JPH0991659A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents
Magnetic recording medium and its productionInfo
- Publication number
- JPH0991659A JPH0991659A JP7242997A JP24299795A JPH0991659A JP H0991659 A JPH0991659 A JP H0991659A JP 7242997 A JP7242997 A JP 7242997A JP 24299795 A JP24299795 A JP 24299795A JP H0991659 A JPH0991659 A JP H0991659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- magnetic
- angle
- coercive force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体に関
し、詳しくは出力及びC/N特性が改善された金属薄膜
型の磁気記録媒体及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a metal thin film type magnetic recording medium having improved output and C / N characteristics and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】電子ビーム加熱により金属薄膜を支持体
上に成膜させてなる蒸着型の磁気記録媒体は、磁性体充
填率が高いため塗布型の磁気記録媒体等と比べて薄膜で
飽和磁化や保磁力が大きく、高密度記録に適したものと
して種々の応用分野において利用されている。こうした
蒸着型の磁気記録媒体、例えばビデオテープや8ミリビ
デオテープの製造技術に関しては、特性の改善を目指し
て数多くの改良が提案されている。一例として、特公昭
41−19389号は、いわゆる斜め蒸着の技術を用いること
により斜方コラム構造を有する磁性層を得、これによっ
て保磁力を大きくとり、出力を向上させることを開示し
ている。2. Description of the Related Art A vapor-deposited magnetic recording medium, in which a metal thin film is formed on a support by electron beam heating, has a higher magnetic substance filling rate, and therefore has a thinner saturation magnetization than a coated magnetic recording medium. It has a large coercive force and is suitable for high-density recording and is used in various application fields. Regarding the manufacturing technology of such a vapor deposition type magnetic recording medium, for example, a video tape or an 8 mm video tape, many improvements have been proposed for the purpose of improving the characteristics. As an example,
41-19389 discloses that a so-called oblique vapor deposition technique is used to obtain a magnetic layer having an oblique column structure, thereby increasing coercive force and improving output.
【0003】ここで、保磁力Hcの測定は、従来は次のよ
うな方法によって行われている。例えば磁気テープを例
にとると、磁気テープの長手方向、即ち成膜方向に対し
て平行に磁界を印加し、次いでこの磁気テープを垂直方
向に振動させて磁束を変化させ、これを電気的に検出し
て測定値を得るものである。Here, the coercive force Hc is conventionally measured by the following method. For example, in the case of a magnetic tape, a magnetic field is applied in the longitudinal direction of the magnetic tape, that is, parallel to the film formation direction, and then the magnetic tape is vibrated in the vertical direction to change the magnetic flux, which is electrically changed. It detects and obtains a measured value.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】記録信号の周波数が高
くなり、記録波長が短くなるにつれて、より高出力、高
C/Nの磁気記録媒体が求められている。この場合に保
磁力としては、上述した如き従来法により測定したもの
が指標とされているが、必ずしも従来法により測定され
る保磁力とだけ諸特性が合致するわけではない。したが
って従来法による測定に加えて、異なる観点から保磁力
を記述し、これをも満たすような磁気記録媒体を得るこ
とが重要であると考えられる。本発明はこうした観点か
ら、従来とは異なる測定方法に基づき磁気記録媒体の磁
気特性について規定し、高出力、高C/Nの磁気記録媒
体、及びその製造方法を提供することを課題としてい
る。As the frequency of the recording signal becomes higher and the recording wavelength becomes shorter, a magnetic recording medium having higher output and higher C / N is required. In this case, as the coercive force, the one measured by the conventional method as described above is used as an index, but the characteristics do not always match only the coercive force measured by the conventional method. Therefore, in addition to the measurement by the conventional method, it is considered important to describe the coercive force from a different point of view and obtain a magnetic recording medium satisfying this. From this point of view, it is an object of the present invention to specify a magnetic characteristic of a magnetic recording medium based on a measuring method different from the conventional one, and to provide a magnetic recording medium with high output and high C / N, and a manufacturing method thereof.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明による磁気記録媒
体は、支持体上に少なくとも一層の磁性層が成膜されて
なる金属薄膜型の磁気記録媒体である。この磁気記録媒
体の長手方向、即ち磁性層の成膜方向に対して垂直で、
且つ磁気記録媒体平面に対して平行に磁界を印加し、こ
のときの磁気記録媒体に対する磁界の印加角度を0゜と
する。本発明による磁気記録媒体は、この磁界の印加角
度を磁気記録媒体の長手方向軸の周囲で0゜から180゜
まで変化させて保磁力を測定した場合に、得られる印加
角度−保磁力曲線の半値幅が85゜〜100゜の範囲内にあ
ることを特徴とするものである。半値幅が85゜よりも小
さいと、磁性層の保磁力がある方向でだけ突出している
ため、出力特性は満足できるものではない。また半値幅
が100゜よりも大きいと、磁化の向きがバラバラになっ
ており、ノイズが増加することになる。半値幅の角度を
85゜〜100゜の範囲内とすることにより、優れた出力特
性が得られることが判明したものである。A magnetic recording medium according to the present invention is a metal thin film type magnetic recording medium in which at least one magnetic layer is formed on a support. In the longitudinal direction of this magnetic recording medium, that is, perpendicular to the film forming direction of the magnetic layer,
A magnetic field is applied parallel to the plane of the magnetic recording medium, and the applied angle of the magnetic field to the magnetic recording medium at this time is 0 °. In the magnetic recording medium according to the present invention, when the coercive force is measured by changing the applied angle of this magnetic field from 0 ° to 180 ° around the longitudinal axis of the magnetic recording medium, the obtained applied angle-coercive force curve of The full width at half maximum is in the range of 85 ° to 100 °. If the full width at half maximum is less than 85 °, the output characteristics are not satisfactory because the magnetic layer protrudes only in the direction in which it exists. If the full width at half maximum is greater than 100 °, the directions of magnetization will be different and noise will increase. Half-width angle
It has been found that excellent output characteristics can be obtained by setting the angle within the range of 85 ° to 100 °.
【0006】好ましくは、印加角度が0゜の場合の保磁
力が650 Oe以上である。これは、印加角度−保磁力曲線
における最低値をこれ以上に保つことを意味している。Preferably, the coercive force when the applied angle is 0 ° is 650 Oe or more. This means that the minimum value in the applied angle-coercive force curve is kept above this value.
【0007】本発明の磁気記録媒体において、支持体と
してはポリエチレンテレフタレートが好ましい。しかし
他にも、ポリエチレンナフタレートのようなポリエステ
ル;ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン; セルローストリアセテート、セルロースジアセテー
ト等のセルロース誘導体;ポリカーボネート;ポリ塩化
ビニル;ポリイミド;芳香族ポリアミド等のプラスチッ
ク等を使用できる。これらの支持体の厚みは3〜50μm
程度である。In the magnetic recording medium of the present invention, polyethylene terephthalate is preferred as the support. However, besides, polyesters such as polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; polycarbonates; polyvinyl chloride; polyimides; The thickness of these supports is 3-50 μm
It is a degree.
【0008】本発明において磁性層を形成するのに用い
られる磁性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録
媒体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げられる。
例えばCo, Ni, Fe等の強磁性金属、或いはFe−Co、Fe−
Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co
−Y 、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、Ni−
Cu、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−C
r、Fe−Co−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合金などであ
る。特に、鉄、コバルト、ニッケルを主体とする強磁性
合金及びこれらの窒化物、炭化物から選ばれる少なくと
も1種が好ましい。また蒸着により磁性層を形成する際
に酸化性ガスを導入し、磁性層表面に酸化物を形成する
ことにより耐久性の向上を図ることができる。磁性層は
単層構造でも、多層構造でも構わない。高周波記録に対
応するためには多層とするのが良く、実用的な範囲とし
ては2〜3層が適当である。磁性層の厚みは1000〜3000
Å程度であり、二層の場合は下層が200〜2000Å程度で
上層が100〜1000Å程度が好ましく、三層の場合は下層
が200〜2000Å程度、中間層が200〜1000Å程度、上層が
100〜1000Å程度が好ましい。Examples of the magnetic material used for forming the magnetic layer in the present invention include ferromagnetic metal materials used in the production of ordinary metal thin film type magnetic recording media.
For example, ferromagnetic metals such as Co, Ni, Fe, or Fe-Co, Fe-
Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co
-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-
Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-C
Examples include ferromagnetic alloys such as r, Fe-Co-Cr, and Ni-Co-Cr. In particular, a ferromagnetic alloy mainly composed of iron, cobalt, and nickel, and at least one selected from nitrides and carbides thereof are preferable. In addition, the durability can be improved by introducing an oxidizing gas when forming the magnetic layer by vapor deposition and forming an oxide on the surface of the magnetic layer. The magnetic layer may have a single-layer structure or a multilayer structure. In order to cope with high frequency recording, it is preferable to use a multilayer, and as a practical range, two to three layers are appropriate. The thickness of the magnetic layer is 1000 to 3000
It is about Å, the lower layer is about 200 to 2000 Å in the case of two layers and the upper layer is preferably about 100 to 1000 Å, and the lower layer is about 200 to 2000 Å, the middle layer is about 200 to 1000 Å, the upper layer is about 3 layers.
About 100 to 1000Å is preferable.
【0009】上記のような磁気記録媒体を製造するため
に、本発明によれば次のような方法が提供される。即ち
本発明の製造方法は、真空チャンバ内を走行する支持体
に対し、所定の被着領域において磁性材料を電子ビーム
蒸着して磁性層を形成することからなり、被着領域の始
まりにおける蒸気の入射角度は85゜以下、また被着領域
の終わりにおける蒸気の入射角度は50゜以上とされる。
また電子ビームにより蒸発される磁性材料粒子のエネル
ギーはガウス分布に従うが、この場合に被着領域がガウ
ス分布の中央領域付近にあるように、電子銃のビーム位
置を被着領域に対して、即ち一般にはキャンロールに対
して調節する。これによって、高いエネルギーを持つ粒
子を支持体上に堆積させることができる。蒸着の際の真
空度は10-4〜10-7Torr程度である。入射角度を上記のよ
うな範囲に保ち、且つ電子銃のビーム位置を適宜調節し
て成膜することにより、上述の如く印加角度−保磁力曲
線の半値幅が85゜〜100゜の範囲内にある磁気記録媒体
を得ることができる。According to the present invention, the following method is provided for manufacturing the magnetic recording medium as described above. That is, the manufacturing method of the present invention comprises forming a magnetic layer by electron beam vapor deposition of a magnetic material in a predetermined deposition area on a support running in a vacuum chamber. The incident angle is 85 ° or less, and the incident angle of vapor at the end of the deposition area is 50 ° or more.
Also, the energy of the magnetic material particles evaporated by the electron beam follows a Gaussian distribution.In this case, the beam position of the electron gun is set to the deposition area so that the deposition area is near the central area of the Gaussian distribution. Generally adjusted for can rolls. This allows particles with high energy to be deposited on the support. The degree of vacuum during vapor deposition is about 10 −4 to 10 −7 Torr. By keeping the incident angle within the above range and adjusting the beam position of the electron gun appropriately to form a film, the full width at half maximum of the applied angle-coercive force curve is within the range of 85 ° to 100 ° as described above. A magnetic recording medium can be obtained.
【0010】なお本発明により製造される磁気記録媒体
には、磁性層と反対の面において支持体にバックコート
層を形成することができる。バックコート層の形成は磁
性層の形成よりも前でも後でもよい。バックコート層は
常法によりバックコート塗料を塗布して形成してもよい
し、真空中で金属又は半金属を付着させることにより形
成することもできる。その厚みは特に限定されるもので
はないが、塗布の場合には0.1〜1.0μm程度、蒸着の場
合には0.05〜1.0μm程度である。また必要に応じて、ダ
イヤモンドライクカーボン、炭化ホウ素、二酸化ケイ素
などからなる50〜200Å程度の厚みの保護層を設けても
よい。In the magnetic recording medium produced by the present invention, a back coat layer can be formed on the support on the surface opposite to the magnetic layer. The back coat layer may be formed before or after the formation of the magnetic layer. The backcoat layer may be formed by applying a backcoat paint by a conventional method, or may be formed by depositing a metal or a semimetal in vacuum. Although its thickness is not particularly limited, it is about 0.1 to 1.0 μm in the case of coating and about 0.05 to 1.0 μm in the case of vapor deposition. If necessary, a protective layer made of diamond-like carbon, boron carbide, silicon dioxide or the like and having a thickness of about 50 to 200 Å may be provided.
【0011】さらに、磁性層上には適当な潤滑剤からな
るトップコート層を形成してもよい。これは例えばフッ
素系潤滑剤を大気中で塗布し、或いは真空中で磁性層上
に噴霧して形成される。トップコート層の厚みは5〜50
Å程度である。バックコート層を設ける場合は、その上
にもトップコート層を形成することができる。Further, a top coat layer made of a suitable lubricant may be formed on the magnetic layer. This is formed, for example, by applying a fluorine-based lubricant in the air or spraying it on the magnetic layer in a vacuum. The thickness of the top coat layer is 5-50
It is about Å. When a back coat layer is provided, a top coat layer can be formed on it.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】図1には本発明に従って印加角度
−保磁力曲線を得るための測定方法の原理を示してあ
る。磁性層を成膜して得られた磁気記録媒体から切除し
て得られた試料1は、磁石2、3の間に図示のように置
かれ、磁性層の成膜方向、即ち磁気記録媒体の長手方向
を軸として回転される。従って試料に印加される磁界の
角度は、磁気記録媒体の長手方向軸の周囲で変化するこ
とになる。この場合に、試料平面、従って磁気記録媒体
の平面に対して磁界が平行に印加される場合の磁界印加
角度をθ=0゜とする。試料は長手方向軸に沿って振動
され、この場合の磁束の変化に基づいて保磁力Hcが測定
される。θ=90゜、即ち試料平面が磁界に対して垂直と
なる場合に得られる値は、この測定方法による最大の保
磁力を示すことになる。1 shows the principle of a measuring method for obtaining an applied angle-coercive force curve according to the present invention. The sample 1 obtained by cutting the magnetic recording medium obtained by depositing the magnetic layer is placed between the magnets 2 and 3 as shown in the drawing, and the direction of deposition of the magnetic layer, that is, the magnetic recording medium It is rotated about the longitudinal direction. Therefore, the angle of the magnetic field applied to the sample will change around the longitudinal axis of the magnetic recording medium. In this case, the magnetic field application angle when the magnetic field is applied in parallel to the sample plane, that is, the plane of the magnetic recording medium is θ = 0 °. The sample is vibrated along the longitudinal axis, and the coercive force Hc is measured based on the change in magnetic flux in this case. The value obtained when θ = 90 °, that is, when the sample plane is perpendicular to the magnetic field indicates the maximum coercive force by this measuring method.
【0013】図2は、図1により測定された印加角度−
保磁力曲線の一例を示す。図示の如く、本発明において
は0゜から180゜までの測定をプロットして得られた曲
線において、半値幅Hの角度範囲が85゜〜100゜の範囲
内にあることが必要である。また好ましくは図示のよう
に、0゜における保磁力が650 Oe以上である。FIG. 2 shows the applied angle measured according to FIG.
An example of a coercive force curve is shown. As shown in the drawing, in the present invention, the curve obtained by plotting the measurement from 0 ° to 180 ° requires that the angular range of the half width H be within the range of 85 ° to 100 °. Further, as shown in the figure, the coercive force at 0 ° is preferably 650 Oe or more.
【0014】図3に示すものは、本発明の磁気記録媒体
を得るための製造方法の具体例の一つである。真空に引
かれるチャンバ1内において、巻き出しロール2から巻
き取りロール3へと支持体、例えばPETフィルム4
が、冷却キャンロール5を介して搬送される。冷却キャ
ンロール5の下方にはルツボ6が配設され、内部に収容
される磁性材料に対して電子銃7から電子ビームεが照
射されて磁性材料を蒸発させ、冷却キャンロール5上で
PETフィルム4上に堆積させるようになっている。こ
の場合に磁性材料蒸気の被着領域を限定するために、二
つの遮蔽板8が設けられている。一方の遮蔽板は被着領
域の始まりにおける入射角度θ1を、他方の遮蔽板は被
着領域の終わりにおける入射角度θ2を規定する。本発
明においては、θ1が85゜以下、θ2が50゜以上となる
ように遮蔽板と蒸発源、即ちルツボ及び電子銃からの電
子ビームの位置が調節される。なお9で示すものは、蒸
着に際して酸化性ガスを供給するためのノズルである。FIG. 3 shows one specific example of the manufacturing method for obtaining the magnetic recording medium of the present invention. In the vacuumed chamber 1, from the unwinding roll 2 to the winding roll 3, a support such as a PET film 4
Are conveyed through the cooling can roll 5. A crucible 6 is disposed below the cooling can roll 5, the magnetic material contained therein is irradiated with an electron beam ε from an electron gun 7 to evaporate the magnetic material, and the PET film is placed on the cooling can roll 5. 4 is to be deposited. In this case, two shielding plates 8 are provided in order to limit the deposition area of the magnetic material vapor. One shielding plate defines an incident angle θ1 at the beginning of the deposition area and the other shielding plate defines an incident angle θ2 at the end of the deposition area. In the present invention, the positions of the shielding plate and the evaporation source, that is, the position of the electron beam from the crucible and the electron gun are adjusted so that θ1 is 85 ° or less and θ2 is 50 ° or more. Reference numeral 9 is a nozzle for supplying an oxidizing gas during vapor deposition.
【0015】また、ルツボ6内の磁性材料に対する電子
銃7からの電子ビームεの照射位置は、蒸発される磁性
材料粒子のエネルギーのガウス分布の中央領域付近が被
着領域にあるように調節される。Further, the irradiation position of the electron beam ε from the electron gun 7 to the magnetic material in the crucible 6 is adjusted so that the vicinity of the central area of the Gaussian distribution of the energy of the evaporated magnetic material particles is in the adhered area. It
【0016】[0016]
実施例1 図3に示す如き装置を構成した。真空チャンバ1を3×
10-6Torrまで排気し、ルツボ6には磁性材料としてCo(1
00%)を入れ、電子銃7から出力10kWで電子ビームを照
射して蒸着雰囲気とした。PETフィルム4を巻き出し
ロール2から巻き取りロール3へと3m/分で走行さ
せ、また酸素ノズルからは70SCCMで酸素を導入した。被
着領域の始まりにおける入射角度θ1は82゜、被着領域
の終わりにおける入射角度θ2は65゜とした。得られた
磁性層の厚みは1800Åであった。次いでPETフィルム
の磁性層が形成された面とは反対側に、平均粒径40nmの
カーボンブラックをウレタンプレポリマーと塩化ビニル
系樹脂とのバインダー樹脂中に分散させてなるバックコ
ート用の塗料を、乾燥膜厚0.5μmとなるようにダイコー
ティング方式により塗布し、乾燥してバックコート層を
形成した。次いで、パーフルオロポリエーテル(FOMBLI
N Z DOL、モンテカチーニ社製)をフッ素系不活性液体
(フロリナートFC-77、住友スリーエム株式会社製)に
0.05重量%となるように希釈、分散させた塗料を、乾燥
膜厚が30Åとなるように磁性層上にダイコーティング方
式により塗布し、105℃で乾燥させて潤滑層を形成し
た。得られたものを8mm幅に裁断し、カセットにロード
してハイバンド8mmVCRカセットテープを得た。Example 1 An apparatus as shown in FIG. 3 was constructed. 3 x vacuum chamber 1
The crucible 6 was evacuated to 10 -6 Torr and Co (1
(00%) and charged with an electron beam from the electron gun 7 with an output of 10 kW to create a vapor deposition atmosphere. The PET film 4 was run from the unwinding roll 2 to the winding roll 3 at 3 m / min, and oxygen was introduced at 70 SCCM from the oxygen nozzle. The incident angle θ1 at the beginning of the deposition area was 82 ° and the incident angle θ2 at the end of the deposition area was 65 °. The thickness of the obtained magnetic layer was 1800Å. Next, on the side opposite to the side on which the magnetic layer of the PET film is formed, a back coat paint obtained by dispersing carbon black having an average particle diameter of 40 nm in a binder resin of urethane prepolymer and vinyl chloride resin, It was applied by a die coating method so as to have a dry film thickness of 0.5 μm, and dried to form a back coat layer. Then, perfluoropolyether (FOMBLI
NZ DOL, made by Montecatini Co.) as a fluorine-based inert liquid (Fluorinert FC-77, made by Sumitomo 3M Ltd.)
The coating composition diluted and dispersed to 0.05% by weight was applied onto the magnetic layer by a die coating method so that the dry film thickness was 30 liters, and dried at 105 ° C to form a lubricating layer. The obtained product was cut to a width of 8 mm and loaded into a cassette to obtain a high band 8 mm VCR cassette tape.
【0017】実施例2 実施例1において、θ1=80゜、θ2=53゜とした。他
は同様に操作して、ハイバンド8mmVCRカセットテー
プを得た。Example 2 In Example 1, θ1 = 80 ° and θ2 = 53 °. Others were operated in the same manner to obtain a high band 8 mm VCR cassette tape.
【0018】比較例1 実施例1において、θ1=90゜、θ2=45゜とした。他
は同様に操作して、ハイバンド8mmVCRカセットテー
プを得た。Comparative Example 1 In Example 1, θ1 = 90 ° and θ2 = 45 °. Others were operated in the same manner to obtain a high band 8 mm VCR cassette tape.
【0019】比較例2 実施例1において、θ1=90゜、θ2=40゜とした。他
は同様に操作して、ハイバンド8mmVCRカセットテー
プを得た。Comparative Example 2 In Example 1, θ1 = 90 ° and θ2 = 40 °. Others were operated in the same manner to obtain a high band 8 mm VCR cassette tape.
【0020】比較例3 実施例1において、θ1=90゜、θ2=60゜とした。他
は同様に操作して、ハイバンド8mmVCRカセットテー
プを得た。Comparative Example 3 In Example 1, θ1 = 90 ° and θ2 = 60 °. Others were operated in the same manner to obtain a high band 8 mm VCR cassette tape.
【0021】実施例及び比較例で得られたテープについ
て、市販のVTRデッキを改造した装置を用いて、記録
波長1MHz及び7MHzにおける出力を測定した。結果を表
1に示す。表1において、出力は比較例1を基準とする
相対値である。またこれらのテープから試料片を作成
し、これらについて図1に示す手法により磁界の印加角
度を変化させながら保磁力を測定し、印加角度−保磁力
曲線を得た。これらについての半値幅、0゜及び90゜に
おける保磁力を表1に併せて示す。With respect to the tapes obtained in Examples and Comparative Examples, the outputs at recording wavelengths of 1 MHz and 7 MHz were measured using a device obtained by modifying a commercially available VTR deck. The results are shown in Table 1. In Table 1, the output is a relative value based on Comparative Example 1. Further, sample pieces were prepared from these tapes, and the coercive force was measured while changing the applied angle of the magnetic field by the method shown in FIG. 1 to obtain the applied angle-coercive force curve. The full width at half maximum, coercive force at 0 ° and 90 ° for these are also shown in Table 1.
【0022】[0022]
【表1】 [Table 1]
【0023】[0023]
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、高出力で高
密度記録に好適な磁気記録媒体が提供される。As described above, according to the present invention, a magnetic recording medium having a high output and suitable for high density recording is provided.
【図1】本発明に従って印加磁界を変化させて印加角度
−保磁力曲線を得るための手法を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a method for obtaining an applied angle-coercive force curve by changing an applied magnetic field according to the present invention.
【図2】本発明の磁気記録媒体に要求される印加角度−
保磁力曲線の半値幅を示すための説明的なグラフであ
る。FIG. 2 is an application angle required for the magnetic recording medium of the present invention.
It is an explanatory graph for showing the half value width of a coercive force curve.
【図3】本発明の磁気記録媒体を製造する装置の一例を
示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing an example of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.
1 チャンバ 2 巻き出しロール 3 巻き取りロール 4 フィルム 5 冷却キャンロール 6 ルツボ 7 電子銃 8 遮蔽板 9 ノズル H 半値幅 1 Chamber 2 Unwinding Roll 3 Winding Roll 4 Film 5 Cooling Can Roll 6 Crucible 7 Electron Gun 8 Shielding Plate 9 Nozzle H Half Width
Claims (3)
膜されてなる金属薄膜型の磁気記録媒体において、前記
磁気記録媒体の長手方向に対して垂直かつ前記磁気記録
媒体平面に対して平行に磁界を印加したときの印加角度
を0゜とし、前記磁界の印加角度を前記磁気記録媒体の
長手方向軸の周囲で0゜から180゜まで変化させて保磁
力を測定した場合、得られる印加角度−保磁力曲線の半
値幅が85゜〜100゜の範囲内にあることを特徴とする、
磁気記録媒体。1. A metal thin film type magnetic recording medium having at least one magnetic layer formed on a support, the magnetic recording medium being perpendicular to the longitudinal direction of the magnetic recording medium and parallel to the plane of the magnetic recording medium. When the coercive force is measured by changing the applied angle when the magnetic field is applied to 0 °, and changing the applied angle of the magnetic field from 0 ° to 180 ° around the longitudinal axis of the magnetic recording medium, The half-width of the angle-coercive force curve is in the range of 85 ° to 100 °,
Magnetic recording medium.
0 Oe以上である、請求項1の磁気記録媒体。2. The coercive force is 65 when the applied angle is 0 °.
The magnetic recording medium according to claim 1, which is 0 Oe or more.
し、所定の被着領域において磁性材料を電子ビーム蒸着
して磁性層を形成することからなる、金属薄膜型の磁気
記録媒体の製造方法において、前記被着領域の始まりに
おける蒸気の入射角度が85゜以下であり、前記被着領域
の終わりにおける蒸気の入射角度が50゜以上であり、な
おかつ電子ビームにより蒸発される磁性材料粒子のエネ
ルギーがガウス分布に従い、前記被着領域が前記ガウス
分布の中央領域付近にある、磁気記録媒体の製造方法。3. A method of manufacturing a metal thin film type magnetic recording medium, comprising forming a magnetic layer by electron beam evaporation of a magnetic material in a predetermined deposition region on a support running in a vacuum chamber. The incident angle of vapor at the beginning of the deposition area is 85 ° or less, the incidence angle of vapor at the end of the deposition area is 50 ° or more, and the energy of the magnetic material particles vaporized by the electron beam is A method of manufacturing a magnetic recording medium, wherein the adhered area is in the vicinity of a central area of the Gaussian distribution according to a Gaussian distribution.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7242997A JPH0991659A (en) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | Magnetic recording medium and its production |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7242997A JPH0991659A (en) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | Magnetic recording medium and its production |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0991659A true JPH0991659A (en) | 1997-04-04 |
Family
ID=17097362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7242997A Pending JPH0991659A (en) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | Magnetic recording medium and its production |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0991659A (en) |
-
1995
- 1995-09-21 JP JP7242997A patent/JPH0991659A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4387136A (en) | Magnetic recording medium and apparatus for preparing the same | |
US6110584A (en) | Magnetic recording medium | |
US5908711A (en) | Magnetic recording medium | |
JP3867544B2 (en) | Magnetic recording medium and method for manufacturing the same | |
JPH0991659A (en) | Magnetic recording medium and its production | |
US4526131A (en) | Magnetic recording medium manufacturing apparatus | |
JP2629847B2 (en) | Manufacturing method of magnetic recording medium | |
JPH0798831A (en) | Magnetic recording medium, its production and producing device | |
JPH097172A (en) | Magnetic recording medium and its production | |
JP2977618B2 (en) | Magnetic recording method | |
JPH0798832A (en) | Magnetic recording medium, its production and producing device | |
JPH0963033A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH0997413A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH0969220A (en) | Magnetic recording medium | |
JP2004039078A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH10105951A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH1021543A (en) | Production of magnetic recording medium | |
JPH103639A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH087252A (en) | Magnetic recording medium and its production | |
JPH09198648A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH0927110A (en) | Magnetic recording medium and its production | |
JPH10228619A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording method | |
JPH10334441A (en) | Magnetic recording medium | |
JPH1129853A (en) | Manufacturing device and method of magnetic recording medium | |
JPH10105953A (en) | Magnetic recording medium |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071213 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081213 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091213 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091213 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101213 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101213 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111213 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111213 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121213 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131213 Year of fee payment: 11 |