JPH06123779A - 放射線計測装置 - Google Patents
放射線計測装置Info
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- JPH06123779A JPH06123779A JP29796292A JP29796292A JPH06123779A JP H06123779 A JPH06123779 A JP H06123779A JP 29796292 A JP29796292 A JP 29796292A JP 29796292 A JP29796292 A JP 29796292A JP H06123779 A JPH06123779 A JP H06123779A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放射線検出部の電源投入直後において放射線
検出部に異常が生じてないか否かを検出し、電源投入直
後における放射線検出部を確実に保護できるようにした
放射線計測装置を提供すること。 【構成】 放射線検出部7の駆動電源28をオンにした
とき、放射線検出部7から出力されるインヒビット信号
dの個数が設定値iよりも少なければ、前記駆動電源2
8を直ちにオフするように構成した。
検出部に異常が生じてないか否かを検出し、電源投入直
後における放射線検出部を確実に保護できるようにした
放射線計測装置を提供すること。 【構成】 放射線検出部7の駆動電源28をオンにした
とき、放射線検出部7から出力されるインヒビット信号
dの個数が設定値iよりも少なければ、前記駆動電源2
8を直ちにオフするように構成した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、放射線検出器と、この
放射線検出器の出力を積分して出力するプリアンプ部
と、このプリアンプ部の出力が一定レベルに達したとき
インヒビット信号を出力してプリアンプ部をリセットす
るリセット用フィードバック部とからなる放射線検出部
を備えた放射線計測装置に関する。
放射線検出器の出力を積分して出力するプリアンプ部
と、このプリアンプ部の出力が一定レベルに達したとき
インヒビット信号を出力してプリアンプ部をリセットす
るリセット用フィードバック部とからなる放射線検出部
を備えた放射線計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】前記放射線計測装置の一つに、試料に対
して一次X線を照射し、試料から放出される蛍光X線の
強度に基づいて試料中に含まれる成分の定量分析を行う
蛍光X線分析装置がある。図2は従来の蛍光X線分析装
置の構成を概略的に示す図で、この図において、1は開
口2を備えた試料載置台で、この試料載置台1の開口2
が形成された部分は、例えば固体状の試料3を載置でき
るように構成されている。
して一次X線を照射し、試料から放出される蛍光X線の
強度に基づいて試料中に含まれる成分の定量分析を行う
蛍光X線分析装置がある。図2は従来の蛍光X線分析装
置の構成を概略的に示す図で、この図において、1は開
口2を備えた試料載置台で、この試料載置台1の開口2
が形成された部分は、例えば固体状の試料3を載置でき
るように構成されている。
【0003】前記試料載置台1の下方には、X線源4
と、このX線源4からの一次X線5が前記試料3に照射
されたときに発生する蛍光X線6を検出する放射線検出
部(蛍光X線検出部)7とが設けられている。
と、このX線源4からの一次X線5が前記試料3に照射
されたときに発生する蛍光X線6を検出する放射線検出
部(蛍光X線検出部)7とが設けられている。
【0004】前記X線源4は、詳細には図示してない
が、高電圧発生回路8から供給される高電圧によって駆
動されて一次X線を発生するX線管と一次X線フィルタ
とからなり、X線管から出力された一次X線5は、一次
フィルタを通過することにより、例えばある元素を励起
するのに効率のよいエネルギー分布を持つ一次X線5と
なって試料3に照射されるようにしてある。
が、高電圧発生回路8から供給される高電圧によって駆
動されて一次X線を発生するX線管と一次X線フィルタ
とからなり、X線管から出力された一次X線5は、一次
フィルタを通過することにより、例えばある元素を励起
するのに効率のよいエネルギー分布を持つ一次X線5と
なって試料3に照射されるようにしてある。
【0005】前記放射線検出部7は、前記蛍光X線6を
検出し、蛍光X線6の入射エネルギーに応じた電流信号
aを出力するX線検出器9と、このX線検出器9の出力
aを積分して出力するプリアンプ部10と、このプリア
ンプ部10の出力bが一定レベルcに達したときインヒ
ビット信号dを出力してプリアンプ部10をリセットす
るリセット用フィードバック部11とからなる。
検出し、蛍光X線6の入射エネルギーに応じた電流信号
aを出力するX線検出器9と、このX線検出器9の出力
aを積分して出力するプリアンプ部10と、このプリア
ンプ部10の出力bが一定レベルcに達したときインヒ
ビット信号dを出力してプリアンプ部10をリセットす
るリセット用フィードバック部11とからなる。
【0006】より詳しく説明すると、前記X線検出器9
は、例えばSi(Li)などの半導体検出素子12とこ
れを駆動する高圧電源13とからなり、半導体検出素子
12に入射する蛍光X線6のエネルギーに応じたアナロ
グ電流信号aを出力するように構成されている。
は、例えばSi(Li)などの半導体検出素子12とこ
れを駆動する高圧電源13とからなり、半導体検出素子
12に入射する蛍光X線6のエネルギーに応じたアナロ
グ電流信号aを出力するように構成されている。
【0007】前記プリアンプ部10は、電界効果トラン
ジスタ14、アンプ15、積分用コンデンサ16などか
らなり、前記X線検出器9からのアナログ電流信号aを
完全積分してアナログ電圧信号bを出力するように構成
されている。
ジスタ14、アンプ15、積分用コンデンサ16などか
らなり、前記X線検出器9からのアナログ電流信号aを
完全積分してアナログ電圧信号bを出力するように構成
されている。
【0008】前記リセット用フィードバック部11は、
前記アナログ電圧信号bと比較電源17からの基準電圧
cとを比較する比較器18と、この比較器18の出力側
に抵抗19を介して一端が接続されると共に、他端が電
源20に接続された発光素子21とからなり、前記アナ
ログ電圧信号bが一定レベル(基準電圧c)に達したと
きに、図3に示すようなインヒビット信号dを発して発
光素子21を発光させて前記積分用コンデンサ16に蓄
積された電荷を放電させることにより、前記プリアンプ
部10をリセットさせるように構成されている。そし
て、蛍光X線6が入射する毎に、放射線検出部7から出
力されるアナログ電圧信号bは、図3に示すように階段
状に上昇するが、一定のレベルcになると、ゼロに戻る
といった動作を繰り返す。
前記アナログ電圧信号bと比較電源17からの基準電圧
cとを比較する比較器18と、この比較器18の出力側
に抵抗19を介して一端が接続されると共に、他端が電
源20に接続された発光素子21とからなり、前記アナ
ログ電圧信号bが一定レベル(基準電圧c)に達したと
きに、図3に示すようなインヒビット信号dを発して発
光素子21を発光させて前記積分用コンデンサ16に蓄
積された電荷を放電させることにより、前記プリアンプ
部10をリセットさせるように構成されている。そし
て、蛍光X線6が入射する毎に、放射線検出部7から出
力されるアナログ電圧信号bは、図3に示すように階段
状に上昇するが、一定のレベルcになると、ゼロに戻る
といった動作を繰り返す。
【0009】22は前記プリアンプ部10の出力側に接
続されるリニアアンプ部で、プリアンプ部10からの出
力bを平滑処理してアナログ電圧信号eを出力するよう
に構成されている。
続されるリニアアンプ部で、プリアンプ部10からの出
力bを平滑処理してアナログ電圧信号eを出力するよう
に構成されている。
【0010】23は例えば計数型のAD変換器で、前記
アナログ電圧信号eをディジタル信号fに変換するもの
である。
アナログ電圧信号eをディジタル信号fに変換するもの
である。
【0011】24は例えばマイコンなどの制御部で、前
記ディジタル信号fを分析処理して前記X線検出器9に
入射する蛍光X線のエネルギースペクトルを出力するマ
ルチチャンネルアナライザーなどの信号処理回路や演算
回路やメモリを備えると共に、前記高電圧発生回路8の
オンオフ制御など各種の制御を行うように構成されてい
る。なお、gは制御部24から高電圧発生回路8に対し
て送られる指令を示す。
記ディジタル信号fを分析処理して前記X線検出器9に
入射する蛍光X線のエネルギースペクトルを出力するマ
ルチチャンネルアナライザーなどの信号処理回路や演算
回路やメモリを備えると共に、前記高電圧発生回路8の
オンオフ制御など各種の制御を行うように構成されてい
る。なお、gは制御部24から高電圧発生回路8に対し
て送られる指令を示す。
【0012】上記構成の蛍光X線分析装置においては、
X線源5から一次X線5を試料3に対して照射し、その
とき試料3において生ずる蛍光X線6の強度に基づいて
試料3中に含まれる成分の種類およびその量(濃度)を
調べることができる。
X線源5から一次X線5を試料3に対して照射し、その
とき試料3において生ずる蛍光X線6の強度に基づいて
試料3中に含まれる成分の種類およびその量(濃度)を
調べることができる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に構成された蛍光X線分析装置においては、通常、高圧
電源13や電源17などをオンにして半導体検出素子1
2や比較器18を駆動した場合、蛍光X線6が半導体検
出素子12に入射していないにも拘らず、リセット用フ
ィードバック部11からインヒビット信号dが出力され
る。その理由は次の通りである。
に構成された蛍光X線分析装置においては、通常、高圧
電源13や電源17などをオンにして半導体検出素子1
2や比較器18を駆動した場合、蛍光X線6が半導体検
出素子12に入射していないにも拘らず、リセット用フ
ィードバック部11からインヒビット信号dが出力され
る。その理由は次の通りである。
【0014】すなわち、比較器18に対する電源17に
おける電圧の立ち上がりの時定数が例えば0.1秒と云
った短いのに対し、半導体検出素子12に対する高圧電
源113は、図示してないが、コンデンサなどを用いた
フィルタ回路を介して接続されており、その時定数が数
10秒もあるため、半導体検出素子12に対する印加電
圧が定常状態になるまでに数10秒もかかり、前記電源
17の投入後、前記印加電圧が定常状態になるまでは、
半導体検出素子12に電流が流れ、これがプリアンプ部
10の電界効果トランジスタ14に供給される。
おける電圧の立ち上がりの時定数が例えば0.1秒と云
った短いのに対し、半導体検出素子12に対する高圧電
源113は、図示してないが、コンデンサなどを用いた
フィルタ回路を介して接続されており、その時定数が数
10秒もあるため、半導体検出素子12に対する印加電
圧が定常状態になるまでに数10秒もかかり、前記電源
17の投入後、前記印加電圧が定常状態になるまでは、
半導体検出素子12に電流が流れ、これがプリアンプ部
10の電界効果トランジスタ14に供給される。
【0015】従って、あたかも、蛍光X線6が半導体検
出素子12に入射したときと同じように、プリアンプ部
10において完全積分が行われ、アナログ電圧信号bが
出力され、これが図4に示すように、ある勾配をもって
直線的に増加し、一定レベルに達すると、前記アナログ
電圧信号bがゼロに戻ると共に、リセット用フィードバ
ック部11からインヒビット信号dが出力される。そし
て、結果的には、前記印加電圧が定常状態になるまでに
複数のインヒビット信号dが出力されることになる。
出素子12に入射したときと同じように、プリアンプ部
10において完全積分が行われ、アナログ電圧信号bが
出力され、これが図4に示すように、ある勾配をもって
直線的に増加し、一定レベルに達すると、前記アナログ
電圧信号bがゼロに戻ると共に、リセット用フィードバ
ック部11からインヒビット信号dが出力される。そし
て、結果的には、前記印加電圧が定常状態になるまでに
複数のインヒビット信号dが出力されることになる。
【0016】しかしながら、前記電界効果トランジスタ
14が故障していたり、また、半導体検出素子12を冷
却する液体窒素がなくなっていたりすると、前記電源1
3,17の投入が行われても、インヒビット信号dは全
く生じないか、仮に生じても1つだけと言うように極め
て少なくなる。
14が故障していたり、また、半導体検出素子12を冷
却する液体窒素がなくなっていたりすると、前記電源1
3,17の投入が行われても、インヒビット信号dは全
く生じないか、仮に生じても1つだけと言うように極め
て少なくなる。
【0017】なお、前記高圧電源13による半導体検出
素子12への印加電圧が定常状態になると、蛍光X線6
が半導体検出素子12に入射したときのみ、電界効果ト
ランジスタ14に所定の電流が流れる。
素子12への印加電圧が定常状態になると、蛍光X線6
が半導体検出素子12に入射したときのみ、電界効果ト
ランジスタ14に所定の電流が流れる。
【0018】ところが、従来の蛍光X線分析装置におい
ては、このような点については全くと言ってよいほど注
意が払われてなく、従って、放射線検出部の電源投入直
後に異常が発生して、所望の分析が行えないことがあっ
た。このような問題は、半導体検出素子12を用いてX
線やγ線などを検出したり計測する他の放射線計測装置
においても生じていた。
ては、このような点については全くと言ってよいほど注
意が払われてなく、従って、放射線検出部の電源投入直
後に異常が発生して、所望の分析が行えないことがあっ
た。このような問題は、半導体検出素子12を用いてX
線やγ線などを検出したり計測する他の放射線計測装置
においても生じていた。
【0019】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、放射線検出部の電源
投入直後において放射線検出部に異常が生じてないか否
かを検出し、電源投入直後における放射線検出部を確実
に保護できるようにした放射線計測装置を提供すること
にある。
もので、その目的とするところは、放射線検出部の電源
投入直後において放射線検出部に異常が生じてないか否
かを検出し、電源投入直後における放射線検出部を確実
に保護できるようにした放射線計測装置を提供すること
にある。
【0020】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る放射線計測装置は、放射線検出部の駆
動電源をオンにしたとき、放射線検出部から出力される
インヒビット信号の個数が設定値よりも少なければ、前
記駆動電源を直ちにオフするように構成されている。
め、本発明に係る放射線計測装置は、放射線検出部の駆
動電源をオンにしたとき、放射線検出部から出力される
インヒビット信号の個数が設定値よりも少なければ、前
記駆動電源を直ちにオフするように構成されている。
【0021】
【作用】前記構成によれば、放射線検出部の駆動電源を
オンにしたとき、放射線検出部から出力されるインヒビ
ット信号の個数が設定値よりも少なければ、電界効果ト
ランジスタが故障していたり、また、半導体検出素子を
冷却する液体窒素がなくなっているなど、放射線検出部
に異常が生じていると判断でき、前記駆動電源を直ちに
オフすることにより、放射線検出部を確実に保護でき
る。
オンにしたとき、放射線検出部から出力されるインヒビ
ット信号の個数が設定値よりも少なければ、電界効果ト
ランジスタが故障していたり、また、半導体検出素子を
冷却する液体窒素がなくなっているなど、放射線検出部
に異常が生じていると判断でき、前記駆動電源を直ちに
オフすることにより、放射線検出部を確実に保護でき
る。
【0022】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【0023】図1は、本発明に係る放射線計測装置の一
構成例を示し、この図において、図2に示した符号と同
一符号は同一物である。
構成例を示し、この図において、図2に示した符号と同
一符号は同一物である。
【0024】図1において、25は放射線検出部7の構
成部材の一つであるリセット用フィードバック部11か
ら出力されるインヒビット信号dを計数するカウンタ、
26はカウンタ25の出力hを所定の設定値iと比較す
るディジタルコンパレータである。そして、この実施例
においては、前記出力hが設定値iよりも少なければ、
コンパレータ26からアラーム信号jが出力され、制御
部24に入力されるようにしてある。
成部材の一つであるリセット用フィードバック部11か
ら出力されるインヒビット信号dを計数するカウンタ、
26はカウンタ25の出力hを所定の設定値iと比較す
るディジタルコンパレータである。そして、この実施例
においては、前記出力hが設定値iよりも少なければ、
コンパレータ26からアラーム信号jが出力され、制御
部24に入力されるようにしてある。
【0025】そして、27は放射線検出部7に対する駆
動電源28をオンオフするためのスイッチで、制御部2
4からの制御指令kによって開閉制御される。
動電源28をオンオフするためのスイッチで、制御部2
4からの制御指令kによって開閉制御される。
【0026】このように構成された放射線計測装置にお
いて、スイッチ27を閉じると、放射線検出部7に対し
て駆動電源28の電圧が印加される。このとき、放射線
検出部7に何の異常も生じていないときは、既に説明し
たように、リセット用フィードバック部11からインヒ
ビット信号dが出力され、放射線検出部7における半導
体検出素子12への印加電圧が定常状態になるまでには
複数のインヒビット信号dが出力される。
いて、スイッチ27を閉じると、放射線検出部7に対し
て駆動電源28の電圧が印加される。このとき、放射線
検出部7に何の異常も生じていないときは、既に説明し
たように、リセット用フィードバック部11からインヒ
ビット信号dが出力され、放射線検出部7における半導
体検出素子12への印加電圧が定常状態になるまでには
複数のインヒビット信号dが出力される。
【0027】従って、前記ディジタルコンパレータ26
における設定値iを例えば「1」としておけば、この場
合、コンパレータ26からアラーム信号jが出力される
ことはない。
における設定値iを例えば「1」としておけば、この場
合、コンパレータ26からアラーム信号jが出力される
ことはない。
【0028】しかしながら、前記電界効果トランジスタ
14が故障していたり、また、半導体検出素子12を冷
却する液体窒素がなくなっていたりすると、インヒビッ
ト信号dは全く生じないか、仮に生じても1つだけと言
うように極めて少なくなるので、この場合、コンパレー
タ26からアラーム信号jが出力され、これが制御部2
4に入力される。このアラーム信号jを受けた制御部2
4は、直ちにスイッチ27に対して駆動電源27をオフ
とするための指令kを送る。これによって、放射線検出
部7への電源供給が停止され、放射線検出部7が保護さ
れる。
14が故障していたり、また、半導体検出素子12を冷
却する液体窒素がなくなっていたりすると、インヒビッ
ト信号dは全く生じないか、仮に生じても1つだけと言
うように極めて少なくなるので、この場合、コンパレー
タ26からアラーム信号jが出力され、これが制御部2
4に入力される。このアラーム信号jを受けた制御部2
4は、直ちにスイッチ27に対して駆動電源27をオフ
とするための指令kを送る。これによって、放射線検出
部7への電源供給が停止され、放射線検出部7が保護さ
れる。
【0029】そして、前記のようにアラーム信号jが制
御部24に入力されたとき、制御部24から適宜の警報
機器(図外)に対して警報発生指令mを発するようにし
てもよい。
御部24に入力されたとき、制御部24から適宜の警報
機器(図外)に対して警報発生指令mを発するようにし
てもよい。
【0030】なお、前記実施例においては、アラーム信
号jが制御部24に入力されたとき、制御部24が放射
線検出部7全体を駆動する電源28をオフするようにし
ているが、これに代えて、X線検出器9における高圧電
源13(図2参照)をオフするようにしてもよい。
号jが制御部24に入力されたとき、制御部24が放射
線検出部7全体を駆動する電源28をオフするようにし
ているが、これに代えて、X線検出器9における高圧電
源13(図2参照)をオフするようにしてもよい。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
放射線検出部の電源投入直後において放射線検出部に異
常が生じてないか否かを検出することができ、従って、
異常が生じている場合は、電源をオフすることにより放
射線検出部を確実に保護することができる。
放射線検出部の電源投入直後において放射線検出部に異
常が生じてないか否かを検出することができ、従って、
異常が生じている場合は、電源をオフすることにより放
射線検出部を確実に保護することができる。
【図1】本発明に係る放射線計測装置の一構成例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図2】従来の放射線計測装置の構成を示すブロック図
である。
である。
【図3】放射線検出部におけるアナログ電圧信号とイン
ヒビット信号との関係を説明するための図である。
ヒビット信号との関係を説明するための図である。
【図4】駆動電源投入直後における放射線検出部におけ
るアナログ電圧信号とインヒビット信号との関係を説明
するための図である。
るアナログ電圧信号とインヒビット信号との関係を説明
するための図である。
7…放射線検出部、8…高電圧発生回路、9…放射線検
出器、10…プリアンプ部、11…リセット用フィード
バック部、28…駆動電源、a…X線検出器の出力、b
…プリアンプ部の出力、d…インヒビット信号、h…計
数値、i…設定値。
出器、10…プリアンプ部、11…リセット用フィード
バック部、28…駆動電源、a…X線検出器の出力、b
…プリアンプ部の出力、d…インヒビット信号、h…計
数値、i…設定値。
Claims (1)
- 【請求項1】 放射線検出器と、この放射線検出器の出
力を積分して出力するプリアンプ部と、このプリアンプ
部の出力が一定レベルに達したときインヒビット信号を
出力してプリアンプ部をリセットするリセット用フィー
ドバック部とからなる放射線検出部を備えた放射線計測
装置において、前記放射線検出部の駆動電源をオンにし
たとき、放射線検出部から出力されるインヒビット信号
の個数が設定値よりも少なければ、前記駆動電源を直ち
にオフするように構成したことを特徴とする放射線計測
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29796292A JP2639904B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 放射線計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29796292A JP2639904B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 放射線計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06123779A true JPH06123779A (ja) | 1994-05-06 |
| JP2639904B2 JP2639904B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=17853347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29796292A Expired - Fee Related JP2639904B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 放射線計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2639904B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10221458A (ja) * | 1997-02-05 | 1998-08-21 | Jeol Ltd | Ad変換回路 |
| JP2000111649A (ja) * | 1998-10-02 | 2000-04-21 | Toshiba Corp | 放射線検出システム |
| WO2002042797A1 (en) * | 2000-11-22 | 2002-05-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Radiation image diagnostic system and radiation detector |
| JP2019113351A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置及び異常検知方法 |
-
1992
- 1992-10-11 JP JP29796292A patent/JP2639904B2/ja not_active Expired - Fee Related
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