JPH06103571A - Production of magnetic recording medium - Google Patents
Production of magnetic recording mediumInfo
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- JPH06103571A JPH06103571A JP25301992A JP25301992A JPH06103571A JP H06103571 A JPH06103571 A JP H06103571A JP 25301992 A JP25301992 A JP 25301992A JP 25301992 A JP25301992 A JP 25301992A JP H06103571 A JPH06103571 A JP H06103571A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で金属を蒸着してなるバ
インダーを全く含まない蒸着型テープとがある。2. Description of the Related Art Magnetic recording media, such as magnetic tape,
A conventional coating tape made by applying a magnetic paint in which magnetic powder is dispersed in a binder on a film that is a non-magnetic support, and a vapor deposition method in which a metal is deposited on the film in a vacuum without any binder. There is a type tape.
【０００３】蒸着型テープは、磁性層にバインダーを含
まないことから磁性材料の密度を高められるため、高密
度記録に有望であるとされている。図２（ａ）は現在発
売又は開発されている蒸着型テープの基本構成を示して
いる。フィルムは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリイミド、アラミドなどが用いられている。厚
さは２〜50μｍまでいろいろ用いられている。Vapor deposition type tapes are considered to be promising for high-density recording because the density of the magnetic material can be increased because the magnetic layer does not contain a binder. FIG. 2 (a) shows the basic structure of a vapor deposition type tape which is currently on sale or under development. As the film, PET (polyethylene terephthalate), polyimide, aramid, or the like is used. Various thicknesses of 2 to 50 μm are used.
【０００４】磁性層は、フィルム上に、真空蒸着法を用
いて、例えばＣｏ−Ｃｒ合金（80％−20％）を1500Åの
厚さで付着させている。バックコート層は、フィルムの
磁性層蒸着面とは反対側の面に形成されており、その役
割は、導電性を持たせて帯電防止効果によるゴミの付着
防止、表面性（摩擦係数）をコントロールすることによ
る走行安定性向上、硬さなどの点で表の磁性層と裏との
バランスをとることによる反りの発生防止である。一例
としては、カーボンをバインダー中に分散させて、塗布
している。The magnetic layer is formed by depositing, for example, a Co--Cr alloy (80% -20%) in a thickness of 1500Å on the film by using a vacuum evaporation method. The back coat layer is formed on the surface of the film opposite to the magnetic layer deposition surface. Its role is to prevent the adhesion of dust due to the antistatic effect and control the surface property (friction coefficient). By doing so, it is possible to improve the running stability and prevent the occurrence of warpage by balancing the front magnetic layer and the back in terms of hardness and the like. As an example, carbon is dispersed in a binder and applied.
【０００５】ところで、磁性層を蒸着により形成する
と、均一な膜厚となるため、その表面は下地層の表面の
凹凸をそのまま反映する。従って、フィルム上に磁性層
を直接蒸着すると、図２（ａ）に示されているように、
磁性層の表面が極めて平坦な状態となってしまい、摩擦
係数が大となって、走行安定性が悪化する。By the way, when the magnetic layer is formed by vapor deposition, it has a uniform film thickness, so that the surface thereof reflects the unevenness of the surface of the underlayer as it is. Therefore, when the magnetic layer is directly deposited on the film, as shown in FIG.
The surface of the magnetic layer becomes extremely flat, the friction coefficient becomes large, and running stability deteriorates.
【０００６】そこで、図２（ｂ）に示すように、フィル
ム上にスラリーを含有するアンダーコート層を設けて、
表面を粗くし、この上に磁性層を蒸着することにより、
磁性層の表面性を改善している。Therefore, as shown in FIG. 2B, an undercoat layer containing a slurry is provided on the film,
By roughening the surface and depositing a magnetic layer on this,
The surface property of the magnetic layer is improved.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、アンダーコート層を設けることに
より、製造工程が煩雑になり、価格の上昇を招くことは
否めなかった。本発明は、このような実情に鑑み、アン
ダーコート層を設けることなく、磁性層の表面性を改善
することを目的とする。However, in such a conventional method, it is undeniable that the manufacturing process is complicated and the cost is increased by providing the undercoat layer. In view of such circumstances, the present invention aims to improve the surface properties of the magnetic layer without providing an undercoat layer.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、非
磁性支持体上に磁性層を形成するに際し、真空中にて、
非磁性支持体に金属を蒸着させて後、その蒸着面にガス
イオンを照射することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法を提供する。Therefore, according to the present invention, in forming a magnetic layer on a non-magnetic support, in a vacuum,
Provided is a method for producing a magnetic recording medium, which comprises depositing a metal on a non-magnetic support and then irradiating the deposition surface with gas ions.
【０００９】[0009]
【作用】すなわち、磁性層を真空蒸着により形成する
と、すなわち金属のままであると、表面粗さ（中心線平
均粗さ）Ｒａが 0.1〜１ｎｍと非常に平坦のままで、摩
擦係数が 0.6〜 1.0と高くなり、走行安定性が悪くなる
ので、蒸着面にガスイオンを照射し、その衝突によって
表面を粗くして、磁性層の表面粗さを適正範囲にする。
これにより、Ｒａ＝２〜５ｎｍに調整することができ、
摩擦係数についても0.1〜 0.4にすることが可能であ
る。That is, when the magnetic layer is formed by vacuum vapor deposition, that is, when it is a metal, the surface roughness (center line average roughness) Ra remains 0.1 to 1 nm and remains very flat, and the friction coefficient is 0.6 to 10. Since it becomes as high as 1.0 and the running stability deteriorates, the vapor deposition surface is irradiated with gas ions, and the surface is roughened by the collision, so that the surface roughness of the magnetic layer falls within an appropriate range.
Thereby, Ra = 2 to 5 nm can be adjusted,
The friction coefficient can also be set to 0.1 to 0.4.
【００１０】尚、イオン照射の方法としては、カウフマ
ンタイプと、ＥＣＲ（高周波）タイプとがある。ガスと
しては、Ｎ2 、Ｏ2 、Ｃｌ2 、ＣＨ4 など、イオン化可
能なガスであればよい。As the ion irradiation method, there are a Kauffman type and an ECR (high frequency) type. The gas may be any ionizable gas such as N 2 , O 2 , Cl 2 and CH 4 .
【００１１】[0011]
【実施例】以下に本発明の一実施例を説明する。図１の
真空蒸着装置を用いて、非磁性支持体である厚さ 9.8μ
ｍのＰＥＴフィルムの上に、真空蒸着により、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金（80％−20％）を1500Å付着させて、磁性層を形
成した。EXAMPLE An example of the present invention will be described below. Using the vacuum deposition apparatus of Fig. 1, the thickness of the non-magnetic support is 9.8μ.
m PET film by Co-C by vacuum deposition
An r-alloy (80% -20%) was deposited on 1500Å to form a magnetic layer.
【００１２】図１の真空蒸着装置について説明する。真
空容器１は、ターボポンプ２とロータリポンプ３との運
転により真空状態とされる。真空容器１内には、巻出し
ロール４と巻取りロール５とが設けられ、巻出しロール
４から巻出されて巻取りロール５に巻取られる間で、Ｐ
ＥＴフィルム６は冷却キャン７の下側面に巻掛けられて
走行するようになっている。The vacuum vapor deposition apparatus of FIG. 1 will be described. The vacuum container 1 is brought into a vacuum state by the operation of the turbo pump 2 and the rotary pump 3. An unwinding roll 4 and a winding roll 5 are provided in the vacuum container 1, and while being unwound from the unwinding roll 4 and wound by the winding roll 5, P
The ET film 6 is wound around the lower surface of the cooling can 7 so as to run.
【００１３】冷却キャン７の下方にはＭｇＯ製のルツボ
８が置かれ、この中にＣｏ−Ｃｒ合金が入れられてい
る。そして、ルツボ８中のＣｏ−Ｃｒ合金に対し斜め上
方の電子ビーム銃９から電子ビームを照射し、これによ
り加熱してＣｏ−Ｃｒ合金を蒸発させるようになってい
る。Below the cooling can 7, a MgO crucible 8 is placed, and a Co--Cr alloy is put therein. Then, the Co—Cr alloy in the crucible 8 is irradiated with an electron beam from an electron beam gun 9 obliquely above, thereby heating and evaporating the Co—Cr alloy.
【００１４】そして、ルツボ８と冷却キャン７との間に
ＰＥＴフィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板
10を配置してある。そして、冷却キャン７上で蒸着部の
下流側にあるＰＥＴフィルム６に向けて、カウフマン・
イオン銃11を配置してある。このイオン銃11にはガス導
入管12が接続される。この例では、Ｎ2 をイオン化し、
1.5ＫＶの加速電圧でＣｏ−Ｃｒ合金の蒸着面を照射す
るようになっている。A shielding plate for restricting the vapor deposition range on the PET film 6 between the crucible 8 and the cooling can 7.
10 are arranged. Then, toward the PET film 6 on the downstream side of the vapor deposition section on the cooling can 7, Kaufman
An ion gun 11 is arranged. A gas introduction pipe 12 is connected to the ion gun 11. In this example, N 2 is ionized,
The deposition surface of the Co-Cr alloy is irradiated with an accelerating voltage of 1.5 KV.
【００１５】ここにおいて、ＰＥＴフィルム６を巻出し
ロール４にセットして、冷却キャン７上を走行させ、電
子ビーム銃９により加熱されて蒸発されるＣｏ−Ｃｒ合
金を付着させた。そして、Ｃｏ−Ｃｒ合金の蒸着面にカ
ウフマン・イオン銃11によりＮ2 イオンを照射して、適
当な表面粗さを得た。そして、磁性層の蒸着と表面処理
とを終えたＰＥＴフィルム６は巻取りロール５に巻取っ
た。Here, the PET film 6 was set on the unwinding roll 4, run on the cooling can 7, and the Co--Cr alloy heated and evaporated by the electron beam gun 9 was attached. Then, the deposition surface of the Co—Cr alloy was irradiated with N 2 ions by the Kaufman ion gun 11 to obtain an appropriate surface roughness. Then, the PET film 6 on which the vapor deposition of the magnetic layer and the surface treatment were completed was wound up on a winding roll 5.
【００１６】その後、ＰＥＴフィルムの裏面にバックコ
ート層を塗布又は蒸着により形成して、図２（ｃ）に示
すような磁気フィルムを得た。ここで、磁性層としてＣ
ｏ−Ｃｒ合金を蒸着させただけのものと、イオン照射を
行ったものとについて、比較したところ、Ｃｏ−Ｃｒ合
金を蒸着させただけのものはＲａ＝ 0.5ｎｍ、摩擦係数
＝0.8 であったが、イオン照射により、Ｒａ＝３ｎｍ、
摩擦係数＝0.25と適正範囲になった。Then, a back coat layer was formed on the back surface of the PET film by coating or vapor deposition to obtain a magnetic film as shown in FIG. 2 (c). Here, as the magnetic layer, C
Comparison was made between the vapor-deposited o-Cr alloy and the ion-irradiated one. As a result, the vapor-deposited Co-Cr alloy had a Ra of 0.5 nm and a friction coefficient of 0.8. However, by ion irradiation, Ra = 3 nm,
Friction coefficient = 0.25, which is in the proper range.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、非
磁性支持体に金属を蒸着させて後、その蒸着面にガスイ
オンを照射するようにしたので、磁性層の表面粗さを適
正なものとして、走行安定性を良好にすることができ
る。よって、アンダーコート層が不要となり、製造工数
を低減し、価格的にも安価にすることができる。As described above, according to the present invention, after the metal is vapor-deposited on the non-magnetic support, the vapor-deposited surface is irradiated with gas ions, so that the surface roughness of the magnetic layer can be properly adjusted. In particular, the running stability can be improved. Therefore, the undercoat layer is unnecessary, the number of manufacturing steps can be reduced, and the price can be reduced.
【図１】 本発明の一実施例で用いる真空蒸着装置の概
略図FIG. 1 is a schematic diagram of a vacuum vapor deposition apparatus used in an embodiment of the present invention.
【図２】 磁性層の表面性について説明する図FIG. 2 is a diagram illustrating the surface properties of a magnetic layer.
１ 真空容器 ４ 巻出しロール ５ 巻取りロール ６ ＰＲＴフィルム ７ 冷却キャン ８ ルツボ（Ｃｏ−Ｃｒ合金入り） ９ 電子ビーム銃 10 遮蔽板 11 カウフマン・イオン銃 12 ガス導入管 1 Vacuum Container 4 Unwinding Roll 5 Winding Roll 6 PRT Film 7 Cooling Can 8 Crucible (with Co-Cr Alloy) 9 Electron Beam Gun 10 Shielding Plate 11 Kaufman Ion Gun 12 Gas Introducing Tube
Claims (1)
し、真空中にて、非磁性支持体に金属を蒸着させて後、
その蒸着面にガスイオンを照射することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。1. When forming a magnetic layer on a non-magnetic support, after depositing a metal on the non-magnetic support in a vacuum,
A method of manufacturing a magnetic recording medium, characterized in that the vapor deposition surface is irradiated with gas ions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25301992A JPH06103571A (en) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | Production of magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25301992A JPH06103571A (en) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | Production of magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06103571A true JPH06103571A (en) | 1994-04-15 |
Family
ID=17245358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25301992A Pending JPH06103571A (en) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | Production of magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103571A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5679166A (en) * | 1994-02-28 | 1997-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording media, magnetic recording media fabrication method, and fabrication equipment |
-
1992
- 1992-09-22 JP JP25301992A patent/JPH06103571A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5679166A (en) * | 1994-02-28 | 1997-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording media, magnetic recording media fabrication method, and fabrication equipment |
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