JPH06124407A - Manufacture of magnetic head - Google Patents

Manufacture of magnetic head

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JPH06124407A
JPH06124407A JP29921892A JP29921892A JPH06124407A JP H06124407 A JPH06124407 A JP H06124407A JP 29921892 A JP29921892 A JP 29921892A JP 29921892 A JP29921892 A JP 29921892A JP H06124407 A JPH06124407 A JP H06124407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
magnetic head
magnetic
block
azimuth angle
Prior art date
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Pending
Application number
JP29921892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Kitatani
明雄 北谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
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Abstract

PURPOSE:To decrease the loss at the recording/reproducing time by reducing factors of the shift of the azimuth angle. CONSTITUTION:Substrate blocks 17a, 17b are bonded at a reference of a gap confronting face 12. A recessed part is provided in a tool 20 facing to a reference face 13 of the substrate block 17a. The reference block 17a is accommodated in the recessed part. The substrate block 17b at the side facing the gap confronting face 12 is in touch with the inclined surface of the tool 20 at the end part thereof. Therefore, the shift of the azimuth angle theta can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドの製造方法
に関し、より詳細には、ビデオテープレコーダ(VT
R)等の磁気記録再生装置において、磁気回路を構成す
る軟磁性薄膜と、該軟磁性薄膜を支持する基板とからな
る磁気ヘッドの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head manufacturing method, and more particularly to a video tape recorder (VT).
In a magnetic recording / reproducing apparatus such as R), the present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head including a soft magnetic thin film forming a magnetic circuit and a substrate supporting the soft magnetic thin film.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録技術の高密度化にともなって、
例えば、メタルテープ等の高保持力媒体が主流になって
きた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い飽和
磁束密度を有するものが要求されている。このような状
況の下で、図8に示すような、高い飽和磁束密度を有す
る軟磁性薄膜をコア材料とし、該軟磁性薄膜をほぼトラ
ックに相当する膜厚で基板10に形成し、該基板10上
から低融点ガラス18で基板10、及び軟磁性薄膜11
をモールドすることによって軟磁性薄膜11を基板10
と低融点ガラス層18とで挟持するようにしたヘッドチ
ップを使用した磁気ヘッドがある。該磁気ヘッドはヘッ
ドチップとする際、図9に示すようにコアブロック21
を傾き(アジマス角度)をつけてスライスするが、その
貼り付け時に、治具24の基準とコアブロック21の基
準面23を合わせ貼り付けてスライスし、ヘッドチップ
を製造していた。
2. Description of the Related Art With the increasing density of magnetic recording technology,
For example, at present, a medium having a high coercive force such as a metal tape has become mainstream, and a core material used for a magnetic head is required to have a high saturation magnetic flux density. Under such circumstances, a soft magnetic thin film having a high saturation magnetic flux density as shown in FIG. 8 is used as a core material, and the soft magnetic thin film is formed on the substrate 10 to have a film thickness substantially corresponding to a track. A substrate 10 and a soft magnetic thin film 11 with a low melting point glass 18 from above.
By molding the soft magnetic thin film 11 onto the substrate 10
There is a magnetic head using a head chip sandwiched between the low melting point glass layer 18 and the low melting point glass layer 18. When the magnetic head is used as a head chip, as shown in FIG.
Was sliced with an inclination (azimuth angle), and at the time of its attachment, the reference of the jig 24 and the reference surface 23 of the core block 21 were attached and sliced to manufacture the head chip.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
磁気ヘッドにおいて、例えば、アジマス角度のずれによ
る損失を見ると、図10のようになり、損失を1dB以
内にするためには、アジマスのズレ量をS−VHSのト
ラック幅19μmで38′、58μmで13′、Hi−
8のトラック幅20.5μmで23′以下にしないとい
けないことが分かる。又、一つのチップ単体が+方向に
ずれているとし、それで記録したものを別のヘッドで再
生する場合、一方向にずれたヘッドでは、更に損失が大
きくなってしまうという問題点があった。また、基準面
とギャップ面とが、平行であれば問題はないが、基準面
を加工する際、反りや研削不良等がある場合にギャップ
面と非平行になり、結果としてアジマスがずれるという
ことになり、短記録波長になるのにともない少しのズレ
においても満足な特性が得られない場合がでてきた。
As described above, in the conventional magnetic head, for example, the loss due to the deviation of the azimuth angle is as shown in FIG. 10. In order to keep the loss within 1 dB, The deviation amount of S-VHS is 38 'when the track width is 19 μm, 13' when it is 58 μm, and
It can be seen that the track width of No. 8 is 20.5 μm and must be 23 'or less. Further, when one chip alone is deviated in the + direction, and when recording is performed by another head, another head has a problem that the head deviated in one direction further increases the loss. Also, if the reference surface and the gap surface are parallel, there is no problem, but when processing the reference surface, if there is warpage or grinding failure, it will be non-parallel to the gap surface, and as a result the azimuth will shift. Therefore, there are cases where satisfactory characteristics cannot be obtained even with a slight deviation as the recording wavelength becomes shorter.

【0004】本発明は、このような実情に鑑みてなされ
たもので、アジマス角度の決定となるギャップ対抗面を
直接基準治具に向かい合わせることにより、アジマス角
度がズレる要因を減少させ、記録再生時の損失を低減さ
せるようにした磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的としている。
The present invention has been made in view of such a situation, and by directly facing the gap facing surface, which determines the azimuth angle, to the reference jig, the factor for the deviation of the azimuth angle is reduced, and the recording / reproducing is performed. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic head that reduces the time loss.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、磁気回路を構成する軟磁性薄膜と、該軟
磁性薄膜を支持する基板とからなる磁気ヘッドにおい
て、連続してトラックが形成されているコアブロックよ
りスライスしてチップにする工程の際、アジマス角度の
決定の基準面を、コアブロックを構成する基板ブロック
のギャップ対向面とすることを特徴としたものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a magnetic head comprising a soft magnetic thin film forming a magnetic circuit and a substrate supporting the soft magnetic thin film, and a continuous track is formed. In the step of slicing the core block in which the core blocks are formed into chips, the reference plane for determining the azimuth angle is the gap facing surface of the substrate block forming the core block.

【0006】[0006]

【作用】コアブロックを2つの基板ブロックのギャップ
対向面を貼り合わせて構成する。一方の基板ブロックの
基準面に向かい向う治具に凹部を設け、該凹部に前記一
方の基板ブロックを埋め込み、ギャップ対向面の端部が
治具の傾斜表面に接するようにしてアジマス角度の決定
の基準面とすることにより、アジマスがズレる要因を減
少させることができ、その結果、記録再生時の損失を低
減でき、短記録波長にも対応していくことができる。
The core block is constructed by bonding the gap facing surfaces of two substrate blocks. The azimuth angle is determined by forming a recess in the jig facing the reference surface of one substrate block, embedding the one substrate block in the recess, and making the end of the gap facing surface contact the inclined surface of the jig. By using the reference surface, it is possible to reduce the factor of deviation of azimuth, and as a result, it is possible to reduce loss during recording / reproduction and to cope with short recording wavelengths.

【0007】[0007]

【実施例】実施例について、図面を参照して以下に説明
する。図1〜図8は、本発明による磁気ヘッド製造方法
の一実施例を説明するための構成図で、図中、10は基
板、11は軟磁性薄膜、12はギャップ対向面、13は
基準面、14はV字状溝、15は内部巻き線溝、16は
外部巻き線溝、17a,17bは基板ブロック、18は
低融点ガラス、19はコアブロック、20は治具であ
る。
Embodiments will be described below with reference to the drawings. 1 to 8 are configuration diagrams for explaining an embodiment of a magnetic head manufacturing method according to the present invention, in which 10 is a substrate, 11 is a soft magnetic thin film, 12 is a gap facing surface, and 13 is a reference surface. , 14 is a V-shaped groove, 15 is an inner winding groove, 16 is an outer winding groove, 17a and 17b are substrate blocks, 18 is a low-melting glass, 19 is a core block, and 20 is a jig.

【0008】本発明による磁気ヘッドは、前述した図8
に示すように、高飽和磁束密度を有するヘッドチップが
用いられている。このヘッドチップは、例えば、感光性
結晶化ガラス、結晶化ガラス、あるいはセラミックス等
の非磁性材料や、軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料
により形成された一対の基板10を有している。まず、
図1に示すように、上述の非磁性材料または酸化物磁性
材料からなる基板上の表面に所定のピッチ寸法Aで略V
字状の溝14を形成する。その後、図2に示すように、
該V字状溝14の溝壁面に真空蒸着あるいはスパッタリ
ング法により所定の膜厚でFe−Al−Si系合金から
なる軟磁性薄膜11を形成する。次に、図3に示すよう
に、前記V字状溝14に低融点ガラス18を充填した
後、図4に示すように、V字状溝14と低融点ガラス1
8の頂点が一致するように、なおかつヘッド摺動面には
み出した低融点ガラス18を取り除くように低融点ガラ
スを平面状に研磨する。次いで、図5に示すように、基
板10の両側面に内部巻き線溝15と外部巻き線溝16
とを形成し、更に、ガラス充填用溝が形成された側の面
であるギャップ対向面12に所定のギャップとなるよう
SiO2等(図示せず)の非磁性ギャップ材を真空蒸着
あるいはスパッタリング法により形成して基板ブロック
17aとする。
The magnetic head according to the present invention has the structure shown in FIG.
As shown in, a head chip having a high saturation magnetic flux density is used. This head chip has, for example, a pair of substrates 10 formed of a non-magnetic material such as photosensitive crystallized glass, crystallized glass, or ceramics, or an oxide magnetic material such as soft magnetic ferrite. First,
As shown in FIG. 1, a surface of a substrate made of the above-mentioned non-magnetic material or oxide magnetic material has a predetermined pitch dimension A of approximately V.
The V-shaped groove 14 is formed. Then, as shown in FIG.
A soft magnetic thin film 11 made of a Fe-Al-Si alloy is formed on the wall surface of the V-shaped groove 14 with a predetermined film thickness by vacuum deposition or sputtering. Next, as shown in FIG. 3, after filling the V-shaped groove 14 with the low-melting glass 18, the V-shaped groove 14 and the low-melting glass 1 are filled as shown in FIG.
The low-melting glass is polished into a flat shape so that the apexes 8 coincide with each other and the low-melting glass 18 protruding to the head sliding surface is removed. Next, as shown in FIG. 5, the inner winding groove 15 and the outer winding groove 16 are formed on both side surfaces of the substrate 10.
And a non-magnetic gap material such as SiO 2 (not shown) is formed by vacuum vapor deposition or sputtering so that a predetermined gap is formed on the gap facing surface 12 on the side where the glass filling groove is formed. To form the substrate block 17a.

【0009】その後、図6に示すように、上記の一対の
基板ブロック17a,17bのギャップ対向面12同士
を互いに対向するように位置を合わせて加圧固定を行っ
て接合し、コアブロック19を形成する。次いで、図7
のような方法でアジマス角度をつけるために凹部を設け
た治具20によりギャップ対向面12を基準として貼り
つけし、図6に示すように、上記コアブロック19を破
線に沿って所定のピッチ寸法Bで切断して図8に示すヘ
ッドチップを得る。そして、該ヘッドチップを図示しな
いベース板に接着固定した後、コイル巻き線をし、次い
で、テーブル研磨を施して磁気ヘッドを形成する。な
お、図7において、基板ブロック17a,17bはギャ
ップ対向面12を基準として貼り合わせる。基板ブロッ
ク17aの基準面13に向い合う治具20に凹部を設
け、該凹部に基板ブロック17aを埋め込み、基板ブロ
ック17bのギャップ対向面12側は治具20の傾斜表
面とその端部で接している。このようにして、アジマス
角度θのズレを減少させることができる。
After that, as shown in FIG. 6, the gap facing surfaces 12 of the pair of substrate blocks 17a and 17b are aligned so as to face each other and fixed by pressure, and joined to form the core block 19. Form. Then, FIG.
By using a jig 20 having a concave portion for making an azimuth angle by the above method, the gap facing surface 12 is attached as a reference, and as shown in FIG. 6, the core block 19 has a predetermined pitch along the broken line. The head chip shown in FIG. 8 is obtained by cutting at B. Then, after the head chip is adhered and fixed to a base plate (not shown), coil winding is performed, and then table polishing is performed to form a magnetic head. In FIG. 7, the substrate blocks 17a and 17b are attached to each other with the gap facing surface 12 as a reference. The jig 20 facing the reference surface 13 of the substrate block 17a is provided with a concave portion, the substrate block 17a is embedded in the concave portion, and the gap facing surface 12 side of the substrate block 17b is in contact with the inclined surface of the jig 20 at its end. There is. In this way, the deviation of the azimuth angle θ can be reduced.

【0010】[0010]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によると、以下のような効果がある。すなわち、アジマ
ス角度の決定となるギャップ対抗面を直接基準治具に向
かい合わせることにより、アジマスがズレる要因を減少
させることができ、その結果、記録再生時の損失を低減
でき、短記録波長にも対応していくことができる。
As is apparent from the above description, the present invention has the following effects. In other words, by directly facing the gap facing surface, which determines the azimuth angle, to the reference jig, it is possible to reduce the factors that cause the azimuth shift, and as a result, it is possible to reduce the loss during recording / reproduction and also to reduce the recording wavelength. You can respond.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その1)である。
FIG. 1 is a process diagram (1) for explaining an embodiment of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図2】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その2)である。
FIG. 2 is a process diagram (2) for explaining one embodiment of the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図3】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その3)である。
FIG. 3 is a process diagram (No. 3) for explaining the embodiment of the method of manufacturing the magnetic head according to the present invention.

【図4】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その4)である。
FIG. 4 is a process diagram (No. 4) for explaining the embodiment of the method of manufacturing the magnetic head according to the present invention.

【図5】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その5)である。
FIG. 5 is a process view (5) for explaining the embodiment of the method of manufacturing the magnetic head according to the present invention.

【図6】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その6)である。
FIG. 6 is a process diagram (6) for explaining one embodiment of the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention.

【図7】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その7)である。
FIG. 7 is a process diagram (No. 7) for explaining the embodiment of the method of manufacturing the magnetic head according to the present invention.

【図8】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図(その8)である。
FIG. 8 is a process drawing (8) for explaining the embodiment of the method of manufacturing the magnetic head according to the present invention.

【図9】従来の磁気ヘッドの製造方法におけるコアブロ
ックと治具との取付の様子を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing how a core block and a jig are attached in a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【図10】従来の各種アジマス損失特性を示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram showing various conventional azimuth loss characteristics.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…基板、11…軟磁性薄膜、12…ギャップ対向
面、13…基準面、14…V字状溝、15…内部巻き線
溝、16…外部巻き線溝、17a,17b…基板ブロッ
ク、18…低融点ガラス、19…コアブロック、20…
治具。
Reference numeral 10 ... Substrate, 11 ... Soft magnetic thin film, 12 ... Gap facing surface, 13 ... Reference surface, 14 ... V-shaped groove, 15 ... Internal winding groove, 16 ... External winding groove, 17a, 17b ... Substrate block, 18 … Low melting point glass, 19… Core block, 20…
jig.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気回路を構成する軟磁性薄膜と、該軟
磁性薄膜を支持する基板とからなる磁気ヘッドにおい
て、連続してトラックが形成されているコアブロックよ
りスライスしてチップにする工程の際、アジマス角度の
決定の基準面を、コアブロックを構成する基板ブロック
のギャップ対向面とすることを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
1. A magnetic head comprising a soft magnetic thin film that constitutes a magnetic circuit and a substrate that supports the soft magnetic thin film, wherein the core block in which tracks are continuously formed is sliced into chips. At this time, a method of manufacturing a magnetic head, characterized in that a reference surface for determining the azimuth angle is a surface facing a gap of a substrate block forming a core block.
JP29921892A 1992-10-12 1992-10-12 Manufacture of magnetic head Pending JPH06124407A (en)

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JP29921892A JPH06124407A (en) 1992-10-12 1992-10-12 Manufacture of magnetic head

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