JPH0611305A - 等化手段を有する直線方向の位置センサ - Google Patents

等化手段を有する直線方向の位置センサ

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JPH0611305A
JPH0611305A JP5041106A JP4110693A JPH0611305A JP H0611305 A JPH0611305 A JP H0611305A JP 5041106 A JP5041106 A JP 5041106A JP 4110693 A JP4110693 A JP 4110693A JP H0611305 A JPH0611305 A JP H0611305A
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frequency
signal
hydraulic cylinder
resistor
piston
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JP5041106A
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Denny E Morgan
イー モーガン デニー
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Caterpillar Inc
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2869Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02BINTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B77/00Component parts, details or accessories, not otherwise provided for
    • F02B77/08Safety, indicating, or supervising devices
    • F02B77/087Safety, indicating, or supervising devices determining top dead centre or ignition-timing
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
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    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
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    • B29C49/00Blow-moulding, i.e. blowing a preform or parison to a desired shape within a mould; Apparatus therefor
    • B29C49/42Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C49/78Measuring, controlling or regulating
    • B29C2049/7879Stretching, e.g. stretch rod
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 油圧シリンダのハウジング内で移動するピス
トンとピストン・ロッドの直線方向の位置を正確に測定
する装置を提供する。 【構成】 上記の装置は、電磁波信号を発生して送信す
る送信部(114)、上記の電磁波信号を受信して勾配
の高度差の状態を検出し、これに応答して周波数信号を
発生する受信部(116)、及び上記の周波数信号を受
信してピストン(104)とピストン・ロッド(10
6)の直線方向の位置を求める制御手段(118)によ
って構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一般的にハウジング内に
於けるピストンとピストン・ロッドの位置を求める装置
に関し、更に詳しくは、高周波(RF)信号を使用して
ピストンの位置を求める装置に関する。
【0002】
【従来の技術】油圧シリンダの分野では、シリンダの部
品の変位を電気的に検出し、これを表示または使用して
制御機能を果たす種々のシステムが提案されている。従
来の変換器は、一部にはこれらの装置を取り付けること
の困難性及びこれらの装置がおかれている厳しい環境条
件のため、重大な欠陥を有している。重工業分野で油圧
システムに使用する変換器は、厳しい作業環境から特に
損傷を受ける。油圧シリンダは比較的保護されていない
領域に位置し、例えば、高いG力、広範な温度変化、ほ
こり、水分、破片等にさらされ、その結果、電気的な故
障と機械的な故障の両方がが生じる。
【0003】重工業に特に適したセンサを提供する1つ
の試みでは、高周波(RF)を使用する。このようなシ
ステムの1つは、1988年4月12日にバイタール
(Bitar)他に付与された米国特許番号第4,73
7,705号に開示されている。バイタールは、傾斜し
たRF信号を油圧シリンダによって形成された同軸の共
振キャビティに送信する。このシリンダの共振周波数が
送信されると、受信アンテナの検出した信号がピークに
達する。この共振周波数は、シリンダの伸長と1対1の
関係を有している。従って、シリンダの共振周波数を求
めることにより、このシリンダの直線方向の伸長を求め
ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】受信した信号のピーク
は、しきい値と比較することによって検出する。この共
振周波数は、送信信号の測定した周波数を修正し、しき
い値のピークと実際のピークの間の差を調整することに
よって求める。このような調整によって、位置の決定に
エラーが付加されるが、その理由は、送信信号と実際の
共振周波数の間の差は、共振周波数、しきい値の精度、
及びシリンダの寸法と形状によって変化するからであ
る。
【0005】送信信号の周波数は、この送信信号の多数
の周期の期間を求めることによって測定される。しきい
値に達すると、バイタールは周波数を一定に保持する。
これによってまたエラーが付加されるが、その理由は、
シリンダの伸長が変化する可能性があり、これによって
またキャビティの共振周波数が変化するからである。更
に、システム内のノイズと送信機の周波数のドリフトに
よってエラーが発生する。
【0006】更に、エラーはしきい値によって発生す
る。受信した波形は、共振周波数によって大きさと形状
が変化する。もし一定のしきい値を使用すれば、送信信
号(ピークの検出される)と実際の共振周波数の間のエ
ラーは、共振周波数が異なると変化する、即ち、シリン
ダの伸長が異なると変化する。このようにエラーが変化
することによって、センサの精度、信頼性及び再現性に
負の影響が与えられる。
【0007】本発明は上述した1つの問題または1つ以
上の問題を解消するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の1つの局面で
は、ピストンとピストン・ロッドの直線方向の位置を検
出する装置が提供される。このピストンとピストン・ロ
ッドは油圧シリンダのハウジング内を移動することがで
きる。この装置は、油圧シリンダに電磁信号を供給して
この油圧シリンダ内の電磁波信号を検出し、受信した電
磁信号を均等化し、均等化した電磁波信号を所定の定数
と比較する。この装置は、シリンダの直線方向の伸長を
周波数信号の関数として求める。
【0009】
【実施例】本発明の図1を参照して、装置102は、従
来の油圧シリンダ108のピストン104とピストン・
ロッド106の位置を求める。この装置102は、ピス
トン104とピストン・ロッド106速度と加速度を求
めるためにまた使用するこもできる。油圧シリンダの直
線方向の伸長は、種々の装置と方法を使用してRF信号
を使って求めることができる。
【0010】ピストン・ロッド106は全長LTを有
し、油圧シリンダ108のハウジング110内で移動す
ることができる。ピストン・ロッド106とハウジング
110は、同軸の可変キャビティ112を形成する。キ
ャビティ112の長さLC は、全長LT からピストン・
ロッド106の伸長部分の長さLE を差引き、これから
ハウジング110の端部壁の厚さを差し引いた長さに等
しい。従って、キャビティLC の長さを求めることによ
り、伸長したた長さLE を直接求めることができ、これ
をピストン・ロッド106の伸長の指標として使用する
ことができる。装置102はハウジング110に対する
ピストン104とピストン・ロッド106の位置を検出
し、この検出した位置を直接表示するかまたは、例え
ば、建設車両の作業用ワークの位置を制御するシステム
に使用する。
【0011】手段114、即ち送信部は電磁信号を発生
し、この電磁信号を同軸の共振キャビティ112に送信
する。この電磁信号は、例えば、50MHzないし1.
6GHzのような所定の最小値と所定の最大値の間で変
化する周波数を有している。この送信部114は結合要
素122を有している。この結合要素112は、アンテ
ナ、電界プローブまたは磁界プローブまたはピストン・
ロッド106に対する直接接続部を有することができ
る。好ましくは、この結合要素122はループ・アンテ
ナである。ループ・アンテナ122は、シリンダ・ヘッ
ドまたはシリンダ壁からキャビティ112に入ることが
できる。1つの実施例では、このループ・アンテナ12
2はキャビティ112に入り、ハウジング110または
シリンダ・ヘッドの側壁の内面に電気的に接続される。
他の実施例では、ループ・アンテナ122はキャビティ
112入り、ピストン・ロッド106に電気的に接続さ
れる。
【0012】手段116、即ち受信部は、同軸キャビテ
ィ112内からの電磁波信号を検出する。この手段11
6は、電磁波信号の(受信した信号としきい値の間の)
勾配の高度差の状態を検出し、この勾配の状態に対応す
る電磁信号の周波数に応答して周波数信号を発生する。
勾配の高度差の状態は、周波数曲線に対して検出された
電圧としきい電圧の間の高度差として定義される。
【0013】1つの実施例では、手段116は正の勾配
の高度差の状態を検出し、これに応答して第1周波数信
号を発生し、引き続いて負の勾配の高度差の状態を検出
し、これに応答して第2周波数信号を発生する。正の勾
配の高度差の状態は共振周波数の低い側で発生する。正
の勾配の高度差の状態は共振周波数の低い側で発生し、
負の勾配の高度差の状態は共振周波数の高い側で発生す
る。
【0014】他の実施例では、手段116は電磁波信号
の勾配の高度差の状態を検出し、この勾配の高度差の状
態の周波数を追跡し、これに応答して第1周波数信号を
発生する。受信部116は、受信結合要素120を有し
ている。好ましくは、この受信結合要素120は、上述
したように、ループ・アンテナである。制御手段118
は、周波数信号を受信し、これに応答してピストンとピ
ストン・ロッド104、106の位置を求める。更に、
この位置決定手段118は、ピストンとピストン・ロッ
ド104、106の速度と加速度を求める手段を有して
いる。
【0015】同軸の共振キャビティ112は、短絡した
端部を有する同軸の送信線と同じ応答を有している。油
圧シリンダ108は導電性のリング(図示せず)有し、
これによってハウジング110とピストン・ロッド10
6の間に電気的な接続を行う。高周波(RF)信号によ
って励起されると、キャビティ112は共振周波数の近
傍以外で高い挿入損失を有している。更に詳しくは、も
しキャビティ112の長さLC が同軸のキャビティ11
2内に送信された信号の波長の1/2の整数倍であれ
ば、若干の高周波エネルギーがTEMフィルードを励起
しているキャビティ112内に接続されるが、これは同
軸のキャビティ112に沿って伝播している2つの波の
重畳として最もよく説明することができる。キャビティ
112内にこのような時間によって変化する電磁界が存
在することにより、受信用の結合要素120は同じ周波
数の信号を検出する。各整数倍は調波周波数即ち共振周
波数として知られている。
【0016】理想的な同軸キャビティの共振周波数は下
記の等式によって与えられる。
【0017】
【式1】fres =n/2(c/√Er *1/LC ) (n=1,2,3・・・) ここで、c=3×1010cm/s、fres は励起周波
数、Er はキャビティ内の流体の相対誘電率である。第
1高調波周波数はn=1に対応し、第2高調波周波数は
n=2に対応する等々である。
【0018】同軸キャビティ112の共振周波数は、こ
のキャビティ112の形状の差と実際の結合構造の影響
によって理想的な等式の共振周波数とは異なる。しか
し、キャビティ112の実際の共振周波数とシリンダの
長さLC の間には1対1の関係が存在し、その結果、理
想的なキャビティからの差は各々の油圧シリンダのファ
ミリの種類を校正することによって補償することができ
る。
【0019】1つの実施例では、位置決定手段118
は、同軸の共振キャビティ112の共振周波数を求める
ことによってピストンとピストン・ロッド104、10
6の位置を求める。同軸の共振キャビティ112の共振
周波数は、周波数信号の関数である。好適な実施例で
は、本発明は期間を測定することによって周波数を測定
する。
【0020】例えば、1つの実施例では、受信部116
は、正の勾配の高低差の周波数を追跡する。この周波数
を次に調整してしきい値と実際の共振の間の差を補償す
る。この調整した値を次に同軸のキャビティ112の共
振周波数として使用する。他の実施例では、共振周波数
の期間は、第1及び第2周波数信号(それぞれ正と負の
勾配の高度差の状態に対応する)の関数として求められ
る。一般的に、
【0021】
【式2】Pres =f(P1 ,P1 ) ここで、P1 とP2 は、第1及び第2周波数信号f1
2 に対応する測定期間である。1つの実施例では、共
振周波数の期間は下記の等式で与えられる。
【0022】
【式3】Pres =(P1 +P2 )/2 他の実施例では、共振周波数の期間は下記の等式で与え
られる。
【0023】
【式4】Pres =(P1 +P2 )/2 +1/2[Pu −√(Pu 2 (P1 −P2 2 )] ここで、Pu はシリンダの寸法と位置に基づいて決まる
パラメータである。図2は、好適な実施例による送信部
114と受信部116のブロック図を示す。送信部は、
第1及び第2電圧制御発信器(VCO)202、204
を有する。平行ミキサ206は第1及び第2VCO20
2、204の出力を結合する。低域フイルタ208はミ
キサ206の出力を送信結合要素122に接続する。低
域フイルタ208の出力を増幅するため、高周波増幅器
(図示せず)が必要になる場合もある。
【0024】受信部116は、受信結合要素120から
の信号を増幅する高周波増幅手段212を有している。
この高周波増幅手段は上記の受信した電磁信号を均等化
する手段を有している。この均等化手段は、油圧シリン
ダ108の挿入損失を補償する。これによって、受信し
た信号を一定のしきい値と比較することができる。好適
な実施例では、高周波増幅手段212の均等化手段のイ
ンピーダンスは最小値と最大値によって決まる周波数に
渡る油圧シリンダ100のインピーダンスの逆数に等し
い。上記の電磁信号の周波数が最小値に接近するに従っ
て、均等化手段の利得は所定の最大値に接近する。上記
の電磁信号の周波数が最大値に接近するに従って、この
均等化手段の利得は所定の最小値に接近する。
【0025】プレセレクタ210は、低域フイルタ20
8の出力の周波数を測定する。好適な実施例では、この
プレセレクタ210は、低域フイルタ208の出力の周
波数を256に分割し、これに応答して周波数信号を発
生する。手段214は高周波増幅器/均等化装置212
の出力を受信し、これに応答して電磁波信号の振幅を示
す検出された信号を発生する。
【0026】増幅手段216は、所定のしきい値VTH
比較された検出手段214の出力を増幅する。反転/非
反転増幅手段218は、高周波増幅器/均等化装置21
2の出力を増幅し、反転出力と非反転出力を供給する。
積分手段220は、反転/非反転増幅器218の出力を
積分する。
【0027】手段222は制御手段118から制御信号
を受信し、これらの信号の条件を設定する、即ち、濾波
とノイズの削減を行う。切り替え手段224は、増幅器
218の反転出力と非反転出力の切り替えを行う。周波
数のロックが発生すると、ロック検出手段226は制御
手段118に信号を送る。
【0028】制御手段118は、センサ制御装置228
とカウント手段230を有する。好適な実施例では、セ
ンサ制御装置228はマイクロプロセッサによって構成
される。1つの適当なマイクロプロセッサはイリノイ州
ロスリのモトローラ社から部品番号MC68HC11と
して入手することができる。好適な実施例では、このマ
イクロプロセッサはカウント手段230から情報を取得
し、ピストンとピストン・ロッド104、106の位
置、速度及び加速度を求め、データを外部のユーザに対
して供給するために使用する。
【0029】例えば、建設車両用の自動制御位置システ
ムでは、ピストンとピストン・ロッド104、106の
位置及び/または速度及び/または加速度を使用し、こ
の車両のリンク機構の位置/移動を制御する。一般的
に、別個の制御システムを使用する。好適な実施例で
は、カウント手段はプレスケーラ210の出力パルスを
カウントする。好適な実施例では、カウント手段230
はラッチ即ちフリップフロップ232、第1カウタ23
4、第2カウンタ236、およびAND論理ゲート23
8を図示のように有する。
【0030】図3は、受信部116の概略電気図を示
す。第1抵抗301によって、受信結合要素128は第
1コンデンサ304に接続される。第2及び第3抵抗3
02、303によって、第1抵抗301の両端部は電気
的アースに接続される。第1コンデンサ301は、第1
増幅器306の入力に接続される。第2コンデンサ30
7によって、第1増幅器306出力は電気的アースに出
力される。第4抵抗308によって、第1増幅器306
出力は+24Vに接続される。
【0031】高周波増幅手段212の均等化手段は、均
等化回路310を有している。好適な実施例の場合、こ
の均等化回路310は、第1NPNトランジスタ311
を有している。直列に接続された第5抵抗312と第3
コンデンサ313によって、第1NPNトランジスタ3
11のコレクタはベースに接続される。第6抵抗314
によって、コレクタは+24Vに接続される。直列に接
続された第7及び第8トランジスタ315、316によ
って、第1NPNトランジスタ311のエミッタは電気
的アースに接続される。図示のように、第1インダクタ
317と第4コンデンサ318は、それぞれ第7及び第
8抵抗315、316と並列に接続される。第5コンデ
ンサ319によって、均等化回路310は検出手段21
4の残りの部分と接続される。第5抵抗312と第3コ
ンデンサ313は、第1電圧利得要素Xc を構成し、第
7抵抗315と第1インダクタ317は、第2電圧利得
要素Xe を構成する。均等化手段212の全体の電圧利
得は約Xc /Xe である。
【0032】検出手段214は、第1コンデンサ319
と電気的アースの間に接続された第1ショットキ・バリ
ア・ダイオード320を有する。第2ショットキ・バリ
ア・ダイオード321は、第1ショットキ・バリア・ダ
イオード320のアノードに接続される。第2ショット
キ・バリア・ダイオード321のアノードは、第9抵抗
322を介して第1比較手段216に接続される。第6
コンデンサ324によって、第2ショットキ・バリア・
ダイオード321と第9抵抗322の接続部は電気的ア
ースに接続される。
【0033】第1比較手段216は、第1演算増幅器3
26を有している。第10トランジスタ328によっ
て、第1演算増幅器326の出力は第1演算増幅器32
6の負の入力端子に接続される。第11トランジスタ3
30によって、この負の入力端子は+2Vに接続され
る。反転/非反転増幅手段218は、第2演算増幅器3
32を有する。第12抵抗334によって、第2演算増
幅器332の出力は演算増幅器332の負の入力端子に
接続される。第13抵抗336によって、第1演算増幅
器326の出力は第2演算増幅器332の負の入力端子
に接続される。第2演算増幅器332の正の入力端子
は、0.6Vに接続される。第14抵抗338によっ
て、第1演算増幅器326の出力は積分手段222に接
続される。第1ツェナー・ダイオード340によって、
第1演算増幅器326の出力は電気的アースに接続され
る。
【0034】第2演算増幅器332の出力は、第1スイ
ッチ344の出力端子に接続される。第1スイッチ34
4の制御端子は、第7コンデンサ346によって積分手
段220に接続される。第1スイッチ344の入力端子
は、第15抵抗348によって積分手段220に接続さ
れる。積分手段220は、第3演算増幅器350を有す
る。第8コンデンサ352によって、第3演算増幅器3
50の出力は演算増幅器350の負の入力端子に接続さ
れる。第3演算増幅器350の正の入力端子は0.6V
に接続される。
【0035】ロック検出手段226は、ウインド比較器
355を有する。好適な実施例では、このウインド比較
器355は、第1及び第2比較器356、357を有す
る。第1比較器356の負の入力端子は0.4Vに接続
される。第2比較器357の正の入力端子は、0.8V
に接続される。第1比較器356の正の入力端子と第2
比較器357の負の入力端子は、第1演算増幅器326
の出力に接続される。
【0036】切り替え手段224は、第2及び第3スイ
ッチ360、362を有する。第2及び第3スイッチ3
60、362の制御端子は、ノイズ削減手段222に接
続される。第2スイッチ360の入力端子は、電気的ア
ースに接続される。第2スイッチ360の出力端子は、
第3演算増幅器350の負の入力端子に接続される。第
3スイッチ362の入力端子は、第16抵抗366を介
して第4演算増幅器364の負の入力端子に接続され
る。第3スイッチ362の出力端子は、第1演算増幅器
の出力に接続される。第4演算増幅器364の正の入力
端子は、1Vに接続される。第4演算増幅器364の出
力は、第9コンデンサ368によって負の入力端子に接
続される。第4演算増幅器364の出力は、第17抵抗
370によって第1演算増幅器の正の入力端子にまた接
続される。
【0037】ノイズ削減手段222は、第3及び第4比
較器372、374を有する。第3及び第4比較器37
2、374の正の入力端子は、+5Vに接続される。第
18抵抗376によって、第3比較器372の負の入力
端子はリセット入力線に接続される。第9抵抗378に
よって、リセット入力線は+20Vに接続される。第1
0コンデンサ380によって、第3比較器372の負の
入力端子は電気的アースに接続される。第12抵抗38
2によって、第4比較器374の負の入力端子は勾配入
力線に接続される。第21抵抗384によって、勾配入
力線は+20Vに接続される。第11コンデンサ386
によって、第4比較器374の負の入力端子は電気的ア
ースに接続される。
【0038】センサ制御装置228は、制御線C1とC
2を介して102の動作を制御する。図を参照して動作
上、高周波直線方向位置センサ102は、外部の制御装
置に対してフィードバックを行う目的のために、油圧シ
リンダ108の直線方向の伸長、速度及び加速度を求め
る。
【0039】外部制御システムは、それぞれのセンサか
ら供給される複数のシリンダに関する情報を使用する。
各センサは、送信部、受信部及び制御手段を有する。し
かし、各センサの制御手段は、1個のマイクロプロセッ
サで実行されるマスタ制御手段の一部であってもよい。
マイクロプロセッサは、制御ループの期間中に各油圧シ
リンダの位置、速度及び加速度を1回求めるのが好まし
い。制御ループは、一般的にミリ秒(ms)、例えば、
20ミリ秒で測定される.各センサは同時にスタートす
る。勾配の高度差の状態が検出されると、制御装置は適
当なカウンタを読み取る。各サイクルの後、制御装置
は、各シリンダの位置、速度及び加速度を計算し、デー
タをメモリに記憶する。
【0040】受信部は、受信した信号を均等化する目的
のための均等化手段を有する。受信した信号を均等化す
ることによって、信号を調整し油圧シリンダの挿入損失
を補償する。均等化の効果は、センサの精度に悪影響を
及ぼすことなく、均等化された受信信号の一定の大きさ
を有するしきい値との比較を可能にすることである。本
発明の他の局面、目的及び利点は、図面、開示及び上記
の特許請求の範囲を検討することによって明かとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】送信部、受信部、及び制御手段を有する本発明
の1実施例による高周波(RF)直線方向位置センサの
ブロック図を示す。
【図2】図1の本発明の実施例によるRF直線方向位置
センサのより詳細な機能ブロック図を示す。
【図3】図2の受信部の概略電気図である。
【符号の説明】
104 ピストン 106 ピストン・ロッド 108 油圧シリンダ 110 ハウジング 112 キャビティ 114 送信部 122 結合要素(ループ・アンテナ) 116 受信部 118 制御手段 120 受信結合要素

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 油圧シリンダのハウジング内で移動可能
    なピストンとピストン・ロッドの直線方向の位置を検出
    する装置に於いて、上記の装置は:電磁信号を発生し、
    上記の電磁信号を上記の油圧シリンダに送信する手段で
    あって、上記の電磁信号は所定の最小値と所定の最大値
    の間で変動する周波数を有する上記の手段;上記の油圧
    シリンダの共振周波数を求める手段であって、上記の共
    振周波数検出手段は、上記の油圧シリンダ内の電磁波信
    号を検出して上記の受信した電磁信号を均等化し、上記
    の均等化した電磁波信号を所定の定数と比較し、これに
    応答して周波数信号を発生する手段を有し、上記の均等
    化によって上記の油圧シリンダの損失が補償され、上記
    の周波数信号は上記の共振周波数を示す上記の検出手
    段;及び上記の周波数信号を受信し、これに応答して上
    記のピストンとピストン・ロッドの位置を求める手段;
    によって構成されることを特徴とする装置。
  2. 【請求項2】 上記のピストン、ピストン・ロッド、及
    びハウジングは長さが可変で同軸のキャビティを形成
    し、上記の電磁信号は上記の同軸のキャビティに送信さ
    れる横方向の電磁波であることを特徴とする請求項1記
    載の装置。
  3. 【請求項3】 上記の位置決定手段は上記の同軸のキャ
    ビティの共振周波数を求める手段を有し、上記のピスト
    ンとピストン・ロッドの位置は上記の共振周波数の関数
    として求められることを特徴とする請求項1記載の装
    置。
  4. 【請求項4】 上記の比較手段は、上記の電磁波信号の
    振幅を検出し、これに応答して検出した信号を発生する
    手段を有することを特徴とする請求項1記載の装置。
  5. 【請求項5】 上記の均等化手段のインピーダンスは上
    記の最小値と上記の最大値によって決まる周波数の範囲
    に渡って上記の油圧シリンダのインピーダンスの逆数に
    実質的に等しいことを特徴とする請求項1記載の装置。
  6. 【請求項6】 上記の電磁信号の周波数が上記の最小値
    に接近するに従って、上記の均等化手段の利得は所定の
    最大値に接近することを特徴とする請求項1記載の装
    置。
  7. 【請求項7】 上記の電磁信号の周波数が上記の最大値
    に接近するに従って、上記の均等化手段の利得は所定の
    最小値に接近することを特徴とする請求項1記載の装
    置。
  8. 【請求項8】 上記の均等化手段は第1電圧利得要素X
    c と第2インピーダンス電圧利得Xe を有し、上記の均
    等化手段の全体の電圧利得は約Xc /Xe であることを
    特徴とする請求項1記載の装置。
  9. 【請求項9】 上記の第1電圧利得要素は、直列に接続
    された第1抵抗とコンデンサを有することを特徴とする
    請求項8記載の装置。
  10. 【請求項10】 上記の第2電圧利得要素は、並列に接
    続された第2抵抗と第1インダクタを有することを特徴
    とする請求項8記載の装置。
  11. 【請求項11】 上記の第1電圧利得要素は、直列に接
    続された第1抵抗とコンデンサを有し、上記の第2電圧
    利得要素は、並列に接続された第2抵抗と第1インダク
    タを有することを特徴とする請求項8記載の装置。
  12. 【請求項12】 上記の均等化手段は:トランジスタ;
    上記のトランジスタのコレクタに接続された第1抵抗;
    上記の第1抵抗と上記のトランジスタのベースの間に接
    続されたコンデンサであって、上記の第1抵抗と上記の
    コンデンサは直列に接続されている上記のコンデンサ;
    上記のトランジスタのエミッタとアースの間に接続され
    た第2抵抗;及び上記の第2抵抗と並列に接続されたイ
    ンダクタ;によって構成されることを特徴とする請求項
    1記載の装置。
  13. 【請求項13】 油圧シリンダのハウジング内で移動可
    能なピストンとピストン・ロッドの直線方向の位置を検
    出する装置に於いて、上記の装置は:電磁信号を発生
    し、上記の電磁信号を上記の油圧シリンダに送信する手
    段であって、上記の電磁信号は所定の最小値と所定の最
    大値の間で変動する周波数を有する上記の手段;上記の
    油圧シリンダの共振周波数を求める手段であって、上記
    の共振周波数検出手段は、上記の油圧シリンダ内の電磁
    波信号を検出し、上記の受信した電磁信号を均等化し、
    上記の均等化した電磁波信号を所定の定数と比較し、こ
    れに応答して周波数信号を発生する手段を有し、上記の
    均等化によって上記の油圧シリンダの損失が補償される
    上記の手段;及び上記の周波数信号を受信し、これに応
    答して上記のピストンとピストン・ロッドの位置を求め
    る手段;によって構成され、上記の均等化手段は:トラ
    ンジスタ;上記のトランジスタのコレクタとベースの間
    に接続された第1電圧利得要素Xc ;及び上記のトラン
    ジスタのエミッタに接続された第2電圧利得要素Xe
    を有し、上記の均等化手段の全体の電圧利得は約Xc
    e である;ことを特徴とする装置。
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