JPH0611663A - 照明光学系 - Google Patents
照明光学系Info
- Publication number
- JPH0611663A JPH0611663A JP4170394A JP17039492A JPH0611663A JP H0611663 A JPH0611663 A JP H0611663A JP 4170394 A JP4170394 A JP 4170394A JP 17039492 A JP17039492 A JP 17039492A JP H0611663 A JPH0611663 A JP H0611663A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical integrator
- light
- optical
- optical system
- integrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ＩＣ等の露光装置に用いられる照明光学系にお
いて、伝達される光量の損失がほとんどない状態で、オ
プティカルインテグレーター入射端での光の広がり状態
を変化させることを可能にする。 【構成】照明光学系を構成する楕円鏡２とオプティカル
インテグレーター３との間に、凹型の円錐面を有する第
１屈折部材ｆと第１屈折部材の凹型の円錐面に対向して
凸型の円錐面を有する第２屈折部材ｇとを配置し、これ
ら第１屈折部材ｆ及び第２屈折部材ｇ間の間隔を光軸方
向に変化させる。または、楕円鏡２とオプティカルイン
テグレーター３との間に、作用の異なる円錐型の屈折部
材ｊを交換可能に配置し、これら屈折部材ｊを交換す
る。
いて、伝達される光量の損失がほとんどない状態で、オ
プティカルインテグレーター入射端での光の広がり状態
を変化させることを可能にする。 【構成】照明光学系を構成する楕円鏡２とオプティカル
インテグレーター３との間に、凹型の円錐面を有する第
１屈折部材ｆと第１屈折部材の凹型の円錐面に対向して
凸型の円錐面を有する第２屈折部材ｇとを配置し、これ
ら第１屈折部材ｆ及び第２屈折部材ｇ間の間隔を光軸方
向に変化させる。または、楕円鏡２とオプティカルイン
テグレーター３との間に、作用の異なる円錐型の屈折部
材ｊを交換可能に配置し、これら屈折部材ｊを交換す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、対象物を均一に照明す
るための照明光学系に関するものであり、特に、ＩＣ等
の半導体製造装置用の露光照明光学系に関するものであ
る。
るための照明光学系に関するものであり、特に、ＩＣ等
の半導体製造装置用の露光照明光学系に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の照明光学系には、基本的
に図１１に示されるようなものが使用されている。この
照明光学系の原理を簡単に説明する。楕円鏡２の第一焦
点近傍に配された光源１による光は、楕円鏡２により反
射された後、オプティカルインテグレーター３の入射端
ａに入射する。オプティカルインテグレーター３の射出
端ｂには、オプティカルインテグレーターの分割数だけ
光源１の二次光源像が形成される。この二次光源像は集
光レンズ４により投影レンズ５の瞳位置ｄに結像され
る。一方、全ての二次光源像からの光は、集光レンズ４
を通してレティクルｃの上に重ねられるため、レティク
ルｃ上で均一な照明光が得られ、その結果、投影レンズ
５の結像位置ｅで均一な光量の像が得られることとな
る。
に図１１に示されるようなものが使用されている。この
照明光学系の原理を簡単に説明する。楕円鏡２の第一焦
点近傍に配された光源１による光は、楕円鏡２により反
射された後、オプティカルインテグレーター３の入射端
ａに入射する。オプティカルインテグレーター３の射出
端ｂには、オプティカルインテグレーターの分割数だけ
光源１の二次光源像が形成される。この二次光源像は集
光レンズ４により投影レンズ５の瞳位置ｄに結像され
る。一方、全ての二次光源像からの光は、集光レンズ４
を通してレティクルｃの上に重ねられるため、レティク
ルｃ上で均一な照明光が得られ、その結果、投影レンズ
５の結像位置ｅで均一な光量の像が得られることとな
る。
【０００３】このような照明光学系では、通常、光源１
及び楕円鏡２により作られるオプティカルインテグレー
ター３上での光の広がり、すなわち投影レンズ５の瞳位
置ｄでの光の広がりは一定である。しかしながら、図１
２で示されるように、光源１及び楕円鏡２とオプティカ
ルインテグレーター３との間にコリメータレンズｍを設
けた照明光学系が、特開昭６２−１２３４２３号公報で
提案されている。この照明光学系では、コリメータレン
ズｍの焦点距離を変えることにより、オプティカルイン
テグレーター３に入る光束幅、すなわちオプティカルイ
ンテグレーター入射端上での光の広がりを変えるてい
る。
及び楕円鏡２により作られるオプティカルインテグレー
ター３上での光の広がり、すなわち投影レンズ５の瞳位
置ｄでの光の広がりは一定である。しかしながら、図１
２で示されるように、光源１及び楕円鏡２とオプティカ
ルインテグレーター３との間にコリメータレンズｍを設
けた照明光学系が、特開昭６２−１２３４２３号公報で
提案されている。この照明光学系では、コリメータレン
ズｍの焦点距離を変えることにより、オプティカルイン
テグレーター３に入る光束幅、すなわちオプティカルイ
ンテグレーター入射端上での光の広がりを変えるてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体製造の分
野において、より微細加工を可能とするために位相シフ
ト法を採用したマスクの使用や、照明方法の工夫が検討
されている。いずれの場合も、投影レンズ５の瞳位置で
の強度分布形状を変化させること、すなわち、楕円鏡２
により作られるオプティカルインテグレーター３上での
光の広がりを変えることが必要とされている。
野において、より微細加工を可能とするために位相シフ
ト法を採用したマスクの使用や、照明方法の工夫が検討
されている。いずれの場合も、投影レンズ５の瞳位置で
の強度分布形状を変化させること、すなわち、楕円鏡２
により作られるオプティカルインテグレーター３上での
光の広がりを変えることが必要とされている。
【０００５】従来、オプティカルインテグレーターの固
定された広がりの範囲内で光量分布をより均一にするこ
とにより、投影レンズの性能を十分発揮させる提案が、
特開昭６２−１５０３１５号公報、特開昭５９−７３５
９号公報、特開昭５８−１４７７０８号公報等でなされ
ている。しかしながら、オプティカルインテグレーター
上での光の広がりを変化させる提案は、前述の特開昭６
２−１２３４２３号公報に見られる程度である。
定された広がりの範囲内で光量分布をより均一にするこ
とにより、投影レンズの性能を十分発揮させる提案が、
特開昭６２−１５０３１５号公報、特開昭５９−７３５
９号公報、特開昭５８−１４７７０８号公報等でなされ
ている。しかしながら、オプティカルインテグレーター
上での光の広がりを変化させる提案は、前述の特開昭６
２−１２３４２３号公報に見られる程度である。
【０００６】特開昭６２−１２３４２３号公報の例のよ
うに、コリメータレンズｍの焦点距離を変えてオプティ
カルインテグレーター３上の光の広がりを変える方法の
場合、光の広がりは広がるものの、光源そのものが広が
りを持っている際には、楕円鏡２等による結像でも完全
な点光源とは成らず、ある広がりを持った光源と成る。
このため、コリメータレンズｍの焦点距離を変化させる
ことは、上記オプティカルインテグレーター３に入射す
る光の角度を変えることとなり、伝達される光量に損失
が発生してしまう。（図１３を参照して、光源ｋが広が
りｌを持っている時、オプティカルインテグレーター３
に入射する光線の角度θ１、θ２はコリメータｍの焦点
距離ｆ１、ｆ２に応じて変化する。）本発明は、伝達さ
れる光量の損失がほとんどない状態で、オプティカルイ
ンテグレーター入射端での光の広がり状態を変化させる
ことが可能な照明光学系を提供することを目的とする。
うに、コリメータレンズｍの焦点距離を変えてオプティ
カルインテグレーター３上の光の広がりを変える方法の
場合、光の広がりは広がるものの、光源そのものが広が
りを持っている際には、楕円鏡２等による結像でも完全
な点光源とは成らず、ある広がりを持った光源と成る。
このため、コリメータレンズｍの焦点距離を変化させる
ことは、上記オプティカルインテグレーター３に入射す
る光の角度を変えることとなり、伝達される光量に損失
が発生してしまう。（図１３を参照して、光源ｋが広が
りｌを持っている時、オプティカルインテグレーター３
に入射する光線の角度θ１、θ２はコリメータｍの焦点
距離ｆ１、ｆ２に応じて変化する。）本発明は、伝達さ
れる光量の損失がほとんどない状態で、オプティカルイ
ンテグレーター入射端での光の広がり状態を変化させる
ことが可能な照明光学系を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の照明光学系は、
上記目的を達成するために、楕円鏡とオプティカルイン
テグレーターの間に、凹型の円錐面を有する第１屈折部
材と第１屈折部材の凹型の円錐面に対向して凸型の円錐
面を有する第２屈折部材とを配置し、これら第１屈折部
材及び第２屈折部材間の間隔を光軸方向に変化させるこ
とによりオプティカルインテグレーターの入射側光束の
広がり幅を調整している。さらに、広がりの状態をより
効率良く限定するために、中心部又は周辺部のみがレン
ズと同様の作用を行う光量分布補正板を配置したり、光
の広がりを変えた場合にレティクル上での光量の均一性
を確保するために、オプティカルインテグレーターを構
成する光学要素の径を一部異なるものとしている。
上記目的を達成するために、楕円鏡とオプティカルイン
テグレーターの間に、凹型の円錐面を有する第１屈折部
材と第１屈折部材の凹型の円錐面に対向して凸型の円錐
面を有する第２屈折部材とを配置し、これら第１屈折部
材及び第２屈折部材間の間隔を光軸方向に変化させるこ
とによりオプティカルインテグレーターの入射側光束の
広がり幅を調整している。さらに、広がりの状態をより
効率良く限定するために、中心部又は周辺部のみがレン
ズと同様の作用を行う光量分布補正板を配置したり、光
の広がりを変えた場合にレティクル上での光量の均一性
を確保するために、オプティカルインテグレーターを構
成する光学要素の径を一部異なるものとしている。
【０００８】また本発明の別の照明光学系は、楕円鏡と
オプティカルインテグレーターの間に、作用の異なる円
錐型の屈折部材を交換可能に配置し、これら屈折部材を
交換することによりオプティカルインテグレーターの入
射側光束の広がり幅を調整している。
オプティカルインテグレーターの間に、作用の異なる円
錐型の屈折部材を交換可能に配置し、これら屈折部材を
交換することによりオプティカルインテグレーターの入
射側光束の広がり幅を調整している。
【０００９】
【作用】上記の構成により、オプティカルインテグレー
ターの入射端での光の広がりが効率良く変化する。
ターの入射端での光の広がりが効率良く変化する。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１１】図１、図２、図４は、本発明の照明光学系
の第１実施例の構成を示すものである。なお、オプティ
カルインテグレーター３以降の構成は、従来例を示した
図１１と同様であるため省略した。オプティカルインテ
グレーター３の入射端ａに入る光線のうち、後方の投影
レンズ（図１１参照）に有効に伝達される角度範囲は、
オプティカルインテグレーター３の光学特性により限定
されている（例えば、入射角±１０゜の範囲の光線のみ
が有効に伝達される）。楕円鏡２とオプティカルインテ
グレーター３との間に、通常のレンズを入れたり、また
ズーム作用を有するレンズを入れ光の広がりを変えよう
とすると、その変化倍率に応じて光線の角度も変化す
る。このため、投影レンズに入る有効なエネルギー量が
大幅に変化し、照明光学系としては効率の悪いものとな
り好ましくない。
の第１実施例の構成を示すものである。なお、オプティ
カルインテグレーター３以降の構成は、従来例を示した
図１１と同様であるため省略した。オプティカルインテ
グレーター３の入射端ａに入る光線のうち、後方の投影
レンズ（図１１参照）に有効に伝達される角度範囲は、
オプティカルインテグレーター３の光学特性により限定
されている（例えば、入射角±１０゜の範囲の光線のみ
が有効に伝達される）。楕円鏡２とオプティカルインテ
グレーター３との間に、通常のレンズを入れたり、また
ズーム作用を有するレンズを入れ光の広がりを変えよう
とすると、その変化倍率に応じて光線の角度も変化す
る。このため、投影レンズに入る有効なエネルギー量が
大幅に変化し、照明光学系としては効率の悪いものとな
り好ましくない。
【００１２】本発明の第１の実施例のように、図１に示
す凹型の円錐面を有する第１屈折部材ｆと第１屈折部材
ｆの凹型の円錐面に対向して凸型の円錐面を有する第２
屈折部材ｇとを配置し、これら第１屈折部材ｆ及び第２
屈折部材ｇ間の間隔を光軸方向に変化させる方法を採用
した場合、オプティカルインテグレーター３に入射する
光線の角度を変えることなく入射光の広がりを変化させ
ることが出来る。例えば、第１屈折部材ｆ及び第２屈折
部材ｇ間の間隔を、図２の状態から図４の状態に変位さ
せることにより、図３から図５に示したように有効に光
の強度Ｉを変化させることが出来る。また、両屈折部材
間の間隔を図３の状態よりもさらに大きくすることによ
り、図６のような光強度分布形態とすることも可能であ
る。
す凹型の円錐面を有する第１屈折部材ｆと第１屈折部材
ｆの凹型の円錐面に対向して凸型の円錐面を有する第２
屈折部材ｇとを配置し、これら第１屈折部材ｆ及び第２
屈折部材ｇ間の間隔を光軸方向に変化させる方法を採用
した場合、オプティカルインテグレーター３に入射する
光線の角度を変えることなく入射光の広がりを変化させ
ることが出来る。例えば、第１屈折部材ｆ及び第２屈折
部材ｇ間の間隔を、図２の状態から図４の状態に変位さ
せることにより、図３から図５に示したように有効に光
の強度Ｉを変化させることが出来る。また、両屈折部材
間の間隔を図３の状態よりもさらに大きくすることによ
り、図６のような光強度分布形態とすることも可能であ
る。
【００１３】次に、本発明の第２の実施例を図７に示
す。部材ｈは中央部のみが凹レンズの作用をする部材
で、中央部の光線をほぼ有効な角度でオプティカルイン
テグレーター３の周辺部に集める。部材ｉは、オプティ
カルインテグレーター３よりはみ出した光線をオプティ
カルインテグレーター３に持込む。それぞれの部材の効
果を図８中に実線で示すとともに、オプティカルインテ
グレーター３の入射端上で得られる強度分布を図８に示
した。このように部材ｈ、ｉを用いることにより、第
１、第２屈折部材ｆ、ｇのみで得られる強度分布（図６
参照）よりも、集光度の良い輪帯形状の強度分布を得る
ことができる。
す。部材ｈは中央部のみが凹レンズの作用をする部材
で、中央部の光線をほぼ有効な角度でオプティカルイン
テグレーター３の周辺部に集める。部材ｉは、オプティ
カルインテグレーター３よりはみ出した光線をオプティ
カルインテグレーター３に持込む。それぞれの部材の効
果を図８中に実線で示すとともに、オプティカルインテ
グレーター３の入射端上で得られる強度分布を図８に示
した。このように部材ｈ、ｉを用いることにより、第
１、第２屈折部材ｆ、ｇのみで得られる強度分布（図６
参照）よりも、集光度の良い輪帯形状の強度分布を得る
ことができる。
【００１４】図９は、本発明の第３の実施例の構成を示
すものである。円錐型の屈折部材ｊの楕円鏡２側とオプ
ティカルインテグレーター３側の錐面の光軸に対する傾
き角が同一であれば、光線の角度を変えることなくオプ
ティカルインテグレーター３の入射端での光の広がりが
変化する。この実施例において、光軸と錐面の成す角度
を変えたり屈折部材の厚さを変えることで光の広がり度
合を変えることが出来るので、構成の異なる円錐型の屈
折部材ｊを交換することにより、オプティカルインテグ
レーター３の入射端での光の広がりを任意に変えること
が出来る。
すものである。円錐型の屈折部材ｊの楕円鏡２側とオプ
ティカルインテグレーター３側の錐面の光軸に対する傾
き角が同一であれば、光線の角度を変えることなくオプ
ティカルインテグレーター３の入射端での光の広がりが
変化する。この実施例において、光軸と錐面の成す角度
を変えたり屈折部材の厚さを変えることで光の広がり度
合を変えることが出来るので、構成の異なる円錐型の屈
折部材ｊを交換することにより、オプティカルインテグ
レーター３の入射端での光の広がりを任意に変えること
が出来る。
【００１５】図１０は、上記した第１乃至第３実施例に
適用可能なオプティカルインテグレーター３を示したも
のである。図１０（Ａ）に示したような異なる２つのタ
イプの強度分布にオプティカルインテグレーター３を対
応させる必要が生じた時、オプティカルインテグレータ
ー３の周辺部の光学要素を細くすることにより有効光部
の分割数を出来るだけ多くし、マスク上での均一性を保
っている。なお、光の広がりの変化に応じて最適な構成
のオプティカルインテグレーターと交換することも有効
である。また、オプティカルインテグレーター３の射出
側に、オプティカルインテグレーター３の有効径を制限
する可変または交換式の絞りを配置するのも有効であ
る。
適用可能なオプティカルインテグレーター３を示したも
のである。図１０（Ａ）に示したような異なる２つのタ
イプの強度分布にオプティカルインテグレーター３を対
応させる必要が生じた時、オプティカルインテグレータ
ー３の周辺部の光学要素を細くすることにより有効光部
の分割数を出来るだけ多くし、マスク上での均一性を保
っている。なお、光の広がりの変化に応じて最適な構成
のオプティカルインテグレーターと交換することも有効
である。また、オプティカルインテグレーター３の射出
側に、オプティカルインテグレーター３の有効径を制限
する可変または交換式の絞りを配置するのも有効であ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、本発明の照明光学系によ
れば、簡単な構成ながら光量損失をほとんど発生させる
ことなくオプティカルインテグレーター上の光の広がり
を変えることが出来る。従って、この照明光学系を搭載
することによりより、位相シフト法の採用や、照明条件
の変更が任意に出来る露光装置の開発が可能となり、微
細加工に適した露光装置の提供が可能となる。
れば、簡単な構成ながら光量損失をほとんど発生させる
ことなくオプティカルインテグレーター上の光の広がり
を変えることが出来る。従って、この照明光学系を搭載
することによりより、位相シフト法の採用や、照明条件
の変更が任意に出来る露光装置の開発が可能となり、微
細加工に適した露光装置の提供が可能となる。
【図１】本発明の第１実施例の要部の構成を示す図。
【図２】第１実施例の作用を説明する図。
【図３】第１実施例の作用を説明する図。
【図４】図２の状態におけるオプティカルインテグレー
ターの入射端上の光強度分布を示す図。
ターの入射端上の光強度分布を示す図。
【図５】図３の状態におけるオプティカルインテグレー
ターの入射端上の光強度分布を示す図。
ターの入射端上の光強度分布を示す図。
【図６】オプティカルインテグレーターの入射端上の光
強度分布を示す図。
強度分布を示す図。
【図７】本発明の第２実施例の要部の構成を示す図。
【図８】図７の状態におけるオプティカルインテグレー
ターの入射端上の光強度分布を示す図。
ターの入射端上の光強度分布を示す図。
【図９】本発明の第３実施例の要部の構成を示す図。
【図１０】オプティカルインテグレーターの構成を説明
する図。
する図。
【図１１】従来の照明光学系の構成を示す図。
【図１２】コリメータを有する従来の照明光学系の構成
を示す図。
を示す図。
【図１３】図１２の照明光学系の作用を説明する図。
１ 光源 ２ 楕円鏡 ３ オプティカルインテグレーター ４ 光学系 ５ 投影レンズ ｆ 第１屈折部材 ｇ 第２屈折部材 ｈ、ｉ 光量分布補正板 ｊ 円錐型の屈折部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/20 ５２１ 9122−2Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (4)
- 【請求項１】楕円鏡と、 楕円鏡の第一焦点近傍に配置された光源と、 楕円鏡からの光を受けて複数の二次光源を形成するオプ
ティカルインテグレーターと、 オプティカルインテグレーターにより形成される二次光
源像を投影レンズの入射瞳位置に作成すると共に、投影
レンズのオプティカルインテグレーター側に均一照度の
面を作る光学系と、 を有する照明光学系において、 楕円鏡とオプティカルインテグレーターの間に、凹型の
円錐面を有する第１屈折部材と第１屈折部材の凹型の円
錐面に対向して凸型の円錐面を有する第２屈折部材とを
配置し、これら第１屈折部材及び第２屈折部材間の間隔
を光軸方向に変化させることによりオプティカルインテ
グレーターの入射側光束の広がり幅を調整することを特
徴とする照明光学系。 - 【請求項２】第１、第２屈折部材とオプティカルインテ
グレーターの間に、中央部が凹レンズの作用を有し周辺
部が凸レンズの作用を有する光量分布補正板を配置した
ことを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。 - 【請求項３】オプティカルインテグレーターへの入射光
量分布に応じて、オプティカルインテグレーターを構成
する光学要素の径が異なっていることを特徴とする請求
項１に記載の照明光学系。 - 【請求項４】楕円鏡と、 楕円鏡の第一焦点近傍に配置された光源と、 楕円鏡からの光を受けて複数の二次光源を形成するオプ
ティカルインテグレーターと、 オプティカルインテグレーターにより形成される二次光
源像を投影レンズの入射瞳位置に作成すると共に、投影
レンズのオプティカルインテグレーター側に均一照度の
面を作る光学系と、 を有する照明光学系において、 楕円鏡とオプティカルインテグレーターの間に、作用の
異なる円錐型の屈折部材を交換可能に配置し、これら屈
折部材を交換することによりオプティカルインテグレー
ターの入射側光束の広がり幅を調整することを特徴とす
る照明光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4170394A JPH0611663A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 照明光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4170394A JPH0611663A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 照明光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611663A true JPH0611663A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15904117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4170394A Pending JPH0611663A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 照明光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611663A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9874637B2 (en) | 2010-12-14 | 2018-01-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Illumination optical system and 3D image acquisition apparatus including the same |
-
1992
- 1992-06-29 JP JP4170394A patent/JPH0611663A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9874637B2 (en) | 2010-12-14 | 2018-01-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Illumination optical system and 3D image acquisition apparatus including the same |
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