JPH06129907A - ２次元像分光装置 - Google Patents
２次元像分光装置Info
- Publication number
- JPH06129907A JPH06129907A JP27833092A JP27833092A JPH06129907A JP H06129907 A JPH06129907 A JP H06129907A JP 27833092 A JP27833092 A JP 27833092A JP 27833092 A JP27833092 A JP 27833092A JP H06129907 A JPH06129907 A JP H06129907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dimensional image
- mirror
- slit
- image
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】分光器に係り、小形軽量で且つ波長選択が任意
で連続的な２次元像分光装置であり、同時に分光スペク
トルが監視できること。 【構成】入射スリット１０，平面鏡１５，コリメータ２
０，３０，平面回折格子２５とからなツェルニ・ターナ
型分光器と、平面鏡３５，出射スリット４０と、光電素
子配列５０とからなり、出射スリットの後には、平面鏡
６５，球凹面鏡７０からなる結像系とからなっている。 【効果】小形軽量の零分散分光器を用いる事により、同
一光軸，同一方向入出射性と、任意波長連続選択性，分
解幅可変機能を有し、更に、連続波長走査による分光ス
ペクトルの常時観測機能を持たせることができる。
で連続的な２次元像分光装置であり、同時に分光スペク
トルが監視できること。 【構成】入射スリット１０，平面鏡１５，コリメータ２
０，３０，平面回折格子２５とからなツェルニ・ターナ
型分光器と、平面鏡３５，出射スリット４０と、光電素
子配列５０とからなり、出射スリットの後には、平面鏡
６５，球凹面鏡７０からなる結像系とからなっている。 【効果】小形軽量の零分散分光器を用いる事により、同
一光軸，同一方向入出射性と、任意波長連続選択性，分
解幅可変機能を有し、更に、連続波長走査による分光ス
ペクトルの常時観測機能を持たせることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、燃焼する火炎や、放電
プラズマを利用する産業において、それ等の雰囲気中の
各種の化学反応基，化学種などの空間分布を知る事によ
り、安定した処理工程が期待できる分野。特に、精錬
業，窯業，半導体素子製造業，燃焼やプラズマの研究分
野に関する。
プラズマを利用する産業において、それ等の雰囲気中の
各種の化学反応基，化学種などの空間分布を知る事によ
り、安定した処理工程が期待できる分野。特に、精錬
業，窯業，半導体素子製造業，燃焼やプラズマの研究分
野に関する。
【０００２】
【従来の技術】２次元像分光装置としては、零分散型分
光器を利用した「特開平1−314927 号」や、光学フィルタ
を用いた「特開平3−197845 号」が知られている。前者
は紫外可視域の任意の波長を連続的に選択可能である
が、装置が大型で比較的高価である。
光器を利用した「特開平1−314927 号」や、光学フィルタ
を用いた「特開平3−197845 号」が知られている。前者
は紫外可視域の任意の波長を連続的に選択可能である
が、装置が大型で比較的高価である。
【０００３】それに対して後者は小型軽量であるが、透
過波長は本質的に固定で、波長分解能も分光器方式には
全く及ばない。更に、前者は内蔵する分光器を利用し
て、分光スペクトルを測定することができる「特開平2
−165022 号」が、後者では多数の光学フィルターを用
意したとしても極めて困難である。
過波長は本質的に固定で、波長分解能も分光器方式には
全く及ばない。更に、前者は内蔵する分光器を利用し
て、分光スペクトルを測定することができる「特開平2
−165022 号」が、後者では多数の光学フィルターを用
意したとしても極めて困難である。
【０００４】一方、分光器と光電素子配列を用いた光学
多チャンネル分析装置（ＯＭＡ）が知られており、特に
光ファイバによる光導入方式のものは、光通信その他の
分野で実用されている。
多チャンネル分析装置（ＯＭＡ）が知られており、特に
光ファイバによる光導入方式のものは、光通信その他の
分野で実用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】出射スリットの共役面
に光電素子配列を置き、出射スリットを通過しない分散
光を電子的に走査すると共に、入射スリットに導入する
光が光軸に平行な成分と、入射スリットに集光する成分
を持つ２重焦点光学系を用いる方法が考えられる。
に光電素子配列を置き、出射スリットを通過しない分散
光を電子的に走査すると共に、入射スリットに導入する
光が光軸に平行な成分と、入射スリットに集光する成分
を持つ２重焦点光学系を用いる方法が考えられる。
【０００６】しかしこの場合、入射スリット位置で光軸
に平行な成分による２次元像と、集光成分による分光ス
ペクトルとが同時に観測されるが、入射スリット集光成
分は２次元結像面では平行光束となり、２次元像を一様
に照らし低照度部分を持ち上げ可視度を低下させる。そ
のため、２次元像の可視度を低下させずに、同時に分光
スペクトルを測定する方法を用いなければならない。
に平行な成分による２次元像と、集光成分による分光ス
ペクトルとが同時に観測されるが、入射スリット集光成
分は２次元結像面では平行光束となり、２次元像を一様
に照らし低照度部分を持ち上げ可視度を低下させる。そ
のため、２次元像の可視度を低下させずに、同時に分光
スペクトルを測定する方法を用いなければならない。
【０００７】この解決法として、入射スリット平行光束
と集光光束とを交互に切替て、同時に両成分を受光しな
い様にすることができるが、これには通常光セクタ等の
機械的可動手段が必要となる上、真の意味での同時観測
とは云えない。
と集光光束とを交互に切替て、同時に両成分を受光しな
い様にすることができるが、これには通常光セクタ等の
機械的可動手段が必要となる上、真の意味での同時観測
とは云えない。
【０００８】本発明の目的は、像観測と同時に分光スペ
クトルを測定可能な２次元像分光装置を提供するにあ
る。
クトルを測定可能な２次元像分光装置を提供するにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来２次元像
分光装置に新たな分光器を追加することなく、小型軽量
で且つ波長選択が任意で連続的であり、観測対象の分光
スペクトルを常時監視できる様にする。
分光装置に新たな分光器を追加することなく、小型軽量
で且つ波長選択が任意で連続的であり、観測対象の分光
スペクトルを常時監視できる様にする。
【００１０】
【作用】平面回折格子を用いた分光器として、ツェルニ
・ターナ型を考える。この分光器を用いて２次元像を分
光するには、観測対象からの光を入射スリットに平行光
束で通過させ、回折格子の仮想平面上に結像する。この
結果、出射スリットでは再び平行光束となり、ここから
取り出された光が回折格子の法線となす回折角に対応す
る波長の光成分になる。従って、出射スリットの後に置
かれえた結像光学系により、分光された光からなる２次
元の実像が得られる。
・ターナ型を考える。この分光器を用いて２次元像を分
光するには、観測対象からの光を入射スリットに平行光
束で通過させ、回折格子の仮想平面上に結像する。この
結果、出射スリットでは再び平行光束となり、ここから
取り出された光が回折格子の法線となす回折角に対応す
る波長の光成分になる。従って、出射スリットの後に置
かれえた結像光学系により、分光された光からなる２次
元の実像が得られる。
【００１１】一方、分光スペクトルは、出射スリット面
上の分散光を検出すればよい。観測対象からの光を平行
光束で入射スリットを通過させると、出射スリット面上
でも波長成分毎の平行光束となるが、入出射スリットを
２個のコリメータの共役焦点に配置すれば、入射スリッ
ト像の、波長により結像位置が異なるいわゆる分散像が
得られるから、この位置に１次元の光電素子配列を置け
ばよい。
上の分散光を検出すればよい。観測対象からの光を平行
光束で入射スリットを通過させると、出射スリット面上
でも波長成分毎の平行光束となるが、入出射スリットを
２個のコリメータの共役焦点に配置すれば、入射スリッ
ト像の、波長により結像位置が異なるいわゆる分散像が
得られるから、この位置に１次元の光電素子配列を置け
ばよい。
【００１２】
【実施例】図１において、入射平行光束１は入射スリッ
ト１０に入射し、偏向平面鏡１５でコリメート凹面鏡
（以下コリメータと略す）２０に向い、平面回折格子２
５の仮想平面上に結像する。格子２５で回折された光束
の一部２６は、コリメータ３０で平行光束となり、第２
の偏向平面鏡３５で出射スリット４０に向かう。スリッ
ト４０を出た光束４１は、折返し平面鏡６５，結像球面
鏡７０を経て、結像面７２に２次元像を結像する。一
方、平面鏡３５に当らない長波長光３６は、コリメータ
３０の焦点面に置かれた光電素子配列５０に入射する。
ト１０に入射し、偏向平面鏡１５でコリメート凹面鏡
（以下コリメータと略す）２０に向い、平面回折格子２
５の仮想平面上に結像する。格子２５で回折された光束
の一部２６は、コリメータ３０で平行光束となり、第２
の偏向平面鏡３５で出射スリット４０に向かう。スリッ
ト４０を出た光束４１は、折返し平面鏡６５，結像球面
鏡７０を経て、結像面７２に２次元像を結像する。一
方、平面鏡３５に当らない長波長光３６は、コリメータ
３０の焦点面に置かれた光電素子配列５０に入射する。
【００１３】ここで、平面鏡１５は同一方向入出射のた
めの偏向用であり、図２の様に省略することはできる
が、入射平行光束はほぼ直角（下より上に向かう）にな
る。又、平面鏡３５を省略すると２次元像の位置は下方
になるが、今度は光電素子配列５０に偏向するための、
やや大型の平面鏡４５が必要になる。これは、２次元像
の波長と、分光スペクトルの開始波長との差を小さくす
るため光路を分離させるもので、平面鏡の大きさや２次
元像の出力方向を考えると、図１の平面鏡３５を用いる
構成が良いといえる。
めの偏向用であり、図２の様に省略することはできる
が、入射平行光束はほぼ直角（下より上に向かう）にな
る。又、平面鏡３５を省略すると２次元像の位置は下方
になるが、今度は光電素子配列５０に偏向するための、
やや大型の平面鏡４５が必要になる。これは、２次元像
の波長と、分光スペクトルの開始波長との差を小さくす
るため光路を分離させるもので、平面鏡の大きさや２次
元像の出力方向を考えると、図１の平面鏡３５を用いる
構成が良いといえる。
【００１４】図３は図１，図２に用いる光電素子配列５
０の例で、絶縁筐体５１は石英窓５４で封止してあり、
その内部に半導体光電素子群５３と、その受光表面に形
成された微小レンズ群５２がある。
０の例で、絶縁筐体５１は石英窓５４で封止してあり、
その内部に半導体光電素子群５３と、その受光表面に形
成された微小レンズ群５２がある。
【００１５】図４はその部分の拡大で、光強度の弱い平
行光束５９を各素子の有効受光面５６に集光する。この
微小レンズ群は、図示の様に円筒形であればシリコン酸
化膜の光蝕刻で、図示しない屈折率分布型であればイオ
ン打ち込み等、現今の半導体製造技術の応用で容易に実
現できる。
行光束５９を各素子の有効受光面５６に集光する。この
微小レンズ群は、図示の様に円筒形であればシリコン酸
化膜の光蝕刻で、図示しない屈折率分布型であればイオ
ン打ち込み等、現今の半導体製造技術の応用で容易に実
現できる。
【００１６】図５は、ツェルニ・ターナ型の平面回折格
子分光器を零分散とするため、分光するための第１分光
器の上に第２分光器を重ねたもので、回折格子２５，８
５は一体として回動８９する。水平に置かれた出射スリ
ット４０と、該スリットの上下に水平に対し４５度に置
かれた２枚の偏向平面鏡３５，４５により、分散成分を
含む分光光束は、第１分光器の格子２５の回折角と同じ
角度で第２分光器の格子８５に入射する。このため、第
３，第４のコリメータ８０，９０がコリメータ３０，２
０の直上に配置されている。回折格子２５，８５は同一
の格子定数であるから、格子８５の出射角は格子２５の
入射角に等しく、この出射光束は元の白色光線と同様に
波長分散成分が全く無い。この２個の回折格子は、単一
の細長い回折格子の下部２５と上部８５である方が、光
学調整などで有利である。
子分光器を零分散とするため、分光するための第１分光
器の上に第２分光器を重ねたもので、回折格子２５，８
５は一体として回動８９する。水平に置かれた出射スリ
ット４０と、該スリットの上下に水平に対し４５度に置
かれた２枚の偏向平面鏡３５，４５により、分散成分を
含む分光光束は、第１分光器の格子２５の回折角と同じ
角度で第２分光器の格子８５に入射する。このため、第
３，第４のコリメータ８０，９０がコリメータ３０，２
０の直上に配置されている。回折格子２５，８５は同一
の格子定数であるから、格子８５の出射角は格子２５の
入射角に等しく、この出射光束は元の白色光線と同様に
波長分散成分が全く無い。この２個の回折格子は、単一
の細長い回折格子の下部２５と上部８５である方が、光
学調整などで有利である。
【００１７】入射スリットの前の集光光学系には、平面
鏡１１５と球凹面鏡１１０を用いて、レンズを使用した
時に問題となる色収差を除去している。又、結像光学系
の球凹面鏡７０の結像面にはイメージ増強管１００の光
電面１０２が位置し、その後に図示していないリレー・
レンズを介して、２次元像検出用の固体カメラが設置さ
れる。
鏡１１５と球凹面鏡１１０を用いて、レンズを使用した
時に問題となる色収差を除去している。又、結像光学系
の球凹面鏡７０の結像面にはイメージ増強管１００の光
電面１０２が位置し、その後に図示していないリレー・
レンズを介して、２次元像検出用の固体カメラが設置さ
れる。
【００１８】図６は、零分散ツェルニ・ターナ型分光器
の入力部に光ファイバを用いた例で、測定対象が狭い窓
からしか見られない場合に効果がある。光ファイバ１２
０から導入された光は、凹球面鏡１１０，偏向平面鏡１
１５を介して入射スリット１０に平行光束を入射するも
ので、他の機能は図５と同じである。
の入力部に光ファイバを用いた例で、測定対象が狭い窓
からしか見られない場合に効果がある。光ファイバ１２
０から導入された光は、凹球面鏡１１０，偏向平面鏡１
１５を介して入射スリット１０に平行光束を入射するも
ので、他の機能は図５と同じである。
【００１９】図７は、図５と同様の零分散ツェルニ・タ
ーナ型分光器を用いた２次元像分光装置の斜視図で、同
一方向同軸入出射を達成している。又、図５と同一部品
には同一番号を付している。
ーナ型分光器を用いた２次元像分光装置の斜視図で、同
一方向同軸入出射を達成している。又、図５と同一部品
には同一番号を付している。
【００２０】図８は、機械的に光路を切替るセクタ鏡１
２５，１３５を用いて、入射スリットに平行光束と集光
光束とを交互に入射させるもので、出射スリット４０の
前のセクタ鏡１４５により、光電素子配列５０と出射ス
リット４０へ向かう光を切替る。この場合は２次元分光
像の波長を中心に含めた分光スペクトルを測定すること
ができる。ここで、観測対象５からの導入光は、凹球面
鏡１１０，１４０により平行化され、セクタ鏡１２５で
偏向した光は、凹球面鏡１３０により入射スリット上に
焦点を結ぶ。この時は、第２のセクタ鏡１３５が光路中
に入り、通常の分光を行うことになる。
２５，１３５を用いて、入射スリットに平行光束と集光
光束とを交互に入射させるもので、出射スリット４０の
前のセクタ鏡１４５により、光電素子配列５０と出射ス
リット４０へ向かう光を切替る。この場合は２次元分光
像の波長を中心に含めた分光スペクトルを測定すること
ができる。ここで、観測対象５からの導入光は、凹球面
鏡１１０，１４０により平行化され、セクタ鏡１２５で
偏向した光は、凹球面鏡１３０により入射スリット上に
焦点を結ぶ。この時は、第２のセクタ鏡１３５が光路中
に入り、通常の分光を行うことになる。
【００２１】この方式によれば、３か所の可動部が新た
に追加され、装置全体も約２倍と大きくなるが、３個の
セクタ鏡の位相を合わせた状態で、２次元像モード（図
７の実線位置），分光スペクトル・モード（破線），交
互モード（準同時観測）が切替えられる。
に追加され、装置全体も約２倍と大きくなるが、３個の
セクタ鏡の位相を合わせた状態で、２次元像モード（図
７の実線位置），分光スペクトル・モード（破線），交
互モード（準同時観測）が切替えられる。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、２次元像分光と同時に
その近傍の分光スペクトルが監視できるから、被測定対
象の発光波長が判っていない時の中心波長の確認や、測
定波長以外の干渉発光線の確認が極めて容易になる。ま
た、小形軽量の零分散分光器を用いる事により、同一光
軸，同一方向入出射性と、任意波長連続選択性，分解幅
可変機能などを有しながら、従来の光学フィルタ同様の
使い勝手の良好な２次元像分光手段を得る事ができる。
その近傍の分光スペクトルが監視できるから、被測定対
象の発光波長が判っていない時の中心波長の確認や、測
定波長以外の干渉発光線の確認が極めて容易になる。ま
た、小形軽量の零分散分光器を用いる事により、同一光
軸，同一方向入出射性と、任意波長連続選択性，分解幅
可変機能などを有しながら、従来の光学フィルタ同様の
使い勝手の良好な２次元像分光手段を得る事ができる。
【００２３】更に、セクタ鏡を用いる方式では、各セク
タ鏡の位相を合わせた状態で、２次元像モード，分光ス
ペクトル・モード，交互モード（準同時観測）が切替え
られるので、観測対象に応じ適宜モードを選択して、最
良の測定表示が可能になる。
タ鏡の位相を合わせた状態で、２次元像モード，分光ス
ペクトル・モード，交互モード（準同時観測）が切替え
られるので、観測対象に応じ適宜モードを選択して、最
良の測定表示が可能になる。
【図１】本発明の主たる一実施例の構成図である。
【図２】変形例を示す図である。
【図３】光電素子配列の改良例を示す図である。
【図４】光電素子配列の改良例を示す図である。
【図５】本発明の零分散型における実施例の光学系統図
である。
である。
【図６】光ファイバ導入の例を示す図である。
【図７】図５の変形光学系の斜視図である。
【図８】本発明の別の実施例を示す図である。
１０，４０…入出射スリット、１５，３５，４５，５
５，６５，１１５…偏向平面鏡、２０，３０，８０，９
０…コリメート凹面鏡、２５，８５…平面回折格子、５
０…光電素子配列、７０，１１０…球凹面鏡、１００…
イメージ増強管、１２０…光ファイバ、１２５，１３
５，１４５…セクタ鏡、１３２，１３４，１３８…駆動
モータ。
５，６５，１１５…偏向平面鏡、２０，３０，８０，９
０…コリメート凹面鏡、２５，８５…平面回折格子、５
０…光電素子配列、７０，１１０…球凹面鏡、１００…
イメージ増強管、１２０…光ファイバ、１２５，１３
５，１４５…セクタ鏡、１３２，１３４，１３８…駆動
モータ。
Claims (7)
- 【請求項１】平面回折格子を用いた分光器において、入
射スリットの前に配置された集光手段と、出射スリット
の後に配置された結像手段と、前記入出射スリットの間
に第１のコリメート凹面鏡と、格子の刻線溝に平行な軸
のまわりに回動可能な平面回折格子と、第２のコリメー
タ凹面鏡を有し、第２のコリメート凹面鏡からの光の一
部を前記出射スリットに偏向するための平面鏡と、前記
第２のコリメータ平面鏡の焦点面上に置かれた光電素子
配列とからなり、前記集光手段が観測対象からの光を前
記入射スリットに平行光束として導入することにより、
前記結像手段が分光された２次元像を形成すると共に、
前記光電素子配列では分光スペクトルを同時に測定可能
なことを特徴とする２次元像分光装置。 - 【請求項２】平面回折格子を用いた分光器において、入
射スリットの前に配置された集光手段と、出射スリット
の後に配置された結像手段と、前記入出射スリットの間
に第１のコリメート凹面鏡と、格子の刻線溝に平行な軸
のまわりに回動可能な平面回折格子と、第２のコリメー
ト凹面鏡を有し、該コリメート凹面鏡からの光の一部を
前記出射スリットに導くと共に、残りを偏向する平面鏡
と、前記第２のコリメート凹面鏡の焦点面上に置かれた
光電素子配列とからなり、前記集光手段が観測対象から
の光を前記入射スリット上に平行光束として導入するこ
とにより、前記結像手段が分光された２次元像を形成す
ると共に、前記光電素子配列では分光スペクトルを同時
に測定可能なことを特徴とする２次元像分光装置。 - 【請求項３】平面回折格子を用いた分光器において、集
光光学系の第１の凹球面鏡に前置する第１のセクタ鏡
と、入射スリットに前置する第２のセクタ鏡と、第２，
第３の凹球面鏡と、第１及び第２のコリメート凹面鏡
と、該コリメート凹面鏡に対向配置された平面回折格子
と、前記第２のコリメート凹面鏡に後置された第３のセ
クタ鏡と光電素子配列と、出射スリットと、該スリット
に後置された結像光学系とからなり、前記３個のセクタ
鏡の同期回転により、第１，第２のセクタ鏡が光路に入
らず第３のセクタ鏡が光路に入る時に２次元像を検出
し、逆に第１，第２のセクタ鏡が光路に入り第３のセク
タ鏡が光路に入らない時に分光スペクトルを検出すると
ころの、分光スペクトルが同時に測定可能なことを特徴
とする２次元像分光装置。 - 【請求項４】請求項１又は３記載の２次元像分光装置に
おいて、上記結像手段の後に２次元分光像を増強するた
めのイメージ増強管と、該イメージ増強管の出力像を固
体撮像素子に結像するための手段と、固体撮像素子カメ
ラを有するところの、分光スペクトルが同時に測定可能
なことを特徴とする２次元像分光装置。 - 【請求項５】請求項１ないし４のいずれか１項に記載の
２次元像分光装置において、入射スリットに平行光束を
導入する集光光学系が、光ファイバーを用いた導入光学
系を含む分光スペクトルが同時に測定可能なことを特徴
とする２次元像分光装置。 - 【請求項６】請求項１ないし５のいずれか１項に記載の
２次元像分光装置において、分光スペクトルを検出する
ための光電素子配列が、その受光面に集光用の微小レン
ズ配列（レンチキュラ・レンズ）を有する分光スペクト
ルが同時に測定可能なことを特徴とする２次元像分光装
置。 - 【請求項７】請求項１ないし６のいずれか１項に記載の
平面回折格子を用いた分光器において、平面回折格子を
格子溝に平行な軸のまわりに、手動又はモータ駆動によ
り回動することにより、２次元像の観測波長を連続的に
選択すると共に、像観測波長付近の分光スペクトルを常
時測定表示することが可能なことを特徴とする２次元像
分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27833092A JPH06129907A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | ２次元像分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27833092A JPH06129907A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | ２次元像分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129907A true JPH06129907A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17595830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27833092A Pending JPH06129907A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | ２次元像分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129907A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005337793A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Olympus Corp | 分光画像入力装置及びそれを備えた光学装置 |
| JP2008510964A (ja) * | 2004-08-19 | 2008-04-10 | ヘッドウォール フォトニクス，インコーポレイテッド | マルチチャネル、マルチスペクトル型撮像分光計 |
| JP2009222727A (ja) * | 2009-07-07 | 2009-10-01 | Canon Inc | 分光器 |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP27833092A patent/JPH06129907A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005337793A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Olympus Corp | 分光画像入力装置及びそれを備えた光学装置 |
| JP2008510964A (ja) * | 2004-08-19 | 2008-04-10 | ヘッドウォール フォトニクス，インコーポレイテッド | マルチチャネル、マルチスペクトル型撮像分光計 |
| JP2009222727A (ja) * | 2009-07-07 | 2009-10-01 | Canon Inc | 分光器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2282416C (en) | Light sensing device | |
| US8922783B2 (en) | Multiband spatial heterodyne spectrometer and associated methods | |
| JP2834954B2 (ja) | 分光装置 | |
| JP2859159B2 (ja) | 薄層構造体の表面層の局限区域の形態と厚さを原位置実時間観測する方法と装置 | |
| EP0413939B1 (en) | Improved grating spectrometer | |
| CN107923793B (zh) | 小型光谱仪和光谱方法 | |
| WO2012070314A1 (ja) | 顕微鏡用分光分析装置、光軸ズレ補正装置、分光装置とそれを用いた顕微鏡 | |
| US8189191B2 (en) | Spectroscopic imaging microscopy | |
| JPS591971B2 (ja) | ブンコウコウドケイ | |
| EP0118504B1 (en) | Image monochromator | |
| US4630925A (en) | Compact temporal spectral photometer | |
| JP5170582B2 (ja) | 顕微鏡用分光分析装置 | |
| JP2000171300A (ja) | 半導体ラインセンサ又は光電子倍増器を備えた二重格子―同時分光計 | |
| US2975669A (en) | Crossed dispersion photographic spectrometer | |
| JP5429698B2 (ja) | 顕微鏡用分光分析装置及び顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法 | |
| JPH06129907A (ja) | ２次元像分光装置 | |
| US4391523A (en) | Scannable detector system for echelle grating spectrometers | |
| JPH07128146A (ja) | 分光計 | |
| JPH01188816A (ja) | 分光型走査顕微鏡 | |
| EP0425882B1 (en) | Infrared microscopic spectrometer | |
| JP3130920B2 (ja) | ２重単色光分光器 | |
| JPH01314927A (ja) | ２次元像分光装置 | |
| CN101467089A (zh) | 具有多个快门元件的成像装置 | |
| JPH0558212B2 (ja) | ||
| JPS61120023A (ja) | 分光光度計 |