JPH06156729A

JPH06156729A - 磁気浮上搬送装置

Info

Publication number: JPH06156729A
Application number: JP30894392A
Authority: JP
Inventors: Toshio Sawa; 敏雄澤; Shigeru Iketake; 茂池竹; Shoji Den; 昭治田; Yuzo Hayashi; 雄造林; Norikimi Irie; 則公入江
Original assignee: SANII KOKEN KK; Irie Koken Co Ltd
Current assignee: SANII KOKEN KK; Irie Koken Co Ltd
Priority date: 1992-11-18
Filing date: 1992-11-18
Publication date: 1994-06-03
Anticipated expiration: 2015-03-27
Also published as: JP3025591B2

Abstract

(57)【要約】【目的】高クリーン・ルームの環境の下に高精密度半
導体などを位置決め精度良好に搬送するための装置を得
ること。【構成】高真空に保持され又は高純度ガスを満たされ
た搬送通路１と、搬送通路内に移動自在に配置され搬送
ケース２とから成り立ち、搬送ケース２の頂部には強磁
性体６を取り付け、これを搬送通路の外部にその頂部に
沿って走行可能な駆動台車２０の下部に取り付けた電磁
石３０，３１により吸引することにより搬送ケースを浮
上・移動させ、また、搬送ケースの頂部には位置検出用
磁石７を取り付けると共に駆動台車２０の下面にはこの
磁石と協同してキャパシタンスによる位置検出機構を構
成する磁気センサー３５を取り付け、更に、搬送ケース
の下面には強力磁石８を取り付けると共にその下部にそ
れから間隔を置いて渦電流の発生用の長尺の良導電材９
を平行に配置し、搬送ケースの揺れ止めを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造設備などに
おけるウェハーや、基板などの搬送のための磁気浮上搬
送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近の高精密度半導体など、例えば、ウ
ェハーや基板などの製造には、その製造工程において、
極めて高い無塵化環境を保持することが要求されてお
り、各工程が終始一貫して高真空雰囲気内において実施
される必要がある。このように高真空で高無塵化環境、
すなわち、高クリーン・ルームの状態を保持することに
より、ウェハーなどの複雑な先端技術による製品の製造
が、始めて可能となるものである。また、この工程の
中には、超高クリーン・ルーム内における半製品ないし
は完成製品の搬送のために、これらの超高クリーン・ル
ームを相互に連絡する搬送路内も高無塵化環境の下に維
持すると共にその中を移動する搬送用機材が搬送路内に
おいて相互に接触することにより塵の発生することを、
絶対に阻止しなければならない。更に、この搬送路内を
高真空とするためには、この搬送路を外部から約２５０
℃に加熱する、いわゆる、ベーキング工程を実施するこ
とも必要とされるので、搬送路内の各種部材は、この高
温度に耐える必要がある。

【０００３】すなわち、半導体の製造や、超電導体など
の開発においては、高真空の雰囲気が広く使用されてお
り、そのために、このような高真空雰囲気の下において
作動をする各種の処理装置や、各種の機器などを、外界
から遮断あるいは遮蔽し、高度の真空、例えば、10^-10T
orr(トール)以下の真空の下に維持された密閉空間内に
設置して置き、これらの各種処理装置や、機器の間を高
真空雰囲気の下に維持された密閉搬送通路により連結
し、外部から密閉空間内に処理されるべき素材などを挿
入し、これらの素材を密閉空間内において処理した後、
これを密閉搬送通路内を走行する搬送ケースに移送し、
この搬送ケースにより、素材を他の各種処理装置や、機
器へ搬送し更に処理を行い、あるいは、このようにして
処理された完成品ないしは中間製品を、処理装置から密
閉搬送通路を経て、再び、外部へ取り出すことが必要と
されており、この場合、各種装置や、機器及び搬送ケー
スなどは、密閉容器の外部から遠隔操作することが必要
とされている。

【０００４】また、ウェハーの製造方式として、このよ
うな超高真空の下における製造方式の代わりに、ウェハ
ーの裏面に気体を吹き付け、ウェハーを浮上させた状態
で搬送する方法も知られているが、この方法において
も、ウェハーと搬送路との間には接触が無く、ウェハー
の連続的な高速搬送が可能であることを必要とされてい
る。特に、この方式においては、搬送用ガスとして超高
純度Ｎ₂を使用することにより、ウェハーの表面の酸化
を防止することが出来ることが報告されている。（参考
文献：「超微細電子回路実験施設研究報告」第３号
「スーパークリーン技術特集」；東北大学電気通信研究
所：１９９０年発行）。

【０００５】なお、本出願人は、特に、前者の超高真空
・高無塵化環境の下における搬送装置として、特願平１
−４７６５号として「浮上式真空内物品搬送装置」の発
明（平成１年１１３日特許出願）（特開平２−１８８１
０４号公報）（以下、「先の発明」と呼ぶ）を提案して
いる。

【０００６】すなわち、この先の発明による「浮上式真
空内物品搬送装置」は、添付図面の図４及び５に示すよ
うに、高真空に維持された密閉搬送通路を内側に有する
横断面が円形である磁気浮上搬送管５０の内部に、例え
ば、半導体製造のウエファーなどを載せるための搬送ケ
ース（浮上シャットル）５１を配置するが、この搬送ケ
ース５１は、平面輪郭がほぼ長方形状である搬送ケース
上部台板５２及び搬送ケース下部台板５３を、上下に間
隔を置いて一体に連結することにより形成されており、
また、搬送管５０の垂直中心面Ｘ−Ｘ内には、搬送ケー
ス上部台板５２の上面に、その長手方向の各端部近くに
おいて、それぞれ、支柱５４を垂直に設置し、それらの
頂部には、搬送管５０の内壁に近接して、長方形板状の
高磁性体（鉄片）５５を、それぞれ、水平に取り付け、
また、搬送ケース上部台板５２の上面及び搬送ケース下
部台板５３の下面の長手方向の１端部近くには、それぞ
れ、搬送管５０の垂直中心面Ｘ−Ｘ面内において、支柱
５４の垂直中心線に対して対称的に、それぞれ、１対の
絶縁支柱５６を取り付け、これらの絶縁支柱５６の端部
には、それぞれ、変位センサーの役割をする上部及び下
部極板５７及び５８を水平に固着してある。なお、これ
れの極板５７，５８と協同する各１対の相互に間隔を置
かれた平行な固定極板５９が、絶縁支柱６０を介して、
搬送管１の内壁に、その長手方向に連続的に設置してあ
る。

【０００７】また、搬送管５０の外部の頂部には駆動台
車７０が配置されているが、この駆動台車７０は、搬送
管５０の垂直中心面Ｘ−Ｘに対して対称的な、ほぼＵ字
状の横断面を有していると共に平面輪郭が長方形状を有
しており、搬送管５０の長手方向に移動自在であるよう
に配置されている。そして、駆動台車７０の下面には、
その長手方向の端部近くにおいて、電磁石（Ａ）７１及
び電磁石（Ｂ）７２が、搬送管５０の垂直中心面Ｘ−Ｘ
内に中心を有するように且つ搬送ケース５１に取り付け
られた各鉄片５５の位置に対応するように、各１組ず
つ、すなわち、電磁石（Ａ）７１_１，７１₂及び電磁石
（Ｂ）７２₁，７２₂として垂直に取り付けてある。

【０００８】更に、この駆動台車７０は、その下面に、
搬送管５０の垂直中心面Ｘ−Ｘに対してほぼ対称的に、
その一方の長手方向の縁近くにおいて、1対のガイドロ
ーラ７３を長手方向に間隔を置いて回転自在に配置され
ており、また、その他方の長手方向の縁近くにおいて、
その長手方向の中央部において、横断面がほぼ長方形状
を有する２相励磁式のリニァパルスモータ７５のスライ
ダー７５₁が、長手方向に取り付けられている。一方、
搬送管５０の外部の頂部には、その垂直中心面Ｘ−Ｘか
ら間隔を置かれて、横断面が逆Ｌ状を有する１対の架台
７６が、その水平脚部分７６₁が同一水平面内にあるよ
うに取り付けられており、その一方の水平脚部分７６₁
の上には、横断面がＬ字状を有しているガイドレール７
７が、その水平脚部分７７_１により、搬送管５０の長手
方向に連続的に固定配置されており、その垂直脚部分７
７_２の頂縁により、駆動台車７０のガイドローラ７３が
支持されるようになっており、また、架台７６の他の水
平脚部分７６₁の上には、リニァパルスモータ７５を案
内するためのレールに相当する、横断面がほぼ長方形状
を有しているリニァパルスモータ７5のスケール７５_２
が、そのスライダー７５_１に垂直方向において相互に重
なるように、搬送管５０の長手方向に連続的に固定配置
されている。

【０００９】このようにして、駆動台車７０は、その下
面の長手方向の1側は、ガイドローラ７３と、ガイドレ
ール７７の垂直脚部分７７_２の頂縁とにより、また、他
側は、リニァパルスモータ７５のスライダー７５_１と、
スケール７５_２とにより水平に維持されるようにしてあ
り、この場合、電磁石(A)７１及び電磁石(B)７２を付勢
することにより、その磁力により、搬送ケース５１の頂
部の鉄片５５を、搬送管５０の壁を介して吸引し、搬送
ケース５１を搬送管５０の内部に任意の高さに浮上させ
ることが出来るようになっている。また、リニァパルス
モータ７５が付勢される時は、駆動台車７０が、ガイド
レール７７及びリニァパルスモータ７５のスケール７５
_２により案内され、搬送管５０に沿って水平方向に移動
するようになる。

【００１０】また、この先の発明による「浮上式真空内
物品搬送装置」においては、搬送通路５０内における搬
送ケース５１の浮上のレベルが、極板５７，５８と固定
極板５９とによって形成されるキャパシタンス検出機構
から成る変位センサーにより検知され、リレー及び制御
回路（図示されていない）により、搬送ケース５１は、
この検知位置を保持したまま搬送管５０の長さ方向に移
動されるようになっている。

【００１１】なお、この先の発明による搬送ケース５１
の搬送運転パターンを、時間を横軸に、速度及び浮上位
置を縦軸に、それぞれ、取り、定性的に示すと図６のと
おりである。すなわち、この図から分かるように、運転
の開始時には、最初静止位置にあった搬送ケース５１
は、静かに上昇され、所定の高さに到達した時に、一定
の加速度で加速され、所定の速度に達した後、定速度で
推進され、このようにして、所定の停止位置に近接する
と、その位置において停止するように、一定の減速度の
下に減速し、所定の位置において停止すると同時に、静
かに降下される。なお、これらの過程は、リニァパルス
モータ７５と磁気浮上制御装置にインプットされた任意
のパターンプログラムに従って自動的に進行させること
が出来るようにすることは、容易なところである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この先
の発明による「浮上式真空内物品搬送装置」において
は、次ぎのような問題点のあることが分かった。磁気浮上方式では、静止動作を正確に行うことが困
難であり、大気側の駆動台車は正確に停止しても、真空
側の搬送ケースは揺れが止まらないために、ストッパに
接触させて止める方法を取らざるを得ないこと（これを
解決するために、搬送ケースに永久磁石を設置し、キャ
パシタンス用のレールに渦電流を発生させて、制動する
ことも考えられるが、レールの寸法から十分な発生力を
得ることには、無理がある）。搬送ケースの浮上レベルをキャパシタンスによる位
置検出機構から成る変位センサーにより検出している
が、キャパシタンスセンサーの感度を上げると、搬送通
路ないしは真空容器の形状の不連続性によるキャパシタ
ンスの変化まで検知してしまい、最適感度帯が狭く、調
整が微妙となり、搬送の安定性に欠ける面があることな
どである。

【００１３】そこで、本発明は、先の発明における上記
のような問題点を解決をすることが出来ると共に超高純
度Ｎ₂のウェハー気流搬送システムとしても使用可能で
ある磁気浮上搬送装置を得ることを、その解決すべき課
題とするものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、この課題を解
決するために、高真空に保持され又は高純度ガスを満た
された密閉搬送通路と、密閉搬送通路の外部にその頂部
に配置され且つ密閉搬送通路に沿って駆動可能である駆
動台車と、密閉搬送通路内に移動自在に配置されている
搬送ケースとから成り立っており、搬送ケースの頂部に
は強磁性体が取り付けられており、この強磁性体が駆動
台車の下面に取り付けられた電磁石により吸引されるこ
とにより、搬送ケースが搬送通路内において浮上される
と共に移動されるようになっている磁気浮上搬送装置に
おいて、搬送ケースの頂部に位置検出用磁石を取り付
け、駆動台車には、位置検出用磁気センサーを、位置検
出用磁石と搬送通路の壁を隔てて対向するように取り付
けて成ることを特徴とする磁気浮上搬送装置を特徴とす
るものであるものである。

【００１５】

【実施例】以下、本発明をその1実施例を示す添付図面
の図1〜図３に基づいて、詳細に説明をする。図１及び
図２に、それぞれ、横断面図及び縦断面図により示すよ
うに、本発明装置は、超真空に保持され、あるいは、高
純度ガス、例えば、Ｎ₂を充填された搬送通路を内部に
有する、横断面が円形状である密度搬送管１の内部に、
例えば、半導体製造のウエファーなどを載せる搬送ケー
ス（浮上シャットル）２が配置されて構成されている。
この搬送ケース２は、同一寸法の、ほぼ長方形状の平面
輪郭を有している１対の板状の搬送ケース上部台板３
と、搬送ケース下部台板４とから構成されているが、こ
れらの台板３及び４は、その長手方向に垂直中心面Ｘ₀
−Ｘ₀及び搬送管の垂直中心面Ｘ−Ｘに対称的に配置さ
れた４本の垂直支柱５を介して一体に連結されることに
より、搬送管１の垂直中心平面Ｘ−Ｘに対称的な、長手
方向に長い寸法を有する水平中空箱状の形状を有してい
る。

【００１６】また、搬送ケース２の上部台板３の上面に
は、搬送管１の垂直中心平面Ｘ−Ｘに対して対称的な
幅、ある長さ及びある厚さを有しているほぼ長方形板状
の強磁性体、例えば、鉄片６が、搬送ケース２の長手方
向の垂直中心面Ｘ₀−Ｘ₀に対して対称的に、それぞれ、
１個ずつ搬送管１の内壁に近接して固着されている。

【００１７】更に、搬送ケース上部台板３の上面には、
搬送管１の垂直中心平面Ｘ−Ｘに対して対称的な幅、あ
る長さ及びある厚さを有しているほぼ長方形板状の位置
検出用磁石７が、搬送ケース２の長手方向の垂直中心面
Ｘ₀−Ｘ₀に対して対称的に、それぞれ、１個ずつ、各鉄
片６の外端部側に、これから間隔を置かれて搬送管１の
内壁に近接して固着されている。

【００１８】同様に、搬送ケース下部台板４の下面に
は、搬送ケース上部台板４の上面に固着された各磁石７
の下方において、ほぼ長方形板状の高磁束密度の磁石、
例えば、永久磁石８が、それぞれ、搬送ケース２に長手
方向に垂直中心面Ｘ₀−Ｘ₀に対して対称的に固着されて
おり、また、これらの永久磁石８の下方には、その下面
から間隔を置かれて、横断面が長方形状である、ある幅
及びある厚さを有している長尺板状の、銅、アルミニゥ
ムなどの良導電材料製の帯板部材９が、その長手方向の
中心面が、搬送管１の垂直中心面Ｘ−Ｘ内に対称面を有
するように水平に配置されており、搬送管１の内壁に、
その垂直中心面Ｘ−Ｘ内に間隔を置いて配置された絶縁
支柱１０を介して取り付けられている。

【００１９】また、搬送管１の外部の頂部には駆動台車
２０が配置されているが、この駆動台車２０は、搬送管
１の垂直中心面Ｘ−Ｘに対して対称的な、ほぼＵ字状の
横断面を有している、ほぼ搬送ケース２と同一長さの、
平面輪郭が長方形状を有しており、その長手方向が搬送
管1の長手方向に移動自在であるように配置されてい
る。このために、この駆動台車２０は、その下面の長手
方向の各端部近くにおいて、その下面には、その長手方
向の縁近くから、ほぼＬ字状の横断面を有している１対
の支持部材２１が、その水平脚部分２１₁において固着
されており、その垂直脚部分２２₂には、それぞれ、ガ
イドローラ２２が回転自在に取り付けている。

【００２０】更に、搬送管１の上面には、その垂直中心
面Ｘ−Ｘから間隔を置かれて横断面がほぼ逆Ｌ字状を有
している１対のガイドレール架台２３が、その垂直脚部
分２３₁の下縁において固着されており、それらの水平
脚部分２３₂は、同一水平面内に整列するように、それ
らの縁部分において搬送管１に固着されている。また、
これらの水平脚部分２３₂のそれぞれの上には、１対の
ほぼＬ字状を有している長尺のガイドレール２４が、そ
れらの垂直脚部分２４₂が、搬送管１の垂直中心面Ｘ−
Ｘに対して対称的に配置されるように、それらの水平脚
部分２４₁において、それぞれ、固着されている。そし
て、これらの垂直脚部分２４₂の頂縁２４₀の上には、駆
動台車２０の下面に回転自在に取り付けられたガイドロ
ーラ２２が回転自在に載置されている。なお、駆動台車
２０は、その下面の搬送管１の垂直中心面Ｘ−Ｘと交差
する前後の箇所において、同垂直中心面Ｘ−Ｘ内に搬送
管の中心軸Ｙ−Ｙと平行に配置された移動用ワイヤＷな
どに連結されており、この移動用ワイヤＷなどを適宜な
駆動機構により駆動することにより、搬送管１に対して
駆動自在となっている。

【００２１】また、駆動台車２０の下面からは、搬送管
１の垂直中心面Ｘ−Ｘに対して対称的に１対の電磁石
（Ａ）３０及び電磁石（Ｂ）３１が、搬送ケース２の上
部台板３の上面に取り付けられた各鉄片７の位置に対応
して、それぞれ、垂下し取り付けられいるが、電磁石
（Ａ）、（Ｂ）３０，３１は、それぞれ、搬送管１の中
心線Ｙ−Ｙの方向において間隔を置いて配置された各１
対の電磁石（Ａ）３０₁，３０₂及び電磁石（Ｂ）３
１₁，３１₂から成り立っており、これらの電磁石の下方
の極面は、それぞれ、搬送管１の上面に接近して配置さ
れており、このようにして、各電磁石（Ａ）、（Ｂ）３
０，３１のそれぞれの対の電磁石（Ａ）３０₁，３０₂及
び電磁石（Ｂ）３１₁，３１₂の極面は、それぞれ、搬送
ケース２の上部台板３の上面に配置された対応する鉄片
７と、搬送ケース１の壁を隔てて対向するようになって
いる。

【００２２】更に、駆動台車２０の下面には、搬送管１
の垂直中心面Ｘ−Ｘ内において、各電磁石（Ａ）３０及
び電磁石（Ｂ）３１の外側において、搬送ケース２の垂
直中心面Ｘ₀−Ｘ₀に対して対称的に、搬送ケース２の上
部台板３の上面に固着された各位置検出用磁石７の位置
に対応して、それぞれ、円柱状の磁気センサー３５が垂
下して取り付けられており、その下面は、搬送管１の壁
を隔てて搬送ケース２の上部台板３の上面に取り付けら
れた各位置検出用磁石７と対向するようになっており、
このようにして、それぞれ、対向する磁気センサー３５
及び位置検出用磁石７が、それぞれ、位置検出機構
（Ａ）及び（Ｂ）を形成するようになっている。

【００２３】本発明装置は、上記のような構成を有して
いるが、次ぎに、その作動を説明する。搬送管１，搬送
ケース２，駆動台車２０などが、図１及び図２に示す状
態にあり、この状態から、搬送ケース２を浮上状態の下
に矢印Ｚの方向に一定速度で、搬送管１に沿って水平方
向に移動するものとする。まず、この状態において、電
磁石（Ａ）３０及び電磁石（Ｂ）３１を付勢すると、図
３に示すように、その磁力により、搬送ケース２の上部
台板３の上面に取り付けられた鉄片６は、搬送管1の壁
を介して吸引され、従って、搬送ケース２は、搬送管１
内で浮上されたた状態となるので、駆動台車２０を移動
用ワイヤＷなどを介して駆動することにより、搬送ケー
ス２を搬送管１内を浮上させつつ移動させることが出来
るようになる。

【００２４】また、このように搬送ケース２が浮上移動
される時は、その下部台板４の下面に固着してある永久
磁石８は、その下方に搬送管１内に、その中心線Ｙ−Ｙ
と平行に設置してある良導電材料である銅板、アルミニ
ゥム板などから成る帯状部材９の中に渦電流が発生する
ので、この渦電流の作用により、搬送ケース２の移動の
際に発生する揺動は抑制され、その揺れ止め作用が行わ
れ、搬送ケース２の移動は円滑に行われるようになる。

【００２５】このようにして、搬送ケース２が、搬送管
１の内部を浮上移動する時は、その浮上のレベルは、搬
送ケース１の上部台板３の上面に固着された位置検出用
磁石７と、駆動台車２０の下面から垂下して取り付けら
れた磁石センサ３５とから成るキャパシタンスによる位
置検出機構（Ａ）及び（Ｂ）により検知され、制御回路
により搬送ケース２は、この検知位置を保持したまま、
搬送管１の長さ方向に移動されるようになる。

【００２６】なお、以上の実施例においては、搬送管１
は、直線状であるものと仮定してあるが、搬送ケース１
の外側の電磁石ユニットを自在軸受により支持すること
により、搬送ケース２を搬送管１内において、回転や直
進を自在に行わせることも可能である。また、位置検出
用磁石７及び高磁束密度磁石８としては、超高真空のた
めのベーキング（約２５０℃）に耐えるように、金属磁
石あるいはキャンド（封入）した磁石とするものとす
る。更に、上の実施例においては、駆動台車２０をワイ
ヤＷなどにより牽引することにより駆動するものとして
あるが、この代わりに、駆動台車２０を、先の発明にお
けるように、リニァパルスモータにより駆動することも
出来ることは明らかなところである。

【００２７】

【発明の効果】本発明は、上記のような構成及び作用を
有しているので、先の発明における効果をそのまま発揮
することができると共にこれに加えて、超高真空や、高
純度ガスなどの特殊環境の下にある搬送管内において、
搬送ケースを無接触の下に磁気浮上・移動させることが
可能であり、また、搬送ケースの搬送管に対する位置を
正確に検出したり、停止位置を精密に制御したりするこ
とが出来、半導体製造などの際における無塵搬送を実現
することが可能であり、コンパクトな構成にもかかわら
ず、搬送ケースの円滑な浮上、円滑な移動及び所望の停
止位置における正確な停止並びに円滑な降下が可能であ
るという効果をも、発揮することが出来るものである。
例えば、１実験によると、搬送ケースの位置決めの精度
は、±０．２ｍｍのような高精度が得られることが確認
されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例を示す図２のI−I線による横
断面図である。

【図２】図１に示した本発明の１実施例の縦断面図であ
る。

【図３】図１及び２に示す実施例のための制御回路を示
すブロック図である。

【図４】先の発明による「浮上式真空内物品搬送装置」
を示す横断面図である。

【図５】その縦断面図である。

【図６】その搬送ケースの搬送運転パターンを示す線図
である。

【符号の説明】

１搬送管２搬送ケース（浮上シャットル）３搬送ケース上部台板４搬送ケース下部台板５支柱６強磁性体（鉄片）７位置検出用磁石８強力磁石（高磁束密度の永久磁石）９良導電材製帯状部材１０絶縁支柱２０駆動台車２１Ｌ字形支持部材２２ガイドローラ２３ガイドレール支持架台２４ガイドレール３０電磁石（Ａ）３１電磁石（Ｂ）３５磁気センサー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田昭治東京都中央区銀座４−11−７第２上原ビル入江工研株式会社内 (72)発明者林雄造東京都中央区銀座４−11−７第２上原ビル入江工研株式会社内 (72)発明者入江則公東京都中央区銀座４−11−７第２上原ビル入江工研株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高真空に保持され又は高純度ガスを満た
された密閉搬送通路と、密閉搬送通路の外部にその頂部
に配置され且つ密閉搬送通路に沿って駆動可能である駆
動台車と、密閉搬送通路内に移動自在に配置されている
搬送ケースとから成り立っており、搬送ケースの頂部に
は強磁性体が取り付けられており、この強磁性体が駆動
台車の下面に取り付けられた電磁石により吸引されるこ
とにより、搬送ケースが搬送通路内において浮上される
と共に移動されるようになっている磁気浮上搬送装置に
おいて、搬送ケースの頂部に位置検出用磁石を取り付
け、駆動台車には、位置検出用磁気センサーを、位置検
出用磁石と搬送通路の壁を隔てて対向するように取り付
けて成ることを特徴とする磁気浮上搬送装置。
【請求項２】搬送ケースの下面に高磁束密度磁石を取
り付け、また、その下部には、それから間隔を置いて対
向するように良導電材料から成る帯状部材を密度搬送通
路内に、その長手方向に沿って配置して成る請求項１の
磁気浮上搬送装置。
【請求項３】搬送ケースに取り付けられた位置検出用
磁石及び高磁束密度磁石が、金属磁石あるいはキャンド
した磁石である請求項１又は２の磁気浮上搬送装置。
【請求項４】搬送ケースの下面に取り付けられた高磁
束密度磁石が、永久磁石である請求項２又は３の磁気浮
上搬送装置。