JPH06143238A - セラミックシートの製造方法 - Google Patents
セラミックシートの製造方法Info
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- JPH06143238A JPH06143238A JP4302796A JP30279692A JPH06143238A JP H06143238 A JPH06143238 A JP H06143238A JP 4302796 A JP4302796 A JP 4302796A JP 30279692 A JP30279692 A JP 30279692A JP H06143238 A JPH06143238 A JP H06143238A
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- JP
- Japan
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- sheet
- green sheet
- solvent
- high frequency
- drying
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 キャリアシート上に成膜されたセラミック粉
末、溶剤を含むグリーンシートを斑無く高速で加熱乾燥
させる方法。 【構成】 セラミック粉末と溶剤、バインダを含むシー
ト材料（1）をキャリアシート（3）上に１ｍｍ前後の膜
厚で塗布して成膜されたグリーンシート（2）を、グリ
ーンシート（2）と共に高周波誘電加熱装置（5）に送
り、高周波誘電加熱して乾燥させる。グリーンシート
（2）の高誘電率のセラミック粉末や溶剤が高周波電界
の印加による誘電損で発熱して、グリーンシート（2）
が内部から加熱され、内部の溶剤と溶剤が飛散してグリ
ーンシート（2）が短時間で、乾燥斑無く乾燥する。グ
リーンシート（2）と一体物のキャリアシート（3）は低
誘電率ゆえに高周波誘電加熱されず、形状が一定に保た
れて、この上のグリーンシート（2）の膜厚を安定に維
持する。
末、溶剤を含むグリーンシートを斑無く高速で加熱乾燥
させる方法。 【構成】 セラミック粉末と溶剤、バインダを含むシー
ト材料（1）をキャリアシート（3）上に１ｍｍ前後の膜
厚で塗布して成膜されたグリーンシート（2）を、グリ
ーンシート（2）と共に高周波誘電加熱装置（5）に送
り、高周波誘電加熱して乾燥させる。グリーンシート
（2）の高誘電率のセラミック粉末や溶剤が高周波電界
の印加による誘電損で発熱して、グリーンシート（2）
が内部から加熱され、内部の溶剤と溶剤が飛散してグリ
ーンシート（2）が短時間で、乾燥斑無く乾燥する。グ
リーンシート（2）と一体物のキャリアシート（3）は低
誘電率ゆえに高周波誘電加熱されず、形状が一定に保た
れて、この上のグリーンシート（2）の膜厚を安定に維
持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック粉末と溶
剤、バインダを含むスラリー状のシート材料で成膜され
たグリーンシートを使ってセラミックシートを製造する
製造工程におけるグリーンシートの加熱乾燥工程での製
造方法に関する。
剤、バインダを含むスラリー状のシート材料で成膜され
たグリーンシートを使ってセラミックシートを製造する
製造工程におけるグリーンシートの加熱乾燥工程での製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ用パッケージなどに成形されるセラ
ミックシートは、その母材となるグリーンシートを加熱
乾燥させて製造される。前記グリーンシートは、セラミ
ック粉末と溶剤、バインダを含むスラリー状のシート材
料をドクターブレード法やコンマコータ法などで所定の
厚さに成膜したもので、これの乾燥は電気ヒータ、赤外
線ヒータ、熱風ファンの１種または複数種の加熱手段を
使って行われている。その具体例を図３に示し、説明す
る。
ミックシートは、その母材となるグリーンシートを加熱
乾燥させて製造される。前記グリーンシートは、セラミ
ック粉末と溶剤、バインダを含むスラリー状のシート材
料をドクターブレード法やコンマコータ法などで所定の
厚さに成膜したもので、これの乾燥は電気ヒータ、赤外
線ヒータ、熱風ファンの１種または複数種の加熱手段を
使って行われている。その具体例を図３に示し、説明す
る。
【０００３】図３は、耐熱性のキャリアシート（3）上
にドクターブレード法で成膜されたグリーンシート
（2）を電気ヒータ（8）で加熱乾燥させる装置が示され
る。ドラム（9）に巻回された長尺なキャリアシート
（3）がドラム（9）からドクターヘッド（10）に連続的
に繰り出され、ドクターヘッド（10）で水平なキャリア
シート（3）上にスラリー状のシート材料（1）が所定の
厚さで連続的に塗布されて、グリーンシート（2）とな
る。
にドクターブレード法で成膜されたグリーンシート
（2）を電気ヒータ（8）で加熱乾燥させる装置が示され
る。ドラム（9）に巻回された長尺なキャリアシート
（3）がドラム（9）からドクターヘッド（10）に連続的
に繰り出され、ドクターヘッド（10）で水平なキャリア
シート（3）上にスラリー状のシート材料（1）が所定の
厚さで連続的に塗布されて、グリーンシート（2）とな
る。
【０００４】シート材料（1）は、セラミック粉末とア
ルコール系の溶剤とバインダを含む懸濁液である。シー
ト材料（1）は、ドクターヘッド（10）でキャリアシー
ト（3）上に２００〜１０００μｍの厚さで成膜されて
グリーンシート（2）となる。グリーンシート（2）とキ
ャリアシート（3）の一体物は、そのまま連続的に乾燥
炉（7）内に送られる。乾燥炉（7）内には、シート搬送
路の上下に複数の電気ヒータ（8）を直列に並べた加熱
装置（8'）が設置される。上下の電気ヒータ（8）の間
をキャリアシート（3）とグリーンシート（2）が通過す
る間に、グリーンシート（2）が加熱される。この加熱
でグリーンシート（2）中の溶剤が飛散して、グリーン
シート（2）の乾燥が行われる。乾燥炉（7）を出たキャ
リアシート（3）とグリーンシート（2）は、一体のまま
ドラム（11）に巻き取られて、次工程に送られる。
ルコール系の溶剤とバインダを含む懸濁液である。シー
ト材料（1）は、ドクターヘッド（10）でキャリアシー
ト（3）上に２００〜１０００μｍの厚さで成膜されて
グリーンシート（2）となる。グリーンシート（2）とキ
ャリアシート（3）の一体物は、そのまま連続的に乾燥
炉（7）内に送られる。乾燥炉（7）内には、シート搬送
路の上下に複数の電気ヒータ（8）を直列に並べた加熱
装置（8'）が設置される。上下の電気ヒータ（8）の間
をキャリアシート（3）とグリーンシート（2）が通過す
る間に、グリーンシート（2）が加熱される。この加熱
でグリーンシート（2）中の溶剤が飛散して、グリーン
シート（2）の乾燥が行われる。乾燥炉（7）を出たキャ
リアシート（3）とグリーンシート（2）は、一体のまま
ドラム（11）に巻き取られて、次工程に送られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記グリーンシート
（2）を電気ヒータ（8）で乾燥させる場合、グリーンシ
ート（2）の成膜時の厚さに比例させて乾燥時間を長く
設定しておく必要がある。すなわち、グリーンシート
（2）を電気ヒータ（8）で加熱して乾燥させる場合、グ
リーンシート（2）はその表面から内部へと乾燥してい
くため、内部まで十分に乾燥させるには時間をかけて徐
々に加熱する必要がある。実際、グリーンシート（2）
が２００〜１０００μｍの厚さの場合、これを十分に乾
燥させるには、長さ２ｍの乾燥ゾーンを持つ電気ヒータ
（8）の４〜５つを直列に並べて、乾燥炉（7）内の乾燥
ゾーンの全長を２０〜３０ｍ以上に設定しておく必要が
あった。そのため、グリーンシート（2）の成膜乾燥工
程の設備に、床面積の大きな大型で高コストなものが必
要となっていた。
（2）を電気ヒータ（8）で乾燥させる場合、グリーンシ
ート（2）の成膜時の厚さに比例させて乾燥時間を長く
設定しておく必要がある。すなわち、グリーンシート
（2）を電気ヒータ（8）で加熱して乾燥させる場合、グ
リーンシート（2）はその表面から内部へと乾燥してい
くため、内部まで十分に乾燥させるには時間をかけて徐
々に加熱する必要がある。実際、グリーンシート（2）
が２００〜１０００μｍの厚さの場合、これを十分に乾
燥させるには、長さ２ｍの乾燥ゾーンを持つ電気ヒータ
（8）の４〜５つを直列に並べて、乾燥炉（7）内の乾燥
ゾーンの全長を２０〜３０ｍ以上に設定しておく必要が
あった。そのため、グリーンシート（2）の成膜乾燥工
程の設備に、床面積の大きな大型で高コストなものが必
要となっていた。
【０００６】また、キャリアシート（3）上のグリーン
シート（2）は、電気ヒータ（8）の加熱で表面から乾燥
し始めて、乾燥した表層部がグリーンシート（2）の内
部の溶剤の蒸発の邪魔をする。その結果、グリーンシー
ト（2）を時間をかけて加熱し乾燥させても、内部に部
分的な未乾燥部分が生じる乾燥斑の問題や、グリーンシ
ート（2）の表面に乾燥のし過ぎでひび割れが発生する
問題があった。特に乾燥斑の発生でグリーンシート
（2）の内部に溶剤が閉じこめられる溶剤残留が生じ、
これがグリーンシート（2）を使って製造されるセラミ
ックシートの品質、歩留まりを悪くしていた。
シート（2）は、電気ヒータ（8）の加熱で表面から乾燥
し始めて、乾燥した表層部がグリーンシート（2）の内
部の溶剤の蒸発の邪魔をする。その結果、グリーンシー
ト（2）を時間をかけて加熱し乾燥させても、内部に部
分的な未乾燥部分が生じる乾燥斑の問題や、グリーンシ
ート（2）の表面に乾燥のし過ぎでひび割れが発生する
問題があった。特に乾燥斑の発生でグリーンシート
（2）の内部に溶剤が閉じこめられる溶剤残留が生じ、
これがグリーンシート（2）を使って製造されるセラミ
ックシートの品質、歩留まりを悪くしていた。
【０００７】さらに、乾燥炉（7）内でグリーンシート
（2）を電気ヒータ（8）で加熱し乾燥させるとき、キャ
リアシート（3）も電気ヒータ（8）でグリーンシート
（2）と同温度に加熱されるため、キャリアシート（3）
が熱で波形に歪んで変形してグリーンシート（2）の膜
厚にバラツキを生じさせ、これがグリーンシート（2）
を使って製造されたセラミックシートの膜厚のバラツキ
となって、セラミックシートの品質を悪くしていた。
（2）を電気ヒータ（8）で加熱し乾燥させるとき、キャ
リアシート（3）も電気ヒータ（8）でグリーンシート
（2）と同温度に加熱されるため、キャリアシート（3）
が熱で波形に歪んで変形してグリーンシート（2）の膜
厚にバラツキを生じさせ、これがグリーンシート（2）
を使って製造されたセラミックシートの膜厚のバラツキ
となって、セラミックシートの品質を悪くしていた。
【０００８】以上の各問題は、キャリアシート（3）上
のグリーンシート（2）を図示しない赤外線ヒータや熱
風ファンからの熱風で加熱して乾燥させた場合も、上記
同様の理由で発生しており、最近のセラミックシートの
益々の厚膜化の要望に十分に対処することが難しくなっ
ているのが現状である。
のグリーンシート（2）を図示しない赤外線ヒータや熱
風ファンからの熱風で加熱して乾燥させた場合も、上記
同様の理由で発生しており、最近のセラミックシートの
益々の厚膜化の要望に十分に対処することが難しくなっ
ているのが現状である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するため、セラミック粉末と溶剤、バインダを含むスラ
リー状のシート材料を長尺な耐熱性キャリアシート上に
所定の厚さで塗布して成膜されたグリーンシートを、高
周波誘電加熱して乾燥させることを特徴とする。
するため、セラミック粉末と溶剤、バインダを含むスラ
リー状のシート材料を長尺な耐熱性キャリアシート上に
所定の厚さで塗布して成膜されたグリーンシートを、高
周波誘電加熱して乾燥させることを特徴とする。
【００１０】また、本発明は、グリーンシートの材質、
厚さ、乾燥内容に対応させてグリーンシートを、高周波
誘電加熱装置を含む複数種類の加熱装置で順に加熱し乾
燥させることを特徴とする。
厚さ、乾燥内容に対応させてグリーンシートを、高周波
誘電加熱装置を含む複数種類の加熱装置で順に加熱し乾
燥させることを特徴とする。
【００１１】
【作用】キャリアシート上のグリーンシートを高周波誘
電加熱すると、グリーンシートの中の誘電率の高い物
質、つまり、セラミック粉末や溶剤が集中的に加熱され
て、グリーンシートが内部から加熱される。この加熱で
グリーンシートの内部の溶剤が早く飛散して、グリーン
シートは膜厚が厚くても斑無く、短時間で良好に乾燥さ
れる。キャリアシートに低誘電率の樹脂系製品を使用す
れば、キャリアシートはほとんど高周波誘電加熱され
ず、グリーンシートの加熱時に変形せずにグリーンシー
トの膜厚を所定に維持する。
電加熱すると、グリーンシートの中の誘電率の高い物
質、つまり、セラミック粉末や溶剤が集中的に加熱され
て、グリーンシートが内部から加熱される。この加熱で
グリーンシートの内部の溶剤が早く飛散して、グリーン
シートは膜厚が厚くても斑無く、短時間で良好に乾燥さ
れる。キャリアシートに低誘電率の樹脂系製品を使用す
れば、キャリアシートはほとんど高周波誘電加熱され
ず、グリーンシートの加熱時に変形せずにグリーンシー
トの膜厚を所定に維持する。
【００１２】
【実施例】本発明方法の実施装置例を図１、図２に示し
説明する。なお、図１、図２の各製造装置の図３装置と
同一、または、相当部分には同一符号を付して説明は省
略する。
説明する。なお、図１、図２の各製造装置の図３装置と
同一、または、相当部分には同一符号を付して説明は省
略する。
【００１３】図１に示される製造装置は、キャリアシー
ト（3）上のグリーンシート（2）を乾燥炉（4）内の高
周波誘電加熱装置（5）で高周波誘電加熱して乾燥させ
る。キャリアシート（3）上にドクターヘッド（10）で
シート材料（1）を一定厚で塗布してグリーンシート
（2）が成膜され、このグリーンシート（2）がキャリア
シート（3）と共に乾燥炉（4）に送られる。乾燥炉
（4）内のシート搬送路の上下に高周波誘電加熱装置
（5）の電極（図示せず）が配置され、この電極の間を
キャリアシート（3）とグリーンシート（2）の一体物が
通過する間にキャリアシート（3）とグリーンシート
（2）に直交方向に高周波電界が印加されて、キャリア
シート（3）とグリーンシート（2）の誘電率の高い物質
が誘電損により発熱し、この発熱でグリーンシート
（2）が加熱されて乾燥する。
ト（3）上のグリーンシート（2）を乾燥炉（4）内の高
周波誘電加熱装置（5）で高周波誘電加熱して乾燥させ
る。キャリアシート（3）上にドクターヘッド（10）で
シート材料（1）を一定厚で塗布してグリーンシート
（2）が成膜され、このグリーンシート（2）がキャリア
シート（3）と共に乾燥炉（4）に送られる。乾燥炉
（4）内のシート搬送路の上下に高周波誘電加熱装置
（5）の電極（図示せず）が配置され、この電極の間を
キャリアシート（3）とグリーンシート（2）の一体物が
通過する間にキャリアシート（3）とグリーンシート
（2）に直交方向に高周波電界が印加されて、キャリア
シート（3）とグリーンシート（2）の誘電率の高い物質
が誘電損により発熱し、この発熱でグリーンシート
（2）が加熱されて乾燥する。
【００１４】グリーンシート（2）はセラミック粉末に
溶剤、バインダなどを混練してスラリー状にしたもので
あり、この中で誘電率の高いのはセラミック粉末であ
り、次に高いのは溶剤である。また、キャリアシート
（3）は誘電率の小さい樹脂系の材料が一般的である。
したがって、キャリアシート（3）とグリーンシート
（2）の一体物を高周波誘電加熱装置（5）に通して高周
波電界を加えると、グリーンシート（2）の中のセラミ
ック粉末と溶剤が主として高周波誘電加熱され、キャリ
アシート（3）はほとんど高周波誘電加熱されない。グ
リーンシート（2）の中のセラミック粉末と溶剤の高周
波誘電加熱の熱で溶剤が飛散して、グリーンシート
（2）の乾燥が行われる。つまり、グリーンシート（2）
はその内部から加熱され乾燥する。
溶剤、バインダなどを混練してスラリー状にしたもので
あり、この中で誘電率の高いのはセラミック粉末であ
り、次に高いのは溶剤である。また、キャリアシート
（3）は誘電率の小さい樹脂系の材料が一般的である。
したがって、キャリアシート（3）とグリーンシート
（2）の一体物を高周波誘電加熱装置（5）に通して高周
波電界を加えると、グリーンシート（2）の中のセラミ
ック粉末と溶剤が主として高周波誘電加熱され、キャリ
アシート（3）はほとんど高周波誘電加熱されない。グ
リーンシート（2）の中のセラミック粉末と溶剤の高周
波誘電加熱の熱で溶剤が飛散して、グリーンシート
（2）の乾燥が行われる。つまり、グリーンシート（2）
はその内部から加熱され乾燥する。
【００１５】グリーンシート（2）が内部から乾燥する
ため、グリーンシート（2）が１ｍｍ前後の厚膜であっ
ても、厚さ方向全体を短時間で斑無く乾燥させることが
できる。グリーンシート（2）の乾燥時間の短縮で、乾
燥炉（4）内での乾燥ゾーンの全長が短くでき、実験で
は２ｍ程度の乾燥ゾーンで十分であることが分かってい
る。また、キャリアシート（3）が高周波誘電加熱装置
（5）で直接にはほとんど加熱されないので、キャリア
シート（3）の熱による変形が無くなり、キャリアシー
ト（3）上のグリーンシート（2）の膜厚が均一に維持さ
れる。
ため、グリーンシート（2）が１ｍｍ前後の厚膜であっ
ても、厚さ方向全体を短時間で斑無く乾燥させることが
できる。グリーンシート（2）の乾燥時間の短縮で、乾
燥炉（4）内での乾燥ゾーンの全長が短くでき、実験で
は２ｍ程度の乾燥ゾーンで十分であることが分かってい
る。また、キャリアシート（3）が高周波誘電加熱装置
（5）で直接にはほとんど加熱されないので、キャリア
シート（3）の熱による変形が無くなり、キャリアシー
ト（3）上のグリーンシート（2）の膜厚が均一に維持さ
れる。
【００１６】高周波誘電加熱装置（5）でグリーンシー
ト（2）に印加する高周波電界の周波数は、グリーンシ
ート（2）の膜厚、品質に応じて数１０ＭＨｚから１Ｇ
Ｈｚ以上のマイクロ波の範囲を含めて設定される。マイ
クロ波未満の高周波の誘電加熱装置の電源にはサイリス
タ発振器が好適であり、マイクロ波を使用した高周波誘
電加熱装置（電子レンジ）の電源にはマグネトロンを用
いればよい。
ト（2）に印加する高周波電界の周波数は、グリーンシ
ート（2）の膜厚、品質に応じて数１０ＭＨｚから１Ｇ
Ｈｚ以上のマイクロ波の範囲を含めて設定される。マイ
クロ波未満の高周波の誘電加熱装置の電源にはサイリス
タ発振器が好適であり、マイクロ波を使用した高周波誘
電加熱装置（電子レンジ）の電源にはマグネトロンを用
いればよい。
【００１７】図１装置において、高周波誘電加熱装置
（5）は１機種１台、１機種複数台の使用の他、マイク
ロ波未満の高周波誘電加熱装置とマイクロ波誘電加熱装
置の組合せ使用も可能である。これらの使用形態は、グ
リーンシート（2）の膜厚、望まれる乾燥内容に応じて
選択される。
（5）は１機種１台、１機種複数台の使用の他、マイク
ロ波未満の高周波誘電加熱装置とマイクロ波誘電加熱装
置の組合せ使用も可能である。これらの使用形態は、グ
リーンシート（2）の膜厚、望まれる乾燥内容に応じて
選択される。
【００１８】また、グリーンシート（2）の膜厚、望ま
れる乾燥内容によっては、図２に示されるように、キャ
リアシート（3）上のグリーンシート（2）を高周波誘電
加熱装置（5）と他の加熱方式の加熱装置（6）、例えば
赤外線ヒータ（6）で段階的に加熱して乾燥させてもよ
い。この場合のグリーンシート（2）の乾燥は主として
高周波誘電加熱装置（5）で行うようにして、赤外線ヒ
ータ（6）は乾燥されたグリーンシート（2）を焼き締め
るなど補助的な乾燥目的に使用される。
れる乾燥内容によっては、図２に示されるように、キャ
リアシート（3）上のグリーンシート（2）を高周波誘電
加熱装置（5）と他の加熱方式の加熱装置（6）、例えば
赤外線ヒータ（6）で段階的に加熱して乾燥させてもよ
い。この場合のグリーンシート（2）の乾燥は主として
高周波誘電加熱装置（5）で行うようにして、赤外線ヒ
ータ（6）は乾燥されたグリーンシート（2）を焼き締め
るなど補助的な乾燥目的に使用される。
【００１９】図２装置の場合、赤外線ヒータ（6）の代
わりに電気ヒータや熱風ファンの他の加熱手段を使用す
ることも可能であり、これら加熱手段の複数を使用する
ことも可能である。
わりに電気ヒータや熱風ファンの他の加熱手段を使用す
ることも可能であり、これら加熱手段の複数を使用する
ことも可能である。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、キャリアシート上のグ
リーンシートは高周波誘電加熱により内部から加熱され
て、内部の溶剤が早く飛散して乾燥するので、グリーン
シートの膜厚が厚くても、斑無く短時間で乾燥させるこ
とが容易にできるようになり、また、乾燥時間の短縮で
シート成膜乾燥設備の大幅な床面積の縮小化、設備全体
の小型化が可能となる。
リーンシートは高周波誘電加熱により内部から加熱され
て、内部の溶剤が早く飛散して乾燥するので、グリーン
シートの膜厚が厚くても、斑無く短時間で乾燥させるこ
とが容易にできるようになり、また、乾燥時間の短縮で
シート成膜乾燥設備の大幅な床面積の縮小化、設備全体
の小型化が可能となる。
【００２１】また、高周波誘電加熱でグリーンシートの
セラミック粉末などの高誘電率のものが発熱するが、低
誘電率のキャリアシートはほとんど高周波誘電加熱され
ないので、キャリアシートが熱で変形してグリーンシー
トの膜厚にバラツキが生じる心配がなくなって、グリー
ンシートの膜厚の均一化が可能となり、グリーンシート
を使用して製造されたセラミックシートの高品質化が可
能となる。
セラミック粉末などの高誘電率のものが発熱するが、低
誘電率のキャリアシートはほとんど高周波誘電加熱され
ないので、キャリアシートが熱で変形してグリーンシー
トの膜厚にバラツキが生じる心配がなくなって、グリー
ンシートの膜厚の均一化が可能となり、グリーンシート
を使用して製造されたセラミックシートの高品質化が可
能となる。
【図１】本発明方法の一実施装置例の概略を示す側面図
【図２】本発明方法の他の一実施装置例の概略を示す側
面図
面図
【図３】従来のセラミックシート製造方法を説明するた
めのグリーンシート成膜乾燥装置の概略を示す側面図
めのグリーンシート成膜乾燥装置の概略を示す側面図
1 シート材料 2 グリーンシート 3 キャリアシート 5 マイクロ波誘電加熱装置を含む高周波誘電加熱装
置 6 他の加熱方式の加熱装置
置 6 他の加熱方式の加熱装置
Claims (3)
- 【請求項１】 セラミック粉末と溶剤、バインダを含む
スラリー状のシート材料を長尺な耐熱性キャリアシート
上に所定の厚さで塗布して成膜されたグリーンシート
を、高周波誘電加熱して乾燥させることを特徴とするセ
ラミックシートの製造方法。 - 【請求項２】 セラミック粉末と溶剤、バインダを含む
スラリー状のシート材料を長尺な耐熱性キャリアシート
上に所定の厚さで塗布して成膜されたグリーンシート
を、マイクロ波誘電加熱して乾燥させることを特徴とす
るセラミックシートの製造方法。 - 【請求項３】 セラミック粉末と溶剤、バインダを含む
スラリー状のシート材料を長尺な耐熱性キャリアシート
上に所定の厚さで塗布して成膜されたグリーンシート
を、高周波誘電加熱装置を含む複数種類の加熱装置で順
に加熱し乾燥させることを特徴とするセラミックシート
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4302796A JPH06143238A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | セラミックシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4302796A JPH06143238A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | セラミックシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06143238A true JPH06143238A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=17913222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4302796A Withdrawn JPH06143238A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | セラミックシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06143238A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009226633A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス成形体の乾燥方法 |
| CN103992103A (zh) * | 2014-05-13 | 2014-08-20 | 陕西师范大学 | 二元系钛酸铜钇-钛酸锶巨介电陶瓷材料及其制备方法 |
-
1992
- 1992-11-13 JP JP4302796A patent/JPH06143238A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009226633A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス成形体の乾燥方法 |
| CN103992103A (zh) * | 2014-05-13 | 2014-08-20 | 陕西师范大学 | 二元系钛酸铜钇-钛酸锶巨介电陶瓷材料及其制备方法 |
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