JPH06103569A - Production of magnetic recording medium - Google Patents

Production of magnetic recording medium

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JPH06103569A
JPH06103569A JP24792392A JP24792392A JPH06103569A JP H06103569 A JPH06103569 A JP H06103569A JP 24792392 A JP24792392 A JP 24792392A JP 24792392 A JP24792392 A JP 24792392A JP H06103569 A JPH06103569 A JP H06103569A
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JP
Japan
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magnetic
coat layer
back coat
vapor deposition
vacuum
Prior art date
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Pending
Application number
JP24792392A
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Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Osamu Yoshida
修 吉田
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Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To eliminate trouble such as the sticking of dust and to obtain proper surface roughness when the back coat layer of a vapor-deposited tape is formed. CONSTITUTION:Aluminum(Al) evaporated by heating with an electron beam gun 9 is deposited on the rear side of a magnetic tape 6 with a magnetic layer formed by vapor-depositing a Co-Ni alloy and the Al vapor-deposited side is irradiated with ions of a gas such as N2 from an ion gun 11 to form a back coat layer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で金属を蒸着してなるバ
インダーを全く含まない蒸着型テープとがある。
2. Description of the Related Art Magnetic recording media, such as magnetic tape,
A conventional coating tape made by applying a magnetic paint in which magnetic powder is dispersed in a binder on a film that is a non-magnetic support, and a vapor deposition method in which a metal is deposited on the film in a vacuum without any binder. There is a type tape.

【0003】蒸着型テープは、磁性層にバインダーを含
まないことから磁性材料の密度を高められるため、高密
度記録に有望であるとされている。現在発売又は開発さ
れている蒸着型テープの主な構成は、図2に示すように
なっている。フィルム21は、PET(ポリエチレンテレ
フタレート)、ポリイミド、アラミドなどが用いられて
いる。厚さは2〜50μmまでいろいろ用いられている。
Vapor deposition type tapes are considered to be promising for high-density recording because the density of the magnetic material can be increased because the magnetic layer does not contain a binder. The main structure of the vapor-deposited tape currently on sale or under development is as shown in FIG. The film 21 is made of PET (polyethylene terephthalate), polyimide, aramid, or the like. Various thicknesses of 2 to 50 μm are used.

【0004】磁性層22は、フィルム21上に、真空蒸着法
を用いて、Co−Ni合金(80%−20%)を1500Åの厚
さで付着させている。尚、フィルム21と磁性層22との間
に結着性等の向上のためアンダーコート層を介在させる
こともある。トップコート層23は、磁性層22を保護し、
また記録・再生用ヘッドとの接触をスムーズにするため
の潤滑剤としての働きを持たせるためにコートする。コ
ートする方法はグラビア法又はダイ塗工法が用いられて
いる。成分はフッ素系の潤滑剤で、パーフルオロポリエ
ーテル(例えばモンテジソン社製の商品名「ホンブリ
ン」)が用いられている。
The magnetic layer 22 is formed by depositing a Co--Ni alloy (80% -20%) on the film 21 in a thickness of 1500Å by using a vacuum deposition method. An undercoat layer may be interposed between the film 21 and the magnetic layer 22 to improve the binding property and the like. The top coat layer 23 protects the magnetic layer 22,
Also, it is coated to have a function as a lubricant for smooth contact with the recording / reproducing head. As a coating method, a gravure method or a die coating method is used. The component is a fluorine-based lubricant, and perfluoropolyether (for example, a product name "Homblin" manufactured by Montedison Co., Ltd.) is used.

【0005】バックコート層24は、カーボン(粒径10〜
100nm)をバインダー(塩ビ系、ウレタン系、硝化綿
系などを単独又は混合して用いる)中に分散させ、グラ
ビア法、リバース法又はダイ塗工方式で、乾燥後の厚さ
が 0.4〜 1.0μmになるように、フィルム21の磁性層22
蒸着面とは反対側の面に塗布する。ここで、バックコー
ト層の主な役割としては、下記の点が挙げられる。
The back coat layer 24 is made of carbon (particle size 10 to 10
100 nm) is dispersed in a binder (a vinyl chloride type, a urethane type, a nitrification cotton type, etc. is used alone or mixed), and the thickness after drying is 0.4 to 1.0 μm by the gravure method, the reverse method or the die coating method. So that the magnetic layer 22 of the film 21
Apply on the surface opposite to the vapor deposition surface. Here, the main points of the back coat layer are as follows.

【0006】(1)導電性を持たせることによって、帯
電防止効果で、ゴミの付着を防止する。 (2)表面性(摩擦係数)をコントロールして、走行安
定性を得る。 (3)硬さなどの点で、表の磁性層と裏とのバランスを
とって、反りの発生を防止する。
(1) By having conductivity, dust is prevented from being attached due to an antistatic effect. (2) Surface stability (coefficient of friction) is controlled to obtain running stability. (3) In terms of hardness, the front magnetic layer and the back are balanced to prevent warpage.

【0007】従来は、バックコート層として、カーボン
をバインダーに分散させた塗料を塗布しており、上記
(1)をカーボンの導電性により、上記(2)をカーボ
ンの粒径と塗布工程のコントロールにより、上記(3)
をバインダーと塗布厚のコントロールにより、それぞれ
満足させていた。
Conventionally, a coating material in which carbon is dispersed in a binder is applied as a back coat layer. The above (1) is controlled by the conductivity of carbon, and the above (2) is controlled by the particle size of carbon and the coating process. Due to the above (3)
Was satisfied by controlling the binder and the coating thickness.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、蒸着型テープにおいても、バックコート層は
塗布型となっており、バックコート層を先に塗布してか
ら、磁性層を真空蒸着すると、真空系でバックコート層
からの脱ガス(バインダーの溶剤から発生する)を生
じ、真空度が落ちる結果、蒸着がうまくいかない。
However, in the conventional case, even in the vapor deposition type tape, the back coat layer is a coating type, and if the back coat layer is first coated and then the magnetic layer is vacuum deposited, Degassing from the back coat layer (generated from the solvent of the binder) occurs in a vacuum system, and the degree of vacuum is reduced, resulting in poor vapor deposition.

【0009】そこで、従来においては、真空中で磁性層
を蒸着した後、大気中にテープを取出してから、バック
コート層を塗布している。しかし、この方法では、バッ
クコート層を塗布する工程で、磁性層が汚れたり、ゴミ
が付着して、ドロップアウト検査(磁気テープを検査用
のカセットデッキに入れて一定の信号を記録しつつ再生
し、テープ表面の傷や異物の付着などによる再生信号の
欠落であるところのドロップアウトを検出する検査)に
おいて、ドロップアウト数を増加させるという問題点が
あった。
Therefore, conventionally, after depositing the magnetic layer in vacuum, the tape is taken out into the atmosphere and then the back coat layer is applied. However, in this method, in the step of applying the back coat layer, the magnetic layer becomes dirty or dust is attached, and the dropout inspection (the magnetic tape is put in the inspection cassette deck and reproduced while recording a certain signal). However, there is a problem in that the number of dropouts is increased in the inspection for detecting dropouts where the reproduction signal is lost due to scratches on the tape surface or adhesion of foreign matter.

【0010】また、カーボンは導電性は良好であるが、
バインダーを入れるため、導電性が低下してしまい、帯
電防止効果が低下するという問題点があった。本発明
は、このような実情に鑑み、非磁性支持体の磁性層蒸着
面と反対側の面にバックコート層を形成するに際し、ゴ
ミの付着等の問題を解決でき、しかも性能面でも十分な
性能が得られるようにすることを目的とする。
Further, although carbon has good conductivity,
Since the binder is added, there is a problem that conductivity is lowered and antistatic effect is lowered. In view of such circumstances, the present invention can solve problems such as adhesion of dust when forming a back coat layer on the surface of the non-magnetic support opposite to the magnetic layer deposition surface, and is also sufficient in terms of performance. The purpose is to obtain performance.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段と作用】このため、本発明
は、非磁性支持体の磁性層蒸着面と反対側の面にバック
コート層を形成するに際し、真空中にて、非磁性支持体
の前記反対側の面に金属を蒸着させて後、その蒸着面に
ガスイオンを照射することを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法を提供する。
Therefore, according to the present invention, when the back coat layer is formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the magnetic layer deposition surface, the non-magnetic support is formed in vacuum. A method for manufacturing a magnetic recording medium, comprising depositing a metal on the surface opposite to the above, and irradiating the deposited surface with gas ions.

【0012】すなわち、磁性層と同様、バックコート層
を真空蒸着法で金属を付着させて形成する。このように
バックコート層を真空中で形成することによりゴミの付
着等の問題は生じないし、バインダーを含まないので導
電性も低下せずに十分な帯電防止効果も得られる。尚、
磁性層とバックコート層の真空蒸着は、連続して行って
もよいし、工程を分けて一方の蒸着後にロールに巻取っ
てからそのロールから巻出して他方の蒸着を行ってもよ
い。分けて行う場合に途中で磁気記録媒体が大気中に置
かれるとしても、大気中ではロールに巻いたままで巻出
さなければ、ゴミの付着等の問題は生じない。
That is, like the magnetic layer, the back coat layer is formed by depositing a metal by the vacuum deposition method. By forming the back coat layer in vacuum in this manner, problems such as adhesion of dust do not occur, and since the binder is not included, conductivity is not lowered and a sufficient antistatic effect is obtained. still,
The vacuum vapor deposition of the magnetic layer and the back coat layer may be continuously performed, or may be divided into steps, and after one vapor deposition is wound up on a roll and then unwound from the roll, the other vapor deposition may be performed. Even if the magnetic recording medium is placed in the atmosphere in the middle of performing the division, no problem such as adhesion of dust will occur unless the magnetic recording medium is wound on a roll and unwound in the atmosphere.

【0013】また、バックコート層を単なる真空蒸着に
より形成すると、すなわち金属のままであると、表面粗
さ(中心線平均粗さ)Raが1〜2nmと大変平滑のま
まで、摩擦係数が 0.6〜 1.0と高くなり、走行安定性が
悪くなるので、蒸着面にガスイオンを照射することによ
り、表面を粗くして、バックコート層の表面粗さを適正
範囲にする。これにより、Ra=10〜20nmに調整する
ことができ、摩擦係数も 0.1〜 0.4にすることが可能で
ある。
If the back coat layer is formed by simple vacuum deposition, that is, if it is a metal, the surface roughness (center line average roughness) Ra remains as smooth as 1 to 2 nm and the friction coefficient is 0.6. Since it becomes as high as ~ 1.0 and the running stability becomes poor, the surface is roughened by irradiating the vapor deposition surface with gas ions, and the surface roughness of the back coat layer is adjusted to an appropriate range. Thereby, Ra = 10 to 20 nm can be adjusted, and the friction coefficient can be set to 0.1 to 0.4.

【0014】バックコート層として蒸着する金属として
は、いろいろ考えられるが、Al,Zn,Sn,Ni,
Agなどが用いられる。但し、価格、蒸着速度、酸化後
の安定性の点から、Alが最適である。イオン照射の方
法としては、カウフマンタイプと、ECR(高周波)タ
イプとがある。
Various metals can be considered to be vapor-deposited as the back coat layer, but Al, Zn, Sn, Ni,
Ag or the like is used. However, Al is optimal in terms of price, vapor deposition rate, and stability after oxidation. As a method of ion irradiation, there are a Kauffman type and an ECR (high frequency) type.

【0015】ガスとしては、N2 、O2 、Cl2 、CH
4 など、イオン化可能なガスであればよい。
As the gas, N 2 , O 2 , Cl 2 , CH
Any ionizable gas such as 4 may be used.

【0016】[0016]

【実施例】以下に本発明の一実施例を説明する。先ず、
厚さ 9.8μmのPETフィルムの上に、真空蒸着によ
り、Co−Ni合金(80%−20%)を1500Å付着させ、
このようにして磁性層を形成した磁気テープをロールに
巻取った。
EXAMPLE An example of the present invention will be described below. First,
1500 Å of Co-Ni alloy (80% -20%) was deposited on the PET film with a thickness of 9.8 μm by vacuum deposition.
The magnetic tape having the magnetic layer thus formed was wound on a roll.

【0017】次に、図1の真空蒸着装置を用いて、この
磁気テープの裏面にAl金属を1000Å付着させて、バッ
クコート層を形成した。図1の真空蒸着装置について説
明する。真空容器1は、ターボポンプ2とロータリポン
プ3との運転により真空状態とされる。
Next, using the vacuum vapor deposition apparatus shown in FIG. 1, 1000 liters of Al metal was adhered to the back surface of this magnetic tape to form a back coat layer. The vacuum vapor deposition apparatus of FIG. 1 will be described. The vacuum container 1 is brought into a vacuum state by the operation of the turbo pump 2 and the rotary pump 3.

【0018】真空容器1内には、巻出しロール4と巻取
りロール5とが設けられ、巻出しロール4から巻出され
て巻取りロール5に巻取られる間で、磁気テープ6は冷
却キャン7の下側面に巻掛けられて走行するようになっ
ている。冷却キャン7の下方にはMgO製のルツボ8が
置かれ、この中にAlが入れられている。
An unwind roll 4 and a take-up roll 5 are provided in the vacuum container 1, and the magnetic tape 6 is cooled by a cooling can while being unwound from the unwind roll 4 and wound by the take-up roll 5. 7 is wrapped around the lower side surface of the vehicle to run. A crucible 8 made of MgO is placed below the cooling can 7, and Al is put therein.

【0019】そして、ルツボ8中のAlに対し斜め上方
の電子ビーム銃9から電子ビームを照射し、これにより
加熱してAlを蒸発させるようになっている。そして、
ルツボ8と冷却キャン7との間に磁気テープ6への蒸着
範囲を規制するための遮蔽板10を配置してある。そし
て、冷却キャン7上で蒸着部の下流側にある磁気テープ
6に向けて、カウフマン・イオン銃11を配置してある。
このイオン銃11にはガス導入管12が接続される。この例
では、N2 をイオン化し、 1.5KVの加速電圧でAl蒸
着面を照射するようになっている。
Then, the Al in the crucible 8 is irradiated with an electron beam from an electron beam gun 9 obliquely above and heated to evaporate Al. And
A shield plate 10 for restricting the vapor deposition range on the magnetic tape 6 is arranged between the crucible 8 and the cooling can 7. A Kauffman ion gun 11 is arranged on the cooling can 7 toward the magnetic tape 6 on the downstream side of the vapor deposition section.
A gas introduction pipe 12 is connected to the ion gun 11. In this example, N 2 is ionized and the Al vapor deposition surface is irradiated with an acceleration voltage of 1.5 KV.

【0020】ここにおいて、前述の磁性層を形成した磁
気テープのロールを巻出しロール4にセットして、磁気
テープ6の裏面を外側にして、冷却キャン7上を走行さ
せ、電子ビーム銃9により加熱されて蒸発されるAlを
付着させた。そして、Al蒸着面にカウフマン・イオン
銃11によりN2 イオンを照射して、適当な表面粗さを得
た。そして、バックコート層の蒸着と表面処理とを終え
た磁気テープ6は巻取りロール5に巻取った。
Here, the roll of the magnetic tape on which the above-mentioned magnetic layer is formed is set on the unwind roll 4, and the magnetic tape 6 is made to run on the cooling can 7 with the back surface of the magnetic tape 6 facing outside, and the electron beam gun 9 is used. Al that was heated and evaporated was deposited. Then, the Al vapor deposition surface was irradiated with N 2 ions by the Kaufman ion gun 11 to obtain an appropriate surface roughness. Then, the magnetic tape 6 which has undergone the vapor deposition of the back coat layer and the surface treatment was wound on a winding roll 5.

【0021】その後、磁気テープを大気中に取出し、8
mm幅にスリッタ(裁断)し、8mmのカセットに挿入
し、ドロップアウトを測定した。尚、ドロップアウトの
測定は、ドロップアウトカウンタを用い、10μsの間に
−16dB出力が低下したものをドロップアウトとした。
比較例としては、粒径20nmのものと60nmのものとを
1:1に混合したカーボンを塩ビとウレタンとを1:1
に混合したバインダー中に分散させた塗料を用い、実施
例と同じ磁性層蒸着済みのフィルムに、バックコート層
として厚さ 0.5μmになるように塗布した。そして、実
施例と同様にドロップアウトを測定した。
After that, the magnetic tape was taken out into the atmosphere, and
A slitter (cut) having a width of mm was inserted into an 8 mm cassette, and a dropout was measured. A dropout counter was used for the measurement of dropout, and a dropout of -16 dB output within 10 μs was taken as a dropout.
As a comparative example, carbon having a particle size of 20 nm and 60 nm having a particle size of 1: 1 is mixed with vinyl chloride and urethane with a ratio of 1: 1.
Using the coating material dispersed in the binder mixed in, the same film as the magnetic layer deposited in Example 1 was coated as a back coat layer to a thickness of 0.5 μm. Then, the dropout was measured as in the example.

【0022】測定結果は、実施例ではドロップアウト=
8個/分、比較例ではドロップアウト=11個/分であっ
た。この結果から、本発明方法である実施例では従来方
法である比較例と比べてドロップアウトが3割ほど低く
なっている。その理由はゴミの付着を防止できたためと
考えられる。
The measurement result is dropout =
8 pieces / minute, and in the comparative example, dropout = 11 pieces / minute. From this result, the dropout in the example of the present invention is about 30% lower than that of the comparative example of the conventional method. It is considered that the reason is that the adhesion of dust was prevented.

【0023】また、実施例においてAlを蒸着させただ
けのものと、イオン照射を行ったものとについて、比較
したところ、Alを蒸着させただけのものはRa=2n
m、摩擦係数=0.8 であったが、イオン照射により、R
a=12nm、摩擦係数=0.25と適正範囲になった。尚、
図1の真空蒸着装置についてはバックコート層の蒸着用
としてのみ説明したが、本装置により、AlをCo−N
i合金に代え、またイオン照射を停止して、磁性層の真
空蒸着を行い、その後に巻取りロール5の磁気テープを
巻出しロール4にセットして裏面に対し前述のようにバ
ックコート層の蒸着を行ってもよい。
Further, in the example, a comparison was made between the case where only Al was vapor-deposited and the case where ion irradiation was carried out. Ra = 2n for the case where only Al was vapor-deposited.
m, friction coefficient = 0.8, but due to ion irradiation, R
a = 12 nm and friction coefficient = 0.25, which were in the proper range. still,
Although the vacuum vapor deposition apparatus of FIG. 1 has been described only for vapor deposition of the back coat layer, the present apparatus allows Al to be Co--N.
Instead of the i alloy, the ion irradiation was stopped, vacuum deposition of the magnetic layer was performed, and then the magnetic tape of the winding roll 5 was set on the winding roll 4 and the back surface of the back coat layer was formed on the back surface as described above. Deposition may be performed.

【0024】また、真空容器内で1走行経路に連続して
磁性層の蒸着部とバックコート層の蒸着部とを設けて、
磁性層とバックコート層の真空蒸着を連続して行うよう
にしてもよい。
Further, a vapor deposition portion for the magnetic layer and a vapor deposition portion for the back coat layer are provided continuously in one traveling path in the vacuum container,
Vacuum deposition of the magnetic layer and the back coat layer may be continuously performed.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、真
空中にてバックコート層を蒸着により形成するため、ゴ
ミの付着等の問題が解消され、しかもバインダーを含ま
ないため導電性の向上によって帯電防止効果が上が
る。。また、バックコート層を単なる真空蒸着により形
成すると、平滑すぎて走行安定性が悪いが、蒸着後にガ
スイオンを照射して、表面粗さを適正なものとすること
により、走行安定性も良好にすることができる。
As described above, according to the present invention, since the back coat layer is formed by vapor deposition in vacuum, problems such as adhesion of dust are solved, and since the binder is not contained, the conductivity is improved. As a result, the antistatic effect is improved. . Further, if the back coat layer is formed by simple vacuum deposition, the running stability is poor and the running stability is poor, but by running gas ions after the deposition to make the surface roughness appropriate, the running stability is also improved. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施例で用いる真空蒸着装置の概
略図
FIG. 1 is a schematic diagram of a vacuum vapor deposition apparatus used in an embodiment of the present invention.

【図2】 蒸着型テープの構成図[Fig. 2] Configuration diagram of vapor deposition type tape

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空容器 4 巻出しロール 5 巻取りロール 6 磁気テープ 7 冷却キャン 8 ルツボ 9 電子ビーム銃 10 遮蔽板 11 カウフマン・イオン銃 12 ガス導入管 1 Vacuum container 4 Unwinding roll 5 Winding roll 6 Magnetic tape 7 Cooling can 8 Crucible 9 Electron beam gun 10 Shielding plate 11 Kaufman ion gun 12 Gas introduction tube

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】非磁性支持体の磁性層蒸着面と反対側の面
にバックコート層を形成するに際し、真空中にて、非磁
性支持体の前記反対側の面に金属を蒸着させて後、その
蒸着面にガスイオンを照射することを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。
1. When a back coat layer is formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the surface on which the magnetic layer is deposited, a metal is deposited on the surface of the non-magnetic support on the opposite side in vacuum. And a method for manufacturing a magnetic recording medium, characterized in that the vapor deposition surface is irradiated with gas ions.
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