JPH06147166A - ２段型液封式真空ポンプ - Google Patents
２段型液封式真空ポンプInfo
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- JPH06147166A JPH06147166A JP31442892A JP31442892A JPH06147166A JP H06147166 A JPH06147166 A JP H06147166A JP 31442892 A JP31442892 A JP 31442892A JP 31442892 A JP31442892 A JP 31442892A JP H06147166 A JPH06147166 A JP H06147166A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２段型真空ポンプにおいて、低真空域におい
ては、主に１段目のインペラでガスを吸引圧縮して低真
空域での吸引ガス量を増加させ、同時に、軸動力を減少
させてポンプの小型化，省エネ化を図り、高真空域で
は、１段目と２段目の両インペラを同時に全稼働させて
高真空を得ると共に、吸引ガス量を調節可能として、不
必要なガス量の圧縮を避けてポンプ効率を向上させるこ
と。 【構成】 ２組の真空ポンプＡ，Ｂを直列に接続した２
段型真空ポンプにおいて、１段目真空ポンプＡの吐出管
Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄと
を開度調節機能付三方切換弁７Ｖを介して接続したこ
と。
ては、主に１段目のインペラでガスを吸引圧縮して低真
空域での吸引ガス量を増加させ、同時に、軸動力を減少
させてポンプの小型化，省エネ化を図り、高真空域で
は、１段目と２段目の両インペラを同時に全稼働させて
高真空を得ると共に、吸引ガス量を調節可能として、不
必要なガス量の圧縮を避けてポンプ効率を向上させるこ
と。 【構成】 ２組の真空ポンプＡ，Ｂを直列に接続した２
段型真空ポンプにおいて、１段目真空ポンプＡの吐出管
Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄと
を開度調節機能付三方切換弁７Ｖを介して接続したこ
と。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、２段型液封式真空ポ
ンプにおける無駄な過圧縮を防止し、ポンプ効率を向上
させるための改良に関するものである。
ンプにおける無駄な過圧縮を防止し、ポンプ効率を向上
させるための改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】２段型液封式真空ポンプは公知である
が、後述するように、低真空域における吸引ガス量が少
なく、しかも、低真空域で軸動力が最大値になるため、
真空装置のガス抽出時に要求される低真空域から高真空
域までの全範囲に対処するためには、大サイズの真空ポ
ンプが必要になり、コスト高で出力の大きな電動機が必
要になるという欠点がある。
が、後述するように、低真空域における吸引ガス量が少
なく、しかも、低真空域で軸動力が最大値になるため、
真空装置のガス抽出時に要求される低真空域から高真空
域までの全範囲に対処するためには、大サイズの真空ポ
ンプが必要になり、コスト高で出力の大きな電動機が必
要になるという欠点がある。
【０００３】また、２段型液封式真空ポンプにおいて、
各々独立した２台のポンプを調節機能のない切換弁で接
続したものも知られているが、ポンプ寸法が大きくなる
ばかりでなく、ガス量の調節がなされていないという欠
点がある。
各々独立した２台のポンプを調節機能のない切換弁で接
続したものも知られているが、ポンプ寸法が大きくなる
ばかりでなく、ガス量の調節がなされていないという欠
点がある。
【０００４】図８に、従来公知の一般的な２段型真空ポ
ンプの構造とガスの流れ（矢符ａ，ｂ）を示し、図９の
イ，ロに、前記ガスの流れをポンプ上部から見たフロー
を示す。
ンプの構造とガスの流れ（矢符ａ，ｂ）を示し、図９の
イ，ロに、前記ガスの流れをポンプ上部から見たフロー
を示す。
【０００５】通常、２組の真空ポンプＡ，Ｂを直列に接
続した２段型真空ポンプの運転では、１段目の真空ポン
プＡに吸い込まれたガスは、圧縮されて、矢符ａで示す
内部通路を通る流れと、矢符ｂで示す外部通路を通る流
れに分流して、２段目の真空ポンプＢに送られ、更に圧
縮されて系外に排出される。
続した２段型真空ポンプの運転では、１段目の真空ポン
プＡに吸い込まれたガスは、圧縮されて、矢符ａで示す
内部通路を通る流れと、矢符ｂで示す外部通路を通る流
れに分流して、２段目の真空ポンプＢに送られ、更に圧
縮されて系外に排出される。
【０００６】すなわち、吸込口Ｓから吸い込まれたガス
は、１段目真空ポンプＡの吸込カバー１に入り、ディス
ク１０の導入孔から１段目のインペラ３０に吸い込まれ
る。インペラ３０によって圧縮されたガスの一部は、矢
符ａで示すように、隔壁状のディスク１１，１２に設け
られた連通孔を経て２段目真空ポンプのインペラ３１に
吸引される。
は、１段目真空ポンプＡの吸込カバー１に入り、ディス
ク１０の導入孔から１段目のインペラ３０に吸い込まれ
る。インペラ３０によって圧縮されたガスの一部は、矢
符ａで示すように、隔壁状のディスク１１，１２に設け
られた連通孔を経て２段目真空ポンプのインペラ３１に
吸引される。
【０００７】一方、１段目真空ポンプＡのインペラ３０
によって圧縮されたガスの一部は、矢符ｂで示すよう
に、ラディアル方向の開口（図示せず）から吐出管Ｃ
1 ，連結パイプ７を経て導入管Ｃ2 から２段目真空ポン
プＢのカバー２に入り、ディスク１３の導入孔から２段
目のインペラ３１に吸引され、ここで前記矢符ａの流れ
と合流する。このａ，ｂ合流後のガスは、２段目真空ポ
ンプＢのインペラ３１によって更に圧縮されてディスク
１３の吐出孔を経て吐出管Ｄから系外に排出されるよう
になっている。
によって圧縮されたガスの一部は、矢符ｂで示すよう
に、ラディアル方向の開口（図示せず）から吐出管Ｃ
1 ，連結パイプ７を経て導入管Ｃ2 から２段目真空ポン
プＢのカバー２に入り、ディスク１３の導入孔から２段
目のインペラ３１に吸引され、ここで前記矢符ａの流れ
と合流する。このａ，ｂ合流後のガスは、２段目真空ポ
ンプＢのインペラ３１によって更に圧縮されてディスク
１３の吐出孔を経て吐出管Ｄから系外に排出されるよう
になっている。
【０００８】図１０に上記従来公知の２段型真空ポンプ
の性能例を示す。吸引ガス量と軸動力を示す曲線におい
て、実線と二点鎖線で囲まれたハッチングを施した部分
が低真空域での性能不良の領域である。このような性能
不良の領域が生ずる原因は、低真空ではガスの要求圧縮
比が小さいにも拘らず、２段圧縮するために圧縮比が必
要以上に高くなり、その結果、吐出ガス圧の高まりによ
ってガスが低圧側に逆流することによる。すなわち、吐
出側（高圧）から吸込側（低圧）へガスが逆流して吸引
ガス量が減少し、同時に逆流してきたガスの再圧縮のた
め軸動力が増加する結果、上記性能不良領域が生ずるの
である。
の性能例を示す。吸引ガス量と軸動力を示す曲線におい
て、実線と二点鎖線で囲まれたハッチングを施した部分
が低真空域での性能不良の領域である。このような性能
不良の領域が生ずる原因は、低真空ではガスの要求圧縮
比が小さいにも拘らず、２段圧縮するために圧縮比が必
要以上に高くなり、その結果、吐出ガス圧の高まりによ
ってガスが低圧側に逆流することによる。すなわち、吐
出側（高圧）から吸込側（低圧）へガスが逆流して吸引
ガス量が減少し、同時に逆流してきたガスの再圧縮のた
め軸動力が増加する結果、上記性能不良領域が生ずるの
である。
【０００９】この現象を図１１によって説明する。図１
１において符号Ｉで示す曲線は１段目インペラ３０の性
能を示し、符号Ｉ＋IIで示す曲線は１段目インペラ３０
と２段目インペラ３１の組合せ性能を示す。図示のよう
に、吸引ガス量は、２段圧縮時に生じる逆流の結果、低
真空域においては符号Ｉで示す高い値から符号Ｉ＋IIで
示す低い値に低下し、一方、軸動力は符号Ｉで示す低い
値から符号Ｉ＋IIで示す高い値に上昇し、ハッチングを
施した性能不良領域が生じるのである。
１において符号Ｉで示す曲線は１段目インペラ３０の性
能を示し、符号Ｉ＋IIで示す曲線は１段目インペラ３０
と２段目インペラ３１の組合せ性能を示す。図示のよう
に、吸引ガス量は、２段圧縮時に生じる逆流の結果、低
真空域においては符号Ｉで示す高い値から符号Ｉ＋IIで
示す低い値に低下し、一方、軸動力は符号Ｉで示す低い
値から符号Ｉ＋IIで示す高い値に上昇し、ハッチングを
施した性能不良領域が生じるのである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記性能
不良領域の発生を排除し、低真空域においては、主に１
段目のインペラでガスを吸引圧縮して低真空域での吸引
ガス量を増加させ、同時に、軸動力を減少させてポンプ
の小型化，省エネ化を図り、高真空域では、１段目と２
段目の両インペラを同時に全稼働させて高真空を得ると
共に、吸引ガス量を調節可能として、不必要なガス量の
圧縮を避けてポンプ効率を向上させることを課題とする
ものである。
不良領域の発生を排除し、低真空域においては、主に１
段目のインペラでガスを吸引圧縮して低真空域での吸引
ガス量を増加させ、同時に、軸動力を減少させてポンプ
の小型化，省エネ化を図り、高真空域では、１段目と２
段目の両インペラを同時に全稼働させて高真空を得ると
共に、吸引ガス量を調節可能として、不必要なガス量の
圧縮を避けてポンプ効率を向上させることを課題とする
ものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】２組の真空ポンプＡ，Ｂ
を直列に接続した２段型真空ポンプにおいて、１段目真
空ポンプＡの吐出管Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管
Ｃ2 及び吐出管Ｄとを開度調節機能付三方切換弁７Ｖを
介して接続したことを特徴とする２段型液封式真空ポン
プを発明要旨とするものである。
を直列に接続した２段型真空ポンプにおいて、１段目真
空ポンプＡの吐出管Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管
Ｃ2 及び吐出管Ｄとを開度調節機能付三方切換弁７Ｖを
介して接続したことを特徴とする２段型液封式真空ポン
プを発明要旨とするものである。
【００１２】
【作用】本発明によれば、１段目真空ポンプＡの吐出管
Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄと
を開度調節機能付三方切換弁７Ｖを介して接続したこと
により、三方切換弁７Ｖによって１段目真空ポンプＡの
吐出管Ｃ1 と吐出管Ｄとを連通させ、２段目真空ポンプ
Ｂの導入管Ｃ2 への連通を断てば、１段目真空ポンプＡ
の吐出管Ｃ1 から排出されるガスは直接吐出管Ｄから系
外に排出される。また、三方切換弁７Ｖの開口方向を変
更し、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 と２段目真空ポ
ンプＢの導入管Ｃ2 とを連通させれば、１段目真空ポン
プＡの吐出管Ｃ1 から排出されるガスは２段目真空ポン
プＢへ導入され２段圧縮される。
Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄと
を開度調節機能付三方切換弁７Ｖを介して接続したこと
により、三方切換弁７Ｖによって１段目真空ポンプＡの
吐出管Ｃ1 と吐出管Ｄとを連通させ、２段目真空ポンプ
Ｂの導入管Ｃ2 への連通を断てば、１段目真空ポンプＡ
の吐出管Ｃ1 から排出されるガスは直接吐出管Ｄから系
外に排出される。また、三方切換弁７Ｖの開口方向を変
更し、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 と２段目真空ポ
ンプＢの導入管Ｃ2 とを連通させれば、１段目真空ポン
プＡの吐出管Ｃ1 から排出されるガスは２段目真空ポン
プＢへ導入され２段圧縮される。
【００１３】したがって、低真空域での作業に当たって
は、三方切換弁７Ｖによって１段目真空ポンプＡの吐出
管Ｃ1 と吐出管Ｄとを連通させ、２段目真空ポンプＢの
導入管Ｃ2 への連通を断つことにより、２段目真空ポン
プＢには、外部通路を経由するガス流ｂは供給されず、
内部通路を通じて流れるガス流ａのみが供給されること
になるからその圧縮仕事量は少なく、殆どのガス吸引圧
縮仕事は１段目真空ポンプＡによって行われる。低真空
域では圧縮比は小さいため、１段目真空ポンプＡのイン
ペラ３０のみでは過圧縮にならず、２段目真空ポンプＢ
からの逆流もないから、吸引ガス量が多く軸動力も少な
くて足りる。また、三方切換弁７Ｖの開度を調節するこ
とによりガス流量を自由に調節することができる。
は、三方切換弁７Ｖによって１段目真空ポンプＡの吐出
管Ｃ1 と吐出管Ｄとを連通させ、２段目真空ポンプＢの
導入管Ｃ2 への連通を断つことにより、２段目真空ポン
プＢには、外部通路を経由するガス流ｂは供給されず、
内部通路を通じて流れるガス流ａのみが供給されること
になるからその圧縮仕事量は少なく、殆どのガス吸引圧
縮仕事は１段目真空ポンプＡによって行われる。低真空
域では圧縮比は小さいため、１段目真空ポンプＡのイン
ペラ３０のみでは過圧縮にならず、２段目真空ポンプＢ
からの逆流もないから、吸引ガス量が多く軸動力も少な
くて足りる。また、三方切換弁７Ｖの開度を調節するこ
とによりガス流量を自由に調節することができる。
【００１４】次に、高真空域での作業に当たっては、三
方切換弁７Ｖの開口方向を変更し、１段目真空ポンプＡ
の吐出管Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 とを連
通させ、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 から排出され
るガスを２段目真空ポンプＢに導入すれば、内部通路を
経由するガス流ａと、外部通路を経由するガス流ｂとが
合流して２段目真空ポンプＢに導入されることになり、
図１０に示した従来例と同様に全ガス量を２段圧縮する
ことができるから高真空が得られる。また、この場合に
も三方切換弁７Ｖの開度を調節することによりガス流量
を自由に調節することができる。
方切換弁７Ｖの開口方向を変更し、１段目真空ポンプＡ
の吐出管Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 とを連
通させ、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 から排出され
るガスを２段目真空ポンプＢに導入すれば、内部通路を
経由するガス流ａと、外部通路を経由するガス流ｂとが
合流して２段目真空ポンプＢに導入されることになり、
図１０に示した従来例と同様に全ガス量を２段圧縮する
ことができるから高真空が得られる。また、この場合に
も三方切換弁７Ｖの開度を調節することによりガス流量
を自由に調節することができる。
【００１５】
【実施例】図１に本発明の実施例の構造を示し、図２に
１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1と２段目真空ポンプＢ
の導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄとを開度調節機能付三方切換
弁７Ｖを介して接続した連結配管の状況を示す。図８に
示した従来例と同一構成部分には同一符号を付して説明
を省略する。
１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1と２段目真空ポンプＢ
の導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄとを開度調節機能付三方切換
弁７Ｖを介して接続した連結配管の状況を示す。図８に
示した従来例と同一構成部分には同一符号を付して説明
を省略する。
【００１６】２組の真空ポンプＡ，Ｂを直列に接続した
２段型真空ポンプの構造自体は、図８に示した従来例と
同様であるが、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 と２段
目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄとを開度調節
機能付三方切換弁７Ｖを介して接続されている。
２段型真空ポンプの構造自体は、図８に示した従来例と
同様であるが、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 と２段
目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 及び吐出管Ｄとを開度調節
機能付三方切換弁７Ｖを介して接続されている。
【００１７】すなわち、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ
1 に連結されたエルボ７c1は、開度調節機能付三方切換
弁７Ｖを介して、２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 に連
結されたエルボ７c2及び吐出管Ｄに連結されたエルボ７
d の双方に接続されており、三方切換弁７Ｖの切り換え
によって、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 から排出さ
れる圧縮ガスを２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 に導入
し、又は、直接吐出管Ｄから系外に排出できるようにな
っている。
1 に連結されたエルボ７c1は、開度調節機能付三方切換
弁７Ｖを介して、２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 に連
結されたエルボ７c2及び吐出管Ｄに連結されたエルボ７
d の双方に接続されており、三方切換弁７Ｖの切り換え
によって、１段目真空ポンプＡの吐出管Ｃ1 から排出さ
れる圧縮ガスを２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 に導入
し、又は、直接吐出管Ｄから系外に排出できるようにな
っている。
【００１８】また、２段目真空ポンプＢの前段側隔壁状
ディスク１２に設けられた連通孔Ｐは、後段側隔壁状デ
ィスク１３に設けられた導入孔Ｑより小径となってい
る。これは、１段目真空ポンプＡから２段目真空ポンプ
Ｂに通ずる内部通路を狭くして低真空域で１段目インペ
ラ３０から２段目インペラ３１に導入されるガス流ａの
ガス量を制限するためである。
ディスク１２に設けられた連通孔Ｐは、後段側隔壁状デ
ィスク１３に設けられた導入孔Ｑより小径となってい
る。これは、１段目真空ポンプＡから２段目真空ポンプ
Ｂに通ずる内部通路を狭くして低真空域で１段目インペ
ラ３０から２段目インペラ３１に導入されるガス流ａの
ガス量を制限するためである。
【００１９】図３及び図４のイ，ロに、三方切換弁７Ｖ
の開口方向をＣ1 →Ｄとして、１段目真空ポンプＡの吐
出管Ｃ1 を吐出管Ｄに連通させたときのガスの流れを示
す。この状態でポンプＡ，Ｂを運転すると、外部通路を
通るガス流ｂは、図４のイ，ロに示すように、ポンプＡ
の吐出管Ｃ1 →エルボ７c1→三方切換弁７Ｖ→エルボ７
d →吐出管Ｄへと流れて系外に排出される。すなわち、
２段目真空ポンプＢには内部通路を通るガス流ａのみが
流入し、インペラ３１で圧縮された後、吐出管Ｄでａ，
ｂ合流する。
の開口方向をＣ1 →Ｄとして、１段目真空ポンプＡの吐
出管Ｃ1 を吐出管Ｄに連通させたときのガスの流れを示
す。この状態でポンプＡ，Ｂを運転すると、外部通路を
通るガス流ｂは、図４のイ，ロに示すように、ポンプＡ
の吐出管Ｃ1 →エルボ７c1→三方切換弁７Ｖ→エルボ７
d →吐出管Ｄへと流れて系外に排出される。すなわち、
２段目真空ポンプＢには内部通路を通るガス流ａのみが
流入し、インペラ３１で圧縮された後、吐出管Ｄでａ，
ｂ合流する。
【００２０】したがって、低真空域において三方切換弁
７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｄとして運転すると、２段目真
空ポンプＢには内部通路を通る少量のガス流ａのみが流
入し殆どのガスの吸引圧縮仕事は１段目真空ポンプＡの
インペラ３０によって行われる。低真空域では圧縮比が
小さいため、１段目インペラ３０のみでは過圧縮になら
ず、２段目真空ポンプＢからの逆流もないから、吸引ガ
ス量が多く、軸動力も少なくて済む。また、三方切換弁
７Ｖの開度を調節すればガス流ｂの流量を自由に調節す
ることができる。
７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｄとして運転すると、２段目真
空ポンプＢには内部通路を通る少量のガス流ａのみが流
入し殆どのガスの吸引圧縮仕事は１段目真空ポンプＡの
インペラ３０によって行われる。低真空域では圧縮比が
小さいため、１段目インペラ３０のみでは過圧縮になら
ず、２段目真空ポンプＢからの逆流もないから、吸引ガ
ス量が多く、軸動力も少なくて済む。また、三方切換弁
７Ｖの開度を調節すればガス流ｂの流量を自由に調節す
ることができる。
【００２１】図５及び図６のイ，ロに、三方切換弁７Ｖ
の開口方向をＣ1 →Ｃ2 として、１段目真空ポンプＡの
吐出管Ｃ1 を２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 に連通さ
せたときのガスの流れを示す。この状態でポンプＡ，Ｂ
を運転すると、外部通路を通るガス流ｂは、図６のイ，
ロに示すように、ポンプＡの吐出管Ｃ1 →エルボ７c1→
三方切換弁７Ｖ→エルボ７c2→ポンプＢの導入管Ｃ2 へ
と流れ、２段目真空ポンプＢ内で内部通路を通るガス流
ａと合流し、インペラ３１で圧縮された後、吐出管Ｄか
ら系外に排出される。
の開口方向をＣ1 →Ｃ2 として、１段目真空ポンプＡの
吐出管Ｃ1 を２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2 に連通さ
せたときのガスの流れを示す。この状態でポンプＡ，Ｂ
を運転すると、外部通路を通るガス流ｂは、図６のイ，
ロに示すように、ポンプＡの吐出管Ｃ1 →エルボ７c1→
三方切換弁７Ｖ→エルボ７c2→ポンプＢの導入管Ｃ2 へ
と流れ、２段目真空ポンプＢ内で内部通路を通るガス流
ａと合流し、インペラ３１で圧縮された後、吐出管Ｄか
ら系外に排出される。
【００２２】したがって、高真空域において三方切換弁
７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｃ2 として運転すると、２段目
真空ポンプＢには、内部通路を通るガス流ａと外部通路
を通るガス流ｂの双方が導入され、図８に示した従来例
と同様に全ガス量を１段目インペラ３０と２段目インペ
ラ３１の双方で圧縮するため高真空が得られる。またこ
の場合においても、三方切換弁７Ｖの開度を調節するこ
とによってガス流ｂの流量を自由に調節することがで
き、吸引ガス量の調節が可能である。
７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｃ2 として運転すると、２段目
真空ポンプＢには、内部通路を通るガス流ａと外部通路
を通るガス流ｂの双方が導入され、図８に示した従来例
と同様に全ガス量を１段目インペラ３０と２段目インペ
ラ３１の双方で圧縮するため高真空が得られる。またこ
の場合においても、三方切換弁７Ｖの開度を調節するこ
とによってガス流ｂの流量を自由に調節することがで
き、吸引ガス量の調節が可能である。
【００２３】図７に、三方切換弁７Ｖの切り換えによる
ポンプの性能例を示す。図中縦線ｃより右の符号Ｉで示
す領域は、三方切換弁７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｄとして
運転した低真空域の性能曲線、縦線ｃより左の符号Ｉ＋
IIで示す領域は、三方切換弁７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｃ
2 として運転した高真空域の性能曲線である。前記図１
０に示した従来例の性能曲線に比し、低真空域における
ガス吸引量が増大し、軸動力が低下していることが理解
できよう。なお、二点鎖線及び点線は、三方切換弁７Ｖ
の開度調節によってガス流ｂの流量を絞り吸引ガス量を
調節したときの性能曲線の例である。
ポンプの性能例を示す。図中縦線ｃより右の符号Ｉで示
す領域は、三方切換弁７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｄとして
運転した低真空域の性能曲線、縦線ｃより左の符号Ｉ＋
IIで示す領域は、三方切換弁７Ｖの開口方向をＣ1 →Ｃ
2 として運転した高真空域の性能曲線である。前記図１
０に示した従来例の性能曲線に比し、低真空域における
ガス吸引量が増大し、軸動力が低下していることが理解
できよう。なお、二点鎖線及び点線は、三方切換弁７Ｖ
の開度調節によってガス流ｂの流量を絞り吸引ガス量を
調節したときの性能曲線の例である。
【００２４】
【効果】本発明によれば、２組の真空ポンプＡ，Ｂを直
列に接続した２段型真空ポンプにおいて、１段目真空ポ
ンプＡの吐出管Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2
及び吐出管Ｄとを開度調節機能付三方切換弁７Ｖを介し
て接続したことにより、低真空域においては、主に１段
目のインペラでガスを吸引圧縮して低真空域での吸引ガ
ス量を増加させ、同時に、軸動力を減少させてポンプの
小型化，省エネ化を図り、高真空域では、１段目と２段
目の両インペラを同時に全稼働させて高真空を得ると共
に、吸引ガス量を調節可能として、不必要なガス量の圧
縮を避けてポンプ効率を向上させることができる。
列に接続した２段型真空ポンプにおいて、１段目真空ポ
ンプＡの吐出管Ｃ1 と２段目真空ポンプＢの導入管Ｃ2
及び吐出管Ｄとを開度調節機能付三方切換弁７Ｖを介し
て接続したことにより、低真空域においては、主に１段
目のインペラでガスを吸引圧縮して低真空域での吸引ガ
ス量を増加させ、同時に、軸動力を減少させてポンプの
小型化，省エネ化を図り、高真空域では、１段目と２段
目の両インペラを同時に全稼働させて高真空を得ると共
に、吸引ガス量を調節可能として、不必要なガス量の圧
縮を避けてポンプ効率を向上させることができる。
【図１】本発明による真空ポンプの断面図である。
【図２】同上外部配管の接続例である。
【図３】低真空域におけるガスの流れを示す説明図であ
る。
る。
【図４】同上外部配管の接続例（イ）とガスの流れを示
すフロー図（ロ）である。
すフロー図（ロ）である。
【図５】高真空域におけるガスの流れを示す説明図であ
る。
る。
【図６】同上外部配管の接続例（イ）とガスの流れを示
すフロー図（ロ）である。
すフロー図（ロ）である。
【図７】本発明による真空ポンプの性能曲線図である。
【図８】従来例による真空ポンプの断面図である。
【図９】従来例による外部配管の接続例（イ）とガスの
流れを示すフロー図（ロ）である。
流れを示すフロー図（ロ）である。
【図１０】従来例による性能曲線図である。
【図１１】従来例による性能曲線の説明図である。
Ａ １段目真空ポンプ Ｂ ２段目真空ポンプ Ｃ1 １段目真空ポンプの吐出管 Ｃ2 ２段目真空ポンプの導入管 Ｄ 吐出管 Ｓ 吸込口 ａ 内部通路を通るガス流 ｂ 外部通路を通るガス流 １ 吸込側カバー ２ 吐出側カバー ７ パイプ ７c1 １段目真空ポンプの吐出管Ｃ1 に接続されたエル
ボ ７c2 ２段目真空ポンプの導入管Ｃ2 に接続されたエル
ボ ７d 吐出管Ｄに接続されたエルボ ７Ｖ 三方切換弁 １０，１１，１２，１３ ディスク ３１ １段目真空ポンプＡのインペラ ３２ ２段目真空ポンプＢのインペラ
ボ ７c2 ２段目真空ポンプの導入管Ｃ2 に接続されたエル
ボ ７d 吐出管Ｄに接続されたエルボ ７Ｖ 三方切換弁 １０，１１，１２，１３ ディスク ３１ １段目真空ポンプＡのインペラ ３２ ２段目真空ポンプＢのインペラ
Claims (1)
- 【請求項１】 ２組の真空ポンプ(A,B) を直列に接続し
た２段型真空ポンプにおいて、１段目真空ポンプ(A) の
吐出管(C1)と２段目真空ポンプ(B) の導入管(C2)及び吐
出管(D) とを開度調節機能付三方切換弁(7V)を介して接
続したことを特徴とする２段型液封式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31442892A JPH06147166A (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | ２段型液封式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31442892A JPH06147166A (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | ２段型液封式真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06147166A true JPH06147166A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=18053237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31442892A Pending JPH06147166A (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | ２段型液封式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06147166A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0730093A1 (en) * | 1995-02-28 | 1996-09-04 | Iwata Air Compressor Mfg. Co.,Ltd. | Control of a two-stage vacuum pump |
| ES2154127A1 (es) * | 1997-01-28 | 2001-03-16 | Samsung Electronics Co Ltd | Aparato manorreductor de etapas multiples y metodo correspondiente. |
| WO2005040614A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-05-06 | The Boc Group Plc | Multistage vacuum pump with improved efficiency |
| CN115750353A (zh) * | 2022-11-19 | 2023-03-07 | 上海阿波罗机械股份有限公司 | 一种屏蔽多级自冷却式压缩机 |
| RU2805028C1 (ru) * | 2022-12-05 | 2023-10-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный технический университет" (ФГБОУ ВО "ТГТУ") | Двухступенчатая жидкостно-кольцевая машина |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP31442892A patent/JPH06147166A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0730093A1 (en) * | 1995-02-28 | 1996-09-04 | Iwata Air Compressor Mfg. Co.,Ltd. | Control of a two-stage vacuum pump |
| ES2154127A1 (es) * | 1997-01-28 | 2001-03-16 | Samsung Electronics Co Ltd | Aparato manorreductor de etapas multiples y metodo correspondiente. |
| WO2005040614A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-05-06 | The Boc Group Plc | Multistage vacuum pump with improved efficiency |
| CN115750353A (zh) * | 2022-11-19 | 2023-03-07 | 上海阿波罗机械股份有限公司 | 一种屏蔽多级自冷却式压缩机 |
| RU2805028C1 (ru) * | 2022-12-05 | 2023-10-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный технический университет" (ФГБОУ ВО "ТГТУ") | Двухступенчатая жидкостно-кольцевая машина |
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