JPH06120096A - Marking device - Google Patents
Marking deviceInfo
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- JPH06120096A JPH06120096A JP26436692A JP26436692A JPH06120096A JP H06120096 A JPH06120096 A JP H06120096A JP 26436692 A JP26436692 A JP 26436692A JP 26436692 A JP26436692 A JP 26436692A JP H06120096 A JPH06120096 A JP H06120096A
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- mark
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- marking
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- Pending
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体パッケージ等に
レーザマーカでマーキングする装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for marking a semiconductor package or the like with a laser marker.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、レーザマーカを用いての半導体パ
ッケージへのマーキングは、レーザパワーメータを内蔵
した装置を用いて、レーザのパワー出力値を所定の値に
設定して行い、人によって該値になっているか否かの検
査を行うか、又はレーザマーカにマーク検査装置を接続
し、マーク不良が生じているか否かの検査を行うか、ど
ちらか一方の検査のみを行っていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a semiconductor package is marked with a laser marker by using a device having a built-in laser power meter and setting a laser power output value to a predetermined value. In this case, only one of the inspections is carried out, that is, whether or not a mark defect is generated by connecting a laser marker to a mark inspection device.
【0003】また、マーク不良発生時には人が介在し、
レーザのパワー出力を再設定しており、更に、被マーキ
ング半導体パッケージ(以下「加工品」という。)に対
する最適レーザパワー出力は、人が各条件毎に実際にサ
ンプルを製作し、設定値を求めていた。In addition, when a mark defect occurs, a person intervenes,
The power output of the laser is reset, and the optimum laser power output for the semiconductor package to be marked (hereinafter referred to as the "processed product") is calculated by a person who actually makes a sample for each condition. Was there.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】今後、生産ラインは省
力化が必要不可欠であり、長時間の連続運転が可能なシ
ステムが要求される。このため、人の介在を極力無く
し、人為的ミスを減らすとともに、マーク不良を発生さ
せない確実なプロテクトが必要となる。これらは、設定
ミス等の人為的ミスが起きれば、大量のマーク不良の半
導体パッケージが生じることにつながり、しかも、レー
ザマークは一度マーク不良となれば修正困難であるため
である。Labor saving is indispensable in the production line in the future, and a system capable of continuous operation for a long time is required. Therefore, it is necessary to eliminate human intervention as much as possible, reduce human error, and perform reliable protection that does not cause mark defects. This is because if a human error such as a setting error occurs, a large number of semiconductor packages with defective marks will be produced, and the laser marks will be difficult to correct once they are defective.
【0005】しかしながら、人の介在に関しては、レー
ザマーカにはレーザを発振するためのランプが必要であ
り、該ランプは消耗品であるがゆえに、劣化によるレー
ザのパワー出力の低下が発生するため、その都度、人に
よるレーザのパワー出力の再設定が必要となる。With respect to human intervention, however, the laser marker requires a lamp for oscillating the laser, and since the lamp is a consumable item, the power output of the laser is reduced due to deterioration, so that Each time, the power output of the laser needs to be reset by a person.
【0006】また、人為的ミスに関しては、従来のレー
ザパワーメータ内蔵マーキング装置を用いた場合、加工
品により必要なレーザのパワー出力が異なるため、加工
品種毎に基準値を設定しなければならず、基準設定値が
的確でない場合、マーク不良が発生しても検出できない
恐れがある。With regard to human error, when a conventional marking device with a built-in laser power meter is used, the required laser power output differs depending on the processed product, so a reference value must be set for each processed product. If the reference set value is not accurate, it may not be detected even if a mark defect occurs.
【0007】一方、従来のマーク検査装置をレーザマー
カに接続したマーキング装置を用いた場合、システムの
構成上、マーク直後に検査が出来ない場合が多く、マー
ク検査のみでは、マーク不良発生時、検査までに数個が
マーク不良のまま処理される。On the other hand, when the conventional mark inspection device is used with a marking device connected to a laser marker, it is often impossible to perform the inspection immediately after the mark due to the system configuration. With the mark inspection alone, even when a mark defect occurs, the inspection is performed. Some of them are processed with defective marks.
【0008】更に、上述のように加工品種毎に必要なレ
ーザのパワー出力は異なるため、新品種導入時には設定
基準値を求める必要があるが、この作業を従来は、人が
手動スイッチにより、レーザのパワー出力毎の加工品サ
ンプルを製作し、目視により確認するという方法を行っ
ていたため、作業性が悪く、人により基準がばらつくこ
ともあった。Further, since the required laser power output differs depending on the type of processing as described above, it is necessary to obtain a set reference value when introducing a new type. Conventionally, this work has been performed manually by a person using a manual switch. Since a method was used in which a processed product sample was produced for each power output and checked visually, workability was poor, and the standards varied from person to person.
【0009】本発明は、人の介在を減らし、マーク不良
の発生を防止するとともにレーザのパワー出力の基準値
を自動設定することが出来る手段を提供することを目的
とする。It is an object of the present invention to provide means capable of reducing human intervention, preventing the occurrence of mark defects, and automatically setting a reference value of laser power output.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明のマーキング装置
は、マーク検査装置及びレーザマーカを有するマーキン
グ装置において、前記レーザマーカのパワー出力値と予
め設定された基準値とを比較する比較手段と、前記マー
ク検査装置による検査結果が不良と判断された場合又は
前記比較手段によって前記レーザマーカのパワー出力値
が前記基準値より小さいと判断された場合に、前記レー
ザマーカのパワー出力を所定値まで増加させるパワー出
力調整手段とを設けたことを特徴とするものである。The marking device of the present invention is a marking device having a mark inspecting device and a laser marker, and comparing means for comparing a power output value of the laser marker with a preset reference value, and the mark. Power output adjustment for increasing the power output of the laser marker to a predetermined value when the inspection result of the inspection device is determined to be defective or when the comparison unit determines that the power output value of the laser marker is smaller than the reference value. Means and means are provided.
【0011】[0011]
【作用】本発明における前記第1及び第2比較手段を用
いて2重のプロテクトが行え、また、前記レーザのパワ
ー出力調整手段を用いて、人の介在なしにレーザのパワ
ー出力を基準値以上に保つことができる。Double protection can be performed by using the first and second comparing means in the present invention, and the laser power output can be adjusted to a reference value or more without human intervention by using the laser power output adjusting means. Can be kept at
【0012】[0012]
【実施例】以下、一実施例に基づいて、本発明を詳細に
説明する。The present invention will be described in detail below based on an example.
【0013】図1(a)は本発明の一実施例のマーキン
グ装置の正面図、図1(b)は同装置の平面図、図2は
同装置の主要部分の構成図、図3は同装置の動作フロー
図を示す。FIG. 1 (a) is a front view of a marking device according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 (b) is a plan view of the same device, FIG. 2 is a configuration diagram of main parts of the same device, and FIG. FIG. 3 shows an operation flow chart of the apparatus.
【0014】図1及び図2において、マガジンセット部
1は、リードフレーム状の半導体パッケージ(以下「リ
ードフレーム」という。)(図示せず。)を収納してい
るマガジン9を複数セットすることが可能であり、上段
へセットしたマガジン9からエレベーションとなってい
る一番奥の位置で1枚づつリードフレームが取り出さ
れ、一のマガジン9に収納されていた全てのリードフレ
ームが取り出された後、マガジン9を下段へ排出するよ
うになっており、ハンドリング部2は、マガジンセット
部1にセットされたマガジン9より、リードフレームを
1枚づつ順次取り出し、レーザマーク,マーク検査終了
後、良品と不良品とを振り分けて収納部5へ搬送し、指
定されたマガジン9へ収納する。In FIGS. 1 and 2, the magazine setting section 1 is capable of setting a plurality of magazines 9 accommodating lead frame-shaped semiconductor packages (hereinafter referred to as "lead frames") (not shown). It is possible and after the lead frames are taken out one by one from the magazine 9 set in the upper stage at the innermost position of elevation, and all the lead frames stored in one magazine 9 are taken out. , The magazine 9 is discharged to the lower stage, and the handling unit 2 sequentially takes out the lead frames one by one from the magazine 9 set in the magazine setting unit 1 and, after the laser mark and the mark inspection are completed, determines that the product is a good product. The defective product is sorted and conveyed to the storage unit 5, and stored in the designated magazine 9.
【0015】尚、本実施例において、半導体パッケージ
はリードフレーム状で処理されるため、一のフレーム中
に一の半導体パッケージでもマーク不良が存在すれば、
不良側のマガジン9に収納され、また、良品,不良品を
収納部5のどのマガジン9へ収納するかは自由に設定可
能である。In this embodiment, since the semiconductor package is processed in the form of a lead frame, if there is a mark defect even in one semiconductor package in one frame,
It is possible to freely set which magazine 9 in the storage unit 5 is to be stored in the defective magazine 9 and which stores the good product and the defective product.
【0016】また、レーザマーク部3はレーザパワーメ
ータを内蔵しており、レーザの出力パワーを検出し、制
御部6へ検出値を出力し、制御部6では、レーザパワー
基準値を記憶しておくメモリ部(図示せず)と、該レー
ザパワー基準値とレーザマーク部3に設けられたレーザ
パワーメータの出力パワー測定値とを比較する比較部
と、該出力パワー測定値が前記基準値を下まわった場合
又はマーク検査部4の検査結果がマーク不良であった場
合に、マーキング動作を停止し(NG)、レーザパワー
出力の設定値を上げ、NGを解除し、再びマーキング動
作を行うレーザパワー出力調整部(図示せず)とが設け
られており、レーザマーク部3からの検出値に基づいて
レーザパワー出力値を設定し、レーザマーク部3に出力
する。The laser mark unit 3 has a built-in laser power meter, detects the output power of the laser, and outputs the detected value to the control unit 6. The control unit 6 stores the laser power reference value. A memory unit (not shown) to be placed, a comparison unit for comparing the laser power reference value and the output power measurement value of the laser power meter provided in the laser mark unit 3, and the output power measurement value is the reference value. When the mark is lowered or when the inspection result of the mark inspection unit 4 is a defective mark, the marking operation is stopped (NG), the set value of the laser power output is increased, the NG is released, and the marking operation is performed again. A power output adjusting unit (not shown) is provided, and a laser power output value is set based on a detection value from the laser mark unit 3 and output to the laser mark unit 3.
【0017】尚、事前に設定した回数だけ連続してNG
が発生した場合、または、レーザマーカのレーザパワー
設定値が最高値になってもNGとなった場合は、警報を
発し、マーキング装置全体を停止させるシステムになっ
ている。尚、制御部6には、ディスプレイ7,キーボー
ド8が接続されており、現在生産中の品種名,レーザ基
準値,測定されたレーザパワー出力,処理済みの良品
数,不良品数及びマーキング内容等が常時表示されてお
り、キーボード8の操作により設定変更が可能である。It should be noted that NG is consecutively repeated a preset number of times.
If any of the above occurs, or if the laser power setting value of the laser marker becomes NG even when it reaches the maximum value, an alarm is issued and the entire marking device is stopped. A display 7 and a keyboard 8 are connected to the control unit 6, and the product name currently being produced, the laser reference value, the measured laser power output, the number of processed non-defective products, the number of defective products, the marking contents, etc. It is always displayed, and the setting can be changed by operating the keyboard 8.
【0018】更に、マーク検査部4はタクトタイムを考
慮して、各パッケージの検査方法を全文字検査又は指定
文字のみの検査が自由に設定可能であり、検査結果はパ
ッケージ毎に制御部6へ送信される。尚、レーザマーク
部3とマーク検査部4は隣接させ、マーク直後にマーク
検査を行うことにより、マーク不良発生時の不良品数を
最低限にすることができる。Further, the mark inspection unit 4 can freely set the inspection method of each package to the inspection of all characters or only the specified characters in consideration of the takt time, and the inspection result is sent to the control unit 6 for each package. Sent. The laser mark unit 3 and the mark inspection unit 4 are adjacent to each other and the mark inspection is performed immediately after the mark, so that the number of defective products when the mark defect occurs can be minimized.
【0019】次に、図1及び図3に基づいて、本発明の
一実施例の動作を説明する。Next, the operation of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【0020】まず、マガジンセット部1へリードフレー
ム収納されたマガジン9をセットし、処理しようとする
品種名を制御部6のキーボード8より入力し、予め登録
されているレーザパワー基準値をディスプレイ7上に表
示する。その後、マーク検査部4へ検査しようとするマ
ーク内容の登録番号を入力後、マーキング装置を始動さ
せる。尚、本実施例では、レーザマークの品種名とマー
ク検査の登録番号とは、オペミスを防止するため、あえ
て別々に入力することとしたが、これに限定されるもの
ではない。First, the magazine 9 containing the lead frame is set in the magazine setting section 1, the name of the product to be processed is input from the keyboard 8 of the control section 6, and the laser power reference value registered in advance is displayed on the display 7. Display on top. Then, after inputting the registration number of the mark content to be inspected into the mark inspection unit 4, the marking device is started. In the present embodiment, the type name of the laser mark and the registration number of the mark inspection are intentionally input separately in order to prevent operation mistakes, but the invention is not limited to this.
【0021】次に、レーザマーキング工程に入る前に、
レーザのみを出射し、設定値に対する実際のレーザのパ
ワー出力をレーザパワーメータにより測定する。この測
定値が基準値+αとなるように設定値を自動算出し、レ
ーザマーク部3に設定する。その後は、マーキング装置
が自動的に、リードフレームの引き出し,搬送,レーザ
マーク,マーク検査,良品・不良品の分類収納までを行
う。上記作業において、マガジン9の供給及び排出を自
動搬送で、また、品種,マーク検査登録番号入力を通信
で行えば、完全な無人化システムも可能である。Next, before starting the laser marking process,
Only the laser is emitted, and the actual laser power output with respect to the set value is measured by the laser power meter. The set value is automatically calculated so that the measured value becomes the reference value + α and set in the laser mark portion 3. After that, the marking device automatically performs lead frame extraction, conveyance, laser mark, mark inspection, and sorting of non-defective and defective products. In the above work, if the magazine 9 is supplied and discharged automatically and the product type and the mark inspection registration number are input by communication, a completely unmanned system is possible.
【0022】次に、本発明の一実施例を用いた、レーザ
パワー基準値の自動設定について説明する。これは、レ
ーザパワーメータによるレーザのパワー出力検出機能及
びマーク済文字の検出機能を利用し、加工品種によって
処理に必要なレーザパワー出力は異なるため、新品種の
導入時毎に、必要なレーザパワー出力を測定し、レーザ
パワー出力基準値を自動的に設定するものである。Next, the automatic setting of the laser power reference value using one embodiment of the present invention will be described. This is because the laser power output detection function and the marked character detection function of the laser power meter are used, and the laser power output required for processing differs depending on the processed product. The output is measured and the laser power output reference value is automatically set.
【0023】まず、対象品種と同材料のダミー加工品を
流し、設定レーザパワー出力を下限から順次上げてい
き、マーク検査でOKとなる最低パワー出力値を求め、
次に前記工程で求めた最低パワー出力値で複数個、例え
ば50個程度、ダミー加工品を流す。この際、1個でも
NGとなればレーザのパワー出力を上げ、再び同作業を
行う。以上の工程を繰り返し、全てのダミー加工品が良
品となった値をレーザパワー出力の基準値として設定
し、ディスプレイ7上へ表示する。First, a dummy processed product of the same material as the target product is flown, the set laser power output is sequentially increased from the lower limit, and the minimum power output value that is OK in the mark inspection is obtained.
Next, a plurality of dummy processed products, for example, about 50 dummy products, are flown at the minimum power output value obtained in the above process. At this time, if even one fails, the power output of the laser is increased and the same operation is performed again. The above steps are repeated, and a value at which all the dummy processed products are non-defective is set as the reference value of the laser power output and displayed on the display 7.
【0024】作業時には、ローダ部へダミーリードフレ
ーム入りのマガジン9をセットし、スイッチを押せば、
自動的に上記作業を行い、レーザパワー出力基準値設定
が完了すれば、ディスプレイ7に表示し、マーキング装
置を停止させる。その後、品種名を前記工程で設定され
たレーザパワー出力基準値に対応させて入力しておけ
ば、自動運転時に品種名を入力すれば自動的にレーザパ
ワー出力基準値は設定される。At the time of work, set the magazine 9 containing the dummy lead frame in the loader section and push the switch,
When the above work is automatically performed and the setting of the laser power output reference value is completed, it is displayed on the display 7 and the marking device is stopped. After that, if the product type name is input in correspondence with the laser power output reference value set in the above step, the laser power output reference value is automatically set by inputting the product type name during automatic operation.
【0025】なお、本実施例において、リードフレーム
状態の半導体パッケージであったが、単品状態であって
も可能であることは言うまでもない。In this embodiment, the semiconductor package is in the lead frame state, but it goes without saying that it can be in a single state.
【0026】[0026]
【発明の効果】以上、詳細に説明した様に、本発明を用
いることにより、無人化システムとして、長時間の人の
介在無く、一定のマーク品位すなわちマーキング性を保
つことができ、マーキング装置がレーザパワー出力を自
動的に調整するため、必要以上の設定値とする必要がな
く、消耗部品の長寿命化及び省エネルギー化が図れる。As described above in detail, by using the present invention, it is possible to maintain a certain mark quality, that is, marking property, as an unmanned system without human intervention for a long time. Since the laser power output is automatically adjusted, it is not necessary to set the set value more than necessary, and the life of consumable parts and energy saving can be achieved.
【0027】また、マーキング装置を止めることなく長
時間の連続運転が可能となりレーザパワー出力の再設定
時間及びマーク不良発生時のマーキング装置停止時間の
削除により、装置稼働率の向上が実現できる。Further, continuous operation can be performed for a long time without stopping the marking device, and the laser power output reset time and the marking device stop time when a mark defect occurs can be eliminated to improve the operation rate of the device.
【図1】(a)は本発明の一実施例のマーキング装置の
平面図を示し、(b)は同装置の正面図である。FIG. 1A is a plan view of a marking device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a front view of the same device.
【図2】同装置の主要部分の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a main part of the device.
【図3】同装置の動作フロー図である。FIG. 3 is an operation flowchart of the device.
1 マガジンセット部 2 ハンドリング部 3 レーザマーク部 4 マーク検査部 5 収納部 6 制御部 7 ディスプレイ 8 キーボード 9 マガジン 1 Magazine setting section 2 Handling section 3 Laser mark section 4 Mark inspection section 5 Storage section 6 Control section 7 Display 8 Keyboard 9 Magazine
Claims (1)
るマーキング装置において、 前記レーザマーカのパワー出力値と予め設定された基準
値とを比較する比較手段と、 前記マーク検査装置による検査結果が不良と判断された
場合又は前記比較手段によって前記レーザマーカのパワ
ー出力値が前記基準値より小さいと判断された場合に、
前記レーザマーカのパワー出力を所定値まで増加させる
パワー出力調整手段とを設けたことを特徴とするマーキ
ング装置。1. A mark inspection device and a marking device having a laser marker, wherein a comparison means for comparing a power output value of the laser marker with a preset reference value, and an inspection result by the mark inspection device are determined to be defective. In the case or when it is determined that the power output value of the laser marker is smaller than the reference value by the comparison means,
A marking device provided with a power output adjusting means for increasing the power output of the laser marker to a predetermined value.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26436692A JPH06120096A (en) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | Marking device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26436692A JPH06120096A (en) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | Marking device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06120096A true JPH06120096A (en) | 1994-04-28 |
Family
ID=17402159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26436692A Pending JPH06120096A (en) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | Marking device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06120096A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7705268B2 (en) * | 2004-11-11 | 2010-04-27 | Gsi Group Corporation | Method and system for laser soft marking |
-
1992
- 1992-10-02 JP JP26436692A patent/JPH06120096A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7705268B2 (en) * | 2004-11-11 | 2010-04-27 | Gsi Group Corporation | Method and system for laser soft marking |
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