JPH0613362A - パーティクル除去装置 - Google Patents
パーティクル除去装置Info
- Publication number
- JPH0613362A JPH0613362A JP16877892A JP16877892A JPH0613362A JP H0613362 A JPH0613362 A JP H0613362A JP 16877892 A JP16877892 A JP 16877892A JP 16877892 A JP16877892 A JP 16877892A JP H0613362 A JPH0613362 A JP H0613362A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- pellicle
- mask
- gun
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マスクに装着を行ったペリクルに付着したパ
ーティクルを短時間で検出し、Ｎ2ガンによって確実な
パーティクル除去を行うパーティクル除去装置である。 【構成】 ペリクル１の装着されたマスク２をホルダー
３上でモーター９によって回転させる。ペリクル上に付
着したパーティクルは、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザ
ー照射部５からペリクルに照射されるレーザーの散乱光
によって受光部６がその有無を判断する。また、異物検
査で検知したパーティクルは、受光部６がパーティクル
の有無をＮ2ガン７の噴射口開閉センサー８に情報を送
り、パーティクルがあると判断した場合は、Ｎ2ガン７
がパーティクルに向かって噴射され、除去される。
ーティクルを短時間で検出し、Ｎ2ガンによって確実な
パーティクル除去を行うパーティクル除去装置である。 【構成】 ペリクル１の装着されたマスク２をホルダー
３上でモーター９によって回転させる。ペリクル上に付
着したパーティクルは、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザ
ー照射部５からペリクルに照射されるレーザーの散乱光
によって受光部６がその有無を判断する。また、異物検
査で検知したパーティクルは、受光部６がパーティクル
の有無をＮ2ガン７の噴射口開閉センサー８に情報を送
り、パーティクルがあると判断した場合は、Ｎ2ガン７
がパーティクルに向かって噴射され、除去される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パーティクル除去装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、マスクに装着されたペリクルのパ
ーティクルを除去する装置としてＮ2ガンが用いられて
いる。
ーティクルを除去する装置としてＮ2ガンが用いられて
いる。
【０００３】以下に従来のパーティクル除去装置につい
て説明する。図２は従来のパーティクル除去装置の外観
斜視図を示すものである。図２において、１はペリク
ル、２はマスク、７はＮ2ガンである。ペリクル１は、
ニトロセルロースを主成分とする透過率の高い透明な薄
膜をアルミフレームの枠で支えたもので、アルミフレー
ム下部にある粘着剤によって、マスク２の両面に装着さ
れている。ペリクル１は、マスク２からパーティクルを
守ることができる。Ｎ2ガン７は、噴射部からＮ2を噴射
し、ペリクル１上のパーティクルを除去する。
て説明する。図２は従来のパーティクル除去装置の外観
斜視図を示すものである。図２において、１はペリク
ル、２はマスク、７はＮ2ガンである。ペリクル１は、
ニトロセルロースを主成分とする透過率の高い透明な薄
膜をアルミフレームの枠で支えたもので、アルミフレー
ム下部にある粘着剤によって、マスク２の両面に装着さ
れている。ペリクル１は、マスク２からパーティクルを
守ることができる。Ｎ2ガン７は、噴射部からＮ2を噴射
し、ペリクル１上のパーティクルを除去する。
【０００４】以上のように構成されたパーティクル除去
装置について、以下その動作について説明する。
装置について、以下その動作について説明する。
【０００５】ペリクル１は、図２に示すようにパターン
の形成されたマスク２に装着を行う。このペリクル１膜
上に付着したパーティクルは、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒ
のレーザーを用いた異物検査装置により異物の個数、位
置などを検査する。そして、手や治具を用いてペリクル
１の装着されたマスク２を掴み、Ｎ2ガン７でＮ2をパー
ティクルに噴射することによりパーティクルを除去す
る。
の形成されたマスク２に装着を行う。このペリクル１膜
上に付着したパーティクルは、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒ
のレーザーを用いた異物検査装置により異物の個数、位
置などを検査する。そして、手や治具を用いてペリクル
１の装着されたマスク２を掴み、Ｎ2ガン７でＮ2をパー
ティクルに噴射することによりパーティクルを除去す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、異物検査装置でペリクル１上のパーティク
ルを検査する場合、レーザーを縦方向に走査させなが
ら、ペリクル１を横方向に動かしていたので、検査時間
が長くなる。またパーティクルを除去する場合、マスク
２を治具や手でもち、Ｎ2ガン７でペリクル１上のパー
ティクルを除去していた。このため、再度パーティクル
が付着したり、パーティクルの形状によっては、Ｎ2ガ
ン７では除去できないという課題を有していた。
の構成では、異物検査装置でペリクル１上のパーティク
ルを検査する場合、レーザーを縦方向に走査させなが
ら、ペリクル１を横方向に動かしていたので、検査時間
が長くなる。またパーティクルを除去する場合、マスク
２を治具や手でもち、Ｎ2ガン７でペリクル１上のパー
ティクルを除去していた。このため、再度パーティクル
が付着したり、パーティクルの形状によっては、Ｎ2ガ
ン７では除去できないという課題を有していた。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、異物検査の検査時間を短縮し、マスクに再付着する
パーティクルの数をできるかぎり抑え、Ｎ2ガンによる
パーティクル除去が正確に行われるパーティクル除去装
置を提供することを目的とする。
で、異物検査の検査時間を短縮し、マスクに再付着する
パーティクルの数をできるかぎり抑え、Ｎ2ガンによる
パーティクル除去が正確に行われるパーティクル除去装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のパーティクル除去装置は、同じチャンバー内
で、ペリクルの装着されたマスクをホルダー上で回転さ
せ、ペリクル上の異物を検査、Ｎ2ガンで除去するとい
う構成による。
に本発明のパーティクル除去装置は、同じチャンバー内
で、ペリクルの装着されたマスクをホルダー上で回転さ
せ、ペリクル上の異物を検査、Ｎ2ガンで除去するとい
う構成による。
【０００９】
【作用】この構成によって、マスクを載せているホルダ
ーをモーターで回転させながら、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡ
ｒレーザーをペリクル上に照射しているので、短時間で
ペリクルの異物検査ができる。また同時に検出されたパ
ーティクルは、Ｎ2ガンによって噴射され、取り除かれ
るので、確実なパーティクル除去が行われる。
ーをモーターで回転させながら、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡ
ｒレーザーをペリクル上に照射しているので、短時間で
ペリクルの異物検査ができる。また同時に検出されたパ
ーティクルは、Ｎ2ガンによって噴射され、取り除かれ
るので、確実なパーティクル除去が行われる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施例におけるパーティ
クル除去装置の外観斜視図を示すものである。図１にお
いて１はペリクル、２はマスク、７はＮ2ガンで、これ
らは従来例の構成と同じである。３はホルダー、４はホ
ルダーのつめ、５はＨｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザーの
照射部、６は受光部、８は噴射口開閉センサー、９はモ
ーターを表す。ホルダー３は、ペリクル１の装着された
マスク２を載せ、時計回りに回転する。ホルダー３のつ
め４は、マスク２が回転時に、はずれないようにささえ
るものである。また、ホルダー３の下部は、ホルダー３
とホルダー３に載せたマスク２のペリクル１が接触しな
いように離れている。Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒのレーザ
ー照射部５は、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザー光をペ
リクル１上に照射する。レーザー光は回転しているペリ
クル１の中心部から周辺部へとペリクル１との角度を一
定に保ちながら走査する。ペリクル１が回転しているの
で、レーザーの走査する距離がペリクル１の中心部から
周辺部までと短時間でペリクル１全体の異物検査ができ
る。受光部６は、ペリクル１上に照射されたＨｅ−Ｎｅ
あるいはＡｒレーザ光の散乱光を受光する部分で、受光
した散乱光によりペリクル１上のパーティクルの有無を
判断する。すなわちペリクル１上にパーティクルがなけ
れば、受光部６が受光する光は規則的であり、パーティ
クルがあれば、光は不規則になる。受光部６の判断した
結果は電気信号に変えられ、噴射口開閉センサー８へ送
られる。Ｎ2ガン７は、ペリクル１上のパーティクルを
Ｎ2の噴射によって除去するはたらきを持つ。噴射部に
は、噴射口開閉センサー８を持ち、受光部がパーティク
ルのあることを判断すると同時に噴射口開閉センサー８
がはたらき、Ｎ2が噴射される。また、Ｎ2ガン７は、受
光部が判断したパーティクルをすぐに除去できるように
ペリクルのＮ2被噴射部とレーザ光被照射部のペリクル
中心部からの距離が同じであるように動作する。モータ
ー９はホルダーの下に取り付けられており、ホルダー３
を時計回りに回転させるはたらきを持つ。
クル除去装置の外観斜視図を示すものである。図１にお
いて１はペリクル、２はマスク、７はＮ2ガンで、これ
らは従来例の構成と同じである。３はホルダー、４はホ
ルダーのつめ、５はＨｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザーの
照射部、６は受光部、８は噴射口開閉センサー、９はモ
ーターを表す。ホルダー３は、ペリクル１の装着された
マスク２を載せ、時計回りに回転する。ホルダー３のつ
め４は、マスク２が回転時に、はずれないようにささえ
るものである。また、ホルダー３の下部は、ホルダー３
とホルダー３に載せたマスク２のペリクル１が接触しな
いように離れている。Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒのレーザ
ー照射部５は、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザー光をペ
リクル１上に照射する。レーザー光は回転しているペリ
クル１の中心部から周辺部へとペリクル１との角度を一
定に保ちながら走査する。ペリクル１が回転しているの
で、レーザーの走査する距離がペリクル１の中心部から
周辺部までと短時間でペリクル１全体の異物検査ができ
る。受光部６は、ペリクル１上に照射されたＨｅ−Ｎｅ
あるいはＡｒレーザ光の散乱光を受光する部分で、受光
した散乱光によりペリクル１上のパーティクルの有無を
判断する。すなわちペリクル１上にパーティクルがなけ
れば、受光部６が受光する光は規則的であり、パーティ
クルがあれば、光は不規則になる。受光部６の判断した
結果は電気信号に変えられ、噴射口開閉センサー８へ送
られる。Ｎ2ガン７は、ペリクル１上のパーティクルを
Ｎ2の噴射によって除去するはたらきを持つ。噴射部に
は、噴射口開閉センサー８を持ち、受光部がパーティク
ルのあることを判断すると同時に噴射口開閉センサー８
がはたらき、Ｎ2が噴射される。また、Ｎ2ガン７は、受
光部が判断したパーティクルをすぐに除去できるように
ペリクルのＮ2被噴射部とレーザ光被照射部のペリクル
中心部からの距離が同じであるように動作する。モータ
ー９はホルダーの下に取り付けられており、ホルダー３
を時計回りに回転させるはたらきを持つ。
【００１２】以上のように構成されたパーティクル除去
装置について、以下その動作を説明する。
装置について、以下その動作を説明する。
【００１３】まず、ペリクル１を装着済みのマスク２は
ホルダー３に載せられ、モーター９のはたらきで回転す
る。Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザー照射部５は、回転
しているペリクル１上にレーザー光を照射する。レーザ
ー光は、ペリクル１の中心部から周辺部へかつペリクル
１との一定の角度を保ちながら走査する。ペリクル１上
のパーティクルはレーザー光によって散乱し、その散乱
光を受光部６が受光する。パーティクルの有無は受光し
たパーティクルの散乱光の強さで判断され、受光部６は
判断したパーティクルの有無を電気信号に変え、噴射口
開閉センサー８へ情報を送る。受光部６から送られてき
た情報により、噴射口開閉センサー８がはたらき、Ｎ2
ガン７からＮ2が噴射される。ペリクル１のＮ2被噴射部
と、レーザー光被照射部のペリクル１の中心部からの距
離が、同じであるため受光部６はパーティクルがペリク
ル１上にあると判断すると同時に、Ｎ2ガン７によって
パーティクルが除去される。
ホルダー３に載せられ、モーター９のはたらきで回転す
る。Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザー照射部５は、回転
しているペリクル１上にレーザー光を照射する。レーザ
ー光は、ペリクル１の中心部から周辺部へかつペリクル
１との一定の角度を保ちながら走査する。ペリクル１上
のパーティクルはレーザー光によって散乱し、その散乱
光を受光部６が受光する。パーティクルの有無は受光し
たパーティクルの散乱光の強さで判断され、受光部６は
判断したパーティクルの有無を電気信号に変え、噴射口
開閉センサー８へ情報を送る。受光部６から送られてき
た情報により、噴射口開閉センサー８がはたらき、Ｎ2
ガン７からＮ2が噴射される。ペリクル１のＮ2被噴射部
と、レーザー光被照射部のペリクル１の中心部からの距
離が、同じであるため受光部６はパーティクルがペリク
ル１上にあると判断すると同時に、Ｎ2ガン７によって
パーティクルが除去される。
【００１４】以上のように本実施例によれば、マスク２
を載せているホルダー３をモーター９で回転させなが
ら、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザーをペリクル１上に
照射しているので、短時間でペリクル１の異物検査がで
きる。また同時に検出されたパーティクルはＮ2ガン７
によって噴射され、取り除かれるので、確実なパーティ
クル除去が行われる。
を載せているホルダー３をモーター９で回転させなが
ら、Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザーをペリクル１上に
照射しているので、短時間でペリクル１の異物検査がで
きる。また同時に検出されたパーティクルはＮ2ガン７
によって噴射され、取り除かれるので、確実なパーティ
クル除去が行われる。
【００１５】なお、上記実施例では、ペリクルの装着さ
れたマスクの場合について述べたが、マスクブランク
ス、パターンつきのマスクについても同様のことがいえ
る。
れたマスクの場合について述べたが、マスクブランク
ス、パターンつきのマスクについても同様のことがいえ
る。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、同チャンバー内でホルダーを
回転させる方式を用いた異物検査を行うと同時に、異物
検査で検出したパーティクルをＮ2ガン７で噴射するこ
とにより、確実なパーティクル除去ができる優れたパー
ティクル除去装置を実現できるものである。
回転させる方式を用いた異物検査を行うと同時に、異物
検査で検出したパーティクルをＮ2ガン７で噴射するこ
とにより、確実なパーティクル除去ができる優れたパー
ティクル除去装置を実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例におけるパーティクル除去装
置を示す外観図
置を示す外観図
【図２】従来のパーティクル除去装置の外観斜視図
１ ペリクル ２ マスク ３ ホルダー ４ つめ ５ Ｈｅ−ＮｅあるいはＡｒレーザー照射部 ６ 受光部 ７ Ｎ2ガン ８ 噴射口開閉センサー ９ モーター
Claims (1)
- 【請求項１】ペリクルを装着したマスクと、前記マスク
を載せるホルダーと、前記ホルダー上に載せた前記マス
クの前記ペリクル上を走査させるＨｅ−ＮｅあるいはＡ
ｒレーザー照射部と、前記照射部からペリクル上に照射
されたレーザーの散乱光を受光する受光部と、前記受光
部からパーティクルの有無の情報が送られる噴射口開閉
センサーと、前記噴射口開閉センサーによってＮ2ガス
を噴射することを特徴とするパーティクル除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16877892A JPH0613362A (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | パーティクル除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16877892A JPH0613362A (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | パーティクル除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613362A true JPH0613362A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15874296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16877892A Pending JPH0613362A (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | パーティクル除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613362A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6674202B2 (en) | 1999-01-29 | 2004-01-06 | Tokyo Parts Industrial Co., Ltd. | Eccentric commutator for vibrator motor |
| KR100576813B1 (ko) * | 1999-10-12 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 노광 공정용 레티클의 먼지 제거 장치 |
-
1992
- 1992-06-26 JP JP16877892A patent/JPH0613362A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6674202B2 (en) | 1999-01-29 | 2004-01-06 | Tokyo Parts Industrial Co., Ltd. | Eccentric commutator for vibrator motor |
| KR100576813B1 (ko) * | 1999-10-12 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 노광 공정용 레티클의 먼지 제거 장치 |
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