JPH06126299A - 逆浸透装置を組込んだ水処理装置 - Google Patents
逆浸透装置を組込んだ水処理装置Info
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- JPH06126299A JPH06126299A JP4279054A JP27905492A JPH06126299A JP H06126299 A JPH06126299 A JP H06126299A JP 4279054 A JP4279054 A JP 4279054A JP 27905492 A JP27905492 A JP 27905492A JP H06126299 A JPH06126299 A JP H06126299A
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 逆浸透膜の寿命の延長を図り、脱酸素装置の
小型化や排気量の減少を図る。 【構成】 逆浸透装置を組込んだ水処理装置を被処理水
の処理径路上流側から活性炭濾過器２、脱酸素装置３、
逆浸透装置４の順序で構成する。
小型化や排気量の減少を図る。 【構成】 逆浸透装置を組込んだ水処理装置を被処理水
の処理径路上流側から活性炭濾過器２、脱酸素装置３、
逆浸透装置４の順序で構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は純水を大量に消費する半
導体製造産業、液晶ディスプレイ製造産業等の純水の製
造等に適した水処理装置に関する。
導体製造産業、液晶ディスプレイ製造産業等の純水の製
造等に適した水処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】逆浸透装置を用いて純水を製造するシス
テムには、従来いわゆる前段ＲＯ（逆浸透）方式といわ
れるものとして、前処理装置、ＲＯ装置、イオン交換装
置の順に通水するシステムがある。このシステムではＲ
Ｏ装置の前段には前処理装置として凝集沈澱あるいは凝
集濾過装置及び活性炭濾過器等が設置されている。
テムには、従来いわゆる前段ＲＯ（逆浸透）方式といわ
れるものとして、前処理装置、ＲＯ装置、イオン交換装
置の順に通水するシステムがある。このシステムではＲ
Ｏ装置の前段には前処理装置として凝集沈澱あるいは凝
集濾過装置及び活性炭濾過器等が設置されている。
【０００３】上記システムにおいては、ＲＯ装置へ供給
される水には酸素や生菌が多量に含まれており、そのた
めＲＯ膜が溶存酸素によって酸化されて劣化したり、あ
るいは生菌によるＲＯ膜の微生物汚染が生じたりするの
で、ＲＯ膜は一般に３年に１回の割合で全交換する必要
があり、交換費用が嵩むと共に保守が煩雑な問題があ
る。
される水には酸素や生菌が多量に含まれており、そのた
めＲＯ膜が溶存酸素によって酸化されて劣化したり、あ
るいは生菌によるＲＯ膜の微生物汚染が生じたりするの
で、ＲＯ膜は一般に３年に１回の割合で全交換する必要
があり、交換費用が嵩むと共に保守が煩雑な問題があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は上記問題を
解決するために種々検討した結果、意外にも活性炭が溶
存酸素の除去に有効であること、更に活性炭濾過器と脱
酸素装置とを組合せると効率良く被処理水の溶存酸素を
除去できることを知得して本発明を完成するに至ったも
ので、その目的とする所は、逆浸透装置供給水中の酸
素、有機物、生菌等を大幅に減少せしめ、それによって
逆浸透膜の交換率を減じせしめた水処理装置を提供する
ことにある。
解決するために種々検討した結果、意外にも活性炭が溶
存酸素の除去に有効であること、更に活性炭濾過器と脱
酸素装置とを組合せると効率良く被処理水の溶存酸素を
除去できることを知得して本発明を完成するに至ったも
ので、その目的とする所は、逆浸透装置供給水中の酸
素、有機物、生菌等を大幅に減少せしめ、それによって
逆浸透膜の交換率を減じせしめた水処理装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、少なくとも逆浸透装置を組込んだ水処理装
置において、前記組込んだ逆浸透装置の前段に脱酸素装
置を、更に前記脱酸素装置の前段に活性炭濾過器を順次
設けるもので、活性炭濾過器と、脱酸素装置と、逆浸透
装置と、及びこれらを連結する被処理水流路を気密に形
成すること、及び脱酸素装置が真空脱気装置、膜脱気装
置、パラジウム触媒を用いた脱酸素装置及び窒素曝気装
置からなる群より選ばれる少なくとも１以上の装置であ
ることを含む。
に本発明は、少なくとも逆浸透装置を組込んだ水処理装
置において、前記組込んだ逆浸透装置の前段に脱酸素装
置を、更に前記脱酸素装置の前段に活性炭濾過器を順次
設けるもので、活性炭濾過器と、脱酸素装置と、逆浸透
装置と、及びこれらを連結する被処理水流路を気密に形
成すること、及び脱酸素装置が真空脱気装置、膜脱気装
置、パラジウム触媒を用いた脱酸素装置及び窒素曝気装
置からなる群より選ばれる少なくとも１以上の装置であ
ることを含む。
【０００６】
【作用】本発明においては活性炭濾過器と脱酸素装置と
を逆浸透装置の前段に設置して逆浸透装置へ供給する被
処理水の水質を改善しようとするものである。後述の実
施例で示すごとく、活性炭処理により、水中の溶存酸素
は確実に除去される。しかも、この現象は一時的なもの
ではなく長時間安定して維持される。したがって、活性
炭濾過器の後段に脱酸素装置を設置することにより、活
性炭濾過器がない場合に比べて脱酸素装置の規模を小さ
くすることができる。脱酸素装置によって水中の酸素が
除去されれば、水中の好気性の生菌の存在は少なくなり
逆浸透膜の微生物汚染が減少できる。又酸化力が酸素の
減少によって減少することにより、逆浸透膜の酸化劣化
が減少する。又揮発性有機物が除去されるため、有機物
（ＴＯＣ）が減少し、このため逆浸透膜の汚染が軽減で
き、これらの相乗的な効果の発揮によって逆浸透膜の寿
命の延長をはかれるものである。
を逆浸透装置の前段に設置して逆浸透装置へ供給する被
処理水の水質を改善しようとするものである。後述の実
施例で示すごとく、活性炭処理により、水中の溶存酸素
は確実に除去される。しかも、この現象は一時的なもの
ではなく長時間安定して維持される。したがって、活性
炭濾過器の後段に脱酸素装置を設置することにより、活
性炭濾過器がない場合に比べて脱酸素装置の規模を小さ
くすることができる。脱酸素装置によって水中の酸素が
除去されれば、水中の好気性の生菌の存在は少なくなり
逆浸透膜の微生物汚染が減少できる。又酸化力が酸素の
減少によって減少することにより、逆浸透膜の酸化劣化
が減少する。又揮発性有機物が除去されるため、有機物
（ＴＯＣ）が減少し、このため逆浸透膜の汚染が軽減で
き、これらの相乗的な効果の発揮によって逆浸透膜の寿
命の延長をはかれるものである。
【０００７】また、真空脱気装置、加熱脱気装置、膜脱
気装置、パラジウム触媒を用いた脱酸素装置、窒素曝気
装置などの脱酸素装置は水中の酸素を除去する手段であ
るが、その前段に活性炭濾過器を設置することによっ
て、活性炭の酸素除去能力を有効に使用でき、活性炭濾
過器が前段に無い場合にくらべてより合理的な設計をす
る事が出来る。例えば真空脱気装置の場合、その排気量
を大幅に減ずる事が出来る。
気装置、パラジウム触媒を用いた脱酸素装置、窒素曝気
装置などの脱酸素装置は水中の酸素を除去する手段であ
るが、その前段に活性炭濾過器を設置することによっ
て、活性炭の酸素除去能力を有効に使用でき、活性炭濾
過器が前段に無い場合にくらべてより合理的な設計をす
る事が出来る。例えば真空脱気装置の場合、その排気量
を大幅に減ずる事が出来る。
【０００８】尚このような作用は前処理装置、イオン交
換装置、ＲＯ装置の順に通水する、いわゆる後段ＲＯ装
置においても、同様の効果を得る事が出来る。
換装置、ＲＯ装置の順に通水する、いわゆる後段ＲＯ装
置においても、同様の効果を得る事が出来る。
【０００９】以下、本発明を図面を参照して詳細に説明
する。
する。
【００１０】図１は本発明の逆浸透装置を組込んだ水処
理装置の一実施態様を示すものである。
理装置の一実施態様を示すものである。
【００１１】図１中１は被処理水の貯留槽である。２は
活性炭濾過器（ＣＦ）、３は脱酸素装置、４は逆浸透装
置である。前記貯留槽１、活性炭濾過器２、脱酸素装置
３、及び逆浸透装置４の間はそれぞれ第１連結管５、第
２連結管６、第３連結管７で順次外気と接触することの
ないように気密に連結されて被処理水の流路が構成され
ている。なお、８，９はそれぞれ第１，第３の連結管
５，７に介装されたポンプである。
活性炭濾過器（ＣＦ）、３は脱酸素装置、４は逆浸透装
置である。前記貯留槽１、活性炭濾過器２、脱酸素装置
３、及び逆浸透装置４の間はそれぞれ第１連結管５、第
２連結管６、第３連結管７で順次外気と接触することの
ないように気密に連結されて被処理水の流路が構成され
ている。なお、８，９はそれぞれ第１，第３の連結管
５，７に介装されたポンプである。
【００１２】貯留槽１内の被処理水はポンプ８の作動に
よって第１連結管５を通って活性炭濾過器２の入口部２
ａに流入し、濾過器２内を通過する際に、内部に充填さ
れた活性炭により、溶存酸素及び有機物が除去される。
次いで、濾過器２の出口部２ｂから流出した被処理水は
第２連結管６を通って脱酸素装置３の入口部３ａに流入
し、脱酸素装置３を通過する際に残存する溶存酸素及び
揮発成分が除去される。次いで、出口部３ｂを流出した
被処理水はポンプ９によって所定の圧力で第３連結管７
内を送られ、逆浸透装置４の入口部４ａを通って逆浸透
装置４内に送られ、ここで逆浸透処理されて逆浸透膜を
透過した透過水と逆浸透膜を透過しなかった非透過水と
に分離される。
よって第１連結管５を通って活性炭濾過器２の入口部２
ａに流入し、濾過器２内を通過する際に、内部に充填さ
れた活性炭により、溶存酸素及び有機物が除去される。
次いで、濾過器２の出口部２ｂから流出した被処理水は
第２連結管６を通って脱酸素装置３の入口部３ａに流入
し、脱酸素装置３を通過する際に残存する溶存酸素及び
揮発成分が除去される。次いで、出口部３ｂを流出した
被処理水はポンプ９によって所定の圧力で第３連結管７
内を送られ、逆浸透装置４の入口部４ａを通って逆浸透
装置４内に送られ、ここで逆浸透処理されて逆浸透膜を
透過した透過水と逆浸透膜を透過しなかった非透過水と
に分離される。
【００１３】そして、逆浸透膜を透過して純度を高めら
れた透過水は、透過水出口部４ｂから外部に取り出さ
れ、一方、非透過水は非透過水出口部４ｃから排出され
る。ここで本発明を構成する活性炭濾過器２、脱酸素装
置３、逆浸透装置４、及びその他の装置は全て従来公知
のもので、適宜選択して使用される。その他、活性炭濾
過器２に充填する活性炭の種類、逆浸透膜の種類にも限
定はなく、本発明の目的に反しない限り任意に選択でき
るものである。更に、本実施態様においては活性炭濾過
器２、脱酸素装置３、逆浸透装置４を直接連結したが、
これに限られず、各装置２，３，４の間に、例えばイオ
ン交換装置等を介装しても良い。
れた透過水は、透過水出口部４ｂから外部に取り出さ
れ、一方、非透過水は非透過水出口部４ｃから排出され
る。ここで本発明を構成する活性炭濾過器２、脱酸素装
置３、逆浸透装置４、及びその他の装置は全て従来公知
のもので、適宜選択して使用される。その他、活性炭濾
過器２に充填する活性炭の種類、逆浸透膜の種類にも限
定はなく、本発明の目的に反しない限り任意に選択でき
るものである。更に、本実施態様においては活性炭濾過
器２、脱酸素装置３、逆浸透装置４を直接連結したが、
これに限られず、各装置２，３，４の間に、例えばイオ
ン交換装置等を介装しても良い。
【００１４】また、脱酸素装置としては各種のものが使
用でき、例えば真空脱気装置、膜脱気装置、パラジウム
触媒を用いた脱酸素装置、窒素曝気装置等が好ましく、
これらを単独で使用しても良いし、２以上を組合せて使
用してもよい。
用でき、例えば真空脱気装置、膜脱気装置、パラジウム
触媒を用いた脱酸素装置、窒素曝気装置等が好ましく、
これらを単独で使用しても良いし、２以上を組合せて使
用してもよい。
【００１５】
【実施例】図１に示す構成の水処理装置を用いて被処理
水として工水を処理した。処理条件は以下に示すもので
あった。 （１）工水水質（平均） 導電率 １５０μｓ／ｃｍ2 （２５℃） ＴＯＣ １５００ｐｐｂ 溶存酸素 ほぼ飽和 （２）活性炭濾過器（ＣＦ） 使用活性炭 ダイヤホープ００８（三菱化成
（株）製） 運転条件 通水ＳＶ ４ （３）脱酸素装置 装置 真空脱気装置 運転条件 真空度 ４０ｍｍＨｇ （４）逆浸透装置 使用逆浸透膜 東レ（株）製ＳＵ−７１０ 運転条件 回収率 ８０％ 運転圧力 １２ｋｇ／ｃｍ2 上記条件で約１年間連続処理を行った時の、図１の流路
上の各場所における代表的水質を表１に示した。
水として工水を処理した。処理条件は以下に示すもので
あった。 （１）工水水質（平均） 導電率 １５０μｓ／ｃｍ2 （２５℃） ＴＯＣ １５００ｐｐｂ 溶存酸素 ほぼ飽和 （２）活性炭濾過器（ＣＦ） 使用活性炭 ダイヤホープ００８（三菱化成
（株）製） 運転条件 通水ＳＶ ４ （３）脱酸素装置 装置 真空脱気装置 運転条件 真空度 ４０ｍｍＨｇ （４）逆浸透装置 使用逆浸透膜 東レ（株）製ＳＵ−７１０ 運転条件 回収率 ８０％ 運転圧力 １２ｋｇ／ｃｍ2 上記条件で約１年間連続処理を行った時の、図１の流路
上の各場所における代表的水質を表１に示した。
【００１６】
【表１】 表１に示すように、活性炭濾過器を被処理水が通過する
と、溶存酸素及びＴＯＣの値が大きく減少していた。こ
のため、後段の真空脱気装置の負荷が小さくてすみ、装
置の小型化が達成できた。
と、溶存酸素及びＴＯＣの値が大きく減少していた。こ
のため、後段の真空脱気装置の負荷が小さくてすみ、装
置の小型化が達成できた。
【００１７】また生菌数も脱気装置によって減少した。
このため、逆浸透膜の汚れが少なく、また溶存酸素が少
ないため長期運転における逆浸透膜の劣化も少なく、１
年後の膜の脱塩性能は、新品時の脱塩率が９９．５％
（但し、濃度１５００ｐｐｍのＮａＣｌ溶液に対する脱
塩率）であったのに対して、９９．１％にしか低下して
いなかった。
このため、逆浸透膜の汚れが少なく、また溶存酸素が少
ないため長期運転における逆浸透膜の劣化も少なく、１
年後の膜の脱塩性能は、新品時の脱塩率が９９．５％
（但し、濃度１５００ｐｐｍのＮａＣｌ溶液に対する脱
塩率）であったのに対して、９９．１％にしか低下して
いなかった。
【００１８】比較のために、活性炭濾過器を取り除いた
実施例１の装置を用いて実施例１と同じ条件で約１年間
運転を行ない、逆浸透膜の劣化を調べた。
実施例１の装置を用いて実施例１と同じ条件で約１年間
運転を行ない、逆浸透膜の劣化を調べた。
【００１９】その結果、１年後の膜の脱塩率は、新品時
９９．５％のものが、９８．０％に低下していた。
９９．５％のものが、９８．０％に低下していた。
【００２０】
【発明の効果】本発明においては、活性炭で被処理水中
の溶存酸素が除去されるので、例えば脱酸素装置の排気
量が小さくてすむ、あるいは装置スケールが減少する等
の利点がある。また、溶存酸素を充分除去できるので逆
浸透膜の劣化が少なく、更に生菌の付着による膜の汚染
の問題も少ない。
の溶存酸素が除去されるので、例えば脱酸素装置の排気
量が小さくてすむ、あるいは装置スケールが減少する等
の利点がある。また、溶存酸素を充分除去できるので逆
浸透膜の劣化が少なく、更に生菌の付着による膜の汚染
の問題も少ない。
【図１】本発明の一実施態様を示すブロック図である。
１ 貯留槽 ２ 活性炭濾過器 ３ 脱酸素装置 ４ 逆浸透装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】図１中１は被処理水の貯留槽である。２は
活性炭濾過器（ＣＦ）、３は脱酸素装置、４は逆浸透装
置である。前記貯留槽１、活性炭濾過器２、脱酸素装置
３、及び逆浸透装置４の間はそれぞれ第１連結管５、第
２連結管６、第３連結管７で順次大気と接触することの
ないように気密に連結されて被処理水の流路が構成され
ている。本発明で言う気密とは、大気中の酸素が系内の
水中に溶解することのないように、大気との接触を遮断
した状態を維持することを意味し、密閉構造にするこ
と、および上記連結管系路の途中に水槽が設置される場
合は、当該水槽を酸素不含気体でシールすることも含ま
れる。なお、８，９はそれぞれ第１，第３の連結管５，
７に介装されたポンプである。
活性炭濾過器（ＣＦ）、３は脱酸素装置、４は逆浸透装
置である。前記貯留槽１、活性炭濾過器２、脱酸素装置
３、及び逆浸透装置４の間はそれぞれ第１連結管５、第
２連結管６、第３連結管７で順次大気と接触することの
ないように気密に連結されて被処理水の流路が構成され
ている。本発明で言う気密とは、大気中の酸素が系内の
水中に溶解することのないように、大気との接触を遮断
した状態を維持することを意味し、密閉構造にするこ
と、および上記連結管系路の途中に水槽が設置される場
合は、当該水槽を酸素不含気体でシールすることも含ま
れる。なお、８，９はそれぞれ第１，第３の連結管５，
７に介装されたポンプである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 1/20 Ａ 1/28 Ｆ 1/44 Ｊ 8014−4Ｄ 1/58 Ｔ
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも逆浸透装置を組込んだ水処理
装置において、前記組込んだ逆浸透装置の前段に脱酸素
装置を、更に前記脱酸素装置の前段に活性炭濾過器を順
次設けて成ることを特徴とする逆浸透装置を組込んだ水
処理装置。 - 【請求項２】 活性炭濾過器と、脱酸素装置と、逆浸透
装置と、及びこれらを連結する被処理水流路を気密に形
成してなる請求項１記載の水処理装置。 - 【請求項３】 脱酸素装置が真空脱気装置、膜脱気装
置、パラジウム触媒を用いた脱酸素装置及び窒素曝気装
置からなる群より選ばれる少なくとも１以上の装置であ
る請求項１又は２記載の水処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4279054A JPH06126299A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 逆浸透装置を組込んだ水処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4279054A JPH06126299A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 逆浸透装置を組込んだ水処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06126299A true JPH06126299A (ja) | 1994-05-10 |
Family
ID=17605760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4279054A Pending JPH06126299A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 逆浸透装置を組込んだ水処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06126299A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1007620C2 (nl) * | 1997-11-26 | 1999-05-27 | Waterleiding Friesland Nv | Werkwijze voor het zuiveren van water, in het bijzonder grondwater, onder toepassing van een membraanfiltratie-eenheid, inrichting voor het zuiveren van water alsmede drinkwater verkregen onder toepassing van een membraanfiltratie-eenheid. |
| WO2005005327A1 (ja) * | 2003-07-10 | 2005-01-20 | Ebara Corporation | 浄水高度処理方法及び装置 |
| EP1890969A1 (en) * | 2005-05-25 | 2008-02-27 | The Australian National University | Improved method for desalination |
| CN104229938A (zh) * | 2014-09-03 | 2014-12-24 | 佛山市美的清湖净水设备有限公司 | 净水装置及反渗透净水机 |
| NL2027905B1 (en) | 2021-04-01 | 2022-10-17 | Allied Waters B V | A method for producing tailored quality water. |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP4279054A patent/JPH06126299A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1007620C2 (nl) * | 1997-11-26 | 1999-05-27 | Waterleiding Friesland Nv | Werkwijze voor het zuiveren van water, in het bijzonder grondwater, onder toepassing van een membraanfiltratie-eenheid, inrichting voor het zuiveren van water alsmede drinkwater verkregen onder toepassing van een membraanfiltratie-eenheid. |
| WO1999026886A1 (en) * | 1997-11-26 | 1999-06-03 | N.V. Waterleiding Friesland | A method for purifying water, in particular ground water, under anaerobic conditions, using a membrane filtration unit, a device for purifying water, as well as drinking water obtained by using such a method |
| US6395182B1 (en) * | 1997-11-26 | 2002-05-28 | Barrett Enclosures, Inc. | Method for purifying water, in particular ground water, under anaerobic conditions, using a membrane filtration unit, a device for purifying water, as well as drinking water obtained by using such a method |
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| EP1890969A4 (en) * | 2005-05-25 | 2008-10-01 | Univ Murdoch | IMPROVED METHOD OF DESALINATION |
| JP2008542002A (ja) * | 2005-05-25 | 2008-11-27 | マードック ユニバーシティ | 脱塩のための改善された方法 |
| CN104229938A (zh) * | 2014-09-03 | 2014-12-24 | 佛山市美的清湖净水设备有限公司 | 净水装置及反渗透净水机 |
| NL2027905B1 (en) | 2021-04-01 | 2022-10-17 | Allied Waters B V | A method for producing tailored quality water. |
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