JPH0798831A - Magnetic recording medium, its production and producing device - Google Patents
Magnetic recording medium, its production and producing deviceInfo
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- JPH0798831A JPH0798831A JP24468293A JP24468293A JPH0798831A JP H0798831 A JPH0798831 A JP H0798831A JP 24468293 A JP24468293 A JP 24468293A JP 24468293 A JP24468293 A JP 24468293A JP H0798831 A JPH0798831 A JP H0798831A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁性層が特定のコラム
構造を有する金属薄膜型の磁気記録媒体、その製造装置
及び製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal thin film type magnetic recording medium having a magnetic layer having a specific column structure, a manufacturing apparatus and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気記録媒体には、非磁性支持体である
フィルム上に磁性粉をバインダーに分散させた磁性塗料
を塗布してなるいわゆる塗布型の磁気記録媒体と、フィ
ルム上に真空中で金属を蒸着、スパッタ等により付着さ
せてなるバインダーを全く含まない、いわゆる金属薄膜
型の磁気記録媒体とがある。金属薄膜型の磁気記録媒体
は、磁性層にバインダーを含まないことから磁性材料の
密度を高められるため、高密度記録に有望であるとされ
ている。2. Description of the Related Art A magnetic recording medium is a so-called coating type magnetic recording medium obtained by coating a film which is a non-magnetic support with a magnetic paint in which magnetic powder is dispersed in a binder, and a film in a vacuum. There is a so-called metal thin film type magnetic recording medium which does not include a binder formed by depositing a metal by vapor deposition, sputtering or the like. The metal thin film type magnetic recording medium is considered to be promising for high-density recording because the density of the magnetic material can be increased because the magnetic layer does not contain a binder.
【０００３】今日市販されている金属薄膜型の磁気記録
媒体は、図３に示すような装置により製造されている。
磁性層は、フィルム上に、真空蒸着法等を用いて、磁性
金属を1000〜2000Å程度の厚さとなるように付着させて
いる。A metal thin film type magnetic recording medium commercially available today is manufactured by an apparatus as shown in FIG.
The magnetic layer is formed by depositing a magnetic metal on the film by a vacuum vapor deposition method or the like so as to have a thickness of about 1000 to 2000Å.
【０００４】一般に、蒸着により金属を蒸発させた場
合、蒸発粒子の分布は電子ビームが当たっている部分を
中心（最大値）とするガウス分布を形成する。従って、
図３のような装置では蒸発粒子の少ない領域からコラム
が成長を始めるため、磁性層のコラム構造は、図４に示
すようにフィルム近傍では細くなり、フィルムから離れ
るにつれて太くなる。Generally, when a metal is vaporized by vapor deposition, the distribution of vaporized particles forms a Gaussian distribution centered on the portion on which the electron beam hits (maximum value). Therefore,
In the apparatus shown in FIG. 3, the column starts to grow from the region where the amount of evaporated particles is small. Therefore, as shown in FIG. 4, the column structure of the magnetic layer becomes thin near the film and becomes thick as the distance from the film increases.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このようなコラム構造
を有する従来の金属薄膜型の磁気記録媒体では低域での
出力が低くなり、特にビデオテープでは色彩が充分鮮明
に表れない場合もあり、更に低周波出力を向上させるこ
とが望まれている。In the conventional metal thin film type magnetic recording medium having such a column structure, the output in the low range becomes low, and in particular, the color may not be sufficiently clear on a video tape. Further improvement in low frequency output is desired.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく鋭意研究した結果、磁性層のコラム構造の太
さが均一な磁気記録媒体が低周波出力が向上することを
見出し、また、このような磁気記録媒体は特定の製造装
置により製造できることを見出し、本発明を完成するに
至った。As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a magnetic recording medium having a magnetic layer having a uniform column structure has improved low-frequency output. Further, they have found that such a magnetic recording medium can be manufactured by a specific manufacturing apparatus, and have completed the present invention.
【０００７】〔本発明の磁気記録媒体〕すなわち本発明
は、非磁性支持体と該非磁性支持体上に形成された磁性
層を有し、該磁性層のコラム構造の太さが、前記非磁性
支持体の長手平面に垂直な方向において均一であること
を特徴とする磁気記録媒体を提供するものである。本発
明の磁気記録媒体のコラム構造のモデルを図２に示す。[Magnetic Recording Medium of the Present Invention] That is, the present invention has a non-magnetic support and a magnetic layer formed on the non-magnetic support, and the column structure of the magnetic layer has the thickness of the non-magnetic support. The present invention provides a magnetic recording medium characterized by being uniform in a direction perpendicular to the longitudinal plane of the support. A model of the column structure of the magnetic recording medium of the present invention is shown in FIG.
【０００８】本発明においてコラム構造の太さが均一で
あるとは、非磁性支持体付近の磁性層のコラム構造がほ
ぼ一定の太さのまま成長することを意味するが、厳密に
一定の太さを保つ必要はなく、例えば最も太い部分の太
さ（Ａ）に対する最も細い部分の太さ（Ｂ）の比が、
Ａ：Ｂ＝ 1.2：１〜１：１の範囲にあれば充分である。In the present invention, the uniform thickness of the column structure means that the column structure of the magnetic layer in the vicinity of the non-magnetic support grows with a substantially constant thickness. It is not necessary to maintain the thickness, for example, the ratio of the thickness (B) of the thinnest portion to the thickness (A) of the thickest portion is
A range of A: B = 1.2: 1 to 1: 1 is sufficient.
【０００９】本発明の磁気記録媒体の製造方法におい
て、磁性層を形成する磁性材料としては、通常の金属薄
膜型の磁気記録媒体の製造に用いられる強磁性金属材料
が挙げられ、例えばCo, Ni, Fe等の強磁性金属、また、
Fe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Fh、Fe−C
u、Co−Cu、Co−Au、Co−Y 、Co−La、Co−Pr、Co−G
d、Co−Sm、Co−Pt、Ni−Cu、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−A
l、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Ni−Co−Cr
等の強磁性合金が挙げられる。磁性層としては鉄の薄膜
或いは鉄を主体とする強磁性合金の薄膜が好ましく、特
に、鉄、鉄を主体とする強磁性合金及びこれらの窒化物
もしくは炭化物から選ばれる少なくとも１種が好まし
い。In the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, the magnetic material for forming the magnetic layer includes a ferromagnetic metal material used for manufacturing a usual metal thin film type magnetic recording medium, such as Co or Ni. , A ferromagnetic metal such as Fe,
Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Fh, Fe-C
u, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-G
d, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-A
l, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr
And other ferromagnetic alloys. The magnetic layer is preferably an iron thin film or a thin film of a ferromagnetic alloy mainly containing iron, and particularly preferably at least one selected from iron, a ferromagnetic alloy mainly containing iron, and nitrides or carbides thereof.
【００１０】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着により基材上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は10-4〜10-7Torr程度であ
る。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造の何れで
も良く、特に、酸化性ガスを導入して磁性層表面に酸化
物を形成することにより、耐久性の向上を図ることがで
きる。For high density recording, the magnetic layer of the magnetic recording medium is preferably formed on the substrate by oblique vapor deposition. The method of oblique vapor deposition is not particularly limited and is based on a conventionally known method. The degree of vacuum during vapor deposition is about 10 −4 to 10 −7 Torr. The magnetic layer formed by vapor deposition may have either a single-layer structure or a multi-layer structure, and in particular, the durability can be improved by introducing an oxidizing gas to form an oxide on the surface of the magnetic layer.
【００１１】なお、本発明においては、磁性層は一層或
いは多層とすることができるが、少なくとも一層は前記
のような均一な太さのコラム構造を有する磁性層である
必要があり、そのようなコラム構造を有する磁性層は非
磁性支持体から最も近い磁性層とするのが好ましい。も
ちろん、多層構造の磁性層が全てこのようなコラム構造
を有する磁性層であってもよい。In the present invention, the magnetic layer may be a single layer or a multilayer, but at least one layer needs to be a magnetic layer having a column structure with a uniform thickness as described above. The magnetic layer having a column structure is preferably the magnetic layer closest to the non-magnetic support. Of course, all the magnetic layers having a multilayer structure may be magnetic layers having such a column structure.
【００１２】蒸着で多層の磁性層を形成する場合、磁性
層の厚さは、二層の場合、下層の磁性層の厚さが 100〜
2000Å、上層の磁性層の厚さが50〜1000Åが好ましく、
三層の場合、下層の磁性層の厚さが100 〜2000Å、中間
の磁性層の厚さが 100〜1000Å、上層の磁性層の厚さが
50〜1000Åが好ましい。また、磁性層の数は高周波記録
に対応するには、多い方が良いが、実用的な範囲として
は二〜五層が適当と考えられる。In the case of forming a multilayer magnetic layer by vapor deposition, the thickness of the magnetic layer is two, and in the case of two layers, the thickness of the lower magnetic layer is 100 to 100.
2000Å, the thickness of the upper magnetic layer is preferably 50 ~ 1000Å,
In the case of three layers, the thickness of the lower magnetic layer is 100 to 2000Å, the thickness of the middle magnetic layer is 100 to 1000Å, and the thickness of the upper magnetic layer is
50 to 1000Å is preferable. Further, the number of magnetic layers is preferably as large as possible for high frequency recording, but it is considered that two to five layers are suitable as a practical range.
【００１３】本発明の磁気記録媒体は必要に応じてトッ
プコート層やバックコート層が形成される。トップコー
ト層は限定しないが、パーフルオロポリエーテル等の弗
素系潤滑剤により形成されるのが好ましい。トップコー
ト層の厚さは50〜200 Å程度である。また、バックコー
ト層は、カーボンブラック等をバインダーに分散させた
塗料を塗布して形成したり、或いは金属や半金属を蒸着
して形成することができる。蒸着させる金属としては、
Al，Cu，Zn，Sn，Ni，Agなど及びこれらの合金が用いら
れる。但し、価格、付着速度、酸化後の安定性の点か
ら、Al，Cuが最適であり、特にAlが好ましい。また、バ
ックコート層を形成する半金属としては、Si，Ge，As，
Sc，Sbなどが用いられる。特に、価格、付着速度等の点
から、Siが最適である。塗布により形成されるバックコ
ート層の乾燥後の厚さは 0.4〜1.0μm 程度、金属又は
半金属より形成されるバックコート層の厚さは、0.05〜
１．０μｍ 程度である。In the magnetic recording medium of the present invention, a top coat layer and a back coat layer are formed if necessary. The top coat layer is not limited, but is preferably formed of a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether. The thickness of the top coat layer is about 50 to 200Å. Further, the back coat layer can be formed by applying a coating material in which carbon black or the like is dispersed in a binder, or by depositing a metal or a metalloid. As the metal to be deposited,
Al, Cu, Zn, Sn, Ni, Ag, etc. and their alloys are used. However, Al and Cu are most suitable from the viewpoints of price, deposition rate, and stability after oxidation, and Al is particularly preferable. Further, as the semi-metal forming the back coat layer, Si, Ge, As,
Sc, Sb, etc. are used. In particular, Si is most suitable in terms of price, adhesion speed, and the like. The thickness of the back coat layer formed by coating after drying is about 0.4 to 1.0 μm, and the thickness of the back coat layer formed of metal or metalloid is about 0.05 to
It is about 1.0 μm.
【００１４】なお、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
おいて、非磁性支持体としては、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリエチレンナフタレートのようなポリエステ
ル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン; セルローストリアセテート、セルロースジアセテー
ト等のセルロース誘導体；ポリカーボネート；ポリ塩化
ビニル；ポリイミド；芳香族ポリアミド等のプラスチッ
ク等が使用される。これらの非磁性支持体の厚さは３〜
50μm 程度である。In the method for producing a magnetic recording medium of the present invention, the non-magnetic support includes polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; celluloses such as cellulose triacetate and cellulose diacetate. Derivatives; polycarbonate; polyvinyl chloride; polyimide; plastics such as aromatic polyamide are used. The thickness of these non-magnetic supports is 3 to
It is about 50 μm.
【００１５】〔本発明の製造装置〕また、本発明は、チ
ャンバと、該チャンバを真空に保つ真空手段を含み、該
チャンバが、非磁性支持体を搬送する円筒キャンと、該
円筒キャンの下方に配設され、前記円筒キャン上を搬送
される非磁性支持体上に金属粒子を付着する蒸着手段
と、蒸着領域を規制する防着板と、蒸着中又は蒸着後に
酸化性ガスを導入する酸化性ガス導入手段を有する磁気
記録媒体の製造装置において、前記蒸着手段から蒸発さ
れる金属粒子の分布がガウス分布を有し、且つ該ガウス
分布の最大分布領域の中心から延長した垂線が前記キャ
ンと接する位置に前記蒸着手段が配設され、前記防着板
が、前記蒸着手段から蒸発される金属粒子の前記キャン
に対する最小入射角(θmin) が20〜50°となるよう蒸着
領域を規制する位置に配設されることを特徴とする磁気
記録媒体の製造装置を提供するものである。[Manufacturing Apparatus of the Present Invention] The present invention also includes a chamber and a vacuum means for maintaining the chamber in a vacuum, wherein the chamber carries a non-magnetic support, and a lower portion of the cylindrical can. Deposition means for depositing metal particles on the non-magnetic support, which is conveyed on the cylindrical can, a deposition preventive plate for regulating the deposition area, and an oxidation gas for introducing an oxidizing gas during or after the deposition. In the apparatus for manufacturing a magnetic recording medium having a reactive gas introducing means, the distribution of metal particles evaporated from the vapor deposition means has a Gaussian distribution, and a perpendicular line extending from the center of the maximum distribution area of the Gaussian distribution is the can. The vapor deposition means is arranged at a contacting position, and the deposition preventive plate regulates the vapor deposition region so that the minimum incident angle (θ min ) of the metal particles vaporized from the vapor deposition means with respect to the can is 20 to 50 °. In position An apparatus for manufacturing a magnetic recording medium is provided.
【００１６】本発明の製造装置の一例を図１に示すが、
本発明の製造装置の特徴は、蒸着領域の何れの箇所にお
いても常に一定の量の金属粒子が非磁性支持体に付着す
るよう、蒸着手段の位置を制御して配置し、且つ防着板
が金属粒子のキャンに対する最小入射角(θmin)を制御
するように配置したことである。An example of the manufacturing apparatus of the present invention is shown in FIG.
The feature of the production apparatus of the present invention is that the deposition means is controlled and arranged so that a certain amount of metal particles always adheres to the non-magnetic support at any position in the deposition area, and It is arranged so as to control the minimum incident angle (θ min ) with respect to the can of the metal particles.
【００１７】前述のように従来の装置では、蒸着手段か
ら蒸発される金属粒子のガウス分布において、金属粒子
の少ない領域からコラムが成長を始めるため、磁性層の
コラム構造はフィルムに近づくにつれて細くなるが、本
発明の装置では、金属粒子の多い領域からコラムの成長
が始まる。ただし、最も金属粒子の多い領域では非磁性
支持体までの距離が遠く、最も蒸発粒子の少ない領域に
近づくにつれて距離が近くなるため、蒸着中を通じてほ
ぼ一定の量の粒子が付着できる。従って均一な太さのコ
ラム構造が形成される。As described above, in the conventional apparatus, in the Gaussian distribution of the metal particles evaporated from the vapor deposition means, the column starts to grow from the region where the metal particles are few, so that the column structure of the magnetic layer becomes thin as it approaches the film. However, in the device of the present invention, column growth starts from a region where metal particles are abundant. However, since the distance to the non-magnetic support is long in the region with the most metal particles, and the distance becomes closer as it approaches the region with the least vaporized particles, a substantially constant amount of particles can be attached during the vapor deposition. Therefore, a column structure having a uniform thickness is formed.
【００１８】本発明において、蒸着手段から発生する金
属粒子の最大分布領域の中心とは、ガウス分布曲線にお
ける最大値をいうが、ここから延長する垂線（図中Ｐ）
が厳密に円筒キャンと接する必要はなく、コラムがほぼ
均一に形成されれば多少ずれていてもかまわない。In the present invention, the center of the maximum distribution region of metal particles generated from the vapor deposition means the maximum value in the Gaussian distribution curve, but the perpendicular line extending from this point (P in the figure).
Does not have to be in exact contact with the cylindrical can, and may be slightly displaced as long as the columns are formed substantially uniformly.
【００１９】また、防着板が、前記蒸着手段から蒸発さ
れる金属粒子の前記キャンに対する最小入射角(θmin)
が20〜50°となるよう蒸着領域を規制する位置に配設さ
れるのは、磁気特性を保ちながら蒸着効率を良くするた
めである。Further, the deposition preventive plate has a minimum incident angle (θ min ) with respect to the can of the metal particles evaporated from the vapor deposition means.
Is arranged at a position that regulates the vapor deposition region so as to be 20 to 50 ° in order to improve the vapor deposition efficiency while maintaining the magnetic characteristics.
【００２０】また、本発明の製造装置は、蒸着中又は蒸
着後に、酸素、空気、オゾン等の酸化性ガスを導入する
酸化性ガス導入手段を有する。酸化性ガス導入手段は何
れも酸化性ガス導入管や適当な開口等からなる。Further, the manufacturing apparatus of the present invention has an oxidizing gas introducing means for introducing an oxidizing gas such as oxygen, air or ozone during or after vapor deposition. Each of the oxidizing gas introducing means is composed of an oxidizing gas introducing pipe or an appropriate opening.
【００２１】また、本発明の製造装置は、必要に応じて
搬送ローラー等を有するが、蒸着手段と防着板は上記で
規定する位置に配設される必要がある。Further, the manufacturing apparatus of the present invention has a transport roller and the like as necessary, but the vapor deposition means and the deposition preventive plate need to be arranged at the positions defined above.
【００２２】通常、蒸着手段は、円筒キャンに対して開
口している金属材料の収容容器と、該収容容器中の金属
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
を含んでいる。Usually, the vapor deposition means includes a container for the metallic material, which is open to the cylindrical can, and an electron beam generator for irradiating the metallic material in the container with an electron beam.
【００２３】なお、本発明の製造装置において、円筒キ
ャンは、通常は冷却機能を備えた冷却キャンである。In the manufacturing apparatus of the present invention, the cylindrical can is usually a cooling can having a cooling function.
【００２４】〔本発明の製造方法〕更に、本発明は、真
空中で非磁性支持体を走行させ、蒸着により該非磁性支
持体上に金属粒子を付着させて少なくとも一層の磁性層
を形成する磁気記録媒体の製造方法において、非磁性支
持体を、磁性層を形成するのに充分な量の金属粒子が付
着し得る一定の長さの蒸着領域内を走行させ、且つ、該
蒸着領域の何れ箇所においても常に一定量の金属粒子が
非磁性支持体に付着するよう、非磁性支持体に対する蒸
着源の位置と非磁性支持体に対する金属粒子の最小入射
角(θmin) を制御して、磁性層のコラム構造の太さが、
非磁性支持体の長手平面に垂直な方向において均一であ
る磁気記録媒体を製造する方法を提供するものである。[Production method of the present invention] Further, the present invention is a magnetic method in which at least one magnetic layer is formed by running a non-magnetic support in a vacuum and depositing metal particles on the non-magnetic support by vapor deposition. In the method for producing a recording medium, the non-magnetic support is run in a vapor deposition region of a certain length to which a sufficient amount of metal particles for forming a magnetic layer can be attached, and at any position of the vapor deposition region. In order to always attach a certain amount of metal particles to the non-magnetic support, the position of the evaporation source with respect to the non-magnetic support and the minimum incident angle (θ min ) of the metal particles with respect to the non-magnetic support should be controlled in the magnetic layer. The thickness of the column structure of
A method for producing a magnetic recording medium that is uniform in a direction perpendicular to the longitudinal plane of the non-magnetic support.
【００２５】本発明の製造方法によれば、前記したよう
な磁性層が特定のコラム構造を有する本発明の磁気記録
媒体を製造できる。磁性層を形成する際の真空度や磁性
層の厚さは等は、前記した本発明の磁気記録媒体に準ず
る。また、磁性層を形成する工程以外の工程は、通常の
金属薄膜型の磁気記録媒体の製造方法に準ずる。According to the manufacturing method of the present invention, it is possible to manufacture the magnetic recording medium of the present invention in which the above-mentioned magnetic layer has a specific column structure. The degree of vacuum when forming the magnetic layer, the thickness of the magnetic layer, and the like are in accordance with the above-described magnetic recording medium of the present invention. Further, the steps other than the step of forming the magnetic layer conform to the usual method for manufacturing a metal thin film type magnetic recording medium.
【００２６】[0026]
【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【００２７】実施例１ 図１の真空蒸着装置について説明する。真空容器１は、
図示しない真空手段により真空状態とされる。真空容器
１内には、巻出しロール２と巻取りロール３とが設けら
れ、巻出しロール２から巻出されて巻取りロール４に巻
取られる間で、非磁性支持体４はキャン５の下側面に巻
掛けられて走行するようになっている。キャン５の下方
にはＭｇＯ製のるつぼ６が置かれ、この中に磁性金属と
してCo−Ni（80％−20％）合金が入れられている。ここ
で、るつぼ６とキャン５との間に非磁性支持体４への蒸
着範囲を規制するための防着板７が、最小入射角θmin
が35°となる位置に設置されている。また、るつぼ６中
のCo−Ni合金に電子ビーム銃８から電子ビームを湾曲さ
せて照射し、これにより加熱してCo−Ni合金を蒸発させ
るようになっている。ここで、るつぼ６は、蒸発金属の
最大分布領域の中心（一般的には電子ビームを照射して
いる中心）から延長した垂線Ｐがキャン５と接するよう
な位置に配置されている。そして、真空容器１外部から
内部へ導いた酸素導入管９の先端部を遮蔽板７の上部に
蒸着面を臨むように配置してある。酸素導入量は図示し
ない流量制御弁により調整可能である。Example 1 The vacuum vapor deposition apparatus shown in FIG. 1 will be described. The vacuum container 1 is
A vacuum state is set by a vacuum means (not shown). An unwinding roll 2 and a winding roll 3 are provided in the vacuum container 1. While the unwinding roll 2 unwinds and the winding roll 4 winds up the non-magnetic support 4, It is designed so that it can be wrapped around the lower side and run. A crucible 6 made of MgO is placed below the can 5, and a Co—Ni (80% -20%) alloy is put therein as a magnetic metal. Here, the deposition preventive plate 7 for restricting the vapor deposition range on the non-magnetic support 4 is disposed between the crucible 6 and the can 5 at the minimum incident angle θ min.
Is installed at a position of 35 °. Further, the Co—Ni alloy in the crucible 6 is irradiated with the electron beam curved from the electron beam gun 8 to heat the Co—Ni alloy to evaporate the Co—Ni alloy. Here, the crucible 6 is arranged at a position where a perpendicular line P extending from the center of the maximum distribution area of evaporated metal (generally, the center where the electron beam is irradiated) contacts the can 5. The tip of the oxygen introducing tube 9 guided from the outside to the inside of the vacuum container 1 is arranged above the shielding plate 7 so as to face the vapor deposition surface. The amount of oxygen introduced can be adjusted by a flow rate control valve (not shown).
【００２８】非磁性支持体を巻出しロール２にセットし
て、キャン５上を走行させ、酸素導入管９により酸素を
導入しつつ、電子ビーム銃８により加熱されて蒸発され
るCo−Ni合金を非磁性支持体上に付着させた。酸素導入
量については、限定しないが、例えば純度 99.98％酸素
を毎分25cc程度導入すればよい。そして、磁性層の蒸着
を終えた非磁性支持体４は巻取りロール２に巻取られ
る。上記のようにして製造された磁気記録媒体の磁性層
のコラム構造は図２に示すように均一であり、このフィ
ルムを裁断して８mmビデオテープを作製した（本発明
品）。The non-magnetic support is set on the unwinding roll 2, runs on the can 5, and while introducing oxygen through the oxygen introducing tube 9, is heated by the electron beam gun 8 to evaporate the Co-Ni alloy. Was deposited on a non-magnetic support. The amount of oxygen introduced is not limited, but for example, 99.98% pure oxygen may be introduced at about 25 cc / min. Then, the non-magnetic support 4 on which the magnetic layer has been vapor-deposited is wound around the winding roll 2. The column structure of the magnetic layer of the magnetic recording medium manufactured as described above was uniform as shown in FIG. 2, and this film was cut to produce an 8 mm video tape (product of the present invention).
【００２９】また、比較品として、図３に示す装置を用
いて上記同様の磁性金属を蒸着させて８mmビデオテープ
を得た（比較品）。As a comparative product, a magnetic metal similar to the above was vapor-deposited using the apparatus shown in FIG. 3 to obtain an 8 mm video tape (comparative product).
【００３０】両者の出力を比較したところ、７MHz の出
力で１dB、１MHz の出力で３dB本発明品の方が優れてい
た。Comparing the outputs of the two, the output of 7 MHz was 1 dB, and the output of 1 MHz was 3 dB.
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例を示す
略図。FIG. 1 is a schematic view showing an example of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.
【図２】本発明の磁気記録媒体の磁性層のコラム構造を
示す略図。FIG. 2 is a schematic diagram showing a column structure of a magnetic layer of the magnetic recording medium of the present invention.
【図３】従来の磁気記録媒体の製造装置の一例を示す略
図。FIG. 3 is a schematic view showing an example of a conventional magnetic recording medium manufacturing apparatus.
【図４】従来の磁気記録媒体の磁性層のコラム構造を示
す略図。FIG. 4 is a schematic diagram showing a column structure of a magnetic layer of a conventional magnetic recording medium.
１：真空容器 ２：巻出しロール ３：巻取りロール ４：非磁性支持体 ５：円筒キャン ６：るつぼ ７：防着板 ８：電子ビーム ９：酸素導入管 21,41 ：ベースフィルム 22,42 ：磁性層のコラム構造 1: Vacuum container 2: Unwinding roll 3: Winding roll 4: Non-magnetic support 5: Cylindrical can 6: Crucible 7: Protective plate 8: Electron beam 9: Oxygen introduction tube 21,41: Base film 22,42 : Column structure of magnetic layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akira Shiga 2606 Akabane, Kaigai-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Corporation Information Science Laboratory
Claims (4)
された磁性層を有し、該磁性層のコラム構造の太さが、
前記非磁性支持体の長手平面に垂直な方向において均一
であることを特徴とする磁気記録媒体。1. A non-magnetic support and a magnetic layer formed on the non-magnetic support, wherein the column structure of the magnetic layer has a thickness of
A magnetic recording medium characterized by being uniform in a direction perpendicular to a longitudinal plane of the non-magnetic support.
（Ａ）に対する最も細い部分の太さ（Ｂ）の比が、Ａ：
Ｂ＝ 1.2：１〜１：１の範囲にあることを特徴とする請
求項１記載の磁気記録媒体。2. The ratio of the thickness (B) of the thinnest portion to the thickness (A) of the thickest portion of the column structure is A:
The magnetic recording medium according to claim 1, wherein B is in the range of 1.2: 1 to 1: 1.
空手段を含み、該チャンバが、非磁性支持体を搬送する
円筒キャンと、該円筒キャンの下方に配設され、前記円
筒キャン上を搬送される非磁性支持体上に金属粒子を付
着する蒸着手段と、蒸着領域を規制する防着板と、蒸着
中又は蒸着後に酸化性ガスを導入する酸化性ガス導入手
段を有する磁気記録媒体の製造装置において、 前記蒸着手段から蒸発される金属粒子の分布がガウス分
布を有し、且つ該ガウス分布の最大分布領域の中心から
延長した垂線が前記キャンと接する位置に前記蒸着手段
が配設され、 前記防着板が、前記蒸着手段から蒸発される金属粒子の
前記キャンに対する最小入射角(θmin) が20〜50°とな
るよう蒸着領域を規制する位置に配設されることを特徴
とする磁気記録媒体の製造装置。3. A chamber including a chamber and a vacuum means for keeping the chamber in a vacuum, the chamber carrying a non-magnetic support, the chamber being disposed below the cylindrical can, and carrying on the cylindrical can. Of a magnetic recording medium having a vapor deposition means for adhering metal particles on a non-magnetic support, a deposition preventive plate for regulating a vapor deposition region, and an oxidizing gas introducing means for introducing an oxidizing gas during or after vapor deposition In the apparatus, the distribution of metal particles evaporated from the vapor deposition means has a Gaussian distribution, and the vapor deposition means is disposed at a position where a perpendicular line extending from the center of the maximum distribution region of the Gaussian distribution contacts the can. The deposition preventive plate is arranged at a position that regulates a vapor deposition region so that a minimum incident angle (θ min ) of the metal particles vaporized from the vapor deposition means with respect to the can is 20 to 50 °. Magnetic recording medium Body manufacturing equipment.
により該非磁性支持体上に金属粒子を付着させて少なく
とも一層の磁性層を形成する磁気記録媒体の製造方法に
おいて、 非磁性支持体を、磁性層を形成するのに充分な量の金属
粒子が付着し得る一定の長さの蒸着領域内を走行させ、
且つ、該蒸着領域の何れ箇所においても常に一定量の金
属粒子が非磁性支持体に付着するよう、非磁性支持体に
対する蒸着源の位置と非磁性支持体に対する金属粒子の
最小入射角(θmin) を制御して、 磁性層のコラム構造の太さが、非磁性支持体の長手平面
に垂直な方向において均一である磁気記録媒体を製造す
る方法。4. A method for producing a magnetic recording medium, which comprises running a non-magnetic support in vacuum and depositing metal particles on the non-magnetic support by vapor deposition to form at least one magnetic layer. Is run in a deposition region of a certain length to which a sufficient amount of metal particles to form a magnetic layer can adhere,
And, in order to always deposit a certain amount of metal particles on the non-magnetic support at any position of the deposition area, the position of the deposition source with respect to the non-magnetic support and the minimum incident angle of the metal particles with respect to the non-magnetic support (θ min ) Is controlled to produce a magnetic recording medium in which the thickness of the column structure of the magnetic layer is uniform in the direction perpendicular to the longitudinal plane of the non-magnetic support.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24468293A JPH0798831A (en) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | Magnetic recording medium, its production and producing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24468293A JPH0798831A (en) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | Magnetic recording medium, its production and producing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798831A true JPH0798831A (en) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24468293A Pending JPH0798831A (en) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | Magnetic recording medium, its production and producing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798831A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06100583A (en) * | 1992-09-22 | 1994-04-12 | Abo Sadakichi | Soybean saponin and method for isolation and purification thereof |
| US8325965B2 (en) | 2006-01-04 | 2012-12-04 | Boston Acoustics, Inc. | Audio speaker having a tweeter capable of continuous rotation |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24468293A patent/JPH0798831A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06100583A (en) * | 1992-09-22 | 1994-04-12 | Abo Sadakichi | Soybean saponin and method for isolation and purification thereof |
| JP2640066B2 (en) * | 1992-09-22 | 1997-08-13 | 阿保 定吉 | Isolation and purification method of soybean savonin and soybean saponin |
| US8325965B2 (en) | 2006-01-04 | 2012-12-04 | Boston Acoustics, Inc. | Audio speaker having a tweeter capable of continuous rotation |
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