JPH06124362A - マーク認識装置 - Google Patents

マーク認識装置

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JPH06124362A
JPH06124362A JP30169392A JP30169392A JPH06124362A JP H06124362 A JPH06124362 A JP H06124362A JP 30169392 A JP30169392 A JP 30169392A JP 30169392 A JP30169392 A JP 30169392A JP H06124362 A JPH06124362 A JP H06124362A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造で確実にマークの有無の判断を行
えるマーク認識装置を提供すること。 【構成】 被搬送物10の上方に光ファイバ2の一端を
配置し、他端を光学読み取り装置3に接続することで光
を受光する。この光学読み取り装置3に画像処理装置4
を電気的に接続して、光学読み取り装置3にて得られた
画像に基づくマーク11の有無の判断を行う。また、光
ファイバ2を複数本束ねて光ファイバ群20を構成し、
光ファイバ群20の各一端を複数の被搬送物10の上方
にそれぞれ配置し、その全他端を光学読み取り装置3に
接続するものでもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、完成した半導体装置等
の被搬送物に付される識別用のマークの有無を一括して
認識するマーク認識装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】完成した製品の出荷前に行う外観検査
は、例えばベルトコンベア等の搬送装置にて搬送される
製品を検査員が目視等によりチェックし、不良品が見つ
かった場合にはその製品に所定のマーキングを施してい
る。順次搬送されてくる製品のチェックを次々に行い、
その後の工程において、マークの有無により良品と不良
品との区分けを行っている。
【0003】例えば、半導体装置の製造において、リー
ドフレーム上の半導体素子をモールド樹脂等のパッケー
ジにより封止し、所定の搬送台上に搬送する。ここで、
検査員や検査ロボット等によりパッケージやリード等の
外観検査を行い、不良と判断した半導体装置のパッケー
ジに白色の塗料などのマークを塗布している。この後の
工程で、マークが施された半導体装置を抜き出すことに
より、良品のみを出荷している。
【0004】半導体装置に塗布されるマークの有無を認
識するには、検査員の目視による判断や、反射型の光セ
ンサを用いたマーク認識装置、およびCCDカメラ等の
光学読み取り装置を用いたマーク認識装置が使用されて
いる。光センサを用いたマーク認識装置を用いる場合に
は、半導体装置からの反射光を光センサにて受光し、そ
の光の強度に基づいてマークの有無の認識を行ってい
る。
【0005】また、光学読み取り装置を用いたマーク認
識装置を用いる場合には、光学読み取り装置にて取り込
んだ画像に基づき二値化等の画像処理を施して、マーク
の有無を判断している。特に、半導体装置の製造におい
ては、一度に多数の半導体装置が形成されるため、複数
の半導体装置の映像を一台の光学読み取り装置にて取り
込むことで、各半導体装置のマークの有無を判断を行っ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなマーク認識装置には次のような問題がある。すなわ
ち、光センサを用いたマーク認識装置では、半導体装置
に塗布されたマークの濃さにより、光センサの受光感度
を調整する必要がある。特に、製品番号等を表示する記
号や文字から成る他のマーク上にこの識別用のマークが
重なって塗布されている場合には、受光感度の調整不良
による誤認識の原因となる。
【0007】また、光学読み取り装置を用いたマーク認
識装置では、多数の半導体装置をその視野内に収めるた
めに倍率を低く設定する必要がある。このため、個々の
半導体装置の映像が小さくなりマークの認識を行うのが
困難となる。また、各半導体装置の大きな映像を得るた
め、一つの半導体装置に対して一つの光学読み取り装置
を配置することが考えられるが、マーク認識装置の複雑
化やコストアップを招いてしまう。よって、本発明は簡
単な構造で確実にマークの有無の判断を行えるマーク認
識装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成されたマーク認識装置である。す
なわち、所定位置に搬送される被搬送物を対象として識
別用のマークの有無を認識するもので、被搬送物の上方
に光ファイバの一端を配置し、他端を光学読み取り装置
に接続することで光を受光する。この光学読み取り装置
に画像処理装置を電気的に接続して、光学読み取り装置
にて得られた画像に基づくマークの有無の判断を行う。
また、光ファイバを複数本束ねて光ファイバ群を構成
し、この光ファイバの各一端を複数の被搬送物の上方に
それぞれ配置し、その全他端を光学読み取り装置に接続
するものでもよい。
【0009】
【作用】被搬送物上に例えば白色のマークが塗布されて
いる場合には、そのマークによる反射光が光ファイバの
一端から入光し、光ファイバ内を伝達して他端から出光
する。この他端に接続された光学読み取り装置にてその
光を受光することで、所定強度の電気信号から成る画像
を得て、この画像を画像処理装置に送る。画像処理装置
において、この画像を構成する電気信号に二値化や多値
化処理を施すことによりマークの認識を行う。
【0010】また、複数本の光ファイバを束ねて光ファ
イバ群を設け、この光ファイバの各一端を複数の被搬送
物の上方に配置することで、各被搬送物からの反射光を
同時に光学読み取り装置へ伝達することができる。光学
読み取り装置では、各光ファイバを伝達してきた光を一
つの画像として捕らえ、この画像を画像処理装置に送
る。画像処理装置にて、この一つの画像を各光ごとの領
域に分割して処理することで、各被搬送物のマークの有
無を一括して認識することができる。
【0011】
【実施例】以下に、本発明のマーク認識装置を図に基づ
いて説明する。図1は、本発明のマーク認識装置を説明
する模式図である。すなわち、このマーク認識装置1
は、例えば半導体装置から成る被搬送物10のマーク1
1の有無を搬送台12上で認識するものであり、主に光
ファイバ2と光学読み取り装置3と画像処理装置4とか
ら構成されている。
【0012】光ファイバ2の一端から成る入光部21
が、搬送台12上の所定位置に搬送された被搬送物10
の上方に配置されている。一方、光ファイバ2の他端か
ら成る出光部22が、CCDカメラ等の光学読み取り装
置3に接続されている。これにより、図示しない光源か
ら被搬送物10に照射された光がこの被搬送物10で反
射して入光部21から入射することになる。そして、光
ファイバ2内を伝達し出光部22から光学読み取り装置
3にて受光され所定強度の電気信号から成る画像が得ら
れる。光学読み取り装置3と電気的に接続された画像処
理装置4にこの画像が送られて二値化や多値化等の画像
処理が施され、マーク11の有無が認識されることにな
る。
【0013】複数の被搬送物10を対象とする場合に
は、被搬送物10の数に対応した本数の光ファイバ2を
束ねた光ファイバ群20が用いられる。例えば、6つの
被搬送物10を対象とする場合には、6本の光ファイバ
2(a〜f)が束ねられた光ファイバ群20が用いら
れ、各光ファイバ2の入光部21が各被搬送物10の上
方にそれぞれ配置される。また、各光ファイバ2の出光
部22は、例えば一列(a〜fの順番)に配列した状態
で光学読み取り装置3に接続されている。
【0014】すなわち、光学読み取り装置3によるモニ
タ画像5(図2参照)では、一つの画像上に複数の光フ
ァイバ2の端部2aの映像が写し出されることになる。
このモニタ画像5に基づいて、画像処理装置4によりマ
ーク11の有無を判断することになる。なお、モニタ画
像5に写し出された各端部2aがどの光ファイバ2と対
応しているかが予め決められており、画像処理装置4内
に記憶されている。
【0015】次に、具体的な一例として、例えば、図1
に示す被搬送物10が黒色のパッケージから成る半導体
装置であり、不良品に白色のマーク11が塗布される場
合のマーク11の認識方法について説明する。各光ファ
イバ2の入光部21から入射した光が図2のモニタ画像
5のように写し出されており、これが画像処理装置4に
送られる。先に述べたように、画像処理装置4内には、
モニタ画像5上のどの位置(領域)がどの光ファイバ2
の端部2aの映像に対応しているかが予め決められてお
り、この例では、左の端部2aから順番にa〜fの光フ
ァイバ2に対応しているものとする。
【0016】画像処理装置4では、この画像を二値化処
理してHigh、Low(画像上では白、黒などの2色
となる)レベルに変換し、例えばHighレベルとして
画像上に白く写し出された端部2aと対応する光ファイ
バ2(a、c、f)が、白色のマーク11からの反射光
を伝達しているものと認識する。すなわち、この光ファ
イバ2(a、c、f)の入光部21の下方に位置する被
搬送物10に不良のマーク11が塗布されていることが
判断できる。
【0017】このように、複数の被搬送物10を対象と
する場合であっても、各被搬送物10の上方にそれぞれ
光ファイバ2の入光部21を配置することで、各被搬送
物10の必要な部分からの反射光を光学読み取り装置3
にて一括して受光することができる。しかも、光学読み
取り装置3にて得られたモニタ画像5には、各光ファイ
バ2の端部2aの映像が一括して写し出されることか
ら、高倍率な端部2aの映像を得ることができるため、
この画像に基づいて各被搬送物10のマーク11の有無
を確実に認識することができる。
【0018】次に、本発明の他の実施例について図3お
よび図4を用いて説明する。すなわち、このマーク認識
装置1は、光ファイバ2の入光部21が散在している場
合に対応するためのもので、対象となる被搬送物10
(図1参照)がどのような位置に搬送されていても各入
光部21がそれぞれの被搬送物10の上方に配置されて
おり、各被搬送物10からの反射光を得ることができ
る。各光ファイバ2の出光部22は、例えばマトリクス
状にまとめられた状態で光学読み取り装置3に接続され
ている。
【0019】このため、光学読み取り装置3にて得られ
るモニタ画像5は、図4に示すように各端部2aの映像
がマトリクス状に写し出される。なお、このモニタ画像
5に写し出されているどの端部2aの映像がどの光ファ
イバ2に対応するかが予め決められており、画像処理装
置4内に記憶されている。光学読み取り装置3に電気的
に接続されている画像処理装置4では、このモニタ画像
5を二値化処理等を施して、どの光ファイバ2がマーク
11からの反射光(例えば、白色に写し出されたもの)
を伝達しているかを認識する。
【0020】このように、被搬送物10がどのような位
置に搬送されている場合であっても、光ファイバ2を引
き回して入光部21を各被搬送物10の上方に配置すれ
ば、全ての光ファイバ2から伝達される光を一つの画像
に写し出すことができる。また、対象とする被搬送物1
0の位置や個数等の変更がある場合であっても、被搬送
物10の上方に配置する光ファイバ2とモニタ画像5に
写し出される端部2aとの対応を予め決めておき、画像
処理装置4内に記憶しておけば、即座に対応することが
できる。
【0021】いずれの実施例においても、一つの画像か
ら各被搬送物10のマーク11の有無を認識することが
できることになる。なお、マーク11が製品番号等を表
示する記号や文字から成る他のマークと重なって塗布さ
れていても、画像処理装置4にてモニタ画像5を構成す
る電気信号を多値化処理することにより、マーク11の
みの認識を正確に行うことができる。また、光ファイバ
群20を構成する光ファイバ2の本数は、対象とする被
搬送物10の数に応じて設定すればよく、先に述べた例
のように6本に限定されるものではない。さらに、本実
施例では良、不良を識別するためのマーク11を例とし
て説明したが、本発明ではこれに限定されず、他の識別
用のマーク11を認識する場合であっても同様である。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のマーク認
識装置によれば次のような効果がある。すなわち、被搬
送物からの反射光を光ファイバを介して光学読み取り装
置にて受光し、画像処理装置で得られた画像を画像処理
することでマークの有無の認識を行っているため、マー
クの濃さに影響を受けることなく確実に識別することが
できる。また、製品番号等を表示する記号や文字から成
る他のマーク上にこの識別用のマークが塗布された場合
であっても、得られた画像を画像処理することで誤認識
することがない。
【0023】また、複数の被搬送物を対象とした場合で
あっても、光ファイバ群を用いることで各端部の高倍率
な映像を一つの画像として得ることができ、この画像に
基づいて各被搬送物のマークの有無を確実に認識するこ
とができる。すなわち、被搬送物がどのような位置に搬
送されていても、各被搬送物の上方に光ファイバを配置
するだけで良く、しかも一つの光学読み取り装置にて多
数の被搬送物のマークの有無を一括して認識できるた
め、装置の構造を簡単にすることができるとともに、コ
ストダウンを図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマーク認識装置を説明する模式図であ
る。
【図2】モニタ画像を説明する模式図である。
【図3】他のマーク認識装置の例を説明する模式図であ
る。
【図4】他のモニタ画像を説明する模式図である。
【符号の説明】
1 マーク認識装置 2 光ファイバ 2a 端部 3 光学読み取
り装置 4 画像処理装置 10 被搬送物 11 マーク 12 搬送台 20 光ファイバ群 21 入光部 22 出光部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定位置に搬送される被搬送物を対象と
    した識別用のマークの有無を認識するマーク認識装置に
    おいて、 前記被搬送物の上方に一端が配置された光ファイバと、 前記光ファイバの他端が接続され、該光ファイバを介し
    て伝達される光を受光する光学読み取り装置と、 前記光学読み取り装置と電気的に接続され、該光学読み
    取り装置にて得られた画像に基づいて前記被搬送物上の
    前記マークの有無を判断する画像処理装置とから成るこ
    とを特徴とするマーク認識装置。
  2. 【請求項2】 前記光ファイバを複数本束ねて成る光フ
    ァイバ群が設けられており、前記光ファイバの各一端が
    複数の前記被搬送物の上方にそれぞれ配置され、かつ全
    他端が前記光学読み取り装置に接続されていることを特
    徴とする請求項1記載のマーク認識装置。
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