JPH0611064Y2 - クリーンルーム用ファンフィルタユニット - Google Patents
クリーンルーム用ファンフィルタユニットInfo
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- JPH0611064Y2 JPH0611064Y2 JP1989014552U JP1455289U JPH0611064Y2 JP H0611064 Y2 JPH0611064 Y2 JP H0611064Y2 JP 1989014552 U JP1989014552 U JP 1989014552U JP 1455289 U JP1455289 U JP 1455289U JP H0611064 Y2 JPH0611064 Y2 JP H0611064Y2
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- JP
- Japan
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- air
- fan filter
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- Expired - Lifetime
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989014552U JPH0611064Y2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | クリーンルーム用ファンフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989014552U JPH0611064Y2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | クリーンルーム用ファンフィルタユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02104822U JPH02104822U ( ) | 1990-08-21 |
JPH0611064Y2 true JPH0611064Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=31225850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989014552U Expired - Lifetime JPH0611064Y2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | クリーンルーム用ファンフィルタユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0611064Y2 ( ) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101684474B1 (ko) * | 2015-11-13 | 2016-12-08 | 삼에이치텍 주식회사 | 클린룸의 천장에 설치되는 절첩 가능한 필터 장치 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2550159Y2 (ja) * | 1991-10-22 | 1997-10-08 | 株式会社竹中工務店 | クリーンユニット用ケーシング |
JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
JP5402064B2 (ja) * | 2009-02-19 | 2014-01-29 | パナソニック株式会社 | ファンフィルターユニット |
JP6425580B2 (ja) * | 2015-02-24 | 2018-11-21 | シャープ株式会社 | 空気清浄機 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6334444A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-15 | Nec Kyushu Ltd | クリ−ンル−ム |
-
1989
- 1989-02-09 JP JP1989014552U patent/JPH0611064Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101684474B1 (ko) * | 2015-11-13 | 2016-12-08 | 삼에이치텍 주식회사 | 클린룸의 천장에 설치되는 절첩 가능한 필터 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02104822U ( ) | 1990-08-21 |
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