JPH06138265A - 絶対水平維持用架台 - Google Patents

絶対水平維持用架台

Info

Publication number
JPH06138265A
JPH06138265A JP92291448A JP29144892A JPH06138265A JP H06138265 A JPH06138265 A JP H06138265A JP 92291448 A JP92291448 A JP 92291448A JP 29144892 A JP29144892 A JP 29144892A JP H06138265 A JPH06138265 A JP H06138265A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
horizontal
zero
actuators
gyro
pitch
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP92291448A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2803701B2 (ja
Inventor
Hiroshi Midorikawa
浩史 緑川
Mikio Takano
幹雄 鷹野
Yuichi Izaki
祐一 井崎
Hiroshi Koshida
洋 越田
Yasuo Ogawa
泰男 小川
Katsuhisa Kanda
克久 神田
Atsuo Minemura
敦雄 峯村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Kajima Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Kajima Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp, Kajima Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP4291448A priority Critical patent/JP2803701B2/ja
Publication of JPH06138265A publication Critical patent/JPH06138265A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2803701B2 publication Critical patent/JP2803701B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造、制御でテーブルを常に水平に維
持する。 【構成】 水平テーブル１を複数の電磁アクチュエータ
２で支持し、水平テーブル１に設けた水平度検出手段
（ジャイロ）６の信号で電磁アクチュエータ２を駆動し
て水平を維持する制御回路８を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶対水平維持用架台に
関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばセンサの較正などにおいては、絶
対水平な場所で行うことが要求される。しかし、構造、
制御が簡単なものは、提供されていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、簡単な構
造、制御でテーブルを常に水平に維持する絶対水平維持
用架台を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
電磁アクチュエータにより水平テーブルを支持し、該水
平テーブルの水平度を検出する水平度検出手段を設け、
該水平度検出手段からの信号に基づき前記電磁アクチュ
エータを駆動して前記水平テーブルを水平に維持する制
御回路を設けている。
【０００５】上記水平度検出手段には、ジャイロや傾斜
角センサを用いるのが好ましい。
【０００６】
【作用】上記のように構成された絶対水平維持用架台に
おいては、ジャイロからの偏角信号に基づき、制御回路
は電磁アクチュエータの駆動電流にフィードバックし、
水平テーブルを水平に維持するうよに制御する。
【０００７】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【０００８】図１及び図２において、水平テーブル１
は、複数（図示の例では３台）の電磁アクチュエータ２
ａ、２ｂ及び２ｃ（以下総称する場合は符号２を用い
る）により床Ｆに支持されている。
【０００９】その電磁アクチュエータ２の水平テーブル
１を固設したロータ３は、浮上用電磁石４により非接触
で本体５に支持されている。
【００１０】他方、水平テーブル１には、水平度検出手
段であるジャイロ６が設けられ、回路Ｌ１により基準値
信号すなわちテーブル角度０°信号が入力する加算器７
に接続されている。その加算器７は、制御回路８に接続
され、この制御回路８には、回路Ｌ２により電流増幅器
９を介して電磁アクチュエータ２の浮上用電磁石４が並
列に接続されている。
【００１１】次に、作用について説明する。
【００１２】電磁アクチュエータ２をＯＮして水平テー
ブル１を浮上し（ステップＳ１）、ジャイロ６を始動し
て（ステップＳ２）、水平テーブル１のピッチ角、ロー
ル角を検出する（ステップＳ３）。すると加算器７は、
テーブル角度０°の基準値信号とジャイロ６からのピッ
チ角又はロール角のマイナス信号を加算し、ピッチ角又
はロール角がゼロでないか否かを判定する（ステップＳ
４）。ピッチ角及びロール角がゼロの場合はステップＳ
３に戻り、ゼロではない場合は、制御回路８で各電磁ア
クチュエータ２ａ、２ｂ及び２ｃの電磁石４への電流量
を決定し（ステップＳ５）、各電磁アクチュエータ２
ａ、２ｂ及び２ｃのロータ３の浮上量を制御して水平テ
ーブル１の位置を補正し、水平位置に復帰させて（ステ
ップＳ６）、ステップＳ３に戻る。このように、常時、
水平テーブルを水平に維持するので、水平テーブル１に
例えば較正するセンサを載置したことによる水平テーブ
ル１の傾きにも、対応することができる。
【００１３】図４は本発明の別の実施例を示し、水平テ
ーブル１を、ロータ３Ｂがロータ３Ａより高い２台の電
磁アクチュエータ２Ａ、２Ｂにより段差Ｓのある床Ｆ１
に支持し、ジャイロ６を加算器７、制御回路Ｂ及び電流
増幅器９を介して両電磁アクチュエータ２Ａ、２Ｂの浮
上用電磁石に接続した例である。この実施例でも、前記
実施例と同じ作用効果がある。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、簡単な構造、制御で水平テーブルを常に水
平に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図。
【図２】電磁アクチュエータの側断面図。
【図３】制御フローチャート図。
【図４】本発明の別の実施例を示す正面図。
【符号の説明】
Ｆ、Ｆ１・・・床 Ｓ・・・段差 １・・・水平テーブル ２、２Ａ、２Ｂ・・・電磁アクチュエータ ３、３Ａ、３Ｂ・・・ロータ ４・・・浮上用電磁石 ５・・・本体 ６・・・ジャイロ ７・・・加算器 ８・・・制御回路 ９・・・電流増幅器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井崎 祐一 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 越田 洋 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内 (72)発明者 小川 泰男 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 神田 克久 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 峯村 敦雄 東京都調布市飛田給二丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数の電磁アクチュエータにより水平テ
    ーブルを支持し、該水平テーブルの水平度を検出する水
    平度検出手段を設け、該水平度検出手段からの信号に基
    づき前記電磁アクチュエータを駆動して前記水平テーブ
    ルを水平に維持する制御回路を設けたことを特徴とする
    絶対水平維持用架台。
JP4291448A 1992-10-29 1992-10-29 絶対水平維持用架台 Expired - Fee Related JP2803701B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4291448A JP2803701B2 (ja) 1992-10-29 1992-10-29 絶対水平維持用架台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4291448A JP2803701B2 (ja) 1992-10-29 1992-10-29 絶対水平維持用架台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06138265A true JPH06138265A (ja) 1994-05-20
JP2803701B2 JP2803701B2 (ja) 1998-09-24

Family

ID=17769004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4291448A Expired - Fee Related JP2803701B2 (ja) 1992-10-29 1992-10-29 絶対水平維持用架台

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2803701B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0682190A3 (ja) * 1994-05-13 1995-11-22 Bowell Richard A Sr

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5812527A (ja) * 1981-07-14 1983-01-24 株式会社日立製作所 直流電源回路における過電圧保護方式
JPS5825637A (ja) * 1981-08-08 1983-02-15 Canon Inc 投影焼付装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5812527A (ja) * 1981-07-14 1983-01-24 株式会社日立製作所 直流電源回路における過電圧保護方式
JPS5825637A (ja) * 1981-08-08 1983-02-15 Canon Inc 投影焼付装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0682190A3 (ja) * 1994-05-13 1995-11-22 Bowell Richard A Sr

Also Published As

Publication number Publication date
JP2803701B2 (ja) 1998-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3135410B2 (ja) 磁気軸受装置
US7053582B2 (en) Control magnetic bearing device
JPH02107815A (ja) 磁気浮上体の制御装置
EP0294732A3 (en) Improved power assisted equipment mounting system
US5243491A (en) Electromagnetic support with current-independent characteristics
JPH06138265A (ja) 絶対水平維持用架台
JPS5660780A (en) Gyroscopic two-wheeled vehicle stably standing even at rest
KR20010006762A (ko) 자기 공중부양 시스템 제어장치
JP3680226B2 (ja) 磁気軸受装置
US5692329A (en) Levitating picture frame
EP1669829A3 (en) Controller with means for determining acceleration
JP2007502095A (ja) ペイロードのためのローレンツモータ制御システム
US5822870A (en) Level controller
JP3301619B2 (ja) 磁気軸受装置
CN113944307B (zh) 板材安装装置、板材安装机器人及板材安装方法
JP2814345B2 (ja) コンクリート均し装置
JPH0888167A (ja) 可動体の位置決め制御装置及び定盤の姿勢制御装置及びそれらを使用した半導体露光装置
JPH11209038A (ja) 工事用エレベータ
JP2567876Y2 (ja) 磁気軸受用ロータの制御装置
JP2002333019A5 (ja)
JPH06197415A (ja) 磁気浮上スライダ
JP2669018B2 (ja) 制振制御装置
JP3165634B2 (ja) 制御方法及びその装置
JPH05162022A (ja) 放電加工装置
JP2001263352A (ja) 磁気軸受装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees