ロステージの部品に適用することができる。また、前記
実施例では正方形穴又は正方形突条のマスク材２を用い
たが、長方形、円形等の穴、溝、突条形状のマスク材２
で必要な部品を加工することができることはいうまでも
ない。
クロマシンに用いられる部品、例えばマイクロオペレー
ション用の光顕微鏡、マイクロマニピュレータ、マイク
ロステージの部品に適用することができる。また、前記
実施例では正方形穴又は正方形突条のマスク材２を用い
たが、長方形、円形等の穴、溝、突条形状のマスク材２
で必要な部品を加工することができることはいうまでも
ない。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、マスク
材、子材と母材を合体するために所要のパターンを形成
した感光性合成樹脂から成るマスク材を母材に接着して
合体させ、その後マスク材側から微粒子から成る子材を
含む固気２相流を高速噴射し、母材に子材を堆積固定し
て複合部材を形成できるため、 （１）加工効率が良い。 （２）数１００μｍと厚手のものから、数μｍの薄手の
ものまで加工自在である。 （３）制振、緩衝、絶縁性が大である。 （４）高精度で、微小機構に適用することができる。 等数々の優れた効果を有する。
材、子材と母材を合体するために所要のパターンを形成
した感光性合成樹脂から成るマスク材を母材に接着して
合体させ、その後マスク材側から微粒子から成る子材を
含む固気２相流を高速噴射し、母材に子材を堆積固定し
て複合部材を形成できるため、 （１）加工効率が良い。 （２）数１００μｍと厚手のものから、数μｍの薄手の
ものまで加工自在である。 （３）制振、緩衝、絶縁性が大である。 （４）高精度で、微小機構に適用することができる。 等数々の優れた効果を有する。
【図１】本発明の複合部材の加工方法を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の複合部材の第１の実施例を示す平面図
である。
である。
【図３】図２のＸ1 −Ｘ2 線上の断面図である。
【図４】図３の変形した実施例を示す断面図である。
【図５】本発明の複合部材の第２の実施例を示す平面図
である。
である。
【図６】図５のＸ3 −Ｘ4 線上の断面図である。
【図７】図６の変形した実施例を示す断面図である。
１ 母材 ２ マスク材 ３ 正方形穴 ４ 噴射ノズル ５ 噴射口 ６ 固気２相流 ７ 移動方向 ８ 子材 １０、１１、１２、１３ 複合部材 １４ マスク材 １５ 母材 １６ 子材 Ａ 噴射口５の長辺寸法 Ｂ 最大加工寸法 Ｃ 噴射口５の短辺寸法 Ｄ 単一加工寸法 Ｅ 隣接する正方形の間隔寸法 Ｆ マスク材１４の正方形の一辺寸法 Ｇ マスク材１４の正方形穴３の間隔寸法 Ｈ 噴射ノズルの高さ
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の材料から構成される複合部材にお
いて、所要の母材と、前記母材の表面に固着したマスク
材と、前記母材の露出した表面に微粒子を堆積固定した
子材とから構成したことを特徴とする複合部材。 - 【請求項２】 複数の材料から構成される複合部材の加
工方法において、母材の表面に所要のパターンを形成し
たマスク材を固着し、前記マスク材上から微粒子から成
る子材を含む固気２相流を噴射して、前記母材の露出し
た表面に前記子材を堆積固定したことを特徴とする複合
部材の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17440492A JPH0615767A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 複合部材及びその加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17440492A JPH0615767A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 複合部材及びその加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615767A true JPH0615767A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=15977975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17440492A Pending JPH0615767A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 複合部材及びその加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615767A (ja) |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP17440492A patent/JPH0615767A/ja active Pending
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