JPH06125002A - ウエハブレーキング装置とその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハを確実に分割できるウエハブレーキン
グ装置とその方法を提供すること。 【構成】 切り溝１０ａの画像を取り込むための光学読
み取り装置４と、切り溝１０ａの画像信号からウエハ１
０の回転角度ズレを検出する画像処理装置５と、この検
出信号に基づきステージ２の回転移動を行う駆動機構６
とを備えたウエハブレーキング装置１である。また、ウ
エハブレーキング方法は、切り溝１０ａの画像信号から
ウエハ１０の回転角度ズレを検出してステージ２を回転
移動させ、切り溝１０ａの方向とローラー３の進行方向
とを略平行にするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイシングにてストリ
ート上に複数本の切り溝が形成されたウエハをこの切り
溝に沿って分割するウエハブレーキング装置とその方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】複数の半導体素子が形成されたウエハ
は、ダイシング装置により切断され、チップ状の半導体
素子に分割される。ダイシング装置による切断は、主と
してダイシングソーによりウエハを完全に切断するフル
カットダイシングと、ウエハの厚さの途中までを切断す
るハーフカットダイシングとがある。いずれの切断にお
いてもウエハ上の半導体素子と半導体素子との間のいわ
ゆるストリートに切り溝が形成される。

【０００３】ウエハのダイシングの際には、粘着性の樹
脂から成るシート上にウエハを接着し、その外側をフレ
ームにて保持した状態でダイシング装置に装着される。
この状態でウエハをフルカットダイシングするとシート
にまで切り溝が入ることになり、ダイシングソーの目詰
まりや、ダイシングソーの消耗が激しくなるという問題
点がある。そこで、シートにまで切り溝が入らないハー
フカットダイシングを行えば、このような問題が発生し
ない。この場合には、ウエハの厚さの中程まで切り溝が
形成されたウエハをウエハブレーキング装置に搭載し
て、個々の半導体素子に分割する必要がある。

【０００４】ウエハブレーキング装置は、シート上に接
着されたウエハをフレームとともに搭載するためのステ
ージと、搭載されたウエハ上を転動するローラーとから
構成されるもので、これを用いてウエハを分割するに
は、先ず、フレーム周縁の直線部分、いわゆるファセッ
トを基準にしてステージ上にウエハを搭載する。次に、
このウエハ上にローラーを転動させて、切り溝に沿って
ウエハを個々の半導体素子に分割する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなウエハブレーキング装置とその方法には、次のよう
な問題がある。すなわち、位置合わせの基準となるフレ
ームのファセットに対してウエハ上に形成された切り溝
とが略平行または略垂直になっていない場合、このファ
セットを基準にしてウエハを搭載してもウエハブレーキ
ング装置のローラーの進行方法とウエハ上の切り溝の方
向との間に角度ズレが生じてしまう。この状態のままウ
エハ上にローラーを転動させると、切り溝に沿ってロー
ラーが進行せず、分割の際、ウエハの層割れが発生した
り、ローラーの押圧力で半導体素子の端部が欠けたりす
る不都合が生じてしまう。よって、本発明はウエハを確
実に分割できるウエハブレーキング装置とその方法を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成されたウエハブレーキング装置と
その方法である。すなわち、このウエハブレーキング装
置は、ストリートに沿って複数本の切り溝が形成された
ウエハを搭載するためのステージと、ウエハ上を転動
し、このウエハを切り溝に沿って分割するためのローラ
ーとから成るもので、切り溝の画像を取り込むための光
学読み取り装置をステージの上方に配置し、切り溝の画
像信号からウエハの回転角度ズレを検出する画像処理装
置をこの光学読み取り装置と電気的に接続し、画像処理
装置からの検出信号に基づきステージの回転移動を行う
駆動機構を備えたものである。

【０００７】また、このウエハブレーキング方法は、ス
トリートに沿って複数本の切り溝が形成されたウエハを
ステージ上に搭載し、ウエハ上にローラーを転動させる
ことで切り溝に沿ってウエハを分割するもので、先ず、
ウエハの上方から切り溝の画像を光学読み取り装置にて
取り込み、次いで、この切り溝の画像信号からウエハの
回転角度ズレを検出した後、この検出結果に基づいてス
テージを回転移動して、切り溝の方向とローラーの進行
方向とを略平行にするものである。

【０００８】

【作用】ステージ上に搭載されたウエハの上方から光学
読み取り装置にてウエハ上の切り溝の画像を得て、この
画像信号からウエハを回転角度ズレを画像処理装置にて
検出する。また、この検出信号に基づいて駆動機構に信
号を与え、ステージの回転移動を行うことでウエハの回
転角度ズレを補正する。この回転角度ズレの補正によ
り、切り溝の方向とローラーの進行方向とが略平行とな
るため、切り溝に沿ったウエハの分割が成されることに
なる。

【０００９】

【実施例】以下に、本発明のウエハブレーキング装置と
その方法を図に基づいて説明する。先ず、ウエハブレー
キング装置を図１の模式断面図を用いて説明する。この
ウエハブレーキング装置１は、複数の切り溝１０ａが形
成されたウエハ１０を搭載するためのステージ２と、ウ
エハ１０上を転動するローラー３とから成り、このロー
ラー３を転動することで、切り溝１０ａに沿ってウエハ
１０を分割するものである。なお、ウエハ１０は予め粘
着性の樹脂から成るシート２１上に接着されており、そ
の周辺をフレーム２０にて保持され、このフレーム２０
とともにステージ２上に搭載されている。

【００１０】このウエハ１０の上方には、切り溝１０ａ
の画像を取り込むための光学読み取り装置４が設けられ
ており、画像処理装置５と電気的に接続されている。さ
らに、ステージ２の下方には、例えばモータ６１と軸６
２とから構成される駆動機構６が取り付けられ、モータ
６１と画像処理装置５とが電気的に接続されている。こ
の光学読み取り装置４にて取り込んだ切り溝１０ａの画
像を画像処理装置５に送り、この画像信号からウエハ１
０の回転角度ズレを検出する。駆動機構６は、画像処理
装置５からこの検出信号を受けてステージ２を回転移動
させることになる。

【００１１】次に、このウエハブレーキング装置１を用
いたウエハブレーキング方法を説明する。先ず、ステー
ジ２上にウエハ１０を搭載する。ウエハ１０は、図２の
平面図に示すように、シート２１上の略中央部に接着さ
れ、その周囲にフレーム２０が取り付けられた状態とな
っている。また、ウエハ１０のオリエンテーションフラ
ット１１を基準にして切り溝１０ａが縦横に形成されて
いる。

【００１２】したがって、このフレーム２０ごとステー
ジ２上に搭載し、フレームに設けられた直線状のファセ
ット２０ａを基準にして位置合わせを行う。しかし、ウ
エハ１０をシート２１上に接着する際、ウエハ１０のオ
リエンテーションフラット１１とフレーム２０のファセ
ット２０ａとが必ずしも平行となっているとは限らない
ため、ステージ２とウエハ１０との間に回転角度ズレが
生じている場合がある。

【００１３】次に、ウエハ１０の上方に設けられた光学
読み取り装置４にてウエハ１０上に形成されている切り
溝１０ａの画像を取り込む。この取り込んだ画像を画像
処理装置５に送り、図３の平面図に示すように、例えば
モニター５１に写し出す。このモニター５１に写し出さ
れた画像５１ａの信号を例えば２値化処理して切り溝１
０ａを認識し、その方向を得る。そして、この切り溝１
０ａの方向と基準線に対する角度ズレθを算出し、これ
をウエハ１０の回転角度ズレとする。なお、この基準線
とは、ローラー３の進行方向と平行または垂直な線であ
り、予めこの線に対応させて設定したものである。

【００１４】次いで、画像処理装置５により検出したウ
エハ１０の回転角度ズレに基づいて、駆動機構６のモー
タ６１に信号を送る。モータ６１の回転により軸６２を
介してステージ２が回転移動して、ウエハ１０の回転角
度ズレを補正することになる。これにより、切り溝１０
ａの方向とローラー３の進行方向とが略平行となり、ウ
エハ１０上にローラー３を転動すると切り溝１０ａの方
向とほぼ一致して回転し、この切り溝１０ａに沿って確
実にウエハ１０を分割していく。

【００１５】このようにしてローラー３の進行方向と切
り溝１０ａの方向とがほぼ一致する状態になるが、切り
溝１０ａには縦横に直交する２方向があるため、ステー
ジ２とウエハ１０との回転角度ズレをどちらの方向の切
り溝１０ａから求めてもよく、いずれにしてもローラー
３の進行方向と切り溝１０の方向とをほぼ一致させるも
のであればよい。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のウエハブ
レーキング装置とその方法によれば次のような効果があ
る。すなわち、ウエハのオリエンテーションフラットと
フレームのファセットとの間に角度ズレがあっても、ウ
エハに形成された切り溝の画像を光学読み取り装置にて
取り込むことでウエハとステージとの回転角度ズレを検
出するため、切り溝の方向とローラーの進行方向とをほ
ぼ一致させることができる。このため、ウエハ上を転動
するローラーが切り溝に沿って進行するため、ウエハの
層割れや半導体素子の端部が欠けたりすることがなく、
確実に分割することが可能となる。したがって、半導体
装置の製造歩留りを大幅に向上させることができるとと
もに、大口径のウエハを分割する場合には本発明は特に
有効なものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウエハブレーキング装置を説明する模
式断面図である。

【図２】ウエハの搭載を説明する平面図である。

【図３】モニタ画像を説明する平面図である。

【符号の説明】

１ ウエハブレーキング装置 ２ ステージ ３ ローラー ４ 光学読み取り装置 ５ 画像処理装置 ６ 駆動機構 １０ ウエハ １０ａ 切り溝 ２０ フレーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ストリートに沿って複数本の切り溝が形
   成されたウエハを搭載するためのステージと、 前記ウエハ上を転動し、該ウエハを前記切り溝に沿って
   分割するためのローラーとから成るウエハブレーキング
   装置において、 前記切り溝の画像を取り込むため前記ステージの上方に
   配置された光学読み取り装置と、 前記光学読み取り装置と電気的に接続され、前記切り溝
   の画像信号から前記ウエハの回転角度ズレを検出する画
   像処理装置と、 前記画像処理装置からの検出信号に基づき前記ステージ
   の回転移動を行う駆動機構とを備えたことを特徴とする
   ウエハブレーキング装置。
2. 【請求項２】 ストリートに沿って複数本の切り溝が形
   成されたウエハをステージ上に搭載し、前記ウエハ上に
   ローラーを転動させることで該ウエハを前記切り溝に沿
   って分割するウエハブレーキング方法において、 先ず、前記切り溝の画像を光学読み取り装置にて取り込
   み、 次いで、前記切り溝の画像信号から前記ウエハの回転角
   度ズレを検出した後、 前記検出結果に基づいて前記ステージを回転移動して、
   前記切り溝の方向と前記ローラーの進行方向とを略平行
   にするようにしたことを特徴とするウエハブレーキング
   方法。