JPH06104223B2 - 乾燥方法及びそのための装置 - Google Patents
乾燥方法及びそのための装置Info
- Publication number
- JPH06104223B2 JPH06104223B2 JP2-515823A JP51582390A JPH06104223B2 JP H06104223 B2 JPH06104223 B2 JP H06104223B2 JP 51582390 A JP51582390 A JP 51582390A JP H06104223 B2 JPH06104223 B2 JP H06104223B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- dried
- steam
- cooling
- internal space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Knives (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-515823A JPH06104223B2 (ja) | 1989-11-21 | 1990-11-21 | 乾燥方法及びそのための装置 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30256089 | 1989-11-21 | ||
| JP1-302560 | 1989-11-21 | ||
| JP1-324329 | 1989-12-14 | ||
| JP32432989 | 1989-12-14 | ||
| JP2-515823A JPH06104223B2 (ja) | 1989-11-21 | 1990-11-21 | 乾燥方法及びそのための装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO1991007239A1 JPWO1991007239A1 (ja) | 1991-11-07 |
| JPH06104223B1 JPH06104223B1 (enExample) | 1994-12-21 |
| JPH06104223B2 true JPH06104223B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=27338547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2-515823A Expired - Lifetime JPH06104223B2 (ja) | 1989-11-21 | 1990-11-21 | 乾燥方法及びそのための装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104223B2 (enExample) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6155390B2 (ja) | 2013-06-28 | 2017-06-28 | 張小凡ZHANG, Xiaofan | ゴルフスイング練習方法及びその装置 |
| JP6316189B2 (ja) | 2012-06-29 | 2018-04-25 | サターン ライセンシング エルエルシーSaturn Licensing LLC | 表示装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62149137A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-07-03 | Tomuko:Kk | 乾燥装置 |
| JPS62106630A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-18 | Hitachi Ltd | 処理装置 |
| JPS62173720A (ja) * | 1986-01-28 | 1987-07-30 | Fujitsu Ltd | ウエハ洗浄装置 |
| JPS63119889A (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-24 | ジャパン・フイールド株式会社 | 洗浄装置 |
| JPS63240982A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-06 | ジャパン・フィールド株式会社 | 洗浄装置 |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP2-515823A patent/JPH06104223B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6316189B2 (ja) | 2012-06-29 | 2018-04-25 | サターン ライセンシング エルエルシーSaturn Licensing LLC | 表示装置 |
| JP6155390B2 (ja) | 2013-06-28 | 2017-06-28 | 張小凡ZHANG, Xiaofan | ゴルフスイング練習方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06104223B1 (enExample) | 1994-12-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5222307A (en) | Drying method and apparatus therefor | |
| US5715612A (en) | Method for precision drying surfaces | |
| US5752532A (en) | Method for the precision cleaning and drying surfaces | |
| JPH05505449A (ja) | イソプロピルアルコールのような物質を用いて半導体ウエファーのような物品を乾燥するための蒸気装置及び方法 | |
| KR100492026B1 (ko) | 과열 증기를 이용한 건조 장치 | |
| WO1993017770A1 (en) | A solvent recovery and reclamation system | |
| KR102253559B1 (ko) | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 | |
| JP2002282801A (ja) | 真空蒸気洗浄方法およびその装置 | |
| JP3788588B2 (ja) | 部品洗浄乾燥方法 | |
| JPH06104223B2 (ja) | 乾燥方法及びそのための装置 | |
| JP3989432B2 (ja) | 真空乾燥装置 | |
| JP2532324B2 (ja) | 基板洗浄方法及び減圧乾燥装置 | |
| KR940004787B1 (ko) | 건조방법 및 그 장치 | |
| JP3955924B2 (ja) | エーロゾルを用いる物品の乾燥及び洗浄方法及び装置 | |
| JPWO1991007239A1 (ja) | 乾燥方法及びそのための装置 | |
| JPH0718478A (ja) | 電気接点等小物部品の洗浄方法及び減圧乾燥装置 | |
| JP6526858B2 (ja) | 洗浄液蒸留再生装置、部品洗浄装置、及び、洗浄液の蒸留再生方法 | |
| JP2008082569A (ja) | 水切り乾燥装置及び水切り乾燥方法 | |
| US6413322B1 (en) | Machine for vapor degreasing and process for doing same using an inflammable fluid | |
| JP2651654B2 (ja) | 真空乾燥装置及び真空乾燥方法 | |
| EP0747140B1 (en) | A process and an apparatus for rinsing and/or drying articles that have been subjected to a washing process | |
| KR980011979A (ko) | 웨이퍼 세정/건조 장치 및 방법 | |
| JPH11337263A (ja) | キャリアボックスの乾燥装置及び方法 | |
| JP2880549B2 (ja) | ワークの乾燥方法及び装置 | |
| JP2008264614A (ja) | 洗浄方法、及び洗浄装置 |