JPH0611666A - 光学構造体 - Google Patents
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- JPH0611666A JPH0611666A JP5069174A JP6917493A JPH0611666A JP H0611666 A JPH0611666 A JP H0611666A JP 5069174 A JP5069174 A JP 5069174A JP 6917493 A JP6917493 A JP 6917493A JP H0611666 A JPH0611666 A JP H0611666A
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Abstract
一層優れた光学相互接続集成装置を提供する。 【構成】 回折微小レンズ502および屈折微小レンズ
501部品をダブレットレンズ500に併合し、部品を
別々に使用した得られる画像特性よりも遥かに優れた画
像特性を得る。回折/屈折微小レンズアレーを配列し、
自由空間光学置換相互接続集成装置を形成する。
Description
特に、本発明は回折面と屈折面の両方を有する素子を使
用する自由空間光学相互接続集成装置に関する。
である。ホトニクスは、光ファイバ技術(超純粋なガラ
スファイバを通して光のパルスとして情報を伝送する技
術)および自由空間光学(自由空間、例えば、空気を通
して光信号を送る)を含む。電気通信システムでは、光
ファイバは現在有望な伝送媒体になりつつある。光ファ
イバ間で光信号を切換えるために、様々な光スイッチン
グシステムが急速に開発されている。或るタイプの光ス
イッチング集成装置は光ファイバパッチパネルである。
このパネルは2個の規定順序で配列された光ファイバ列
間の恣意的であるが、固定された相互接続を形成するの
に使用される。
相互接続集成装置)は、各入力ファイバからの光信号を
平行化および偏向するための入力要素と、各出力ファイ
バについて光信号を偏向および合焦するための出力要素
とが必要である。
は、平行化/合焦および偏向の両機能を行うために、オ
フアクシス形状の微小レンズ(以下「レンズレット」と
いう)の使用を含む。運悪く、一層大きな偏向角を必要
とするほど、一層オフアクシス/オフセンターなレンズ
レットを使用しなければならない。このため、一層大き
な開口数(所定の焦点距離について一層大きな直径)を
有するレンズレットが必要である。
口数が大きいほど収差がひどくなる。更に、製造方法
は、実際に使用するのに必要な丁度よいレンズ位置の代
わりに、レンズレット全体をアレー内に配置することし
かできないので、無駄な空間が存在する。
レット(図2参照)の場合、格子成形加工処理の低解像
度のために、開口数が多くなるにつれて光効率が低下す
る。開口数が多いということは、レンズの端部における
格子周期が小さいことを意味する。所定の最小のフィー
チャーサイズでは、良好な光効率に必要なマルチレベル
の位相格子を与えるために、基本的な格子周期を更に細
分することができない。従って、高開口数と高光効率は
二律背反の関係にある。単一のオフアクシス回折レンズ
レットに伴う別の問題は、焦点距離および回折角の両方
とも波長に強く左右されることである。
作製された回折レンズレット)の場合、大きな回折角に
おける光効率の問題はなく、むしろ、小さな回折角のほ
うが問題である。しかし、製造技術(例えば、記録材料
および一次加工など)は必要な精密度を達成するにはい
まだ不十分であり、また、永久に達成できないかもしれ
ない。更に、ホログラフィックレンズレットはリソグラ
フ法により作製された回折レンズと同様に、波長に著し
く左右される。
している。このレンズは回折作用しか行わず、平行化/
合焦作用は全く果たさない。従来のホログラフィックシ
ングレット集成装置は、“Proc.SPIE”,11
36(1989)に掲載されたエッチ・コボラ(H.Kobol
la) ,エフ・ザウアー(F.Sauer) およびアール・ベルケ
ル(R.Volkel)らの「ホログラフィックタンデムアレ
ー」,および“Appl.Opt.”,(1991)2
368に掲載されたビー・ロバートソン(B.Robertson)
,イー・ジェー・レスタール(E.J.Restall) ,エム・
アール・タグヒザデフ(M.R.Taghizadeh) およびエー・
シー・ウオーカー(A.C.Walker)らの「重クロム酸ゼラチ
ンによる空間分散ホログラフィック光学要素」などの論
文中に開示されている。
すバイナリー光学タイプの回折シングレット集成装置
は、“Opt.Comm.”,79(1990)407
に掲載されたジェー・ヤーンス(J.Jahns) およびダブリ
ュ・ダッシュナー(W.Daschner)らの「回折レンズレット
アレーを使用する光学環状シフター」と題する論文に開
示されている。“OSA Proceed.on Ph
otonic Switching”,Vol.8,1
991年3月,190〜195頁に掲載されたジェー・
シュワイダー(J.Schwider),ダブリュ・ストーク(W.Sto
rk) ,エヌ・ストライブル(N.streibl) およびアール・
ヴェルケル(R.Volkel)らの「ネットワークおよび一般的
相互接続のスイッチング用の空間分散ホログラフィック
光学要素」と題する論文には、自由空間光学置換相互接
続集成装置が開示されている。
焦および回折作用の両方を果たすための、2個の別々の
回折シングレットから作製されたダブレットを提案して
いる。しかし、望ましくないことに、前記のように、純
粋なホログラフィック回折要素は強い波長依存性を示
す。更に、ホログラフィック技術は現在、光学相互接続
に必要な精密度を達成できないし、また、今後も達成で
きる見込がない。
は、光学相互接続に必要な精密度を達成できる、一層優
れた光学相互接続集成装置を提供することである。
構造体は、構造体の第1の面に入射する光線を概ね平行
化するための第1の屈折手段と、平行化光線を構造体の
第2の面に対して所定の角度で偏向するための、第2の
面上に配置された回折手段とからなる。このような光学
レンズ構造体を屈折−回折ダブレット(以下「ダブレッ
ト」と略す)と呼ぶ。
平行化/合焦および回折の併合作用を行うために純粋な
回折要素を使用する場合に比べて、波長感受性が低い。
複数個の屈折−回折ダブレットを集積モノリシックレン
ズアレー上に配列させ、そして、調和された第2のモノ
リシックレンズアレーと組み合わせた場合、得られた構
造体は自由空間光学相互接続集成装置を構成する。この
ような集成装置は例えば、2個の光ファイバアレー(す
なわち、光ファイバパッチパネル)間、マイクロレーザ
アレーと光検出器アレーとの間および更に一般的には光
ファイバ信号源と指向先との間の固定的な任意相互接続
を形成することができる。
既に提案されている。しかし、このような部品のアイデ
アは、球面収差または色収差を補正することにより屈折
レンズの平行化および合焦性能を改善するために、回折
格子を使用することである。このような回折格子の使用
例は、“Appl.Opt.”,5,(1966)58
9に掲載されたジェー・アパットニークス(J.Upatniek
s) ,エー・バンダールフ(A.Vander Lugt) およびイー
・レイス(E.Leith) らの「ホログラムによるレンズ収差
の補正」と題する論文、“Appl.Opt.”,2
7,(1988)2961に掲載されたティー・ストー
ン(T.Stone) およびエヌ・ジョージ(N.George)らの「混
成屈折−回折レンズおよびアクロマート」と題する論文
および“Photonics Spectra”,19
91年5月,110頁に掲載された「ReDiMaxダ
イヤモンド同調屈折/回折光学」と題する論文などに開
示されている。
レンズは偏向を起こさせるためにオフアクシス形状で使
用しなればならないか、または、オンアクシス形状で使
用される場合には、偏向を起こさせるために別のレンズ
が必要となる。
に説明する。
ブロックは参照符号が付けられている。参照符号の最初
の数字は部材が最初に配置された図を示す(例えば、3
01は図3に付与されている)。
パッチパネルの動作原理を示す模式図である。自由空間
光学システム300は光源ファイバアレー310からの
光束A−Dを、所定の固定相互接続パターンで、指向先
のファイバアレー320に結合する。例えば、光学シス
テム300は入力部品(基板)301,スペーサ303
および出力部品302からなる。
て、石英、シリコンまたは所望の波長で透明なその他の
適当な材料から形成されている。部品301,スペーサ
303および部品302はモノリシック集成装置に組み
立てることができる。例えば、この組立は、公知の方法
により、スペーサ303に対して部品301および30
2を接着し、正確な位置決めを行うことにより実施でき
る。その他の周知の実装技法を使用し、部品301およ
び302を相互に正確に心合わせし、更に、ファイバア
レー310および320に対して正確に心合わせして保
持することもできる。
レーに調和される。このレンズレットアレーは、光束
A,B,C,Dを平行化し、偏向し、そして、合焦し、
ファイバアレー310および320間で所望の相互接続
パターンを完成する。部品301および302はそれぞ
れ、例えば、4個の屈折−回折ダブレットレンズa,
b,c,dを有する。部品301のダブレットレンズ
は、ファイバアレー310の単光源ファイバから出てく
る分岐光束を平行化し、そして、この各光束(A,B,
C,D)を、ファイバアレー320の指向先ファイバに
対応する部品302のダブレットレンズに向けて偏向す
る。部品302のダブレットレンズは光束を共通出力方
向に再配向し、更に、光束を合焦し、この光束をファイ
バアレー320の指向先に結合させる。
イバアレー310における光源310の間隔に一致す
る。部品301は入力ファイバアレー310から約1焦
点距離f1 離れて配置されており、各レンズレットは光
源に対して、光学的中心と幾何学的中心が一致してお
り、それにより、レンズレットは光源から出る光波を概
ね平行化(以下「平行化」という)し、そして、その平
行化光を部品302の対応するレンズレットに送る。同
様に、部品302は出力ファイバアレー320から1焦
点距離f2 離れて配置されている。部品301および3
02のレンズレットの焦点距離は、特定の用途に応じ
て、異なっていてもよく、あるいは、同一であってもよ
い。
べて、本発明のレンズレットによるやり方は優れてい
る。例えば、アレー中で使用された本発明の各レンズレ
ットは、限定野を越えて機能する必要がないので、かな
り簡単なレンズでもよい。更に、部品301と302間
の伝搬距離は短い距離に限定されており、そのため、光
束A−D間では漏話は殆ど生じない。
バパッチパネル400の一例の模式的な斜視図である。
2−Dパッチパネルは入力部品401、スペーサブラケ
ット403および出力部品402からなる。図示された
スぺーサブラケットは部品401および402に接着さ
れ、部品401および402を相互に正確に心合わせ
し、更に、ファイバアレー310および320に対して
正確に心合わせして保持する。前記のスペーサ303ま
たはその他の集成装置もこの機能のために使用できる。
図示された部品401および402のそれぞれは、屈折
−回折ダブレットレンズの4×4アレー(1,1−4,
4)を有する。明確にするため、光源ファイバアレーお
よび光束をパッチパネルに結合する指向先ファイバアレ
ーは図示されていない。
1のダブレットレンズ1,4;4,3および4,4か
ら、部品402のダブレットレンズ2,3;3,4およ
び1,1に配向される光束を描写している。
成装置は光ファイバパッチパネルとして説明されている
が、このような装置はファイバアレーだけを光学的に相
互接続する必要はない。集成装置の入力および出力も、
その他の光束源および指向先に結合される自由空間に配
置することができる。例えば、光束はマイクロレーザア
レーまたはその他のレンズシステムから出射することも
でき、そして、光到達先は光検出器アレーまたはその他
のレンズシステムであることもできる。
に、このような受動光学相互接続システムも使用でき
る。“Electron.Lett.”,23,(19
87)134に掲載されたケー・イガ(K.iga) ,エス・
キノシタ(S.Kinoshita) およびエフ・コヤメ(F.Koyame)
らの「1th=6mAの微小空洞GaAAs/GaAs
面発光レーザ」と題する論文および“Electro
n.Lett.”,25,(1989)1123に掲載
されたジェー・エル・ジュエル(J.L.Jewell),エー・シ
ェーラー(A.Scherer) ,エス・エル・マッコール(S.L.M
cCall),ワイ・エッチ・リー(Y.H.Lee) ,エス・ウオー
カー(S.Walker),ジェー・ピー・ハービソン(J.P.Harbi
son)およびエル・ティー・フローレッツ(L.T.Florez)ら
の「低閾値の電気的にポンプされる垂直空洞面発光レー
ザ」と題する論文に記載されているように、光学相互接
続システムに対する入力は例えば、マイクロレーザアレ
ーから出射することができる。次いで、光学相互接続シ
ステムの出力は検出器アレーに結合させることができ
る。
次のように機能を果たす。入力部品(基板)301のダ
ブレットレンズの働きは平行化と偏向の機能を果たすこ
とである。図5および図6を参照する。ここには、光学
基板(500および600)上に形成されたダブレット
レンズの一例が図示されている。平行化は屈折レンズに
より行われる。この屈折レンズは、例えば、曲面レンズ
501の場合はホトレジスト溶融法により、また、屈折
率分布型レンズ601の場合はイオン交換法によりそれ
ぞれ作製される。これらの技法により作製される屈折レ
ンズは高開口数を有するように作製できるが、サイズお
よび画角が制限される。
成形加工する場合、ホトレジストの微小円筒を溶融する
まで加熱し、小滴を作り出す。次いで、ドライエッチン
グ技法を用いることにより、この小滴形を下部の基板
(例えば、石英製基板)に転写する。基板はシリコンか
ら作製することもできる。特に、1.3μm〜1.5μ
mのような長波長光束で使用される場合にはシリコン基
板が好ましい。屈折レンズレットは高開口数と、同時
に、高光効率を有するように作製することができる。更
に、レンズ表面から光源へ光の反射戻りを防止するため
に、平滑な屈折レンズ表面に反射防止膜を被覆すること
は容易である。一方、屈折レンズの製造により生じる成
形加工公差は、平行化動作の性能に対して殆ど影響を及
ぼさない。
ットの周知な成形加工方法は、“Appl.Op
t.”,13,(1974)89に掲載されたエル・ジ
ー・コーエン(L.G.Cohen) およびエム・ブイ・シュナイ
ダー(M.V.Schneider) らの「接合レーザを光ファイバに
結合させるための微小レンズ」と題する論文および“A
ppl.Opt.”,27,(1988)1281に掲
載されたゼット・デイー・ポポヴィック(Z.D.Popovic)
,アール・エー・スプラグ(R.A.Sprague) およびジー
・エー・エヌ・コーネル(G.A.N.Connell) らの「微小レ
ンズアレーのモノリシック成形加工方法」と題する論文
に一層詳細に説明されている。
ンズレットの成形加工方法は次の文献類に説明されてい
る。“Jpn.J.Appl.Phys.”,20,
(1981)L51に掲載されたエム・オイカワ(M.Oik
awa),ケー・イガ(K.Iga) およびティー・サナダ(T.San
ada)らの「プラスチック製分布型プレーナー微小レン
ズ」と題する論文;“Jpn.J.Appl.Phy
s.”,20,(1981)L296に掲載されたエム
・オイカワ(M.Oikawa),ケー・イガ(K.Iga) およびティ
ー・サナダ(T.Sanada)らの「イオン交換法により作製さ
れた分布型プレーナー微小レンズ」と題する論文および
“Appl.Opt.”,21,(1982)に掲載さ
れたエム・オイカワ(M.Oikawa)およびケー・イガ(K.Ig
a) らの屈折率分布型プレーナー微小レンズ」と題する
論文。
る偏向機能は、格子アレー(すなわち、回折要素502
および602、好ましくは、“バイナリー光学”タイプ
のもの)により実行される。例えば、格子アレーの公知
の成形加工方法は、“MITリンカーンラボラトリー,
1984年8月14日,NTIS Publ.No.A
D−A213−404”,(1989)に掲載されたジ
ー・ジェー・スワンソン(G.J.Swanson) の「バイナリー
光学技術:マルチレベル回折光学要素の理論と設計」と
題する論文および“Appl.Opt.”,29,(1
990)931に掲載されたジェー・ヤーンス(J.Jahn
s) およびエス・ジェー・ウオーカー(S.J.Walker)らの
「薄膜堆積により成形加工された回折微小レンズの二次
元アレー」と題する論文に記載されている。
は、“Progress in Optics”24,
(1987)3−37に掲載されたエッチ・ニシハラ
(H.Nishihara) およびティー・スハラ(T.Suhara) らの
「マイクロフレネルレンズ」と題する論文に記載されて
いるような、直接電子ビームリソグラフィーにより作製
することもできる。
に基づくので、同じ基板上に屈折アレーと回折アレーと
を真っすぐに置し、図3および図4で使用されるモノリ
シックな屈折−回折部品を作製することができる。
格子502とからなるダブレットの一例を示す。図5の
構成では、屈折要素と回折要素は基板の対向面上に向か
い合わせに配置することができる。屈折要素と回折要素
は基板の同一面上に配置することもできる。図6はプレ
ーナー(屈折率分布型)屈折微小レンズ601と回折格
子602との可能性のある組み合わせの一例を示す。別
の実施例では、屈折要素と回折要素を別々の基板上に配
置する。この場合、両基板を一緒にするように組み立て
なければならない。
る何れかのダブレット成形加工方法を使用し、各レンズ
と図3の部品301および302または図4の部品40
1および402のレンズ1,1−4,4の各々を形成す
ることができる。光リソグラフィ成形加工方法によれ
ば、このようなダブレットレンズのモノリシックアレー
を基板上に成形加工することができる。
配向をもたらす入力ダブレットレンズ(例えば、301
または401)の完成体を示す。出力ダブレットレンズ
(例えば、302または402)は左右方向(図5およ
び図6に示されたものの左右反転)の屈折−回折配向を
必要とする。このような反転配向では、光束は最初、回
折格子(502または602)により偏向されそして、
その後、屈折要素(501または602)により合焦さ
れる。従って、出力部品(302および402)のレン
ズレットも、入力部品のレンズレットと同様な屈折−回
折ダブレットとしての機能を果たす。
能を果たすために、シングレットレンズを使用するより
も本発明のダブレットレンズを使用するほうが有利であ
ることを、図1および図2を参照しながら詳細に説明す
る。オフアクシス形状の屈折シングレットレンズ(図
1)および回折シングレットレンズ(図2)は、入力部
品(301または401)により必要とされる平行化と
偏向の機能を同時に果たす。同様に、逆の形状の屈折ま
たは回折シングレットレンズは出力部品(302または
402)により必要とされる偏向および合焦の機能を果
たす。
常な制限が存在する。偏向角Xが大きくなればなるほ
ど、一層大きなオフアクシスYのレンズを使用しなけれ
ばならない。これには、ますます大きな開口数(所定の
焦点距離Fについてますます大きな直径)のレンズが必
要である。
高オフアクシスを使用するにつれて、収差は一層苛酷に
なる。更に、無駄な空間が生じる。なぜなら、成形加工
法では、実際に使用したいと欲するレンズ領域の代わり
に、アレー中にレンズレット全体を配置することしかで
きないからである。
の場合、成形加工方法の低解像度のため、光効率は開口
数が高まるにつれて低下する。高開口数はレンズの端部
における小格子周期を意味する。所定の最小フィーチャ
ーサイズでは、マルチレベル位相ステップを履行するた
めに、基本格子周期を更に細分することができない。し
かし、マルチレベル位相格子しか良好な光効率を有しな
いので、高開口数と高光効率は二律背反の関係にある。
或る意味では、偏向格子中に焦点パワーを組み込むこと
は、成形加工方法の解像度を空費することになる。なぜ
なら、その最大解像度は全要素の微小領域についてしか
使用できないからである。
う別の問題は、焦点距離および偏向角の両方とも波長に
より著しく左右されることである。この波長依存性は、
通信に使用される市販のダイオードレーザの波長が正確
に明記されていないので問題になる。代表的なレーザの
波長は1300±20nm(または1500±20n
m)の範囲内である。回折シングレットシステムはこの
ような波長範囲から逸脱する全てのレーザについて動作
するわけではない。従って、レーザダイオードの高価な
波長予備選択手段または使用する特定のレーザダイオー
ドに対して金をかけてシステムを特別にあつらえること
が必要になる。
偏向角における光効率には問題がなく、小偏向角の場合
のみ問題となる。しかし、現在の技術は必要な精密度を
有するホログラフィックレンズレットをもたらすほど十
分に精巧ではない。更に、ホログラフィックレンズレッ
トはリソグラフィー法により作製された回折レンズレッ
トと同じく、強い波長依存性を示す。
ズの開口数を平行化/合焦に部分的に使用し、そして、
ビーム偏向に部分的に使用しなければならない。しか
し、高開口数を達成するのは困難である。屈折レンズレ
ットに伴う主たる問題はオフアクシス/オフセンター形
状で生じる収差である。回折レンズに伴う基本的問題
は、必要な高解像度リソグラフィが実施できたとして
も、依然としてこのようなシステムの強い色収差が存在
することである。平行化/合焦および偏向の両機能をも
たらすシングレットレンズの解決策は実際的でないと思
われる。しかし、本発明のダブレットレンズによる解決
策では、単一要素に対する要求を軽減し、そして、自由
空間光ファイバパッチパネルの完成を実行可能にする。
体機能をそれぞれの各機能に分割することができ、この
各機能に特に適した要素により実行される。屈折レンズ
レットは平行化/合焦機能に特に適している。これらの
レンズレットは必要な開口数を有するように容易に成形
加工することができ、そして、加工後は、オンアクシス
形状に限定された近似回折の働きをする。これらのレン
ズレットは40nmの熟慮された波長周期について殆ど
無視可能な色収差しか示さない。一方、回折格子は偏向
機能を極めて簡単に果たす。対応する屈折マイクロプリ
ズムアレーの成形加工方法は存在しない。
ようなバイナリー格子または図6の多重格子602を使
用することにより成形加工することができる。
に付加し、球面収差または色収差などの屈折レンズレッ
トの収差を追加的に補正することもできる。しかし、平
行化および合焦機能の大部分は屈折レンズレットにより
果たされる。
よび格子の両方ともリソグラフィーにより成形加工でき
るので、屈折/回折ダブレットを用いる入力および出力
部品のモニリシック成形加工は容易に実行される。
光学相互接続に必要な精密度を達成できる、一層優れた
光学相互接続集成装置が得られる。
すオフアクシス/オフセンター形状で使用される従来の
屈折レンズの模式図である。
すオフアクシス/オフセンター形状で使用される従来の
回折レンズの模式図である。
用いて完成された一次元自由空間ファイバ光学パッチパ
ネルの模式図である。
図である。
を有する本発明のダブレットレンズの第1の実施例の模
式的断面図である。
を有する本発明のダブレットレンズの第2の実施例の模
式的断面図である。
Claims (13)
- 【請求項1】 第1の面に入射する光線を平行化する屈
折手段(501、601)と、 前記平行化光線を所定の角度で構造体の第2の面に偏向
させる前記第2の面上に配置された回折手段(502、
602)とを有することを特徴とする透明な光学構造
体。 - 【請求項2】 前記光学構造体は、モノリシックである
ことを特徴とする請求項1の光学構造体。 - 【請求項3】 前記屈折手段は、前記第1の面上に形成
された凸状屈折レンズであることを特徴とする請求項1
の光学構造体。 - 【請求項4】 前記凸状面は、ホトレジスト溶融法およ
び下部の第1の面へのエッチング法により成形加工され
ていることを特徴とする請求項3の光学構造体。 - 【請求項5】 前記屈折手段は、前記光学構造体の前記
回折手段の前にプレーナー屈折率分布型レンズを設ける
ことにより形成されていることを特徴とする請求項1の
光学構造体。 - 【請求項6】 前記プレーナー屈折率分布型レンズは、
イオン交換法により成形加工されることを特徴とする請
求項5の光学構造体。 - 【請求項7】 前記回折手段は、バイナリー光学タイプ
の格子であることを特徴とする請求項1の光学構造体。 - 【請求項8】 前記回折手段は、前記第2の面上に薄膜
を堆積することにより形成されることを特徴とする請求
項1の光学構造体。 - 【請求項9】 前記回折手段は、前記第2の面をエッチ
ングすることにより形成されることを特徴とする請求項
1の光学構造体。 - 【請求項10】 前記回折手段は、直接電子ビームリソ
グラフィにより形成されることを特徴とする請求項1の
光学構造体。 - 【請求項11】 光学構造体中に形成された複数個の光
学微小レンズからなり、少なくとも1個の微小レンズ
は、 前記構造体の第1の面に入射する光線を平行化するため
の屈折手段と、 前記平行化光線を所定の角度で構造体の第2の面に偏向
させる前記第2の面上に配置された回折手段とを有する
ことを特徴とするモノリシック光学構造体。 - 【請求項12】 前記屈折手段は、前記第1の面中に形
成された凸状屈折レンズであることを特徴とする請求項
11の光学構造体。 - 【請求項13】 複数個の光源と複数個の光指向先とを
相互接続するための自由空間光信号相互接続集成装置で
あって、 複数個の光学微小レンズを含有する第1のモノリシック
光学構造体と、 前記第1の構造体に対して予め心合せされた複数個の光
学微小レンズを含有する第2のモノリシック光学構造体
とを有し、前記第1のモノリシック光学構造体の微小レ
ンズのうち少なくとも1個は、 前記複数個の光源から前記第1の構造体の第1の面に入
射する光線を平行化するための屈折手段と、 前記平行化光線を所定の角度で前記第1の構造体の第2
の面に偏向させるための、前記第2の面上に配置された
回折手段とを有し、 前記第2のモノリシック光学構造体の該微小レンズのう
ち少なくとも1個は、 前記偏向平行化光線を受光するための前記第2の構造体
の第1の面上に配置された回折手段と、 前記受光平行化光線を前記複数個の光指向先のうちの一
つに合焦するための屈折手段とを有することを特徴とす
る自由空間光信号相互接続集成装置。
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