JP2639903B2 - 放射線検出装置 - Google Patents
放射線検出装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料に対して一次Ｘ線
を照射し、試料から放出される蛍光Ｘ線の強度に基づい
て試料中に含まれる成分の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析
装置などにおいて用いられる放射線検出装置に関する。
を照射し、試料から放出される蛍光Ｘ線の強度に基づい
て試料中に含まれる成分の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析
装置などにおいて用いられる放射線検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の蛍光Ｘ線分析装置の構成を
概略的に示す図で、この図において、１は開口２を備え
た試料載置台で、この試料載置台１の開口２が形成され
た部分は、例えば固体状の試料３を載置できるように構
成されている。
概略的に示す図で、この図において、１は開口２を備え
た試料載置台で、この試料載置台１の開口２が形成され
た部分は、例えば固体状の試料３を載置できるように構
成されている。
【０００３】前記試料載置台１の下方には、Ｘ線源４
と、このＸ線源４からの一次Ｘ線５が前記試料３に照射
されたときに発生する蛍光Ｘ線６を検出する放射線検出
部（蛍光Ｘ線検出部）７とが設けられている。
と、このＸ線源４からの一次Ｘ線５が前記試料３に照射
されたときに発生する蛍光Ｘ線６を検出する放射線検出
部（蛍光Ｘ線検出部）７とが設けられている。
【０００４】前記Ｘ線源４は、詳細には図示してない
が、高電圧発生回路８から供給される高電圧によって駆
動されて一次Ｘ線を発生するＸ線管と一次Ｘ線フィルタ
とからなり、Ｘ線管から出力された一次Ｘ線５は、一次
フィルタを通過することにより、例えばある元素を励起
するのに効率のよいエネルギー分布を持つ一次Ｘ線５と
なって試料３に照射されるようにしてある。
が、高電圧発生回路８から供給される高電圧によって駆
動されて一次Ｘ線を発生するＸ線管と一次Ｘ線フィルタ
とからなり、Ｘ線管から出力された一次Ｘ線５は、一次
フィルタを通過することにより、例えばある元素を励起
するのに効率のよいエネルギー分布を持つ一次Ｘ線５と
なって試料３に照射されるようにしてある。
【０００５】前記放射線検出部７は、前記蛍光Ｘ線６を
検出し、蛍光Ｘ線６の入射エネルギーに応じた電流信号
ａを出力するＸ線検出器９と、このＸ線検出器９の出力
ａを積分して出力するプリアンプ部１０と、このプリア
ンプ部１０の出力ｂが一定レベルｃに達したときインヒ
ビット信号ｄを出力してプリアンプ部１０をリセットす
るリセット用フィードバック部１１とからなる。
検出し、蛍光Ｘ線６の入射エネルギーに応じた電流信号
ａを出力するＸ線検出器９と、このＸ線検出器９の出力
ａを積分して出力するプリアンプ部１０と、このプリア
ンプ部１０の出力ｂが一定レベルｃに達したときインヒ
ビット信号ｄを出力してプリアンプ部１０をリセットす
るリセット用フィードバック部１１とからなる。
【０００６】より詳しく説明すると、前記Ｘ線検出器９
は、例えばＳｉ（Ｌｉ）などの半導体検出素子１２とこ
れを駆動する高圧電源１３とからなり、半導体検出素子
１２に入射する蛍光Ｘ線６のエネルギーに応じたアナロ
グ電流信号ａを出力するように構成されている。
は、例えばＳｉ（Ｌｉ）などの半導体検出素子１２とこ
れを駆動する高圧電源１３とからなり、半導体検出素子
１２に入射する蛍光Ｘ線６のエネルギーに応じたアナロ
グ電流信号ａを出力するように構成されている。
【０００７】前記プリアンプ部１０は、電界効果トラン
ジスタ１４、アンプ１５、積分用コンデンサ１６などか
らなり、前記Ｘ線検出器９からのアナログ電流信号ａを
完全積分してアナログ電圧信号ｂを出力するように構成
されている。
ジスタ１４、アンプ１５、積分用コンデンサ１６などか
らなり、前記Ｘ線検出器９からのアナログ電流信号ａを
完全積分してアナログ電圧信号ｂを出力するように構成
されている。
【０００８】前記リセット用フィードバック部１１は、
前記アナログ電圧信号ｂと比較電源１７からの基準電圧
ｃとを比較する比較器１８と、この比較器１８の出力側
に抵抗１９を介して一端が接続されると共に、他端が電
源２０に接続された発光素子２１とからなり、前記アナ
ログ電圧信号ｂが一定レベル（基準電圧ｃ）に達したと
きに、図３に示すようなインヒビット信号ｄを発して発
光素子２１を発光させて前記積分用コンデンサ１６に蓄
積された電荷を放電させることにより、前記プリアンプ
部１０をリセットさせるように構成されている。そし
て、蛍光Ｘ線６が入射する毎に、蛍光Ｘ線検出部７から
出力されるアナログ電圧信号ｂは、図３に示すように階
段状に上昇するが、一定のレベルｃになると、ゼロに戻
るといった動作を繰り返す。
前記アナログ電圧信号ｂと比較電源１７からの基準電圧
ｃとを比較する比較器１８と、この比較器１８の出力側
に抵抗１９を介して一端が接続されると共に、他端が電
源２０に接続された発光素子２１とからなり、前記アナ
ログ電圧信号ｂが一定レベル（基準電圧ｃ）に達したと
きに、図３に示すようなインヒビット信号ｄを発して発
光素子２１を発光させて前記積分用コンデンサ１６に蓄
積された電荷を放電させることにより、前記プリアンプ
部１０をリセットさせるように構成されている。そし
て、蛍光Ｘ線６が入射する毎に、蛍光Ｘ線検出部７から
出力されるアナログ電圧信号ｂは、図３に示すように階
段状に上昇するが、一定のレベルｃになると、ゼロに戻
るといった動作を繰り返す。
【０００９】２２は前記プリアンプ部１０の出力側に接
続されるリニアアンプ部で、プリアンプ部１０からの出
力ｂを平滑処理してアナログ電圧信号ｅを出力するよう
に構成されている。
続されるリニアアンプ部で、プリアンプ部１０からの出
力ｂを平滑処理してアナログ電圧信号ｅを出力するよう
に構成されている。
【００１０】２３は例えば計数型のＡＤ変換器で、前記
アナログ電圧信号ｅをディジタル信号ｆに変換するもの
である。
アナログ電圧信号ｅをディジタル信号ｆに変換するもの
である。
【００１１】２４は例えばマイコンなどの制御部で、前
記ディジタル信号ｆを分析処理して前記Ｘ線検出器９に
入射する蛍光Ｘ線のエネルギースペクトルを出力するマ
ルチチャンネルアナライザーなどの信号処理回路や演算
回路やメモリを備えると共に、前記高電圧発生回路８の
オンオフ制御など各種の制御を行うように構成されてい
る。なお、ｇは制御部２４から高電圧発生回路８に対し
て送られる指令を示す。
記ディジタル信号ｆを分析処理して前記Ｘ線検出器９に
入射する蛍光Ｘ線のエネルギースペクトルを出力するマ
ルチチャンネルアナライザーなどの信号処理回路や演算
回路やメモリを備えると共に、前記高電圧発生回路８の
オンオフ制御など各種の制御を行うように構成されてい
る。なお、ｇは制御部２４から高電圧発生回路８に対し
て送られる指令を示す。
【００１２】上記構成の蛍光Ｘ線分析装置においては、
Ｘ線源４から一次Ｘ線５を試料３に対して照射し、その
とき試料３において生ずる蛍光Ｘ線６の強度に基づいて
試料３中に含まれる成分の種類およびその量（濃度）を
調べることができる。
Ｘ線源４から一次Ｘ線５を試料３に対して照射し、その
とき試料３において生ずる蛍光Ｘ線６の強度に基づいて
試料３中に含まれる成分の種類およびその量（濃度）を
調べることができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記Ｘ線検
出器９を構成する半導体検出素子１２は、高電圧を印加
されることによって動作するが、この半導体検出素子１
２に過大なエネルギー量のＸ線６が入射すると、半導体
検出素子１２が損傷されることがあり、半導体検出素子
１２が破損したり、回復までに時間がかかる。
出器９を構成する半導体検出素子１２は、高電圧を印加
されることによって動作するが、この半導体検出素子１
２に過大なエネルギー量のＸ線６が入射すると、半導体
検出素子１２が損傷されることがあり、半導体検出素子
１２が破損したり、回復までに時間がかかる。
【００１４】しかしながら、従来の蛍光Ｘ線分析装置に
おいては、このようなことについては殆ど考慮されてな
く、半導体検出素子１２を過酷な条件の下で使用してい
た。このため、分析中に半導体検出素子１２が故障し、
その結果、分析が中断したり、場合によっては、分析を
始めからやり直すことを余儀無くされることがあった。
このような問題は、上記蛍光Ｘ線分析装置のみならず、
Ｘ線以外の他の放射線、例えばγ線などを検出する放射
線検出装置一般に生じているところである。
おいては、このようなことについては殆ど考慮されてな
く、半導体検出素子１２を過酷な条件の下で使用してい
た。このため、分析中に半導体検出素子１２が故障し、
その結果、分析が中断したり、場合によっては、分析を
始めからやり直すことを余儀無くされることがあった。
このような問題は、上記蛍光Ｘ線分析装置のみならず、
Ｘ線以外の他の放射線、例えばγ線などを検出する放射
線検出装置一般に生じているところである。
【００１５】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、放射線検出器に対し
て過酷な状態が生じていることを検出し、分析に支障を
来さないようにした放射線検出装置を提供することにあ
る。
もので、その目的とするところは、放射線検出器に対し
て過酷な状態が生じていることを検出し、分析に支障を
来さないようにした放射線検出装置を提供することにあ
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る放射線検出装置は、放射線検出部から
出力されるインヒビット信号を計数し、その計数値が予
め設定されている値以上になったとき、放射線源に高電
圧を供給する高電圧発生回路の動作をオフするように構
成されている。
め、本発明に係る放射線検出装置は、放射線検出部から
出力されるインヒビット信号を計数し、その計数値が予
め設定されている値以上になったとき、放射線源に高電
圧を供給する高電圧発生回路の動作をオフするように構
成されている。
【００１７】ここで、放射線源とは、Ｘ線管のように直
接Ｘ線を発生するものや、荷電粒子を発生する電子管な
どのことを云う。
接Ｘ線を発生するものや、荷電粒子を発生する電子管な
どのことを云う。
【００１８】
【作用】前記構成によれば、放射線検出器に対して過酷
な状態が生じていることが検出されると、放射線源の動
作がオフされる。従って、放射線検出器に対する放射線
の入射が停止し、放射線検出器の破損が防止される。
な状態が生じていることが検出されると、放射線源の動
作がオフされる。従って、放射線検出器に対する放射線
の入射が停止し、放射線検出器の破損が防止される。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００２０】図１は、本発明を採用した蛍光Ｘ線分析装
置の一構成例を示し、この図において、図２に示した符
号と同一符号は同一物である。
置の一構成例を示し、この図において、図２に示した符
号と同一符号は同一物である。
【００２１】図１において、２５は放射線検出部７の構
成部材の一つであるリセット用フィードバック部１１か
ら出力されるインヒビット信号ｄを計数するカウンタ、
２６はカウンタ２５の出力ｈを所定の設定値ｉと比較す
るディジタルコンパレータである。このコンパレータ２
６の出力ｊは、制御部２４に入力される。
成部材の一つであるリセット用フィードバック部１１か
ら出力されるインヒビット信号ｄを計数するカウンタ、
２６はカウンタ２５の出力ｈを所定の設定値ｉと比較す
るディジタルコンパレータである。このコンパレータ２
６の出力ｊは、制御部２４に入力される。
【００２２】このように構成された蛍光Ｘ線分析装置に
おいて、Ｘ線源４から一次Ｘ線５を試料３に対して照射
すると、蛍光Ｘ線６が発生し、これが放射線検出部７の
Ｘ線検出器９に入射する。そして、この入射が繰り返さ
れると、すでに説明したように、放射線検出部７から出
力されるアナログ電圧信号ｂが、図３に示すように階段
状に上昇する。そして、このアナログ電圧信号ｂの上昇
速度は、入射する蛍光Ｘ線６のエネルギーの大きさまた
はその回数に比例して速くなるから、アナログ電圧信号
ｂがゼロに戻る回数、つまり、インヒビット信号ｄが出
力される回数がどれだけであるかを検出し、これを比較
することにより、Ｘ線検出器９を構成する半導体検出素
子１２への蛍光Ｘ線６の入射エネルギー総数を検出でき
る。
おいて、Ｘ線源４から一次Ｘ線５を試料３に対して照射
すると、蛍光Ｘ線６が発生し、これが放射線検出部７の
Ｘ線検出器９に入射する。そして、この入射が繰り返さ
れると、すでに説明したように、放射線検出部７から出
力されるアナログ電圧信号ｂが、図３に示すように階段
状に上昇する。そして、このアナログ電圧信号ｂの上昇
速度は、入射する蛍光Ｘ線６のエネルギーの大きさまた
はその回数に比例して速くなるから、アナログ電圧信号
ｂがゼロに戻る回数、つまり、インヒビット信号ｄが出
力される回数がどれだけであるかを検出し、これを比較
することにより、Ｘ線検出器９を構成する半導体検出素
子１２への蛍光Ｘ線６の入射エネルギー総数を検出でき
る。
【００２３】そこで、カウンタ２５においてインヒビッ
ト信号ｄの個数をカウントし、そのカウント値ｈをディ
ジタルコンパレータ２６において設定値ｉと比較し、例
えばこれよりも大きくなったときに、アラーム信号ｊを
制御部２４に出力するのである。このアラーム信号ｊを
受けた制御部２４は、直ちに高電圧発生回路８に動作を
停止させるための指令ｇを送る。これによって、Ｘ線源
４はその動作を停止する。従って、一次Ｘ線５が試料３
に照射されることがなくなるので、半導体検出素子１２
への蛍光Ｘ線６の入射がなくなり、半導体検出素子１２
が保護されるのである。
ト信号ｄの個数をカウントし、そのカウント値ｈをディ
ジタルコンパレータ２６において設定値ｉと比較し、例
えばこれよりも大きくなったときに、アラーム信号ｊを
制御部２４に出力するのである。このアラーム信号ｊを
受けた制御部２４は、直ちに高電圧発生回路８に動作を
停止させるための指令ｇを送る。これによって、Ｘ線源
４はその動作を停止する。従って、一次Ｘ線５が試料３
に照射されることがなくなるので、半導体検出素子１２
への蛍光Ｘ線６の入射がなくなり、半導体検出素子１２
が保護されるのである。
【００２４】そして、前記のようにアラーム信号ｊが制
御部２４に入力されたとき、制御部２４から適宜の警報
機器（図外）に対して警報発生指令ｋを発するようにし
てもよい。
御部２４に入力されたとき、制御部２４から適宜の警報
機器（図外）に対して警報発生指令ｋを発するようにし
てもよい。
【００２５】そして、高電圧発生回路８の動作を停止さ
せるのに、ディジタルコンパレータ２６の出力を高電圧
発生回路８に直接入力するようにしてもよい。
せるのに、ディジタルコンパレータ２６の出力を高電圧
発生回路８に直接入力するようにしてもよい。
【００２６】また、本発明は、Ｘ線検出器のみならず、
半導体検出器を用いた放射線検出装置全般に広く適用す
ることができる。
半導体検出器を用いた放射線検出装置全般に広く適用す
ることができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
分析中に放射線検出器が不測に故障することがなくなる
ので、分析が中断されると云ったことがなくなり、信頼
性の高い分析を行うことができる。
分析中に放射線検出器が不測に故障することがなくなる
ので、分析が中断されると云ったことがなくなり、信頼
性の高い分析を行うことができる。
【図１】本発明を採用した蛍光Ｘ線分析装置の一構成例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図２】従来の蛍光Ｘ線分析装置の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図３】蛍光Ｘ線検出部におけるアナログ電圧信号とイ
ンヒビット信号との関係を説明するための図である。
ンヒビット信号との関係を説明するための図である。
４…放射線源、８…高電圧発生回路、９…放射線検出
器、１０…プリアンプ部、１１…リセット用フィードバ
ック部、ａ…Ｘ線検出器の出力、ｂ…プリアンプ部の出
力、ｄ…インヒビット信号、ｈ…計数値、ｉ…設定値。
器、１０…プリアンプ部、１１…リセット用フィードバ
ック部、ａ…Ｘ線検出器の出力、ｂ…プリアンプ部の出
力、ｄ…インヒビット信号、ｈ…計数値、ｉ…設定値。
Claims (1)
- 【請求項１】 放射線検出器と、この放射線検出器の出
力を積分して出力するプリアンプ部と、このプリアンプ
部の出力が一定レベルに達したときインヒビット信号を
出力してプリアンプ部をリセットするリセット用フィー
ドバック部とからなる放射線検出装置において、前記イ
ンヒビット信号を計数し、その計数値が予め設定されて
いる値以上になったとき、放射線源に高電圧を供給する
高電圧発生回路の動作をオフするように構成したことを
特徴とする放射線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29796192A JP2639903B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 放射線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29796192A JP2639903B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 放射線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06123778A JPH06123778A (ja) | 1994-05-06 |
| JP2639903B2 true JP2639903B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=17853333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29796192A Expired - Fee Related JP2639903B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 放射線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2639903B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3304801B2 (ja) * | 1997-02-05 | 2002-07-22 | 日本電子株式会社 | Ａｄ変換回路 |
| JP5125807B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2013-01-23 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分析装置 |
| JP5824860B2 (ja) * | 2011-05-10 | 2015-12-02 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線制御装置 |
| JP5874109B2 (ja) * | 2014-07-23 | 2016-03-02 | 株式会社リガク | Ｘ線検出信号処理装置およびそれを用いたｘ線分析装置 |
| JP6749702B2 (ja) | 2018-11-27 | 2020-09-02 | 株式会社リガク | Ｘ線信号処理装置及びｘ線分析装置 |
-
1992
- 1992-10-11 JP JP29796192A patent/JP2639903B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06123778A (ja) | 1994-05-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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