JPH06150831A - プラズマディスプレイパネルとその製造方法 - Google Patents

プラズマディスプレイパネルとその製造方法

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JPH06150831A
JPH06150831A JP32475792A JP32475792A JPH06150831A JP H06150831 A JPH06150831 A JP H06150831A JP 32475792 A JP32475792 A JP 32475792A JP 32475792 A JP32475792 A JP 32475792A JP H06150831 A JPH06150831 A JP H06150831A
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display panel
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Kazunari Tanaka
一成 田中
Shozo Otomo
省三 大友
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Nippon Steel and Sumikin Electronics Devices Inc
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Sumitomo Metal Ceramics Inc
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 障壁パターン端部の跳ね上がり現象を防止
し、歩留りのよいプラズマディスプレイパネルとその製
造方法を提供する。 【構成】 一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配し、該
絶縁板の内側に相対向して交差するアノード電極群とカ
ソード電極群を設け、かつ該両電極群間にフォトリソグ
ラフィ法を用いて形成される障壁を設けているプラズマ
ディスプレイパネルにおいて、該障壁の長さ方向端部に
アンダーガラス層を設けた構成よりなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネルとその製造方法に係り、より詳細には、障壁の端
部における障壁パターンの跳ね上がりを防止できるよう
にしたプラズマディスプレイパネルとその製造方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】プラズマディスプレイパネルは、アノー
ド電極3が形成される前面板1と、カソード電極4が形
成される背面板2の二枚の絶縁板1,2の内側に障壁5
が形成された構成よりなる(図2参照)。すなわち、直
交するカソード電極群とアノード電極群と、該電極間に
光のクロストークを防ぎ、画面のコントラストを作るた
めの黒色の障壁を設け、該電極内部に希ガスを封入し、
前面と背面の基板に形成された電極の交差部が1つの画
素に対応する構成とされている。
【0003】そして、プラズマディスプレイパネルは、
放電空間中で放電時に気体ガス原子を電子により励起さ
せ、この励起された原子が基底状態に戻ることにより光
を発生させている。ところで、この励起状態にある原子
の寿命は、約10-8sec程度であり、特定のものは、
1〜10msec程度の寿命をもつものもあり、後者
は、放電中にゆっくり拡散し、障壁等の構造物に衝突し
て、そこで再結合し消滅する。長寿命の励起された原子
は、電子の衝突により容易に電離され、イオン電子を生
成するため、空間中にこれが多数存在するほど電離が起
こり易くなり、放電を安定させ、また放電電圧を低下す
るのに効果がある。このため、放電空間は広いほど有利
となるため、画素面積を小さくし、かつ放電空間を広く
する工夫が期待されている。
【0004】ところで、このプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、その放電空間を形成する障壁は、近年、フ
ォトリソグラフィ法を用いて形成されている。このフォ
トリソグラフィ法は、光に感じる物質を基板上に塗布し
て、該光のエネルギーを遮蔽するパターンを前もって準
備し、該遮蔽マスクを通過したエネルギーを試料上に照
射してパターンを形成する方法である。そして、この方
法によれば、100μm以下のライン幅およびライン間
隔をもち、かつ100μm以上の障壁高さを有するプラ
ズマディスプレイパネルを得ることができる。
【0005】そして、このフォトリソグラフィ法による
プラズマディスプレイパネルの障壁形成法は、 セラミック粉末に紫外線硬化樹脂を混合した障壁形
成のためのスリップをアノード電極の形成された絶縁基
板上にコーティングする工程、 該コーティング層の障壁形成に必要な部分のみを露
光マスクで露光し硬化させる工程、 の工程を一回ないし数回、繰り返し、必要高さ
の形成層を得る工程、 以上の形成層を現像してパターニングし非露光部を
溶出する工程、 紫外線硬化された部分を焼成する工程、 の五工程を経て障壁を形成する方法よりなる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このフォトリ
ソグラフィ法による障壁形成法の場合、次のような課題
がある。すなわち、 障壁パターンは、ライン幅が細いため基板ガラスと
の密着力(密着面積)が弱く、該障壁の焼成の際に、該
障壁ラインの長さ方向の収縮に耐えられず、パターン端
部が跳ね上がるという現象が発生する場合がある。 該パターンは、パネル封着時に欠落し、該欠落した
パターンがパネル上に残って画素をつぶしてしまい、歩
留りが低下する。 等の課題がある。
【0007】本発明は、上述した課題に対処して創案し
たものであって、その目的とする処は、障壁パターン端
部の跳ね上がり現象を防止し、歩留りのよいプラズマデ
ィスプレイパネルとその製造方法を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】そして、上記目的を達成
するための手段としての本発明のプラズマディスプレイ
パネルは、一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配し、該
絶縁板の内側に相対向して交差するアノード電極群とカ
ソード電極群を設け、かつ該両電極群間にフォトリソグ
ラフィ法を用いて形成される障壁を設けているプラズマ
ディスプレイパネルにおいて、該障壁の長さ方向端部に
アンダーガラス層を設けた構成としている。
【0009】また、本発明の他のプラズマディスプレイ
パネルは、前記発明において、アンダーガラス層のガラ
ス組成の屈伏点を、障壁を形成するガラス組成の屈伏点
と同等もしくはそれより低い温度とした構成としてい
る。
【0010】更に、本発明のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法は、一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配
し、該絶縁板の内側に相対向して交差するアノード電極
群とカソード電極群を設け、かつ該両電極群間に障壁を
設けているプラズマディスプレイパネルの製造方法にお
いて、該障壁の長さ方向端部にアンダーガラス層をフォ
トリソグラフ法によって形成する構成としている。ま
た、本発明の他のプラズマディスプレイパネルの製造方
法は、アンダーガラス層を障壁形成と同時に行うように
した構成としている。
【0011】
【作用】本発明のプラズマディスプレイパネルとその製
造方法は、アノード電極群とカソード電極群間に形成さ
れる障壁の長さ方向端部にアンダーガラス層を形成して
いるので、該障壁の焼成の際に、該障壁ラインの長さ方
向における収縮を、該アンダーガラス層によって、その
跳ね上がりを抑制できるように作用する。また、アンダ
ーガラス層のガラス組成の屈伏点を、障壁を形成するガ
ラス組成の屈伏点と同等もしくはそれより低い温度とし
た場合には、その密着性が向上するので、障壁パターン
の端部の跳ね上がりを、より一層抑制できるように作用
する。
【0012】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。ここに、図1〜図3は、
本発明の実施例を示し、図1はアノード側パネルにおけ
る障壁パターンの長さ方向端部の概略構成図、図2はプ
ラズマディスプレイパネルの基本単位を示す模式図、図
3はフォトリソグラフ法によって障壁形成を行う工程を
説明するための説明図である。
【0013】−実施例1− 本実施例のプラズマディスプレイパネルは、概略する
と、前面板1と後面板2の内側にアノード電極3とカソ
ード電極4が形成され、該両電極3,4間に障壁5が形
成され、かつ該両電極3,4間に希ガスが封入され、両
電極3,4の交差部が1つの画素に対応する構成とされ
ている。
【0014】前面板1と後面板2は、ガラス板等よりな
る絶縁基板であって、前面板1の内側には、アノード電
極3が平行に複数本設けられ、また後面板2の内側に
は、カソード電極4が、アノード電極3と直交するよう
に複数本設けられている。ここで、カソード電極4は、
Ni,Cu,Ag,Pd等の導体金属、あるいはこれら
の合金が用いられ、更にこれらの金属に少量のガラスを
混入したペーストがもちいられている。また、アノード
電極3は、酸化インジウム、酸化スズを蒸着した透明電
極(ITO電極・Indium-Tin-Oxideの略)が用いられて
いる。
【0015】また、障壁5と及びアンダーガラス層7と
しては、黒色で絶縁性を有し、約450〜700℃で焼
成して緻密化する絶縁ペーストを用いている。例えば、
SiO2:15重量%、Al2O3 :20重量%、Fe2O3 :10
重量%、Cr2O3 :3重量%、MnO :7重量%、CoO :2
重量%、PbO :35重量%、B2O3:8重量%からなるセ
ラミック粉末100重量部に紫外線硬化樹脂:50重量
部及び溶剤を混合してスリップとしたものを用いてい
る。
【0016】そして、前面板1の内側に形成されている
障壁5の端部6と、前面板1との間にアンダーガラス層
7が設けられている。また、アンダーガラス層7は、障
壁5の端部6との接触部長さa、障壁幅eの積によって
示される面積以上のアンダーガラスの面積とすることが
肝要である。
【0017】すなわち、その寸法は、アンダーガラス層
7と障壁5との接触長さaが、50μm以上とすること
が好ましい。接触長さaが、これより短すぎると障壁端
部6の跳ね上がり抑制に効果が少なく、長すぎると表示
面積を狭くするだけで有効でない。最適な接触長さa
は、100μm〜2mmであった。またアンダーガラス
層7の厚みbは、5μm〜100μm必要である。これ
より薄すぎると跳ね上がり抑制に効果がなく、また厚す
ぎると焼成の際にアンダーガラス層7上の障壁5の段差
が大きくなり、後面板2の封着時に障壁5が潰れる等の
不具合が発生し好ましくない。最適厚みは、10μm〜
30μm必要である。また、アンダーガラス層7の幅c
は、c−aの幅が0μm以上あれば問題がない。これよ
り短すぎると障壁5の端部6の跳ね上がり抑制に効果が
なく、また長すぎるとパネルが大型化するだけであるの
で有効でない。最適c−aは、20μm〜2mmであっ
た。アンダーガラス層7の長さdは、障壁幅e以上あれ
ば問題ない。これより短すぎると障壁5の端部6の跳ね
上がり抑制に効果がない。最適d−eは、20μm以上
であり、各障壁5,5・・に跨がる連続したものでも良
い。
【0018】そして、本実施例におけるアンダーガラス
層7と障壁5は、具体的には、次のような工程によって
形成される。すなわち、 ガラス粉末と、セラミック粉末等を、有機バインダ
ーと溶剤を混合したペーストを厚膜印刷法でアノード電
極3の形成された前面板1の内側端部に印刷、520℃
で焼成し、アンダーガラス層7を得る。 次に、フォトリソグラフィ法によって障壁5を形成
する。ここで、障壁5は、その端部が、アンダーガラス
層7に跨がるように積層して形成する。 紫外線硬化された障壁形成部分を520℃で焼成し
て障壁5を形成する。 の工程を経て形成される。
【0019】そして、本実施例の場合、アノード電極3
とカソード電極4間に形成される障壁5の長さ方向端部
にアンダーガラス層7を形成されているので、障壁5の
焼成の際に、障壁ラインの長さ方向における収縮による
跳ね上がりを、アンダーガラス層7によって、抑制でき
るように作用する。
【0020】−実施例2− 本実施例のプラズマディスプレイパネルは、前述した実
施例1において、アンダーガラス層7を、そのガラス組
成の屈伏点が障壁5を形成するガラス組成の屈伏点より
低い絶縁ペーストを用いた構成よりなる。ここでは、ア
ンダーガラス層7として、SiO2:18重量%,Al2O3
2重量%,Fe2O3 :10重量%,Cr2O3:3重量%,MnO
:7重量%,CoO :2重量%,PbO :46重量%,B2O
3:12重量%からなる黒色セラミック粉末:100重
量部に紫外線硬化樹脂:50重量部及び溶剤を混合して
スリップとしたものを用い、障壁5として、実施例1と
同一のものを用いている。
【0021】そして、本実施例の場合、アンダーガラス
層7は障壁端部5よりその屈伏点が低いことより、密着
状態が向上し、障壁端部5の跳ね上がりがいっそう阻止
されるように作用する。
【0022】次に、上述した実施例1,2の作用・効果
を確認するために、障壁端部の跳ね上がりについての評
価試験を行った。そして、その結果を表1に示す。な
お、アンダーガラス層7、障壁接触部の最適な寸法を確
認するために、該寸法、形状をかえた形態(比較例1〜
4)、および従来例についても併せて、その評価試験を
行った。
【0023】
【表1】
【0024】そして、表1に示すように、実施例1,2
については、跳ね上がりが認められなかったのに対し
て、比較例1〜4、および従来例については、跳ね上が
りの存在が認められ、特に、従来例については、該跳ね
上がりが大きく、使用が困難であることが確認できた。
【0025】また、アンダーガラス層7、障壁接触部の
寸法については、次のことが確認できた。すなわち、 アンダーガラス層7と障壁5との接触長さaは、5
0μm以下の場合、該障壁端部の跳ね上がり抑制が良く
なく、また2.1mm以上ある場合は、表示面積を狭く
することになる。 アンダーガラス層7の厚みbは、4μm以下の場
合、障壁の跳ね上がり抑制に効果がなく、また100μ
m以上の場合、焼成の際にアンダーガラス層上の障壁の
段差が大きくなり、絶縁板の封着時に障壁が潰れる等の
不具合が発生し易くなる。 アンダーガラス層7の幅cは、幅cと接触長さaと
の差が20μm〜2mmの範囲が好ましい。 アンダーガラス層7の長さdは、該長さと接触部幅
との差が20μm以上あり、各障壁に跨がる連続したも
のでもよい。
【0026】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。また、前述の実施例では、ア
ノード電極側の絶縁板上に障壁を形成する構成を示した
が、例えば、カソード電極側の絶縁板にアンダーガラス
層を形成し、その上に障壁を形成する構成としてもよ
い。
【0027】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
のプラズマディスプレイパネルとその製造方法によれ
ば、アノード電極群とカソード電極群間に形成される障
壁の長さ方向端部にアンダーガラス層を形成しているの
で、該障壁の焼成の際に、該障壁ラインの長さ方向にお
ける収縮を、該アンダーガラス層によって、その跳ね上
がりを抑制できるように作用する。
【0028】また、アンダーガラス層のガラス組成の屈
伏点を、障壁を形成するガラス組成の屈伏点と同等もし
くはそれより低い温度とした場合には、その密着性が向
上するので、障壁パターンの端部の跳ね上がりを、より
一層抑制できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示し、アノード側パネルにお
ける障壁パターンの長さ方向端部の概略構成図である。
【図2】プラズマディスプレイパネルの基本単位を示す
模式図である。
【図3】フォトリソグラフ法によって障壁形成を行う工
程を説明するための説明図である。
【符号の説明】
1・・・前面板、2・・・後面板、3・・・アノード電
極、4・・・カソード電極、5・・・障壁、6・・・障
壁の端部、7・・・アンダーガラス層、a・・・接触長
さ、b・・・アンダーガラス層の厚み、c・・・アンダ
ーガラス層の幅、d・・・アンダーガラス層の長さ、e
・・・障壁の幅

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配
    し、該絶縁板の内側に相対向して交差するアノード電極
    群とカソード電極群を設け、かつ該両電極群間にフォト
    リソグラフィ法を用いて形成される障壁を設けているプ
    ラズマディスプレイパネルにおいて、該障壁の長さ方向
    端部にアンダーガラス層を設けてなることを特徴とする
    プラズマディスプレイパネル。
  2. 【請求項2】 アンダーガラス層のガラス組成の屈伏点
    が、障壁を形成するガラス組成の屈伏点と同等もしくは
    それより低い温度よりなる請求項1に記載のプラズマデ
    ィスプレイパネル。
  3. 【請求項3】 請求項1のアンダーガラス層をフォトリ
    ソグラフィ法によって形成することを特徴とするプラズ
    マディスプレイパネルの製造方法。
  4. 【請求項4】 アンダーガラス層を障壁形成と同時に行
    う請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造
    方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008262931A (ja) * 2008-08-05 2008-10-30 Toray Ind Inc プラズマディスプレイパネルの緩衝層形成用ペースト

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008262931A (ja) * 2008-08-05 2008-10-30 Toray Ind Inc プラズマディスプレイパネルの緩衝層形成用ペースト

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