JPH06123373A - ピエゾバルブ駆動回路 - Google Patents
ピエゾバルブ駆動回路Info
- Publication number
- JPH06123373A JPH06123373A JP29796092A JP29796092A JPH06123373A JP H06123373 A JPH06123373 A JP H06123373A JP 29796092 A JP29796092 A JP 29796092A JP 29796092 A JP29796092 A JP 29796092A JP H06123373 A JPH06123373 A JP H06123373A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- piezo
- valve
- power source
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 直線性に富み安定に使用できるピエゾバルブ
駆動回路を安価に提供すること。 【構成】 ピエゾアクチュエータ１に対して、直流電圧
と適当な周波数のパルス電圧または交流電圧とを重畳し
て印加するようにした。
駆動回路を安価に提供すること。 【構成】 ピエゾアクチュエータ１に対して、直流電圧
と適当な周波数のパルス電圧または交流電圧とを重畳し
て印加するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のピエゾ素子を積
層してなるピエゾアクチュエータによって弁を開閉して
流体の流量制御を行うピエゾバルブ駆動回路に関する。
層してなるピエゾアクチュエータによって弁を開閉して
流体の流量制御を行うピエゾバルブ駆動回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置などにおいて用いられる
マスフローコントローラや圧力調整器などには、複数の
ピエゾ素子を積層してなるピエゾアクチュエータによっ
て弁を開閉して流体の流量制御を行う所謂ピエゾバルブ
が用いられている。
マスフローコントローラや圧力調整器などには、複数の
ピエゾ素子を積層してなるピエゾアクチュエータによっ
て弁を開閉して流体の流量制御を行う所謂ピエゾバルブ
が用いられている。
【０００３】従来のピエゾバルブの駆動回路は、図４に
示すように、複数のピエゾ素子を積層して形成したアク
チュエータ（以下、ピエゾアクチュエータと云う）１に
バルブ駆動電源部２の出力信号である直流電圧を印加し
ていた。
示すように、複数のピエゾ素子を積層して形成したアク
チュエータ（以下、ピエゾアクチュエータと云う）１に
バルブ駆動電源部２の出力信号である直流電圧を印加し
ていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ピ
エゾアクチュエータ１を構成する圧電素子には、印加電
圧と歪み量の関係にヒステリシスがあり、従って、ピエ
ゾアクチュエータ１に対する印加電圧と弁の開度との関
係は図５に示すように、開時における変化と閉時におけ
る変化に差が現れ、バルブの制御特性がよくなかった。
そして、このような非直線性、ヒステリシス性を除去す
るには高価な補正回路を必要としていた。
エゾアクチュエータ１を構成する圧電素子には、印加電
圧と歪み量の関係にヒステリシスがあり、従って、ピエ
ゾアクチュエータ１に対する印加電圧と弁の開度との関
係は図５に示すように、開時における変化と閉時におけ
る変化に差が現れ、バルブの制御特性がよくなかった。
そして、このような非直線性、ヒステリシス性を除去す
るには高価な補正回路を必要としていた。
【０００５】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、直線性に富み安定に
使用できるピエゾバルブ駆動回路を安価に提供すること
にある。
もので、その目的とするところは、直線性に富み安定に
使用できるピエゾバルブ駆動回路を安価に提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るピエゾバルブ駆動回路は、ピエゾアク
チュエータに対して、直流電圧と適当な周波数のパルス
電圧または交流電圧とを重畳して印加するようにしてい
る。
め、本発明に係るピエゾバルブ駆動回路は、ピエゾアク
チュエータに対して、直流電圧と適当な周波数のパルス
電圧または交流電圧とを重畳して印加するようにしてい
る。
【０００７】
【作用】上記のように、直流電圧に、適当な周波数のパ
ルス電圧または交流電圧を重畳させたものをピエゾアク
チュエータに印加した場合、図２に示すように、ヒステ
リシス性が除去され、直線性が向上して、ピエゾバルブ
の制御特性が向上する。
ルス電圧または交流電圧を重畳させたものをピエゾアク
チュエータに印加した場合、図２に示すように、ヒステ
リシス性が除去され、直線性が向上して、ピエゾバルブ
の制御特性が向上する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施例を示し、この図に
示す構成が前記図４に示したものと大きく異なるところ
は、バルブ駆動電源部２に対してパルス電源３を接続し
た点である。このパルス電源３の出力電圧としては、例
えば周波数が５〜１０ｋＨｚ、電圧が０．５Ｖ程度が適
当であるが、ピエゾバルブの大きさによって最適値が変
わることは云うまでもない。
示す構成が前記図４に示したものと大きく異なるところ
は、バルブ駆動電源部２に対してパルス電源３を接続し
た点である。このパルス電源３の出力電圧としては、例
えば周波数が５〜１０ｋＨｚ、電圧が０．５Ｖ程度が適
当であるが、ピエゾバルブの大きさによって最適値が変
わることは云うまでもない。
【００１０】このように構成することにより、直流電圧
とパルス電圧とが重畳された状態でピエゾアクチュエー
タ１に印加される。そして、このような重畳電圧が印加
されたピエゾアクチュエータ１においてはそのヒステリ
シスが小さくなり、印加電圧と弁の開度との関係は、図
２に示すようになり、バルブの制御性が大幅に向上す
る。
とパルス電圧とが重畳された状態でピエゾアクチュエー
タ１に印加される。そして、このような重畳電圧が印加
されたピエゾアクチュエータ１においてはそのヒステリ
シスが小さくなり、印加電圧と弁の開度との関係は、図
２に示すようになり、バルブの制御性が大幅に向上す
る。
【００１１】図３は本発明の他の実施例を示し、この実
施例においては、パルス阻止フィルタ４をバルブ駆動電
源部２に対して直列に接続し、この直列回路にパルス電
源３を並列に接続している。このように構成した場合に
おいても、前記図１に示した実施例と同様に、直流電圧
とパルス電圧とが重畳された状態でピエゾアクチュエー
タ１に印加され、同様の効果を奏する。
施例においては、パルス阻止フィルタ４をバルブ駆動電
源部２に対して直列に接続し、この直列回路にパルス電
源３を並列に接続している。このように構成した場合に
おいても、前記図１に示した実施例と同様に、直流電圧
とパルス電圧とが重畳された状態でピエゾアクチュエー
タ１に印加され、同様の効果を奏する。
【００１２】本発明は、上述の実施例に限られるもので
はなく、パルス電源３に代えて、適宜の周波数の交流電
源を用いてもよい。
はなく、パルス電源３に代えて、適宜の周波数の交流電
源を用いてもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ヒステリシス性が除去され、直線性が向上して、ピエゾ
バルブの制御特性が向上する。そして、本発明において
は、高価な補正回路を用いる必要がないので、ピエゾバ
ルブ駆動回路を安価に構成できる。
ヒステリシス性が除去され、直線性が向上して、ピエゾ
バルブの制御特性が向上する。そして、本発明において
は、高価な補正回路を用いる必要がないので、ピエゾバ
ルブ駆動回路を安価に構成できる。
【図１】本発明の一実施例に係るピエゾバルブ駆動回路
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図２】前記回路を用いたピエゾバルブにおける印加電
圧と弁の開度との関係を示す図である。
圧と弁の開度との関係を示す図である。
【図３】本発明の他の実施例に係るピエゾバルブ駆動回
路の構成を示す図である。
路の構成を示す図である。
【図４】従来のピエゾバルブ駆動回路の構成を示す図で
ある。
ある。
【図５】従来のピエゾバルブにおける印加電圧と弁の開
度との関係を示す図である。
度との関係を示す図である。
１…ピエゾアクチュエータ、２…バルブ駆動電源部、３
…パルス電源。
…パルス電源。
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のピエゾ素子を積層してなるピエゾ
アクチュエータによって弁を開閉して流体の流量制御を
行うピエゾバルブ駆動回路において、前記ピエゾアクチ
ュエータに対して、直流電圧と適当な周波数のパルス電
圧または交流電圧とを重畳して印加するようにしたこと
を特徴とするピエゾバルブ駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29796092A JPH06123373A (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | ピエゾバルブ駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29796092A JPH06123373A (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | ピエゾバルブ駆動回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06123373A true JPH06123373A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17853320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29796092A Pending JPH06123373A (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | ピエゾバルブ駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06123373A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007047502A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Sharp Corp | 光学系駆動装置および圧電素子の駆動方法 |
| JP2012226205A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Olympus Imaging Corp | 駆動装置およびそれを用いた画像装置 |
| CN104595551A (zh) * | 2013-10-30 | 2015-05-06 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种三冗余伺服阀驱动电路 |
-
1992
- 1992-10-11 JP JP29796092A patent/JPH06123373A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007047502A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Sharp Corp | 光学系駆動装置および圧電素子の駆動方法 |
| JP2012226205A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Olympus Imaging Corp | 駆動装置およびそれを用いた画像装置 |
| CN104595551A (zh) * | 2013-10-30 | 2015-05-06 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种三冗余伺服阀驱动电路 |
| CN104595551B (zh) * | 2013-10-30 | 2017-04-26 | 北京精密机电控制设备研究所 | 一种三冗余伺服阀驱动电路 |
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