JPH0610837A - 観測窓を有する真空処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 透明部材で閉じた観測窓を有する真空処理装
置であって、観測窓透明部材が正常な状態では、該観測
窓を通して真空槽内部を容易に観察することができ、該
透明部材が破損したときには、その破片が槽外へ飛散す
ることを確実に防止することができる真空処理装置を提
供する。 【構成】 ガラス板２１で閉じた観測窓２を有する真空
処理装置において、柔軟かつ透明なシー卜５０をガラス
板２１の外側に配置し、該シート５０の周縁部５１をガ
ラス板２１の周縁部２２に固着し、観測窓２のガラス板
破断時に、ガラス板周縁部２２がシー卜５０の周縁部５
１に固着された状態のまま、シート５０が真空槽１内に
引き込まれるように構成した観測窓を有する真空処理装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空処理装置、特に透明
部材（通常は強化ガラス）で閉じた観測窓を有する真空
処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空処理装置は様々な用途に使用され、
例えば、物品を加熱しながら、所定真空状態下にさらし
て乾燥する場合に使用される。又、２液性エポキシ樹脂
や２液性ゴムを混合して用いるとき、該混合液から脱泡
するにあたり、該混合液を加熱して粘性を下げつつ、真
空状態下で脱泡する場合、物品を真空下で保管する場
合、酸素を嫌う生産工程などで、例えば窒素置換処理を
行う場合等にも用いられる。更に、真空処理装置は、減
圧下でＥＯ（エチレン・オキサイド）ガスを導入して滅
菌処理を行う滅菌器として用いられることもある。

【０００３】このような真空処理装置は、装置内に収容
した物品を外部から観察できるように、観察窓を備えて
いることが多い。かかる観察窓は、強化ガラスで代表さ
れる透明部材で閉じられているのが普通である。このよ
うな真空処理装置では、観測窓のガラスが何らかの衝撃
等で破損すると、真空槽内へ該観測窓から音速に近い速
度で大気が侵入することがある。その結果、強化ガラス
の中央部破片は槽内へ侵入するが、周縁部が跳ね返り気
圧で表へ飛び出してくる危険性がある。

【０００４】そのため、ガラス飛散防止手段として、徒
来、次のような手段が提案されている。図３の（Ａ）図
に示すように、観測窓ガラス９１の前に湾曲した透明な
合成樹脂板９２を配置し、その周囲９２１をバネ９３で
装置枠Ｆ１に常時当接させるようにし、ガラス９１が何
らかの衝撃等で破損すると、図３の（Ｂ）図に示すよう
に、透明板９２がバネ９３に抗して大気圧により押され
ることで透明板９２周囲と装置枠Ｆ１との間に隙間がで
き、この隙間を通って大気ａが真空槽９５内に侵入でき
るようにし、同時にガラス破片９１１が表に飛び出すこ
とを、この透明板９２で防止するものが提案されてい
る。

【０００５】又、図４に示すように、観測窓ガラス９６
の前にスぺーサ９７を介して可撓性の透明な合成樹脂板
９８を設けておき、ガラス９６が破損すると、透明板９
８が図４に二点鎖線で示すように撓んで大気圧を吸収す
ると同時に、大気ａがスぺーサ９７の間を通って透明板
９８の内側から真空槽９９内へ侵入するようにし、この
透明板９８でガラス破片が表に飛び出すことを防止する
ものも提案されている。

【０００６】更に、図５に示すように、観測窓ガラス９
６の前に格子１００を設け、ガラス９６が破損すると大
気がこの格子１００を通って真空槽９９内に侵入できる
ようにするとともに、ガラス破片の飛び出しをこの格子
１００で防止しようとするものも提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３の
（Ａ）及び（Ｂ）に示すガラス飛散防止手段では、実際
のところ、ガラス窓９１が破損すると同時に大気圧が急
激に透明板９２に加わるため、図３の（Ｃ）に示すよう
に、この透明板９２も破損してしまい、ガラス破片９１
１が表に飛び出してくるという間題がある。

【０００８】また、図４に示すガラス飛散防止手段にお
いても、窓ガラス９６が破損すると、大気圧が急激に透
明板９８に加わり、この透明板９８も破損してしまい、
ガラス破片が表に飛び出すという間題がある。更に、図
５の手段では、格子１００の破損は免れるものの、格子
１００の目が粗いときには、その格子の隙間を通ってガ
ラス破片が表に飛散してくる。このガラス破片の飛散を
防止しようと、格子１００の目を細かくすると、観測窓
を通しての真空槽内部の観察が困難となる。

【０００９】そこで本発明は、透明部材で閉じた観測窓
を有する真空処理装置であって、観測窓透明部材が正常
な状態では、該観測窓を通して真空槽内部を容易に観察
することができ、該透明部材が破損したときには、その
破片が真空槽外へ飛散することを確実に防止することが
できる真空処理装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【諜題を解決するための手段】本発明は前記目的に従
い、透明部材で閉じた観測窓を有する真空処理装置にお
いて、柔軟かつ透明なシー卜状部材を前記観測窓透明部
材の外側に配置し、該シート状部材の周縁部を該観測窓
透明部材の周縁部に固着手段により固着したことを特徴
とする観測窓を有する真空処理装置を提供するものであ
る。

【００１１】前記シー卜状部材としては、観測窓透明部
材の破損により真空槽内に引き込まれるときでも破損し
ないだけの柔軟性及び強度を有するものであれば、特に
制限はなく、例えば、合成樹脂で形成できる。前記固着
手段としては、透明部材とシート状部材の間に介装され
る両面テープを採用でき、又、接着剤を採用することも
できる。更に、枠状部材を使用し、透明部材とシート状
部材との周縁部を枠状部材の溝にはめ込んで保持するこ
ともできる。

【００１２】

【作用】本発明真空処理装置によると、観測窓透明部材
が正常な状態のときは、シート状部材及び観測窓透明部
材を介して真空槽内を容易に観測することができる。観
測窓透明部材が何らかの衝撃等で破断すると、シート状
部材に大気圧がかかることにより、シー卜状部材が真空
槽内へ引き込まれる。その際、破損した観測窓透明部材
の周縁部以外の部分は、シート状部材により外側から覆
われた状態で真空槽内へ移動し、外部へ飛散することが
防止される。

【００１３】一方、破損した観測窓透明部材の周縁部
は、シート状部材の周縁部に固着された状態に維持さ
れ、シー卜状部材とともに真空槽内へ引き込まれる。従
って、観測窓透明部材の周縁部破片も外部へ飛散するこ
とが防止される。

【００１４】

【実施例】以下本発明の実施例を図１及び図２を参照し
て説明する。図１は一実施例真空処理装置の観測窓を含
む部分の概略断面図である。図２は観測窓のガラスが破
断した直後の断面図である。この真空処理装置は、真空
槽１を備えており、その一部に観測窓２が形成されてい
る。観測窓２は真空槽１の窓開口１１を覆う強化ガラス
板２１とこのガラス板２１を支える装置本体の一部であ
る窓枠３１からなっている。

【００１５】窓枠３１は真空槽１の窓開口１１を囲むよ
うにリング状に形成されており、その内部には空間３１
ｂが形成されている。ガラス板２１は、その周縁部２２
が空間３１ｂに入り込んだ状態で、後述するごとく補助
枠４１を使用して窓枠３１に固定されている。窓枠３１
は図示しない部材により真空槽１を取り巻く装置本体の
一部３２に固定的に、或いは図示しない蝶番とロック装
置等により開閉可能に連結されている。又、気密シール
用のパッキン３２ａがガラス板２１の周縁部２２と装置
本体の一部３２との間に配置されている。なお、このパ
ッキン３２ａに代え、他の適当なシール材或いはシーラ
ントを採用してもよい。

【００１６】前記補助枠４１はガラス板２１の全周にわ
たって設けてあり、溝４２を形成する底壁４４と１対の
側壁４５、４６とを有している。溝４２はガラス板２１
の中央部２３側に開いており、ガラス板２１の周縁部２
２が溝４２に入り込んでいる。前記ガラス板２１の外側
（窓開口１１と反対の側）にはシート５０が、ガラス板
２１の表面全体を覆う状態で配置してある。シート５０
は厚さが例えば０．２５ｍｍ程度の透明な合成樹脂製シ
ートで形成されており、後述する作用効果を実現するだ
けの強度や柔軟性及び伸張性を有している。

【００１７】又、真空処理装置の用途に応じて真空槽１
内の処理温度は変化し、そのためにガラス板２１の表面
温度は例えば−７０℃〜１００℃の範囲で変化する。こ
の点をも考慮して、真空槽１内での処理が室温付近で行
なわれる装置の場合、シート５０は例えばビニールで形
成される。真空槽１内での処理が高温で行なわれ、ガラ
ス板２１の表面温度が１００℃程度まで上昇する可能性
のある場合には、耐熱性を得るために、シート５０は例
えばポリエステルフィルムで形成される。これらの材料
以外にも、テトラフルオロエチレンやナイロン等、様々
な材料を使用できる。

【００１８】シート５０の周縁部５１は、図示の実施例
では、補助枠４１の外側側壁４５及び底壁４４と重なる
状態で溝４２に入り込んでいる。この周縁部５１は全周
又はほぼ全周にわたってガラス板２１の縁部外側表面
（外側側壁４５に面する面）及び端面（底壁４４に面す
る面）に対して、両面接着テープ６０により接着されて
いる。

【００１９】なお、接着テープ６０に代えて、接着剤を
使用することもでき、又、接着テープや接着剤を使用せ
ずに、適当な枠状部材でシート周縁部５１とガラス板周
縁部２２を固着状態に挟持するだけでもよい。いずれの
固着手段を使用する場合でも、シート５０は周縁部５１
だけをガラス板２１に固着し、ガラス板中央部２３に対
してはシート５０は固着しない。このようにすると、特
に接着テープ６０を使用した場合に、シート５０とガラ
ス板中央部２３との間に空隙を容易に形成でき、その空
隙を断熱層として利用することにより、真空槽１の内部
の温度管理が行ないやすくなる。

【００２０】上述の真空処理装置によると、通常の使用
状態では、シート５０が透明であるので、シート５０及
び窓ガラス２１を通して外部から真空槽１の内部を観察
できる。図２に示すごとく、窓ガラス２１が何らかの衝
撃等で破断すると、大気圧のもとにシート５０が引き延
ばされながら真空槽１の内部側へ撓む。その際、破断後
の窓ガラス中央部２３（破片）は、外側からシート５０
で覆われているので、外部へ飛散することはなく、真空
槽１の内部において飛散するだけである。

【００２１】又、ガラス板周縁部２２は、破断後もシー
ト５０の周縁部５１に固定された状態に維持され、シー
卜５０とともに真空槽１内へ引き込まれる。従って、ガ
ラス板周縁部２２も外部へは飛散しない。上記動作にお
いて、中央部２３の破片は高速で飛散するが、仮に、ガ
ラス板中央部２３がシート５０に固着されていると、中
央部２３によりシート５０が引き千切られる可能性があ
るが、上述の構造では、そのような現象は発生しない。
従って、シート５０は全体が実質的に連続した状態を維
持し、ガラス板周縁部２２が外部へ飛散することを効果
的に防止する。

【００２２】換言すれば、上述のごとくシート５０が破
損が効果的に防止されるので、シート５０に要求される
強度は比較的低い。従って、シート５０の厚さを著しく
増加させたり、特殊な材料のシートを使用したりする必
要はない。以上説明した実施例装置の利点を纏めると次
のとおりである。ガラス板２１の破損時、ガラス破片が
装置外へ飛散することがシート５０によって確実に防止
される。シート５０をガラス板２１の表面に沿って配置
し、かつ、その周縁部２２をガラス板２１に固着するだ
けであるので、装置全体として突出物が無く、外観がよ
いとともに、簡単かつ安価にガラス板飛散防止構造を実
現できる。観測窓ガラス板２１が正常なときは、シート
５０及びガラス板２１を通して真空槽１内の物品を容易
に観察することができる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、透
明部材で閉じた観測窓を有する真空処理装置であって、
観測窓透明部材が正常な状態では、該観測窓を通して装
置内部を容易に観察することができ、該透明部材が破断
したときには、その破片が真空槽外へ飛散することを確
実に防止することができる真空処理装置を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のー実施例における観察窓付近の概略断
面図である。

【図２】観測窓ガラスが破断した直後の様子を示す概略
断面図である。

【図３】従来例の説明図である。

【図４】他の従来例の説明図である。

【図５】他の従来例の説明図である。

【符号の説明】

１ 真空槽 １１ 真空槽の窓開口 ２ 観測窓 ２１ガラス板 ２２ ガラス板周縁部 ２３ ガラス板中央部 ５０ シー卜 ５１ シート周縁部 ６０ 両面接着テープ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明部材で閉じた観測窓を有する真空処
   理装置において、柔軟かつ透明なシー卜状部材を前記観
   測窓透明部材の外側に配置し、該シート状部材の周縁部
   を該観測窓透明部材の周縁部に固着手段により固着した
   ことを特徴とする観測窓を有する真空処理装置。