JPH06138302A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
- Publication number
- JPH06138302A JPH06138302A JP4287630A JP28763092A JPH06138302A JP H06138302 A JPH06138302 A JP H06138302A JP 4287630 A JP4287630 A JP 4287630A JP 28763092 A JP28763092 A JP 28763092A JP H06138302 A JPH06138302 A JP H06138302A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- antireflection film
- transmittance
- refractive index
- reflectance
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 可視光線領域において透過率を８５〜９５％
に、両面での反射率を１％以下にコントロールした反射
防止膜を提供すること。 【構成】 屈折率１．４７〜１．５７のガラス基板に設
けられる反射防止膜であり、単層の反射率と透過率の合
計が８０〜９７％となる膜厚を有するクロム薄膜上に１
層又は複数層の調整層を設けて、全体として可視光の透
過率を８５〜９５％とし、透明基板側からの入射光及び
空気側からの入射光の反射率を１％以下としたことを特
徴とする反射防止膜１であり、計器類の表示パネル２の
カバーガラス３の片面又は両面に施されるものである。
に、両面での反射率を１％以下にコントロールした反射
防止膜を提供すること。 【構成】 屈折率１．４７〜１．５７のガラス基板に設
けられる反射防止膜であり、単層の反射率と透過率の合
計が８０〜９７％となる膜厚を有するクロム薄膜上に１
層又は複数層の調整層を設けて、全体として可視光の透
過率を８５〜９５％とし、透明基板側からの入射光及び
空気側からの入射光の反射率を１％以下としたことを特
徴とする反射防止膜１であり、計器類の表示パネル２の
カバーガラス３の片面又は両面に施されるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＯＡ機器や航空機の表
示パネルに保護を目的として使用されるカバーガラスに
施される反射防止膜に関する。
示パネルに保護を目的として使用されるカバーガラスに
施される反射防止膜に関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】従来から、計器類の表示パ
ネルにはその保護のためにカバーガラスが使用されてい
る。ところが、ガラスは一般的に、その表裏の空気との
境界面において反射が生じ、表示パネルの文字や図形が
見にくくなってしまう。そのため、反射防止膜を設ける
ことが一般的に行われてきた。
ネルにはその保護のためにカバーガラスが使用されてい
る。ところが、ガラスは一般的に、その表裏の空気との
境界面において反射が生じ、表示パネルの文字や図形が
見にくくなってしまう。そのため、反射防止膜を設ける
ことが一般的に行われてきた。
【０００３】一方、表示パネルが使われる環境は、様々
であり、単に、観察者側でのカバーガラスの反射率を下
げ、計器パネル側からの透過率を上げれば、見やすいと
いうわけではない。例えば、明るい環境で見やすい表示
パネルは、暗い環境下、すなわち、観察者が暗い環境に
いる場合には、明るすぎて見にくい。このような場合に
は、カバーガラスによって、観察者側ばかりでなく、表
示パネル側における反射率をも出来るだけ少なくした上
で、表示パネル側からの透過率を下げることが好まし
い。この透過率の最適値は、表示パネルの主として使用
される環境によって左右される。光を吸収し、透過率を
下げる材料としては、金属が考えられるが、金属を使用
すると、反射率が高くなってしまい、裏面反射や、跳ね
返り反射も大きくなる。そのため、透過率を適度に下
げ、しかも反射率を極めて低く抑えることのできる反射
防止膜の開発が望まれている。
であり、単に、観察者側でのカバーガラスの反射率を下
げ、計器パネル側からの透過率を上げれば、見やすいと
いうわけではない。例えば、明るい環境で見やすい表示
パネルは、暗い環境下、すなわち、観察者が暗い環境に
いる場合には、明るすぎて見にくい。このような場合に
は、カバーガラスによって、観察者側ばかりでなく、表
示パネル側における反射率をも出来るだけ少なくした上
で、表示パネル側からの透過率を下げることが好まし
い。この透過率の最適値は、表示パネルの主として使用
される環境によって左右される。光を吸収し、透過率を
下げる材料としては、金属が考えられるが、金属を使用
すると、反射率が高くなってしまい、裏面反射や、跳ね
返り反射も大きくなる。そのため、透過率を適度に下
げ、しかも反射率を極めて低く抑えることのできる反射
防止膜の開発が望まれている。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、カバーガラス（透明基板）に
施したときに、前記のような要求に応える反射防止膜を
開発することを目的とする。より具体的には、本発明
は、可視光線領域において透過率を８５〜９５％に、両
面での反射率を１％以下にコントロールした反射防止膜
を提供することを目的とする。
施したときに、前記のような要求に応える反射防止膜を
開発することを目的とする。より具体的には、本発明
は、可視光線領域において透過率を８５〜９５％に、両
面での反射率を１％以下にコントロールした反射防止膜
を提供することを目的とする。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、透明基板に接する層（以下、
第１層と称することがある）としてクロム薄膜を特定の
膜厚で用い、その上に調整層を施すことによって上記目
的を達成したものである。すなわち、本発明の反射防止
膜は、屈折率ｎがｎ＝１．４７〜１．５７の透明基板に
施される反射防止膜であって、単層の反射率と透過率の
合計が８０〜９７％となる膜厚を有するクロム薄膜上に
１層又は複数層の調整層を設けて、全体として可視光の
透過率を８５〜９５％とし、透明基板側からの入射光及
び空気側からの入射光の反射率を１％以下としたことを
特徴とする。
第１層と称することがある）としてクロム薄膜を特定の
膜厚で用い、その上に調整層を施すことによって上記目
的を達成したものである。すなわち、本発明の反射防止
膜は、屈折率ｎがｎ＝１．４７〜１．５７の透明基板に
施される反射防止膜であって、単層の反射率と透過率の
合計が８０〜９７％となる膜厚を有するクロム薄膜上に
１層又は複数層の調整層を設けて、全体として可視光の
透過率を８５〜９５％とし、透明基板側からの入射光及
び空気側からの入射光の反射率を１％以下としたことを
特徴とする。
【０００６】本発明の反射防止膜は、第１層としてクロ
ム薄膜を、その単層の反射率と透過率の合計が８０〜９
７％となる膜厚で有する。この膜の反射率と透過率の合
計がこの範囲を外れると、この上に調整層を施すことに
よっても反射防止膜全体として可視光の透過率を８５〜
９５％に、反射率を１％以下に収めることが困難とな
る。
ム薄膜を、その単層の反射率と透過率の合計が８０〜９
７％となる膜厚で有する。この膜の反射率と透過率の合
計がこの範囲を外れると、この上に調整層を施すことに
よっても反射防止膜全体として可視光の透過率を８５〜
９５％に、反射率を１％以下に収めることが困難とな
る。
【０００７】本発明の反射防止膜は、上記のクロム薄膜
上に１層又は複数層の調整層を設けたものである。調整
層としては、屈折率ｎがｎ＝２．０５〜２．１５、好ま
しくは２．０７５〜２．１２５の無機物質の層及び屈折
率ｎがｎ＝１．３５〜１．４５、好ましくは１．３７５
〜１．４２５の無機物質の層を順次積層したものが好適
である（屈折率ｎは波長５５０ｎｍにおける屈折率であ
る、以下、同様）が、この組み合わせ以外でも差し支え
ない。具体的には、屈折率ｎがｎ＝２．０５〜２．１５
の無機物質としてはＰｒ6 Ｏ11：ＴｉＯ2 ：Ｎｂ＝１．
０モル：３．０モル：２．０〜１１．０モルの混合物、
ＺｒＯ2 、Ｓｂ2 Ｏ3 、Ｉｎ2 Ｏ3 などが好適であり、
屈折率ｎがｎ＝１．３５〜１．４５としてはＭｇＦ2 、
ＳｉＯ2などが好適である。
上に１層又は複数層の調整層を設けたものである。調整
層としては、屈折率ｎがｎ＝２．０５〜２．１５、好ま
しくは２．０７５〜２．１２５の無機物質の層及び屈折
率ｎがｎ＝１．３５〜１．４５、好ましくは１．３７５
〜１．４２５の無機物質の層を順次積層したものが好適
である（屈折率ｎは波長５５０ｎｍにおける屈折率であ
る、以下、同様）が、この組み合わせ以外でも差し支え
ない。具体的には、屈折率ｎがｎ＝２．０５〜２．１５
の無機物質としてはＰｒ6 Ｏ11：ＴｉＯ2 ：Ｎｂ＝１．
０モル：３．０モル：２．０〜１１．０モルの混合物、
ＺｒＯ2 、Ｓｂ2 Ｏ3 、Ｉｎ2 Ｏ3 などが好適であり、
屈折率ｎがｎ＝１．３５〜１．４５としてはＭｇＦ2 、
ＳｉＯ2などが好適である。
【０００８】さらに具体的には、下記の膜構成： 第１層目 クロム 第２層目 Ｘ1 第３層目 Ｘ2 第４層目 Ｘ1 第５層目 Ｘ2 第６層目 Ｘ1 第７層目 Ｘ2 〔ここで、Ｘ1 は屈折率ｎがｎ＝２．０５〜２．１５の
無機物質を表し、Ｘ2 は屈折率ｎがｎ＝１．３５〜１．
４５の無機物質を表す〕から成り、膜厚が 第１層目 １７〜３ｎｍ、好ましくは１４〜７ｎｍ 第２層目 ３０〜９ｎｍ、好ましくは２４〜１３ｎｍ 第３層目 ４２〜１３ｎｍ、好ましくは３５〜２０ｎｍ 第４層目 １０５〜３４ｎｍ、好ましくは８８〜５１ｎ
ｍ 第５層目 ２１〜６ｎｍ、好ましくは１８〜９ｎｍ 第６層目 ６２〜２０ｎｍ、好ましくは５２〜３０ｎｍ 第７層目 １５３〜５０ｎｍ、好ましくは１２８〜７５
ｎｍ である反射防止膜が好適である。
無機物質を表し、Ｘ2 は屈折率ｎがｎ＝１．３５〜１．
４５の無機物質を表す〕から成り、膜厚が 第１層目 １７〜３ｎｍ、好ましくは１４〜７ｎｍ 第２層目 ３０〜９ｎｍ、好ましくは２４〜１３ｎｍ 第３層目 ４２〜１３ｎｍ、好ましくは３５〜２０ｎｍ 第４層目 １０５〜３４ｎｍ、好ましくは８８〜５１ｎ
ｍ 第５層目 ２１〜６ｎｍ、好ましくは１８〜９ｎｍ 第６層目 ６２〜２０ｎｍ、好ましくは５２〜３０ｎｍ 第７層目 １５３〜５０ｎｍ、好ましくは１２８〜７５
ｎｍ である反射防止膜が好適である。
【０００９】本発明の反射防止膜は、透明基板に施され
て各種計器の表示パネルを保護するカバーガラスとして
用いることができる。対象となる透明基板は、屈折率ｎ
がｎ＝１．４７〜１．５７、好ましくは１．５０〜１．
５４の光学ガラスである。ガラス基板に本発明の反射防
止膜を施すには、クロム薄膜から順次調整層を積層す
る。積層は、真空蒸着、スパッタリング等の公知手段で
行うことができる。本発明の反射防止膜を透明基板の両
面に施してもよく、また、透明基板の片面は別の反射防
止膜を施してもよい。
て各種計器の表示パネルを保護するカバーガラスとして
用いることができる。対象となる透明基板は、屈折率ｎ
がｎ＝１．４７〜１．５７、好ましくは１．５０〜１．
５４の光学ガラスである。ガラス基板に本発明の反射防
止膜を施すには、クロム薄膜から順次調整層を積層す
る。積層は、真空蒸着、スパッタリング等の公知手段で
行うことができる。本発明の反射防止膜を透明基板の両
面に施してもよく、また、透明基板の片面は別の反射防
止膜を施してもよい。
【００１０】本発明の反射防止膜は、可視光領域の４０
０〜７５０ｎｍの広い波長範囲にわたって反射率を１％
以下に、透過率を８５〜９５％にすることができる。
０〜７５０ｎｍの広い波長範囲にわたって反射率を１％
以下に、透過率を８５〜９５％にすることができる。
【００１１】
【発明の実施例】以下図示実施例に基づいて本発明を説
明する。図１は本発明の反射防止膜を表示パネルのカバ
ーガラスに施した実施例の模式断面図である。図１にお
いて、本発明の反射防止膜１は、計器の表示パネル２の
カバーガラス（透明基板）３の観察者Ｓ側に施されてい
る。この反射防止膜１を設けることにより４００〜７５
０ｎｍの波長範囲においてカバーガラス３側からの入射
光の反射率も空気側からの入射光の反射率も１％以下に
抑えられる。透過率については、４００〜７５０ｎｍの
波長範囲においてカバーガラス側からの透過率も空気側
からの透過率も８５〜９５％となる。
明する。図１は本発明の反射防止膜を表示パネルのカバ
ーガラスに施した実施例の模式断面図である。図１にお
いて、本発明の反射防止膜１は、計器の表示パネル２の
カバーガラス（透明基板）３の観察者Ｓ側に施されてい
る。この反射防止膜１を設けることにより４００〜７５
０ｎｍの波長範囲においてカバーガラス３側からの入射
光の反射率も空気側からの入射光の反射率も１％以下に
抑えられる。透過率については、４００〜７５０ｎｍの
波長範囲においてカバーガラス側からの透過率も空気側
からの透過率も８５〜９５％となる。
【００１２】次に、屈折率１．５２のガラス基板上に本
発明の反射防止膜を形成した具体例を示す。また、膜構
成は下記のとおりである。 第１層目 Ｃｒ 膜厚１１ｎｍ 第２層目 Ｘ 膜厚１８．３ｎｍ 第３層目 ＭｇＦ2 膜厚２７．７ｎｍ 第４層目 Ｘ 膜厚６９．７ｎｍ 第５層目 ＭｇＦ2 膜厚１３．９ｎｍ 第６層目 Ｘ 膜厚４０．８ｎｍ 第７層目 ＭｇＦ2 膜厚１０１．８ｎｍ ここで、ＸはＰｒ6 Ｏ11：ＴｉＯ2 ：Ｎｂ＝１：３：７
の混合物（実公平３−１１２２７号公報記載のもの）で
ある。
発明の反射防止膜を形成した具体例を示す。また、膜構
成は下記のとおりである。 第１層目 Ｃｒ 膜厚１１ｎｍ 第２層目 Ｘ 膜厚１８．３ｎｍ 第３層目 ＭｇＦ2 膜厚２７．７ｎｍ 第４層目 Ｘ 膜厚６９．７ｎｍ 第５層目 ＭｇＦ2 膜厚１３．９ｎｍ 第６層目 Ｘ 膜厚４０．８ｎｍ 第７層目 ＭｇＦ2 膜厚１０１．８ｎｍ ここで、ＸはＰｒ6 Ｏ11：ＴｉＯ2 ：Ｎｂ＝１：３：７
の混合物（実公平３−１１２２７号公報記載のもの）で
ある。
【００１３】反射防止膜を形成するため、１×１０-5 T
orr の真空中で温度２４０℃で第１層から順に蒸着し
た。
orr の真空中で温度２４０℃で第１層から順に蒸着し
た。
【００１４】こうして得られた反射防止膜付きカバーガ
ラスについて４００〜７５０ｎｍの可視光領域において
反射率及び透過率を測定した。図２は空気側からの入射
光の透過率を示すグラフ、図３は空気側からの入射光の
反射率を示すグラフ、図４は基板側からの入射光の透過
率を示すグラフ、図５は基板側からの入射光の反射率を
示すグラフである。これらのグラフから明らかなとお
り、いずれの側から入射光に対しても透過率は８５〜９
５％、反射率は１％以下であった。
ラスについて４００〜７５０ｎｍの可視光領域において
反射率及び透過率を測定した。図２は空気側からの入射
光の透過率を示すグラフ、図３は空気側からの入射光の
反射率を示すグラフ、図４は基板側からの入射光の透過
率を示すグラフ、図５は基板側からの入射光の反射率を
示すグラフである。これらのグラフから明らかなとお
り、いずれの側から入射光に対しても透過率は８５〜９
５％、反射率は１％以下であった。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、クロム薄膜上に様々な
材料から調整層に適切に選定して設けることによって、
４００〜７５０ｎｍの広い波長範囲において反射率が１
％以下で、透過率が８５〜９５％である反射防止膜が得
られる。したがって、本発明の反射防止膜は、計器類の
表示パネルの保護を目的としたカバーガラスに施すのに
好適であり、このカバーガラスは、観察者側からの入射
光の反射ばかりでなく、計器類の表示パネル側からの入
射光の反射も１％以下に減少することができ、透過率が
８５〜９５％であるため、表示がぼやけることがなく、
また、薄暗い場所で用いても観察者が眩しいと感じるこ
とがない。
材料から調整層に適切に選定して設けることによって、
４００〜７５０ｎｍの広い波長範囲において反射率が１
％以下で、透過率が８５〜９５％である反射防止膜が得
られる。したがって、本発明の反射防止膜は、計器類の
表示パネルの保護を目的としたカバーガラスに施すのに
好適であり、このカバーガラスは、観察者側からの入射
光の反射ばかりでなく、計器類の表示パネル側からの入
射光の反射も１％以下に減少することができ、透過率が
８５〜９５％であるため、表示がぼやけることがなく、
また、薄暗い場所で用いても観察者が眩しいと感じるこ
とがない。
【図１】本発明の反射防止膜を表示パネルのカバーガラ
スに施した実施例の模式断面図である。
スに施した実施例の模式断面図である。
【図２】実施例で作製した反射防止膜付きカバーガラス
の空気側からの入射光の透過率を示すグラフである。
の空気側からの入射光の透過率を示すグラフである。
【図３】実施例で作製した反射防止膜付きカバーガラス
の空気側からの入射光の反射率を示すグラフである。
の空気側からの入射光の反射率を示すグラフである。
【図４】実施例で作製した反射防止膜付きカバーガラス
の基板側からの入射光の透過率を示すグラフである。
の基板側からの入射光の透過率を示すグラフである。
【図５】実施例で作製した反射防止膜付きカバーガラス
の基板側からの入射光の反射率を示すグラフである。
の基板側からの入射光の反射率を示すグラフである。
【符号の説明】 １ 反射防止膜 ２ 表示パネル ３ カバーガラス
Claims (5)
- 【請求項１】 屈折率ｎがｎ＝１．４７〜１．５７の透
明基板に施される反射防止膜であって、単層の反射率と
透過率の合計が８０〜９７％となる膜厚を有するクロム
薄膜上に１層又は複数層の調整層を設けて、全体として
可視光の透過率を８５〜９５％とし、透明基板側からの
入射光及び空気側からの入射光の反射率を１％以下とし
たことを特徴とする反射防止膜。 - 【請求項２】 調整層が、屈折率ｎがｎ＝２．０５〜
２．１５の無機物質の層及び屈折率ｎがｎ＝１．３５〜
１．４５の無機物質の層を順次積層したものである請求
項１記載の反射防止膜。 - 【請求項３】 下記の膜構成： 第１層目 クロム 第２層目 Ｘ1 第３層目 Ｘ2 第４層目 Ｘ1 第５層目 Ｘ2 第６層目 Ｘ1 第７層目 Ｘ2 〔ここで、Ｘ1 は屈折率ｎがｎ＝２．０５〜２．１５の
無機物質を表し、Ｘ2 は屈折率ｎがｎ＝１．３５〜１．
４５の無機物質を表す〕から成り、膜厚が 第１層目 １７〜３ｎｍ 第２層目 ３０〜９ｎｍ 第３層目 ４２〜１３ｎｍ 第４層目 １０５〜３４ｎｍ 第５層目 ２１〜６ｎｍ 第６層目 ６２〜２０ｎｍ 第７層目 １５３〜５０ｎｍ である請求項１記載の反射防止膜。 - 【請求項４】 Ｘ1 がＰｒ6 Ｏ11：ＴｉＯ2 ：Ｎｂ＝
１．０モル：３．０モル：２．０〜１１．０モルの混合
物である請求項３記載の反射防止膜。 - 【請求項５】 Ｘ2 がＭｇＦ2 である請求項３記載の反
射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4287630A JPH06138302A (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4287630A JPH06138302A (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06138302A true JPH06138302A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17719728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4287630A Pending JPH06138302A (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06138302A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010079013A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Nittoh Kogaku Kk | 光学部材の製造法および光学部材 |
-
1992
- 1992-10-26 JP JP4287630A patent/JPH06138302A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010079013A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Nittoh Kogaku Kk | 光学部材の製造法および光学部材 |
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