CN209840953U - 一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置，包括：正弦信号源生成电路的输出端与自动增益控制器的输入端连接；自动增益控制器的输出端与检测电路的一端连接，对来自正弦信号源生成电路的正弦波激励信号进行幅度控制，输出正弦波激励信号至检测电路；检测电路包括:分压电阻、探头线圈、补偿电容阵列；精密整流电路对接收到的来自检测电路的电压进行整流，生成直流信号；信号放大电路的输入端对接收到的直流信号进行放大处理，输出放大后的模拟信号耦合至电涡流传感器的探头。本实用新型现极低温漂，在高增益下输出稳定可靠，提高了电涡流前置电路性能，适用于纳米尺度精度测量应用。

Description

一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置

技术领域

本实用新型涉及电涡流技术领域，特别涉及一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置。

背景技术

电涡流是指置于变化磁场中的块状金属导体或在磁场中作切割磁力线的块状金属导体，则在此块状金属导体内将会产生旋涡状的感应电流的现象。图1示出了电涡流效应。其中， H1为正弦波激励施加于探头线圈产生的交变磁场，在金属导体表面感应出电涡流I2，其产生的交变磁场为H2，影响探头线圈I1的幅值和相位，当探头线圈与金属导体的距离d改变时，I1随之发生变化，测量I1的幅值和相位信息，即可提取距离d信息。

利用电涡流效应制作的传感器可以实现对位移的直接测量，通过对激励频率的设定也可以对特定材料薄膜的厚度进行直接测量，并可以间接测量振动、温度、应力、速度以及材料损伤等，电涡流测量方法具有非接触、不受油污光线和粉尘干扰、灵敏度高、频率响应范围宽等优点。

电涡流传感器特征：一套完整的电涡流传感器装置主要包括探头、延伸电缆、前置器和附件。探头种类分为单线圈、双线圈和线圈阵列式等，本实用新型所涉及的探头和前置器为单线圈式。传感器探头直径越小，电涡流效应测量范围越小，分辨率越高；在测距应用中，传感器量程一般为探头直径的1/2,本实用新型所涉及的传感器为小直径探头的精密短量程距离或膜厚测量传感器。

电涡流传感器精度受多种因素影响，主要有：探头直径、探头谐振状态补偿、调理电路增益、电路温度漂移等。相同拓扑结构的电涡流传感器前置调理装置的精度性能受其电路温度漂移特性影响显著，温度漂移越大，传感器精度越低。本实用新型所设计的电路拓扑和器件选型方法具有温度漂移极低的优点。

探头谐振补偿电路采用LC并联谐振电路。在电感、电容和外加交流电源相并联的振荡回路中，当外加电源的频率等于回路的固有频率的时候，回路就发生谐振。这种谐振叫做并联谐振，如图2所示。

电涡流传感器探头为电感线圈L，通过对线圈并联电容器C进行频率补偿，使线圈在激励频率下发生并联谐振，当涡流变化时产生电流I变化量最大，此时传感器灵敏度最高。

电涡流传感器探头批量制作的产物，不同探头参数有微小差异，在实际应用中，需要根据探头参数匹配补偿电容，达到谐振目的，其中谐振电容选型较为关键，影响补偿状态的稳定性，最终影响性能。

现有技术采用以下两种解决方案，但都存在一些缺点：

(1)廉价电涡流传感器前置调理装置方案：传感器前置调理装置的激励部分采用多谐振荡器产生特定频率的方波信号，输出频率不稳定，并采用无源滤波整形为近似正弦波信号，电路不具备自动稳幅电路(AGC)，信号直接耦合至传感器探头，完成激励。

振荡器输出信号经无源滤波电路整形所得的正弦波幅度稳定性差，同时不经过自动稳幅电路，激励源的信号幅度随温度漂移较大，影响传感器输出结果，无法完成精密测量任务。

多谐振荡器输出信号频率不稳定，给后续电路中对探头谐振频率的补偿带来困难，即为采用固定补偿电容，无法与变化的激励信号源谐振，影响传感器灵敏度和输出稳定性。

(2)高精度电涡流传感器前置调理装置方案：采用石英晶体振荡器整形输出，输出频率较稳定，有自动稳幅电路(AGC)，电路元件无特殊选型，致使AGC电路依然存在较小温度漂移。

虽然AGC电路可以使得输出较为稳定，但在外界温度变化较大时，无法胜任对精度要求较高的电涡流测量场合。

实用新型内容

本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。

为此，本实用新型的目的在于提出一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置。

为了实现上述目的，本实用新型的实施例提供一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置，包括：正弦波信号源生成电路、自动增益控制器、检测电路、精密整流电路和信号放大电路，其中，

所述正弦波信号源生成电路的输出端与所述自动增益控制器的输入端连接，用于生成电路输出正弦波激励信号至所述自动增益控制器；

所述自动增益控制器的输出端与所述检测电路的一端连接，用于对来自所述正弦波信号源生成电路的正弦波激励信号进行幅度控制，输出正弦波激励信号至所述检测电路；

所述检测电路包括:分压电阻、探头线圈、补偿电容阵列，其中，所述分压电阻的另一端与所述探头线圈的一端连接，所述探头线圈的另一端接地，所述补偿电容阵列与所述探头线圈并联连接，分别接收来自所述自动增益控制器的正弦波激励信号，所述探头线圈与补偿电容阵列并联发生谐振，当所述探头线圈发生电涡流效应后，所述探头线圈两端的电压产生变化，该电压输出至所述精密整流电路；

所述精密整流电路的输入端与所述检测电路连接，用于对接收到的来自所述检测电路的电压进行整流，生成直流信号；

所述信号放大电路的输入端与所述精密整流电路的输出端连接，用于对接收到的直流信号进行放大处理，输出放大后的模拟信号耦合至电涡流传感器的探头，

其中，所述正弦波信号源生成电路、自动增益控制器、检测电路、精密整流电路和信号放大电路均采用低温漂器件实现。

进一步，所述正弦波信号源生成电路采用直接数字频率合成器DDS。

进一步，所述自动增益控制器包括：可变增益放大器芯片、无源滤波电路、内置精密整流电路和仪表放大器，其中，

所述可变增益放大器芯片用于对正弦波激励信号进行放大；

所述内置精密整流电路的输入端与所述可变增益放大器芯片的输出端连接，用于获取所述正弦波激励信号的幅值，然后经过所述无源滤波电路获得与信号幅值成正比的电压输出信号；

所述仪表放大器的输入端与所述无源滤波电路连接，用于对所述电压输出信号与参考电压进行比较，并将比较结果反馈至所述可变增益放大器的输入端，由所述可变增益放大器调节输出信号的幅值为恒定值。

进一步，所述内置精密整流电路包括：第一运算放大器、第一整流二极管和第二整流二极管，所述运算放大器的负向输入端接所述可变增益放大器的输出端，所述第一运算放大器的正向输入端接地，所述第一运算放大器的输出端接所述第二整流二极管的正向端，所述第二整流二极管的负向端接所述无源滤波电路，在所述第一运算放大器的负向输入端和输出端之间反馈通路上连接所述第一整流二极管，其中，所述第一运算放大器采用低温漂运算放大器。

进一步，所述精密整流电路包括：第二运算放大器、第三整流二极管和第四整流二极管，所述第二运算放大器的正向输入端接所述补偿电容阵列，所述的第二运算放大器的负向输入端接地，在所述第二运算放大器的负向输入端和输出端之间反馈通路上连接所述第三整流二极管和第四整流二极管，所述精密整流电路对探测线圈两端的信号所述正弦激励信号进行整流，得到正半波单极性信号，经过无源滤波网络整形为直流信号，其中，所述第二运算放大器采用低温漂运算放大器。

进一步，在所述精密整流电路和所述信号放大电路之间进一步设置有缓冲器，所述缓冲器采用低温漂运算放大器，所述缓冲器的输入接所述精密整流电路的输出端，所述缓冲器的输入端接所述信号放大电路的输入端。

进一步，所述信号放大电路包括：第三运算放大器、反馈电阻和拨码开关，其中，所述拨码开关的每个通路与一个所述反馈电阻串联连接，通过所述拨码开关选通相应的反馈电阻，所述拨码和所述反馈电阻设于所述第三运算放大器的负向输入端和输出端之间的反馈通路上，其中，所述第三运算放大器采用低温漂运算放大器，所述反馈电阻采用高精度低温漂电阻器件。

根据本实用新型实施例的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，将生成的正弦激励信号施加至分压电阻、探头线圈和补偿电容阵列构成的检测电路上，探头线圈与补偿电容并联发生谐振，并与分压电阻一起承担激励信号，当探头线圈发生电涡流效应后，线圈两端的电压产生微弱变化，该电压为正负双极性电压，经过精密整流电路整流得正半波单极性信号，经过无源滤波网络整形为直流信号，而后由固定增益的运算放大电路放大输出，交由其他采集系统采集处理。

为了实现低温漂的设计目标，本实用新型着重优化了AGC电路中的精密整流电路设计，改进AGC自动稳幅电路，采用了反向截至漏电流较低的高速二极管器件，实现极低温度漂移性能。同时，在电路中运用低温漂器件，保证电路温度漂移较低水平。例如谐振电容、运算放大器、滤波阻容、比例电阻等核心器件的选型。

本实用新型实施例的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，实现极低温漂，在高增益下输出稳定可靠，提高了电涡流前置电路性能，适用于纳米尺度精度测量应用。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为现有技术的电涡流的原理图；

图2为现有技术的LC并联谐振电路的原理图；

图3为根据本实用新型实施例的低温漂的电涡流传感器前置调理装置的结构图；

图4为根据本实用新型实施例的自动增益控制器的电路图；

图5为根据本实用新型实施例的精密整流电路的电路图；

图6为根据本实用新型实施例的缓冲器的电路图；

图7为根据本实用新型实施例的信号放大电路的电路图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

前置调理装置，即为前置器指置于信源或探头与数据采集器之间的电路或电子设备,是专为接受来自信源的微弱电压信号而设计。本实用新型实施例提供一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置，是用于电涡流探头的激励源产生、微弱信号检测和调理的电路。

如图3所示，本实用新型实施例的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，包括：正弦波信号源生成电路1、自动增益控制器2、检测电路、精密整流电路3和信号放大电路4。需要说明的是，自动增益控制器2、检测电路、精密整流电路3和信号放大电路4均采用低温漂器件实现。

具体的，正弦波信号源生成电路的输出端与自动增益控制器2的输入端连接，用于生成电路输出正弦波激励信号至自动增益控制器2。

在本实用新型的一个实施例中，正弦波信号源生成电路1采用直接数字频率合成器DDS 或其他频率稳定的正弦信号源。正弦波激励信号的频率、幅值的稳定性直接决定整个传感器输出信号的稳定性。当正弦波信号源生成电路1采用DDS信号源时，幅度1000Vpp，偏置500mV。DDS信号源频率稳定，可在线编程更改频率，分辨率高达0.029Hz，连接50MHz 晶振时，实测可最高可输出5MHz的高品质正弦波激励信号。

自动增益控制器2(Automatic Generation Control)的输出端与检测电路的一端连接，用于对来自正弦波信号源生成电路的正弦波激励信号进行幅度控制，输出正弦波激励信号至检测电路。

具体的，如图4所示，自动增益控制器2包括：可变增益放大器芯片、无源滤波电路、内置精密整流电路和仪表放大器，可以实现对正弦波激励信号的信号幅值进行反馈控制。

可变增益放大器芯片用于对正弦波激励信号进行放大。

内置精密整流电路的输入端与可变增益放大器芯片的输出端连接，用于获取正弦波激励信号的幅值，然后经过无源滤波电路获得与信号幅值成正比的电压输出信号。

仪表放大器的输入端与无源滤波电路连接，用于对电压输出信号与参考电压进行比较，并将比较结果反馈至可变增益放大器的输入端，由可变增益放大器调节输出信号的幅值为恒定值。

参考图4，可变增益放大器芯片U10，无源滤波电路由R16、C19、L5、C17构成，待稳幅的正弦激励信号经过可变增益放大器芯片U10放大后，经过精密整流电路3和滤波电路 U9，获得与信号幅值成正比的电压输出信号，通过仪表放大器U6与参考电压Vref_1进行比较，反馈给可变增益放大器芯片U10的G+引脚，调控可变增益放大器芯片U10的方法倍数：

当待稳幅的正弦激励信号变大时，精密整流和滤波输出的电压变大，仪表放大器将该电压与预置电压比较后，减小可变增益放大器芯片U10的G+增益控制引脚的电压值，U10 的增益减小，使最终输出减小；反之，当待稳幅的正弦激励信号变小时，精密整流和滤波输出的电压变小，仪表放大器U6将该电压与预置电压比较后，增大可变增益放大器芯片U10的G+增益控制引脚的电压值，U10的增益增大，使最终输出增大。上述负反馈过程，可以使得输出信号的幅值为恒定值。

需要说明的是，影响该电路稳定性的两个因素为：

1、参考电压Vref_1的稳定性，参考电压采用低温漂器件ADR06基准源，温漂参数小于10ppm，稳定性良好；

2、精密整流和滤波电路U9的稳定性，精密整流电路3的稳定性成为决定自动增益控制器2AGC输出稳定性的主要原因。

下面对内置精密整流电路进行详细说明。需要先指出的是，精密整流电路3是指使用运放或分立器件搭建的运算调理电路，有很多种类，完成对交流信号的整流，特别适用于小信号的高精度整流处理。

本实用新型中存在两个精密整流电路3，一个是内置精密整流电路，内置与自动增益控制器2中；另一个精密整流电路3，位于探头线圈和信号放大电路4之间。这两个精密整流电路3的结构相近，同样采用低温漂的运算放大器、低反向截止漏电流的高速二极管等核心器件，具有极低的温度漂移。

内置精密整流电路包括：第一运算放大器、第一整流二极管和第二整流二极管，运算放大器的负向输入端接可变增益放大器的输出端，第一运算放大器的正向输入端接地，第一运算放大器的输出端接第二整流二极管的正向端，第二整流二极管的负向端接无源滤波电路，在第一运算放大器的负向输入端和输出端之间反馈通路上连接第一整流二极管，其中，第一运算放大器采用低温漂运算放大器。

内置精密整流电路，采用的第一运算放大器开环增益极高，电路把第一整流二极管D8、第二整流二极管D9置于放大器组成的反馈环路中，大大削弱了二极管正向导通压降带来的失真，提高电路精度。但在二极管截止时，由于实际二极管器件都存在反向截止漏电流，由于半导体二极管自身特性，该反向截止漏电流与温度具有很强相关性，当温度变化时，精密整流输出信号幅度相应变化，引入温度漂移误差。本实用新型选用反向截至漏电流较低的高速二极管器件。

需要说明的是，本实用新型采用的高速二极管器件不限上述这些型号，具有uA级反向截止漏电流的高速二极管应用于电涡流前置调理电路的AGC电路和精密整流电路3，均属于本实用新型所保护的选型范围，在此不再赘述。

基于此，本实用新型通过自动增益控制器2实现对正弦波激励信号进行幅度控制，输出正负双极性、幅度恒定的正弦波激励信号。本实用新型对AGC电路影响输出稳定的主要原因进行分析并提出了解决方案，使其输出稳定性良好。

检测电路包括:分压电阻5、探头线圈6、补偿电容阵列7，其中，分压电阻5的另一端与探头线圈的一端连接，探头线圈6的另一端接地，补偿电容阵列7与探头线圈6并联连接，分别接收来自自动增益控制器2的正弦波激励信号，探头线圈6与补偿电容阵列7并联发生谐振，当探头线圈6发生电涡流效应后，探头线圈6两端的电压产生变化，该电压输出至精密整流电路3。

精密整流电路3的输入端与检测电路连接，用于对接收到的来自检测电路的电压进行整流，获得探头两端微弱信号的直流幅值，生成直流信号。

具体的，如图5所示，精密整流电路3包括：第二运算放大器、第三整流二极管和第四整流二极管，第二运算放大器的正向输入端接补偿电容阵列(C52、C32、C33)。其中，根据实际情况，匹配安装1～3只低温漂电容，此处低温漂电容作为频率补偿属于本实用新型保护要点。

第二运算放大器的负向输入端接地，在第二运算放大器的负向输入端和输出端之间反馈通路上连接第三整流二极管D10和第四整流二极管D11，精密整流电路3对探测线圈两端的信号正弦激励信号进行整流，得到正半波单极性信号，经过无源滤波网络整形为直流信号。其中，第二运算放大器采用低温漂运算放大器。第三整流二极管D10和第四整流二极管D11采用低反向漏电流的高速二极管。需要说明的是，本实用新型采用的高速二极管器件不限上述这些型号，具有uA级反向截止漏电流的高速二极管应用于电涡流前置调理电路的AGC电路和精密整流电路3，均属于本实用新型所保护的选型范围，在此不再赘述。

此外，精密整流电路3包含的滤波电路，此处采用温度系数较低的电容，以保证滤波电路不引入幅值变化误差。

在本实用新型的一个实施例中，如图6所示，在精密整流电路3和信号放大电路4之间进一步设置有缓冲器，缓冲器采用低温漂运算放大器，缓冲器的输入接精密整流电路3的输出端，缓冲器的输入端接信号放大电路4的输入端。即，在进行放大之前，采用低温漂运放做缓冲器，隔离放大电路输入阻抗对精密整流电路3和滤波电路的影响。

信号放大电路4的输入端与精密整流电路3的输出端连接，用于对接收到的直流信号进行放大处理，输出放大后的模拟信号耦合至电涡流传感器的探头。

具体的，如图7所示，信号放大电路4包括：第三运算放大器、反馈电阻和拨码开关，其中，拨码开关的每个通路与一个反馈电阻串联连接，通过拨码开关选通相应的反馈电阻，拨码和反馈电阻设于第三运算放大器的负向输入端和输出端之间的反馈通路上，其中，第三运算放大器采用低温漂运算放大器，反馈电阻采用高精度低温漂电阻器件，反馈电阻R28的阻值为20K，通过拨码开关S1可选通反馈电阻后，电路增益为50倍，同理，可以选通其他反馈电阻，实现其他增益。

通过对上述电路的优化和各种核心器件的选型，设计出低温漂的电涡流传感器前置调理电路，经过多次实验测试，采用50倍高增益时，采用热风机模拟外界温度变化，变化范围达60摄氏度，电涡流传感器整体输出漂移100mV左右，验证了本实用新型所设计的电路优良的低温漂特性。

根据本实用新型实施例的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，将生成的正弦激励信号施加至分压电阻、探头线圈和补偿电容阵列构成的检测电路上，探头线圈与补偿电容并联发生谐振，并与分压电阻一起承担激励信号，当探头线圈发生电涡流效应后，线圈两端的电压产生微弱变化，该电压为正负双极性电压，经过精密整流电路整流得正半波单极性信号，经过无源滤波网络整形为直流信号，而后由固定增益的运算放大电路放大输出，交由其他采集系统采集处理。

为了实现低温漂的设计目标，本实用新型着重优化了AGC电路中的精密整流电路设计，改进AGC自动稳幅电路，采用了反向截至漏电流较低的高速二极管器件，实现极低温度漂移性能。同时，在电路中运用低温漂器件，保证电路温度漂移较低水平。例如谐振电容、运算放大器、滤波阻容、比例电阻等核心器件的选型。

本实用新型实施例的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，实现极低温漂，在高增益下输出稳定可靠，提高了电涡流前置电路性能，适用于纳米尺度精度测量应用。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。本实用新型的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims (7)

1.一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，包括：正弦波信号源生成电路、自动增益控制器、检测电路、精密整流电路和信号放大电路，其中，

所述正弦波信号源生成电路的输出端与所述自动增益控制器的输入端连接，生成电路输出正弦波激励信号至所述自动增益控制器；所述自动增益控制器的输出端与所述检测电路的一端连接，对来自所述正弦波信号源生成电路的正弦波激励信号进行幅度控制，输出正弦波激励信号至所述检测电路；所述检测电路包括:分压电阻、探头线圈、补偿电容阵列，其中，所述分压电阻的另一端与所述探头线圈的一端连接，所述探头线圈的另一端接地，所述补偿电容阵列与所述探头线圈并联连接，分别接收来自所述自动增益控制器的正弦波激励信号，所述探头线圈与补偿电容阵列并联发生谐振，当所述探头线圈发生电涡流效应后，所述探头线圈两端的电压产生变化，该电压输出至所述精密整流电路；所述精密整流电路的输入端与所述检测电路连接，对接收到的来自所述检测电路的电压进行整流以生成直流信号；所述信号放大电路的输入端与所述精密整流电路的输出端连接，对接收到的直流信号进行放大处理，输出放大后的模拟信号耦合至电涡流传感器的探头，

其中，所述正弦波信号源生成电路、自动增益控制器、检测电路、精密整流电路和信号放大电路均采用低温漂器件实现。

2.如权利要求1所述的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，所述正弦波信号源生成电路采用直接数字频率合成器DDS。

3.如权利要求1所述的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，所述自动增益控制器包括：可变增益放大器芯片、无源滤波电路、内置精密整流电路和仪表放大器，其中，

所述可变增益放大器芯片用于对正弦波激励信号进行放大；

所述内置精密整流电路的输入端与所述可变增益放大器芯片的输出端连接，获取所述正弦波激励信号的幅值，然后经过所述无源滤波电路获得与信号幅值成正比的电压输出信号；

所述仪表放大器的输入端与所述无源滤波电路连接，对所述电压输出信号与参考电压进行比较，并将比较结果反馈至所述可变增益放大器的输入端，由所述可变增益放大器调节输出信号的幅值为恒定值。

4.如权利要求3所述的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，所述内置精密整流电路包括：第一运算放大器、第一整流二极管和第二整流二极管，所述运算放大器的负向输入端接所述可变增益放大器的输出端，所述第一运算放大器的正向输入端接地，所述第一运算放大器的输出端接所述第二整流二极管的正向端，所述第二整流二极管的负向端接所述无源滤波电路，在所述第一运算放大器的负向输入端和输出端之间反馈通路上连接所述第一整流二极管，其中，所述第一运算放大器采用低温漂运算放大器。

5.如权利要求1所述的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，所述精密整流电路包括：第二运算放大器、第三整流二极管和第四整流二极管，所述第二运算放大器的正向输入端接所述补偿电容阵列，所述的第二运算放大器的负向输入端接地，在所述第二运算放大器的负向输入端和输出端之间反馈通路上连接所述第三整流二极管和第四整流二极管，所述精密整流电路对探测线圈两端的信号所述正弦激励信号进行整流，得到正半波单极性信号，经过无源滤波网络整形为直流信号，其中，所述第二运算放大器采用低温漂运算放大器。

6.如权利要求1所述的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，在所述精密整流电路和所述信号放大电路之间进一步设置有缓冲器，所述缓冲器采用低温漂运算放大器，所述缓冲器的输入接所述精密整流电路的输出端，所述缓冲器的输入端接所述信号放大电路的输入端。

7.如权利要求1所述的低温漂的电涡流传感器前置调理装置，其特征在于，所述信号放大电路包括：第三运算放大器、反馈电阻和拨码开关，其中，所述拨码开关的每个通路与一个所述反馈电阻串联连接，通过所述拨码开关选通相应的反馈电阻，所述拨码和所述反馈电阻设于所述第三运算放大器的负向输入端和输出端之间的反馈通路上，其中，所述第三运算放大器采用低温漂运算放大器，所述反馈电阻采用高精度低温漂电阻器件。