JPH06106751A - サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜 - Google Patents
サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜Info
- Publication number
- JPH06106751A JPH06106751A JP28107892A JP28107892A JPH06106751A JP H06106751 A JPH06106751 A JP H06106751A JP 28107892 A JP28107892 A JP 28107892A JP 28107892 A JP28107892 A JP 28107892A JP H06106751 A JPH06106751 A JP H06106751A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wear
- protective film
- thermal head
- resistant protective
- hardness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
摩耗性保護膜の引っ掻き強度及び硬度を向上させるこ
と。 【構成】 Si、La、O及びNを主たる構成元素とす
るサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜において、Zr、
Y、Ti、及びHfよりなる群から選択された少なくと
も一種を含有させたことを特徴とする。
Description
に関する。
プロセッサ、ファクシミリ等の印字ヘッドとして広く用
いられている。サーマルヘッドはポリシリコン等の抵抗
発熱体のドットを多数配列し、それらを選択的に通電す
ることにより印字リボンを用紙に熱転写して印字するよ
うに構成したものである。用紙はサーマルヘッドの面に
摺接しながら移送されるから、耐摩耗性が高い保護膜に
より抵抗発熱体の表面を保護する必要がある。
素は図1に示されているように、下から順にアルミナ等
の基板1、蓄熱用のグレーズガラス2、ポリシリコン等
の発熱体層3、電極4、5及び耐摩耗性保護膜6より成
る。図の7は発熱部となる。保護膜6には一般に硬度が
高く、熱及び組成と構造に起因する内部応力が小さく、
摩耗し難く、しかも湿気やアルカリ等に対して安定なこ
とが要求され、従来種々の材料が研究されている。
−74177号及び特開昭58−118273号で発表
されたSi−O−Nで表される組成の耐摩耗性保護膜
は、硬度が大きく耐摩耗性や耐環境性等のサーマルヘッ
ドに必要な特性に優れているが、内部応力が大きくクラ
ックが入りやすく、下層から剥離しやすい欠点がある。
特開平2−120057号によると、Si−O−Nの組
成にZrおよび/またはYを添加することが提案されて
いる。しかし、この耐摩耗性保護膜のビッカース硬度は
1600kg/mm2 以下に過ぎないので耐摩耗性が不
十分である。さらに、特開平2−120057号による
と、Si−O−Nの組成にTiを添加したSi−Ti−
O−Nが提案されている。この技術によると耐摩耗性保
護膜のビッカース硬度は2200kg/mm2 程度とな
り耐摩耗性は十分であるが、プラズマCVD法により他
の成分と共にTi源となるTiCl4 を分解して使用す
るので、サーマルヘッドの電極の腐蝕の生じるので耐用
性を損じる。また、特開昭62−90259号にはSi
−O−Nの組成にLaを添加したSi−La−O−Nが
提案されている。この技術によると耐摩耗性保護膜のビ
ッカース硬度は1200〜1600kg/mm2 とされ
ているが、実用品は耐クラック強度を考慮して1250
kg/mm2 が使用されている。この保護膜は内部応力
が小さく耐熱劣化性、耐クラック性や耐湿性に優れてい
るので実用化されているが、硬度の点に加えて引っ掻き
強度が十分でない。しかし最近ではフルカラー熱転写用
のサーマルヘッド等では引っ掻き強度がさらに増大する
ことが必要とされているが、Si−La−O−Nは不十
分である。
O−Nの組成或いはそれにZr、Y等の添加物を含有さ
せたサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜は硬度が不十分で
あり、内部応力が大きくクラックを生じ易く、下層から
剥離しやすい欠点を有する。一方、Si−O−Nの組成
にTiを含有させたものは硬度が大きいが、電極が腐蝕
しやすい問題を有する。また、Si−La−O−Nは実
用価値が高いが硬度及び引っ掻き強度がいまだ不十分で
ある。従って、本発明の目的は、硬度が高く、しかも引
っ掻き強度の大きいSi−La−O−N系のサーマルヘ
ッド用耐摩耗性保護膜を提供することにある。
及びNを主たる構成元素とするサーマルヘッド用耐摩耗
性保護膜において、Zr、Y、Ti、及びHfよりなる
群から選択された少なくとも一種を含有させたことを特
徴とする。好ましくは、本発明の保護膜はSiLax M
y Oz Nw (ただしMはZr、Y、Ti、Hfよりなる
群から選択された少なくとも一種、x=0.1〜1.
5、y=0.01〜0.5、z=0.1〜2.0、及び
w=0.2〜1.8)で表わされる組成を有する。
膜は、Si−La−O−Nの優れた特徴である耐クラッ
ク性、耐食性、耐摩耗性を利用しつつ、硬度(耐摩耗
性)及び引っ掻き強度を高めた保護膜である。
は、Si−La−O−N系の物質であり、好ましくはS
iLax My Oz Nw (M、x、y、zは上に定義した
通りである)で表わされる物質から構成される。ここに
x=0.1〜1.5は耐クラック性を向上するために必
要な量であり、少な過ぎても多過ぎても耐クラック性は
低下する。y=0.01〜0.5は引っ掻き強度と硬度
を向上させるが、多過ぎると内部応力が大きくなり剥離
しやすくなる。z=0.1〜2.0、及びw=0.2〜
1.8とするのは、硬度及び耐摩耗性を考慮して決めら
れ、内部応力の減少も考慮されている。O、Nはいずれ
も硬度及び耐摩耗性を上げ、これらが少な過ぎると膜が
柔かくなり耐摩耗性が減じ、一方多過ぎると脆くなる。
また両者の総量が一定な場合、Oが多くNが少ない方が
クラック強度が大きくなり、Nが多くOが少ない方が耐
摩耗性が高くなるので、両者の総量とバランスを考慮し
て上記のz、wで示される範囲が決定された。
て成膜することができる。この場合には、成膜原料とし
てSiO2 、La2 O3 、MO(Mは上に定義)、Si
3 N4 等を用い、これらを所定の混合比で混合し、プレ
スしてターゲットとし、また雰囲気ガスとしてArガ
ス、及び必要ならさらにO2 、N2 ガスを用い、RF電
力を加えてターゲットをArスパッタし、下地例えばア
ルミナ基板上にガラスグレーズ層を設けたものの上にS
i−M−O−N系の保護膜を成膜する。
モル比2:2:1:5の割合で混合し、プレスしてター
ゲットとし、投入電力1.5kw、Ar圧3Pa、基板温度
350℃でRFスパッタして4.5μm の厚さに成膜し
て耐摩耗性層とした。Arガスに適宜O2 、N2 を混入
して反応性スパッタをし、組成の調整をした。得られた
組成はSiLa0.25Hf0.06O0.7 N1.1 であった。得
られたSi−La−Hf−O−N膜に対して種々の試験
及び測定を行った。なお、引っ掻き強度はダイヤモンド
針を用いた引っ掻き試験機(新東科学(株)製HEID
ON−14型)によって測定した。
モル比2:2:1:5の割合で混合し、実施例1と同じ
方法でSi−La−Ti−O−Nを成膜して耐摩耗性層
とした。得られた組成はSiLa0.23Ti0.05O0.72N
1.15であった。得られたSi−La−Ti−O−N膜に
対して種々の試験及び測定を行った。
モル比2:2:1:5の割合で混合し、実施例1と同じ
方法でSi−La−Ti−O−Nを成膜して耐摩耗性層
とした。得られた組成はSiLa0.21Y0.12O0.75N
1.2 であった。得られたSi−La−Y−O−N膜に対
して種々の試験及び測定を行った。 比較例1 SiO2 、La2 O3 、Si3 N4 の粉末をモル比2:
3:5の割合で混合し、実施例1と同じ方法でSi−L
a−O−Nを成膜して耐摩耗性層とした。得られたSi
−La−O−N膜に対して種々の試験及び測定を行っ
た。
測定結果を表1に示す。
サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜は、従来のSi−La
−O−N型保護膜に比して硬度が高く、引掻き強度も高
い。これは添加物により硬度が向上した他、添加物によ
り密着性が向上したためであると思われる。また、17
50kg/mm2 のビッカース硬度はTiを含有するS
i−Ti−O−Nに比して低いが、従来の他の耐摩耗保
護膜よりも硬く、電極腐蝕の問題もない。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 Zr、Y、Ti及びHfよりなる群から
選択された少なくとも一種とSi、La、O及びNを主
たる構成元素とするサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜。 - 【請求項2】 SiLax My Oz Nw (ただしMはZ
r、Y、Ti、Hfよりなる群から選択された少なくと
も一種、x=0.1〜1.5、y=0.01〜0.5、
z=0.1〜2.0、及びw=0.2〜1.8)で表わ
される組成を有する前記第1項記載の耐摩耗性保護膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28107892A JP3221931B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜とそれを有するサーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28107892A JP3221931B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜とそれを有するサーマルヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06106751A true JPH06106751A (ja) | 1994-04-19 |
JP3221931B2 JP3221931B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=17634022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28107892A Expired - Lifetime JP3221931B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜とそれを有するサーマルヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3221931B2 (ja) |
-
1992
- 1992-09-28 JP JP28107892A patent/JP3221931B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3221931B2 (ja) | 2001-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000037893A (ja) | サーマルヘッド | |
JP3205404B2 (ja) | 耐摩耗性保護膜とそれを有するサーマルヘッド | |
JPH06106751A (ja) | サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜 | |
JP3221932B2 (ja) | 耐摩耗性保護膜とそれを有するサーマルヘッド | |
JP3328339B2 (ja) | サーマルヘッド用耐熱性保護膜とそれを用いたサーマルヘッド | |
JPH06227015A (ja) | サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜およびその製造方法 | |
JP2990719B2 (ja) | サーマルヘッド | |
JPS62201264A (ja) | 薄膜型サ−マルヘツド | |
JPH04834B2 (ja) | ||
JP2558500B2 (ja) | サーマルヘッド | |
JPS6290261A (ja) | サ−マルヘツド用耐摩耗性保護膜 | |
JPH05193171A (ja) | サーマルヘッド | |
JP2888584B2 (ja) | スパッタターゲットそれを用いた耐摩耗性被膜およびサーマルヘッド | |
JP2870692B2 (ja) | 薄膜型サーマルヘッド | |
JPH02238956A (ja) | サーマルヘッド | |
JPS60166471A (ja) | 感熱記録ヘツド | |
JPS62202754A (ja) | 薄膜型サ−マルヘツド | |
JPH07180031A (ja) | サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜 | |
JPS62201263A (ja) | 薄膜型サ−マルヘツド | |
JPS62201266A (ja) | 薄膜型サ−マルヘツド | |
JPS609770A (ja) | サ−マルヘツド | |
JPH07180044A (ja) | スパッタリングターゲット、それを用いて形成した発熱抵抗体用下地膜と耐摩耗性被膜、およびそれらを用いたサーマルプリントヘッド | |
JP3393715B2 (ja) | ディスクバルブ | |
JPS62167058A (ja) | 保護膜とその製造方法 | |
JP2000272155A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010731 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080817 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080817 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090817 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090817 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817 Year of fee payment: 12 |