JPH06116054A - Ceramic porous body and its production - Google Patents

Ceramic porous body and its production

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JPH06116054A
JPH06116054A JP4292194A JP29219492A JPH06116054A JP H06116054 A JPH06116054 A JP H06116054A JP 4292194 A JP4292194 A JP 4292194A JP 29219492 A JP29219492 A JP 29219492A JP H06116054 A JPH06116054 A JP H06116054A
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porous body
ceramic
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sintered body
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知彦 尾形
Shuji Furuno
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    • C04B2111/0081Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00 as catalysts or catalyst carriers

Abstract

PURPOSE:To improve thermal shock resistance by etching a ceramic sintered body containing plural idiomorphic sialon crystal grains to make a porous body. CONSTITUTION:A raw material powder is prepared by blending an amorphous SiO2 powder and AlN powder, each of which has <=2.0mum particle diameter, in the mol ratio the former per latter of 0.5-4, adding 1-5wt.% sintering assistant such as Y2O3 and, if necessary, <=50wt.% Si3N4, wet-mixing in an organic solvent and pulverizing. Next, the raw material powder is metal molded, is heated at 5-10 deg.C/min temp. rising rate and sintered in a non-oxidizing atmosphere such as gaseous N2 at 1300-1700 deg.C to obtain the sialon sintered body made of the plural idiomorphic crystal grains of beta type expressed by formula, Si6-zAlzOzN8-z ((z) is <=4) and alpha type expressed by a formula, MxSi12Al12O16N16 (M is Li, Ca, etc., (x) is <=0.4) or the like and having the structure shown with each other in the crystal grain. The sintered body is dipped into NaOH solution or the like to elute and remove an amorphous phase and the ceramic porous body such as the sialon porous body having 10-70 volume % porosity is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス多孔体お
よびその製造方法に関し、特に耐熱性、低熱膨張係数、
機械的強度、化学的安定性が要求される高温触媒用の担
体として有望視される。高温触媒としては、自動車排ガ
ス浄化、触媒燃焼ヒーター、ガスタービン用燃焼触媒、
マニホールド用自動車触媒、ディーゼル用トラップ触媒
などに特に好適である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic porous body and a method for producing the same, and particularly to heat resistance, a low coefficient of thermal expansion,
It is promising as a carrier for high-temperature catalysts that require mechanical strength and chemical stability. As high-temperature catalysts, automobile exhaust gas purification, catalytic combustion heaters, gas turbine combustion catalysts,
It is particularly suitable for automobile catalysts for manifolds, trap catalysts for diesel, and the like.

【0002】さらに、膜(分離膜、選択透過膜)、形状
選択性結晶担体(モレキュラシーブ)などとしても好適
に用いられる。
Further, it is also suitably used as a membrane (separation membrane, permselective membrane), shape-selective crystal carrier (molecular sieve) and the like.

【0003】[0003]

【従来技術】多孔質セラミックスとしてよく知られてい
るものに、アルミナ、シリカ、アルミナシリカ、チタニ
ア、コーディライトなどがある。これらのセラミックス
は、一般的に700 〜800 ℃までの耐熱性がよく、化学的
安定性にもすぐれているため、それぞれのもつ物理的、
化学的特性に応じて各種用途で触媒担体として利用され
ている。
BACKGROUND ART Well known porous ceramics include alumina, silica, alumina silica, titania, cordierite and the like. Generally, these ceramics have good heat resistance up to 700-800 ° C and excellent chemical stability.
It is used as a catalyst carrier in various applications depending on its chemical properties.

【0004】最近は、とりわけNOX の抑制あるいはエ
ネルギー効率の改善といった立場から、燃焼触媒担体の
改良が行われている。従来自動車排ガス処理、触媒燃焼
用として使用されてきたアルミナコーティングのコーデ
ィライトハニカムでは、耐熱性に限界があり、1000℃を
越える高温ではアルミナが焼結し、表面積を小さくして
しまう欠点がある。また、1316℃以上では、アルミナと
コーディライトが反応して熱膨張係数の高いムライトを
生成してしまうという欠点もある。さらに、コーディラ
イトの最高使用温度は、融点が1400℃ということから13
00℃が限度であり、高温燃焼触媒用には、コーディライ
トに勝る耐熱性と、これと同等以上の熱衝撃性をもった
ハニカム構造体が必要とされる。
Recently, the combustion catalyst carrier has been improved especially from the standpoint of suppressing NO X or improving energy efficiency. Alumina-coated cordierite honeycomb that has been conventionally used for treating automobile exhaust gas and for catalytic combustion has a limit in heat resistance, and has a drawback that alumina sinters at a high temperature exceeding 1000 ° C and the surface area is reduced. Further, at 1316 ° C or higher, there is also a drawback that alumina and cordierite react with each other to form mullite having a high coefficient of thermal expansion. Furthermore, the maximum operating temperature of cordierite is 13400 because its melting point is 1400 ° C.
The maximum temperature is 00 ° C, and for a high temperature combustion catalyst, a honeycomb structure having heat resistance superior to cordierite and thermal shock resistance equal to or higher than this is required.

【0005】また、従来の多孔質セラミックスというの
は、焼結過程における条件によって気孔率を制御して得
る場合がほとんどであり、その細孔は空隙とこれを結ぶ
孔路の繰り返しのパターンである。そしてその骨格は、
粒子が粒界を介して結合したもので、組織的に不連続で
あり、脆弱な構造を有する欠点があった。
The conventional porous ceramics are almost always obtained by controlling the porosity depending on the conditions in the sintering process, and the pores are a repeating pattern of voids and pores connecting them. . And its skeleton is
Since the particles are bonded through the grain boundaries, they are structurally discontinuous and have a weak structure.

【0006】一方、多孔質セラミックスの1つとして知
られている多孔質ガラスにおいては、この多孔質ガラス
の分離相による製造方法を採っているが、多孔質ガラス
においても、耐熱性が低いといった問題点を有してい
た。
On the other hand, in the case of porous glass known as one of the porous ceramics, the manufacturing method by the separated phase of this porous glass is adopted, but the problem that the porous glass also has low heat resistance Had a point.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記従来
技術の欠点を解決し、耐熱性、化学的安定性および機械
的強度を兼ね備えたセラミックス多孔体およびその製造
方法を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art and provides a porous ceramic body having heat resistance, chemical stability and mechanical strength, and a method for producing the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、下記の構成を有する。 「(1) 複数の自形のサイアロン結晶粒子からなり、結晶
どうしが互いに交絡した組織を有することを特徴とする
セラミックス多孔体。
In order to achieve the above object, the present invention has the following constitution. “(1) A ceramic porous body comprising a plurality of automorphic sialon crystal particles and having a structure in which crystals are entangled with each other.

【0009】(2)サイアロン結晶粒子を含むセラミック
ス焼結体に、エッチング処理を施し、多孔体とすること
を特徴とするセラミックス多孔体の製造方法。」 本発明のサイアロン結晶粒子は、焼結中の反応によって
自形の結晶が生成する。この自形のサイアロン結晶粒子
は、きわめて耐熱性に優れ、高温ガス雰囲気下で化学的
に安定であり、さらに、得られる焼結体組織が交絡組織
であり、機械的に高強度であるといった特性を有する。
従来技術の欄で述べた従来の焼結法による多孔質セラミ
ックスの骨格は、粒子が粒界を介して結合したもので、
組織的に不連続であり、脆弱な構造を有するのに対し、
本発明のセラミックス多孔体の細孔構造は、くびれのな
い均一な細孔と三次元的な交絡組織によって強固な骨格
を形成している。ここで、本発明において、交絡した組
織を有するとは、2個以上のサイアロン結晶粒子が、少
なくとも一点で交わっていることを意味する(すなわ
ち、すべてが平行である場合は含まない)。
(2) A method of manufacturing a ceramic porous body, which comprises subjecting a ceramic sintered body containing sialon crystal particles to an etching treatment to form a porous body. The sialon crystal particles of the present invention are self-forming crystals generated by the reaction during sintering. These self-made sialon crystal particles have extremely high heat resistance, are chemically stable in a high temperature gas atmosphere, and the sintered body structure obtained is an entangled structure and has mechanically high strength. Have.
The skeleton of the porous ceramics by the conventional sintering method described in the section of the prior art is composed of particles bonded through grain boundaries,
Whereas it is structurally discontinuous and has a fragile structure,
The pore structure of the porous ceramic body of the present invention forms a strong skeleton by uniform pores without constrictions and a three-dimensional entangled structure. Here, in the present invention, having an entangled structure means that two or more sialon crystal particles intersect at at least one point (that is, the case where all are parallel).

【0010】本発明の自形のサイアロン結晶粒子として
は、柱状のものが得られ易く、その交絡構造を形成する
上で好ましい。また、本発明のセラミックス多孔体は、
複数の自形のサイアロン結晶粒子からなるが、サイアロ
ン結晶粒子の種類としては、同じ種類であっても、2種
類以上の粒子からなってもよい。
As the self-supporting sialon crystal particles of the present invention, columnar particles are easily obtained, which is preferable for forming an entangled structure thereof. Further, the ceramic porous body of the present invention,
Although it is composed of a plurality of automorphic sialon crystal particles, the sialon crystal particles may be of the same kind or of two or more kinds.

【0011】本発明の多孔体における気孔率は、特に限
定されるものではなく目的に応じて制御することができ
るが、表面積が充分大きく、圧損の小さい機能的な触媒
担体が得られることから、10〜70体積%であることが望
ましく、さらに、30〜60体積%であることが望ましい。
The porosity of the porous material of the present invention is not particularly limited and can be controlled according to the purpose. However, since a functional catalyst carrier having a sufficiently large surface area and a small pressure loss can be obtained, It is preferably 10 to 70% by volume, more preferably 30 to 60% by volume.

【0012】本発明のセラミックス多孔体の製造方法に
おいては、サイアロンを含むセラミックス組成原料を、
サイアロン生成温度以上で焼結反応し、次いで、必要に
より熱処理反応することによって、サイアロン結晶粒子
の分離相を生じせしめ、その後、化学的にエッチング処
理をすることにより、サイアロン結晶粒子以外の相を除
くことにより、ミクロな細孔を有するセラミックス多孔
体を得ることができる。以下に、製造方法について詳細
に述べる。 (1) 混合粉末の調合工程 本発明のセラミックス多孔体は、サイアロン結晶粒子を
生成させるのに、SiO2 およびAlNを出発原料とす
ることにより、例えば、3SiO2 +3AlN→Si3
Al3 6 3 に示すように、焼結中にサイアロン生成
反応を生じせしめることができる。
In the method for producing a ceramic porous body of the present invention, a ceramic composition raw material containing sialon is
A sintering reaction is performed at a temperature above the sialon generation temperature, and then a heat treatment reaction is performed if necessary to generate a separated phase of the sialon crystal particles, and then a chemical etching treatment is performed to remove the phases other than the sialon crystal particles. This makes it possible to obtain a ceramic porous body having microscopic pores. The manufacturing method will be described in detail below. (1) Preparation Step of Mixed Powder The ceramic porous body of the present invention uses, for example, 3SiO 2 + 3AlN → Si 3 by using SiO 2 and AlN as starting materials in order to generate sialon crystal particles.
As shown in Al 3 O 6 N 3 , a sialon forming reaction can occur during sintering.

【0013】粉末の調合工程において、原料となるSi
2 粉末とAlN粉末の他にSi34 粉末、さらに少
量のY2 3 粉末を含む混合粉末を調整することも可能
である。すなわち、生成サイアロンをSi3 4 および
/またはSi2 ON2 の粒界相成分として設計する場合
には、Si3 4 粉末を添加し、焼結助剤として緻密化
を促進させるためにY2 3 を添加する。SiO2 / A
lN系で元素の拡散を伴う焼結が、より速やかに、か
つ、より一様に行なわれるためには、粒子径はいずれも
2.0μm 以下であることが好ましい。
Si as a raw material in the powder mixing process
It is also possible to prepare a mixed powder containing Si 3 N 4 powder and a small amount of Y 2 O 3 powder in addition to O 2 powder and AlN powder. That is, when the produced sialon is designed as a grain boundary phase component of Si 3 N 4 and / or Si 2 ON 2 , Si 3 N 4 powder is added and Y is added as a sintering aid to promote densification. 2 O 3 is added. SiO 2 / A
In order to carry out the sintering with diffusion of the element in the 1N system more rapidly and more uniformly, it is preferable that the particle diameters are all 2.0 μm or less.

【0014】SiO2 粉末は非晶質であることが望まし
く、調整するセラミックス粉末の混合比率は、AlN粉
末に対するSiO2 のモル比で0.5〜4であることが
望ましい。非晶質のSiO2 が好ましく用いられるの
は、生成するサイアロン結晶粒子の大部分を非晶質と
し、熱処理によって結晶化度を制御することが比較的容
易なためである。Si3 4 を添加する場合は、50重
量%以下が望ましい。この理由は、Si3 4 は、はじ
めから組成の確定した結晶相であり、サイアロン結晶粒
子分離相に関係しないパラメータと考えられるので、気
孔率の制御にほとんど寄与しない。したがって、これが
50重量%を超えると気孔率が小さい領域の多孔体しか
作りえないことになるためである。さらに、焼結助剤と
して、Y2 3 粉末を1〜5重量%で添加するときわめ
て焼結性が向上し、緻密化が促進されるめた好ましい。
The SiO 2 powder is preferably amorphous, and the mixing ratio of the ceramic powder to be adjusted is preferably 0.5 to 4 in terms of the molar ratio of SiO 2 to AlN powder. Amorphous SiO 2 is preferably used because it is relatively easy to control the crystallinity by heat treatment because most of the produced sialon crystal particles are amorphous. When Si 3 N 4 is added, it is preferably 50% by weight or less. The reason for this is that Si 3 N 4 is a crystal phase whose composition is fixed from the beginning and is considered to be a parameter that is not related to the sialon crystal particle separation phase, and therefore contributes little to the control of porosity. Therefore, if it exceeds 50% by weight, only a porous body having a small porosity can be produced. Further, it is preferable to add Y 2 O 3 powder in an amount of 1 to 5% by weight as a sintering aid because the sinterability is remarkably improved and the densification is promoted.

【0015】混合操作は、乾式でも湿式でもよいが、混
合粉末の分散をより一様に行なわせるため、湿式混合法
によるのが望ましい。たとえば、混合粉末にイソプロピ
ルアルコール、エチルアルコール、エチレングリコー
ル、ジメチルスルホキシドなどの有機分散媒を加え、ア
トリションミル、ボールミルなどにて、よく混合、粉砕
する。
The mixing operation may be dry or wet, but it is preferable to use a wet mixing method in order to disperse the mixed powder more uniformly. For example, an organic dispersion medium such as isopropyl alcohol, ethyl alcohol, ethylene glycol, dimethylsulfoxide is added to the mixed powder, and the mixture is thoroughly mixed and pulverized with an attrition mill, ball mill or the like.

【0016】これによって、二次凝集がよく拡散し、一
次粒子がきわめて均一に分散した混合粉末が得られる。
混合、粉砕後は、ロータリーエバポレータなどにて減圧
乾燥する。エバポレータは自然乾燥や恒温乾燥で生じや
すい比重差による偏析を防止することができる。 (2) 成形工程と焼結工程 本発明においては、次に上述のように調整した混合粉末
を焼結するが、これには2つの方法がある。
As a result, secondary agglomeration is well diffused, and a mixed powder in which primary particles are extremely uniformly dispersed is obtained.
After mixing and pulverizing, it is dried under reduced pressure by a rotary evaporator or the like. The evaporator can prevent segregation due to the difference in specific gravity that tends to occur in natural drying or constant temperature drying. (2) Molding Step and Sintering Step In the present invention, the mixed powder prepared as described above is then sintered, and there are two methods.

【0017】1つは、混合粉末を、乾式静水圧成形法、
金型成形法、湿式スリップキャスティング法、射出成形
法等を用いて所望の形状に成形した後、その成形体を加
圧または無加圧下で焼結する方法である。
First, the mixed powder is processed by a dry hydrostatic molding method,
This is a method of molding into a desired shape using a die molding method, a wet slip casting method, an injection molding method or the like, and then sintering the molded body under pressure or without pressure.

【0018】もう1つは、混合粉末を成形することな
く、ホットプレス法や熱間静水圧成形(HIP)法等を
用いて加圧焼結する方法である。いずれの場合にも、焼
結は非酸化性雰囲気、たとえば、窒素ガスやアルゴンガ
ス等の不活性ガス雰囲気か、一酸化炭素ガスや水素ガス
等の還元性ガス雰囲気、または、0.1Torr 以下の減圧雰
囲気下で行うことが好ましい。焼結温度は、調整したセ
ラミックス粉末の混合比率、平均粒子径や前述した第3
成分の添加の有無及び添加量や焼結条件に応じて決まる
が、概ね1300〜1700℃の範囲内であることが好ましい。
The other is a method of pressure sintering using a hot pressing method, a hot isostatic pressing (HIP) method or the like without molding the mixed powder. In either case, sintering is performed in a non-oxidizing atmosphere, for example, an inert gas atmosphere such as nitrogen gas or argon gas, a reducing gas atmosphere such as carbon monoxide gas or hydrogen gas, or a reduced pressure of 0.1 Torr or less. It is preferably performed in an atmosphere. The sintering temperature is the mixing ratio of the adjusted ceramic powder, the average particle size and the above-mentioned third value.
The temperature is preferably in the range of 1300 to 1700 ° C., though it depends on the presence or absence of addition of the components, the addition amount, and the sintering conditions.

【0019】焼結においては、温度分布ができないよ
う、 5〜10℃/分の速度で焼結温度まで上昇させ、その
温度に所望の時間保持して焼結することが好ましい。加
圧をともなう焼結の場合には、加圧は昇温前から行なっ
てもよく、昇温速度に合わせて徐々に加圧してもよい
し、また昇温中は全く加圧しないで、所定の焼結温度に
達した時点で加圧するようにしてもよい。
In the sintering, it is preferable that the temperature is raised to the sintering temperature at a rate of 5 to 10 ° C./min, and the temperature is maintained for a desired period of time so that the temperature cannot be distributed. In the case of sintering with pressurization, the pressurization may be performed before the temperature is raised, may be gradually increased according to the temperature increase rate, or may not be applied at all during the temperature increase. The pressure may be applied when the sintering temperature is reached.

【0020】上述した組成、プロセス条件を検討し、焼
結体組織のうちサイアロン結晶粒子が主として、Si3
Al3 3 5 などのSi6-z Alz z 8-z (zは
4以下の自然数とする)で代表されるβ型サイアロン、
特定の金属と固溶してなるMx Si12Al1216
16(xは0.4 以下の整数を示す)で代表されるα型サイ
アロン、その他上記一般式に従わないシリコンアルミニ
ウム酸窒化物からなるサイアロン系化合物(Si2 Al
3 7 N、Si6 Al10214 、Si3 Al3
3+1.5X5-X 、Si3 Al2.674 4 、Si3 Al7
3 9 、Si12Al18398 、Al6 Si6 8
9 、Si3 Al3 3 5 、Si6 Al10214 、S
2 Al3 7 Nなど)、Al3 3 N、Al2 SiO
5 、Al6Si2 13、Al2 3 、Si2 ON2 、お
よびSi3 4 などのうち1種または2種以上の化合物
が原子的なレベルで混合した形の組織からなるセラミッ
クス多孔体が合成される。
The composition and process conditions described above were examined, and the sialon crystal grains in the sintered body structure were mainly composed of Si 3
Β-sialon represented by Si 6-z Al z O z N 8-z (z is a natural number of 4 or less) such as Al 3 O 3 N 5 ;
M x Si 12 Al 12 O 16 N formed as a solid solution with a specific metal
16 (x is an integer of 0.4 or less) represented by α-sialon, and other sialon compounds (Si 2 Al) that do not conform to the above general formula and are made of silicon aluminum oxynitride.
3 O 7 N, Si 6 Al 10 O 21 N 4 , Si 3 Al 3 O
3 + 1.5X N 5-X , Si 3 Al 2.67 N 4 O 4 , Si 3 Al 7
O 3 N 9 , Si 12 Al 18 O 39 N 8 , Al 6 Si 6 N 8 O
9 , Si 3 Al 3 O 3 N 5 , Si 6 Al 10 O 21 N 4 , S
i 2 Al 3 O 7 N, etc.), Al 3 O 3 N, Al 2 SiO
Porous ceramics having a structure in which one or more compounds out of 5 , 5 , Al 6 Si 2 O 13 , Al 2 O 3 , Si 2 ON 2 and Si 3 N 4 are mixed at an atomic level. The body is synthesized.

【0021】得られた焼結体組織は、X線回折、ラマン
分光、分析電子顕微鏡および電子線回折などにより結晶
解析可能であり、一部の結晶質部分と大部分の非晶質部
分からなるサイアロン結晶粒子が得られる。この段階で
の非晶質部分は、通常40〜70体積%である。
The obtained sintered body structure can be crystallized by X-ray diffraction, Raman spectroscopy, analytical electron microscope, electron beam diffraction and the like, and is composed of a part of crystalline part and most of amorphous part. Sialon crystal particles are obtained. The amorphous portion at this stage is usually 40 to 70% by volume.

【0022】上述した焼結工程によって、緻密なサイア
ロン結晶粒子焼結体が得られるが、さらに焼結時の冷却
過程または焼結後の熱処理によって、焼結体中の非晶質
部分を結晶化する工程を加える。
A dense sialon crystal grain sintered body can be obtained by the above-mentioned sintering process, and the amorphous part in the sintered body is crystallized by a cooling process during sintering or a heat treatment after sintering. Add the step to do.

【0023】この際の結晶化は、1200〜1650℃で、30分
から48時間の範囲で大気中または不活性ガス雰囲気また
は0.1Torr 以下の減圧下で熱処理することが好まし
い。
The crystallization at this time is preferably performed at 1200 to 1650 ° C. for 30 minutes to 48 hours in the air or in an inert gas atmosphere or under a reduced pressure of 0.1 Torr or less.

【0024】なお、SiO2 およびAlNを原料として
反応を伴う焼結を行う際、特に次の方法を採ることが好
ましい。
When performing sintering involving reaction using SiO 2 and AlN as raw materials, the following method is particularly preferable.

【0025】まず、焼結の際の昇温速度は、ガラスの軟
化点や融点を考慮し、5 〜10℃/分の範囲でゆっくりと
行うことが望ましい(ガラスは、セラミックスに比べて
融点が低いので、急激に加熱すると表面と内部で大きな
温度差が生じ、内部の気泡が外に抜けられずに残留し、
焼結体は多孔質状態になってしまうことがある)。
First, it is desirable that the rate of temperature rise during sintering is slowly in the range of 5 to 10 ° C./min in consideration of the softening point and melting point of glass (glass has a melting point higher than that of ceramics). Since it is low, when heated rapidly, a large temperature difference occurs between the surface and the inside, and the bubbles inside remain without being removed to the outside,
The sintered body may become porous).

【0026】原料組成比を変えることによる、具体的な
サイアロン焼結体の製造方法例を以下に示す。
A specific example of a method for producing a sialon sintered body by changing the raw material composition ratio is shown below.

【0027】まず、SiO2 / AlNの原料組成比を0.
5 〜1.5 とした場合の例を次に示す。
First, the raw material composition ratio of SiO 2 / AlN is set to 0.
The following is an example when 5 to 1.5 are set.

【0028】生成サイアロン結晶粒子としては、Si3
Al3 3 5 などの一般式がSi6-z Alz z
8-z (zは4以下の自然数を示す)で表わされるβ型サ
イアロンの他に、Si3 Al7 3 9 、Si12Al18
398 などアルミナ固溶量の多いサイアロンが生成し
やすい。
The produced sialon crystal particles include Si 3
The general formula such as Al 3 O 3 N 5 is Si 6-z Al z O z N
In addition to β-sialon represented by 8-z (z represents a natural number of 4 or less), Si 3 Al 7 O 3 N 9 , Si 12 Al 18
Sialon with a large amount of solid solution of alumina such as O 39 N 8 is easily generated.

【0029】なお、原料組成SiO2 / AlN比が極端
に1より小さい場合は、SiO2 が少なすぎて、サイア
ロンの合成反応が起こりにくく、大部分はAlNのまま
残る傾向がある。
When the raw material composition SiO 2 / AlN ratio is extremely smaller than 1, the amount of SiO 2 is too small and the synthesis reaction of sialon is difficult to occur, and most of it tends to remain AlN.

【0030】また、SiO2 / AlNの原料組成を1.5
〜4 とした場合の例を次に示す。
The raw material composition of SiO 2 / AlN is 1.5
The following is an example of setting ~ 4.

【0031】生成サイアロン結晶粒子としては、Si3
Al3 3+1.5X5-X 、Si12Al18398 およびS
2 Al3 7 Nなどが生成する。
The produced sialon crystal particles include Si 3
Al 3 O 3 + 1.5X N 5-X , Si 12 Al 18 O 39 N 8 and S
i 2 Al 3 O 7 N or the like is generated.

【0032】またこの範囲において、Y2 3 、Ln2
3 などのランタン族元素酸化物、MgO、CaOなど
のアルカリ土類元素酸化物を少量添加することによっ
て、これらの金属元素と固溶してなるMx Si12Al12
1616(xは0.4 以下の整数)で代表されるα型サイ
アロンを合成することもできる。特にSi O2 の組成比
が多い場合には、Y2 3 などの添加によって、α型サ
イアロンが優先して析出する。また、Si O2 / AlN
が極端に大きくなると、残留Si O2 の量が多過ぎてサ
イアロン組成の焼結体が得られにくい傾向がある。さら
に、非晶質および結晶化したシリカ(Si O2 )が粒界
に存在し、焼結助剤として添加したY2 3 はガーネッ
トを粒界に形成する。焼結助剤としての同じような効果
は、上記Y2 3 の他に、CeO2 、ランタン系などの
希土類元素酸化物、MgO、CaOなどのアルカリ土類
元素酸化物にも認められる。
Within this range, Y 2 O 3 , Ln 2
By adding a small amount of a lanthanum group element oxide such as O 3 or an alkaline earth element oxide such as MgO or CaO, Mx Si 12 Al 12 which forms a solid solution with these metal elements
It is also possible to synthesize α-sialon represented by O 16 N 16 (x is an integer of 0.4 or less). Particularly when the composition ratio of SiO 2 is large, α-sialon is preferentially deposited by adding Y 2 O 3 . In addition, SiO 2 / AlN
Becomes extremely large, the amount of residual SiO 2 tends to be too large, and it tends to be difficult to obtain a sintered body having a sialon composition. Furthermore, amorphous and crystallized silica (SiO 2 ) is present at the grain boundaries, and Y 2 O 3 added as a sintering aid forms garnets at the grain boundaries. Similar effects as a sintering aid are observed not only in Y 2 O 3 but also in rare earth element oxides such as CeO 2 and lanthanum, and alkaline earth element oxides such as MgO and CaO.

【0033】このようにして得られた焼結体について、
エッチング処理し、サイアロン結晶粒子以外の相を溶出
除去することにより、ミクロのセラミックス多孔体が得
られる。この場合のエッチング処理とは、アルカリ溶液
処理、酸溶液処理などがあり、アルカリ溶液、酸溶液な
どに、浸漬などすることにより、析出した分離相を溶出
除去する工程をいう。アルカリ溶液処理として、例えば
水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液などの強ア
ルカリ溶液を用いた場合、比較的短時間で処理可能であ
り、1〜2時間程度である。さらに、上記強アルカリを
融点まで加熱した融液に浸漬して処理を行うと、いっそ
う短時間(数分間)で分相が溶出除去できる。また、強
酸溶液としては、熱濃硫酸、硝酸、王水および弗酸など
が用いられる。
Regarding the sintered body thus obtained,
By performing an etching treatment to elute and remove the phases other than the sialon crystal particles, a microscopic ceramic porous body is obtained. The etching treatment in this case includes an alkali solution treatment, an acid solution treatment, and the like, and refers to a step of eluting and removing the separated phase that has precipitated by immersing in an alkali solution, an acid solution, or the like. As the alkaline solution treatment, for example, when a strong alkaline solution such as a sodium hydroxide solution or a potassium hydroxide solution is used, the treatment can be performed in a relatively short time, which is about 1 to 2 hours. Further, when the treatment is performed by immersing the above strong alkali in a melt heated to the melting point, the phase separation can be eluted and removed in a shorter time (several minutes). As the strong acid solution, hot concentrated sulfuric acid, nitric acid, aqua regia, hydrofluoric acid, etc. are used.

【0034】原料粉末として、Si3 4 、SiO2
AlNおよびY2 3 の混合粉末を用いた場合、焼結時
および熱処理過程において、SiO2 およびAlNとの
間で、たとえば、3SiO2 +3AlN→Si3 Al3
3 3 の反応が生じ、サイアロン結晶粒子がが生成さ
れる。
As raw material powders, Si 3 N 4 , SiO 2 ,
When a mixed powder of AlN and Y 2 O 3 is used, during the sintering and the heat treatment process, for example, 3SiO 2 + 3AlN → Si 3 Al 3 is formed between SiO 2 and AlN.
A reaction of O 3 N 3 occurs to produce sialon crystal particles.

【0035】以上のとおり、本発明のサイアロン多孔体
において、前段階として得られた緻密質のサイアロンセ
ラミックスは、結晶質と非晶質の部分が絡まりあった構
造を有しており、化学処理で非晶質部分を除去すること
によって目的の多孔質構造が得られる。結晶相と非晶相
(分離相)の大きさは熱力学的因子によって決定される
から、組成を一定にすれば相分離を起こさせる熱処理の
温度と時間によって制御することが可能であり、結果と
して、種々の大きさの細孔を有する多孔質サイアロンセ
ラミックスを設計することができる。この結晶粒子の大
きさは、例えば、焼結温度1500℃で、柱状の短軸径が0.
1 〜0.2 μm、長軸径が2 〜4 μmである。また、1600
℃では、短軸径が0.3 〜0.4 μm、長軸径が5 〜6 μm
となる。
As described above, in the sialon porous material of the present invention, the dense sialon ceramics obtained in the previous step has a structure in which crystalline and amorphous parts are entangled with each other, A desired porous structure is obtained by removing the amorphous portion. Since the sizes of crystalline phase and amorphous phase (separated phase) are determined by thermodynamic factors, it is possible to control the temperature and time of heat treatment that causes phase separation if the composition is kept constant. As a porous sialon ceramic having various sizes of pores can be designed. The size of the crystal particles is, for example, at a sintering temperature of 1500 ° C. and a columnar minor axis diameter of 0.
It is 1 to 0.2 μm and the major axis diameter is 2 to 4 μm. Also 1600
At ℃, minor axis diameter is 0.3-0.4 μm, major axis diameter is 5-6 μm.
Becomes

【0036】窒化珪素を複合する場合では、サイアロン
が窒化珪素と窒化珪素の隙間に生成して粒界を形成す
る。Si3 4 表面はSi2 ON2 および/またはSi
2 からなり、AlNとも反応しやすいので、サイアロ
ンとSi3 4 は整合性良く、粒界相を連続的に形成し
ていると考えられる。また、一部はSiO2 およびAl
2 3 を主成分としたガラス相となることもある。
In the case of compounding silicon nitride, sialon is formed in the gap between silicon nitride and silicon nitride to form a grain boundary. Si 3 N 4 surface is Si 2 ON 2 and / or Si
Since it consists of O 2 and easily reacts with AlN, it is considered that the sialon and Si 3 N 4 have good compatibility and form a grain boundary phase continuously. In addition, a part of SiO 2 and Al
It may become a glass phase containing 2 O 3 as a main component.

【0037】Si3 4 を用いない系では、生成サイア
ロンが主成分となり、上述の自形の結晶質部分と非晶質
部分からなるが、一部でSiO2 およびAl2 3 を主
成分とした非晶質相となる場合もある。
In a system not using Si 3 N 4 , the formed sialon is the main component, which is composed of the above-mentioned automorphic crystalline portion and amorphous portion, but SiO 2 and Al 2 O 3 are partially contained as the main components. There is also a case where it becomes an amorphous phase.

【0038】本発明の方法により得られたセラミックス
多孔体は、前述のとおり、優れた強度を有し、また、常
温から800 ℃の温度域において、2.0 ×10-6/K以下の平
均熱膨脹係数を有する。
As described above, the ceramic porous body obtained by the method of the present invention has excellent strength and has an average coefficient of thermal expansion of 2.0 × 10 −6 / K or less in the temperature range from room temperature to 800 ° C. Have.

【0039】これら材料の特徴を活かした応用分野とし
て、耐熱性、低熱膨張係数、機械的強度、化学的安定性
が要求される自動車排ガス浄化、触媒燃焼ヒーター、ガ
スタービン用燃焼触媒、マニホールド用自動車触媒、デ
ィーゼル用トラップ触媒などの高温触媒用のハニカム担
体がある。
As an application field utilizing the characteristics of these materials, automobile exhaust gas purification, catalytic combustion heater, gas turbine combustion catalyst, manifold automobile which are required to have heat resistance, low thermal expansion coefficient, mechanical strength and chemical stability. There is a honeycomb carrier for high temperature catalysts such as catalysts and trap catalysts for diesel.

【0040】さらに、サイアロンはその表面に存在する
シラノール基による働きで、表面化学修飾による表面設
計が容易であり、疎水化したり、荷電基を導入したりす
ることも可能である。
Further, sialon works by the silanol group existing on the surface of the sialon, which facilitates the surface design by surface chemical modification, and makes it possible to hydrophobize or introduce a charged group.

【0041】[0041]

【実施例】【Example】

実施例1 平均粒子径が1.2 μm の非晶質SiO2 粉末と平均粒子
径が0.3 μm のAlN粉末とを、モル比で1:1になる
ように調製し、さらにY2 3 を1重量%添加した。こ
の調合された粉末をSi3 4 ボールを粉砕メディアと
するボールミルを用いてエタノール中にて12時間粉砕混
合し、乾燥後原料粉末を得た。
Example 1 Amorphous SiO 2 powder having an average particle diameter of 1.2 μm and AlN powder having an average particle diameter of 0.3 μm were prepared in a molar ratio of 1: 1 and further 1 weight of Y 2 O 3 was added. % Added. The prepared powder was pulverized and mixed in ethanol for 12 hours using a ball mill having Si 3 N 4 balls as a pulverizing medium, and dried to obtain a raw material powder.

【0042】次に、上記粉末を1ton/cm 2 にて金型プレ
ス成形し、毎分3リットルのN2 気流中にて1500℃、2
時間常圧にて焼結した。得られた焼結体をX線回折によ
って同定したところ、結晶質のSi2 Al3 7 Nおよ
びSi12Al18398 が確認された。また分析電子顕
微鏡による電子線回折の結果、全体の60体積%は非晶質
相であることが分った。その微構造は、柱状の結晶相が
交絡したモザイク組織であり、間隙に非晶質相が存在し
た複雑構造を有する。この場合の非晶質相についてはラ
マン分光分析の結果、アルミナ固溶量の小さく、結晶化
度の低いサイアロンやY2 Si2 7 であることが判明
した。
Next, the above powder was press-molded with a die at 1 ton / cm 2, and it was heated at 1500 ° C. for 2 minutes in a N 2 gas stream of 3 liters per minute.
Sintered at normal pressure for an hour. When the obtained sintered body was identified by X-ray diffraction, crystalline Si 2 Al 3 O 7 N and Si 12 Al 18 O 39 N 8 were confirmed. As a result of electron diffraction using an analytical electron microscope, it was found that 60% by volume of the whole was an amorphous phase. The microstructure is a mosaic structure in which columnar crystal phases are entangled with each other, and has a complicated structure in which an amorphous phase is present in a gap. As a result of Raman spectroscopic analysis, the amorphous phase in this case was found to be Sialon or Y 2 Si 2 O 7 having a small amount of solid solution of alumina and low crystallinity.

【0043】この焼結体の曲げ強度は、平均37kgf/m
m2 、ビッカース硬度1280、破壊靭性2.4MPa・m 1/2
あった。熱膨張測定の結果、20℃から30℃までの平均値
は、1.4×10-6/Kであった。
The bending strength of this sintered body is 37 kgf / m on average.
It had a m 2 , a Vickers hardness of 1280 and a fracture toughness of 2.4 MPa · m 1/2 . As a result of thermal expansion measurement, the average value from 20 ° C to 30 ° C was 1.4 × 10 -6 / K.

【0044】さらに、この焼結体を320 ℃で溶融した水
酸化ナトリウム(Na OH)中に浸漬し、非晶質相を溶
出除去して、サイアロン多孔体を得た。図1にその写真
を示す。得られた多孔体の常温強度は12kgf/mm2 、1
360℃における強度は8kgf/mm2 、熱膨脹係数は1.
5×10-6/k(20〜800℃における平均値)であっ
た。 実施例2 平均粒子径が0.3 μmのSi3 4 粉末を20重量%、
平均粒子径が1.2 μmの非晶質SiO2 粉末を80重量
%と、平均粒子径が0.3 μm のAlN粉末とを、SiO
2 に対してモル比で2:1になるように調製し、さらに
全体の 1重量%となるように平均粒子径0.2 μm のY2
3 粉末を添加調合する。この調合粉末をSi3 4
ールを粉砕メディアとするボールミルを用いてエタノー
ル中にて12時間粉砕混合後、乾燥して原料粉末を得た。
Further, this sintered body was immersed in sodium hydroxide (NaOH) melted at 320 ° C. to elute and remove the amorphous phase to obtain a sialon porous body. The photograph is shown in FIG. The room temperature strength of the obtained porous body is 12 kgf / mm 2 , 1
The strength at 360 ° C is 8 kgf / mm 2 , and the coefficient of thermal expansion is 1.
It was 5 × 10 −6 / k (average value at 20 to 800 ° C.). Example 2 20% by weight of Si 3 N 4 powder having an average particle size of 0.3 μm,
80% by weight of amorphous SiO 2 powder having an average particle size of 1.2 μm and AlN powder having an average particle size of 0.3 μm were mixed with SiO 2
2 against 2 molar ratio: adjusted to be 1, the average particle size such that more and 1 wt% of the total 0.2 [mu] m of Y 2
O 3 powder is added and blended. This prepared powder was pulverized and mixed in ethanol for 12 hours using a ball mill using Si 3 N 4 balls as a pulverizing medium, and then dried to obtain a raw material powder.

【0045】次に、上記粉末を毎分3 リットルのN2
流中、1550℃にて2時間常圧で焼結した。この時の加圧
力は20MPa とした。得られた焼結体をサイアロンを結晶
化するために、1400℃で6 時間熱処理を行った。
Next, the above powder was sintered at 1550 ° C. for 2 hours at normal pressure in a N 2 gas flow of 3 liters per minute. The pressure applied at this time was 20 MPa. The obtained sintered body was heat-treated at 1400 ° C for 6 hours in order to crystallize sialon.

【0046】得られた焼結体をX線回折によって同定し
たところ、結晶質のSi3 4 、Si2 ON2 およびS
12Al18398 が確認された。また分析電子顕微鏡
による電子線回折の結果、全体の50体積%は非晶質相で
あることが分った。その微構造は、柱状の結晶相が交絡
したモザイク組織であり、間隙に非晶質相が存在した複
雑構造を有する。この場合の非晶質相についてはラマン
分光分析の結果、アルミナ固溶量の小さく、結晶化度の
低いサイアロンやY2 Si2 7 であることがわかっ
た。
When the obtained sintered body was identified by X-ray diffraction, it was found to be crystalline Si 3 N 4 , Si 2 ON 2 and S.
i 12 Al 18 O 39 N 8 was confirmed. As a result of electron diffraction using an analytical electron microscope, it was found that 50% by volume of the whole was an amorphous phase. The microstructure is a mosaic structure in which columnar crystal phases are entangled with each other, and has a complicated structure in which an amorphous phase is present in a gap. As a result of Raman spectroscopic analysis, the amorphous phase in this case was found to be Sialon or Y 2 Si 2 O 7 having a small amount of solid solution of alumina and low crystallinity.

【0047】得られた焼結体の曲げ強度は、平均95kgf/
mm2 、ビッカース硬度1850、破壊靭性5.9MPa・ m 1/2
あった。熱膨張測定の結果、20℃から30℃までの平均値
は、0.7 ×10-6/Kであった。
The bending strength of the obtained sintered body is 95 kgf / average.
mm 2 , Vickers hardness of 1850, and fracture toughness of 5.9 MPa · m 1/2 . As a result of thermal expansion measurement, the average value from 20 ° C to 30 ° C was 0.7 × 10 -6 / K.

【0048】さらに、この焼結体から10×10×1 (mm)
の試験片を切出し、160 ℃の熱濃硫酸(H2 SO4 )中
に約1時間浸漬し、非晶質相を溶出除去して、サイアロ
ン多孔体を得た。
Furthermore, from this sintered body, 10 × 10 × 1 (mm)
The test piece was cut out and immersed in hot concentrated sulfuric acid (H 2 SO 4 ) at 160 ° C. for about 1 hour to elute and remove the amorphous phase to obtain a sialon porous body.

【0049】得られた多孔体の常温強度は18kgf/m
m2 、1350℃における強度は15kgf/mm2 、熱膨脹
係数は1.8×10-6/k(20〜800℃における平均
値)であった。
The room temperature strength of the obtained porous body is 18 kgf / m.
The strength at m 2 and 1350 ° C. was 15 kgf / mm 2 , and the thermal expansion coefficient was 1.8 × 10 −6 / k (average value at 20 to 800 ° C.).

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明により得られたセラミックス多孔
体は、耐熱性に優れ、熱膨張率のきわめて小さい材料と
なっており、耐熱衝撃性に極めて優れる。さらに、機械
的強度も兼ね供えている。
The ceramic porous body obtained according to the present invention is a material having excellent heat resistance and an extremely small coefficient of thermal expansion, and thus has extremely excellent thermal shock resistance. Furthermore, it also has mechanical strength.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明実施例1により得られたサイア
ロン多孔体の結晶構造を示す写真である。
FIG. 1 is a photograph showing the crystal structure of a sialon porous body obtained according to Example 1 of the present invention.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の自形のサイアロン結晶粒子からな
り、結晶どうしが互いに交絡した組織を有することを特
徴とするセラミックス多孔体。
1. A ceramic porous body comprising a plurality of automorphic sialon crystal particles, having a structure in which crystals are entangled with each other.
【請求項2】該結晶粒子が、柱状晶であることを特徴と
する請求項1記載のセラミックス多孔体。
2. The ceramic porous body according to claim 1, wherein the crystal grains are columnar crystals.
【請求項3】気孔率が10体積%以上、70体積%以下
の範囲であることを特徴とする請求項1または2記載の
セラミックス多孔体。
3. The ceramic porous body according to claim 1, wherein the porosity is in the range of 10% by volume or more and 70% by volume or less.
【請求項4】該サイアロン結晶粒子が、主として、一般
式Si6-z Alz z 8-z (zは、4以下の自然数を
示す)で代表されるβ型サイアロン系であることを特徴
とする請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックス多
孔体。
4. The sialon crystal particles are mainly β type sialon system represented by the general formula Si 6-z Al z O z N 8-z (z is a natural number of 4 or less). The ceramic porous body according to any one of claims 1 to 3, which is characterized in that.
【請求項5】該サイアロン結晶粒子が、主として、一般
式Mx Si12Al121616(MはLi 、Y、Ca 、M
g およびLn (La 、Ce を除くランタニド金属)から
選ばれ、xは0.4以下の整数を示す)で表されるα型
サイアロン系であることを特徴とする請求項1〜4のい
ずれかに記載のセラミックス多孔体。
5. The sialon crystal particles are mainly composed of the general formula M x Si 12 Al 12 O 16 N 16 (M is Li, Y, Ca, M).
5. An α-sialon system selected from g and Ln (lanthanide metals excluding La and Ce, and x is an integer of 0.4 or less), and is an α-sialon system. The ceramic porous body according to item 1.
【請求項6】該サイアロン結晶粒子が、主として、Si
2 Al3 7 N、Si6Al10214 、Si3 Al3
3+1.5X5-X 、Si3 Al2.674 4 、Si3 Al
7 3 9 、Si12Al18398 、Al6 Si6 8
9 、Si3Al3 3 5 、Si6 Al10214
Si2 Al3 7 N、Si2 ON2 およびSi3 4
ら選ばれた2種以上の化合物からなることを特徴とする
請求項1〜5のいずれかに記載のセラミックス多孔体。
6. The sialon crystal particles are mainly composed of Si.
2 Al 3 O 7 N, Si 6 Al 10 O 21 N 4 , Si 3 Al 3
O 3 + 1.5X N 5-X , Si 3 Al 2.67 N 4 O 4 , Si 3 Al
7 O 3 N 9 , Si 12 Al 18 O 39 N 8 , Al 6 Si 6 N 8
O 9 , Si 3 Al 3 O 3 N 5 , Si 6 Al 10 O 21 N 4 ,
Si 2 Al 3 O 7 N, ceramics porous body according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it consists of Si 2 ON 2 and Si 3 N 4 2 or more compounds selected from.
【請求項7】複数の自形のサイアロン結晶粒子を含むセ
ラミックス焼結体に、エッチング処理を施し、多孔体と
することを特徴とするセラミックス多孔体の製造方法。
7. A method for producing a porous ceramic body, which comprises subjecting a sintered ceramic body containing a plurality of automorphic sialon crystal particles to an etching treatment to form a porous body.
【請求項8】気孔率が10体積%以上、70体積%以下
の範囲であることを特徴とする請求項7記載のセラミッ
クス多孔体の製造方法。
8. The method for producing a ceramic porous body according to claim 7, wherein the porosity is in the range of 10% by volume to 70% by volume.
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