JPH0610353B2 - 六方晶系フエライト薄膜の製造法 - Google Patents
六方晶系フエライト薄膜の製造法Info
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- JPH0610353B2 JPH0610353B2 JP61025575A JP2557586A JPH0610353B2 JP H0610353 B2 JPH0610353 B2 JP H0610353B2 JP 61025575 A JP61025575 A JP 61025575A JP 2557586 A JP2557586 A JP 2557586A JP H0610353 B2 JPH0610353 B2 JP H0610353B2
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/125—Process of deposition of the inorganic material
- C23C18/1279—Process of deposition of the inorganic material performed under reactive atmosphere, e.g. oxidising or reducing atmospheres
-
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、六方晶系フェライト薄膜の製造法に関するも
のである。さらに詳しくは、本発明は垂直磁気記録方式
及び光磁気記録に用いるのに適した六方晶系フェライト
薄膜の製造法に関するものである。
のである。さらに詳しくは、本発明は垂直磁気記録方式
及び光磁気記録に用いるのに適した六方晶系フェライト
薄膜の製造法に関するものである。
［発明の背景］ 従来において磁気記録は磁気テープなどの記録媒体の面
内長手方向に磁化させる方式が利用されてきた。しかし
ながら、近年における更に高密度の磁気記録を実現する
ために垂直磁気記録方式が提案され、この方式に用いる
ための磁気記録媒体も各種検討されている。
内長手方向に磁化させる方式が利用されてきた。しかし
ながら、近年における更に高密度の磁気記録を実現する
ために垂直磁気記録方式が提案され、この方式に用いる
ための磁気記録媒体も各種検討されている。
垂直磁気記録方式用の磁気記録媒体の製造法としては、
フィルムなどの支持体上にスパッタ法、真空蒸着法など
により磁性材料層（磁性層）を形成する方法が既に知ら
れている。そして、たとえば、コバルト・クロムなどの
磁気記録層をスパッタ法により支持体上に形成した磁気
記録媒体などが開発されている。
フィルムなどの支持体上にスパッタ法、真空蒸着法など
により磁性材料層（磁性層）を形成する方法が既に知ら
れている。そして、たとえば、コバルト・クロムなどの
磁気記録層をスパッタ法により支持体上に形成した磁気
記録媒体などが開発されている。
しかしながら、上記のスパッタ法あるいは真空蒸着法、
イオンプレーテイング法などの公知の方法を利用する磁
気記録媒体の製造法は、従来の磁気記録媒体の製造法と
して一般的な塗布法を利用する方法に比較して生産性や
製品の品質などに難点があるという問題がある。
イオンプレーテイング法などの公知の方法を利用する磁
気記録媒体の製造法は、従来の磁気記録媒体の製造法と
して一般的な塗布法を利用する方法に比較して生産性や
製品の品質などに難点があるという問題がある。
従って、垂直磁気記録方式用の磁気記録媒体の製造方法
として塗布法を利用する方法も既に検討されている。す
なわち、磁性粉として六角板状の微粒子の形態にある六
方晶系フェライト（たとえば、六方晶系バリウムフェラ
イト）を用い、この六方晶系フェライト磁性粉を樹脂
（バインダー）中に混合分散し、支持体上に塗布するこ
とにより垂直磁気記録方式用の磁気記録媒体を製造する
方法が既に提案されている。この六方晶系フェライト磁
性粉をバインダーに分散した塗布液を支持体上に塗布す
る方法を利用する塗布法は生産効率の点では優れている
が、得られる磁性層が軟らかく傷付きやすい点、および
得られる磁気記録媒体の磁気記録特性が必ずしも充分と
いえない点などの問題点がある。
として塗布法を利用する方法も既に検討されている。す
なわち、磁性粉として六角板状の微粒子の形態にある六
方晶系フェライト（たとえば、六方晶系バリウムフェラ
イト）を用い、この六方晶系フェライト磁性粉を樹脂
（バインダー）中に混合分散し、支持体上に塗布するこ
とにより垂直磁気記録方式用の磁気記録媒体を製造する
方法が既に提案されている。この六方晶系フェライト磁
性粉をバインダーに分散した塗布液を支持体上に塗布す
る方法を利用する塗布法は生産効率の点では優れている
が、得られる磁性層が軟らかく傷付きやすい点、および
得られる磁気記録媒体の磁気記録特性が必ずしも充分と
いえない点などの問題点がある。
また、従来において光磁気記録媒体は通常、スパッタリ
ング、蒸着、イオンプレーティング等を利用して透明基
板上に光磁気記録層を形成する方法により製造されてい
る。特に六方晶系フェライトを用いる光磁気記録媒体
は、スパッタリング法（特開昭５９−４５６４４号公
報）が用いられている。
ング、蒸着、イオンプレーティング等を利用して透明基
板上に光磁気記録層を形成する方法により製造されてい
る。特に六方晶系フェライトを用いる光磁気記録媒体
は、スパッタリング法（特開昭５９−４５６４４号公
報）が用いられている。
本発明者は、塗布法により六方晶系フェライト薄膜を製
造する新規な方法を提供することを主な目的として研究
を行なった結果、有機金属化合物の形の原料金属成分を
含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布して該支持体上に金
属成分含有有機溶液層を形成させたのち該有機溶液層を
加熱することにより、該層を六方晶系フェライト薄膜に
変換する六方晶系フェライト薄膜の製法からなる発明を
既に完成した。この発明は特願昭５９−２５８７４７号
として特許出願されている。
造する新規な方法を提供することを主な目的として研究
を行なった結果、有機金属化合物の形の原料金属成分を
含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布して該支持体上に金
属成分含有有機溶液層を形成させたのち該有機溶液層を
加熱することにより、該層を六方晶系フェライト薄膜に
変換する六方晶系フェライト薄膜の製法からなる発明を
既に完成した。この発明は特願昭５９−２５８７４７号
として特許出願されている。
［発明の目的］ 本発明は、塗布法により六方晶系フェライト薄膜を製造
する新規な方法を提供することを主な目的とする。
する新規な方法を提供することを主な目的とする。
また、本発明は、垂直磁気記録方式及び光磁気記録に適
した六方晶系フェライト薄膜を塗布法により製造する方
法を提供することを目的とする。
した六方晶系フェライト薄膜を塗布法により製造する方
法を提供することを目的とする。
本発明は特に、上記特願昭５９−２５８７４７号の明細
書に記載された六方晶系フェライト薄膜の製法の改良方
法を提供することを目的とする。
書に記載された六方晶系フェライト薄膜の製法の改良方
法を提供することを目的とする。
［発明の要旨］ 本発明は、焼成物が、下記の組成式（Ｉ）、（II）もし
くは（III）： ＲＦｅ12Ｏ19 （Ｉ） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子である］ ＲＦｅ12-2XＭＸＭ’ＸＯ19 （II） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子、ＭはＣｏ、Ｎｉ
およびＺｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の二
価金属原子、Ｍ’はＴｉ、ＺｒおよびＨｆからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の四価金属原子、そしてｘ
は、０＜ｘ≦１．２の範囲の数値である］ ＲＦｅ12-XＭ”ＸＯ19 （III） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子、Ｍ”はＡｌ、Ｇ
ａおよびＩｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の
三価金属原子、そしてｘは０＜ｘ≦２．４の範囲の数値
である］ を示すような量比にて、もしくはＲ成分が該量比より２
０％以内の量で増量された量にて、各金属成分を有機金
属化合物の状態にて含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布
して、該支持体上に金属成分含有有機溶液層を形成させ
たのち、該有機溶液層を、酸素を少なくとも３０重量％
含む雰囲気にて３００℃以上に加熱焼成することによ
り、該有機金属化合物を熱分解し、該層を六方晶系フェ
ライト薄膜に変換することからなる六方晶系フェライト
薄膜の製造法にある。
くは（III）： ＲＦｅ12Ｏ19 （Ｉ） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子である］ ＲＦｅ12-2XＭＸＭ’ＸＯ19 （II） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子、ＭはＣｏ、Ｎｉ
およびＺｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の二
価金属原子、Ｍ’はＴｉ、ＺｒおよびＨｆからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の四価金属原子、そしてｘ
は、０＜ｘ≦１．２の範囲の数値である］ ＲＦｅ12-XＭ”ＸＯ19 （III） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子、Ｍ”はＡｌ、Ｇ
ａおよびＩｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の
三価金属原子、そしてｘは０＜ｘ≦２．４の範囲の数値
である］ を示すような量比にて、もしくはＲ成分が該量比より２
０％以内の量で増量された量にて、各金属成分を有機金
属化合物の状態にて含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布
して、該支持体上に金属成分含有有機溶液層を形成させ
たのち、該有機溶液層を、酸素を少なくとも３０重量％
含む雰囲気にて３００℃以上に加熱焼成することによ
り、該有機金属化合物を熱分解し、該層を六方晶系フェ
ライト薄膜に変換することからなる六方晶系フェライト
薄膜の製造法にある。
本発明は、塗布法により六方晶系フェライト磁性層を支
持体上に形成する方法ではあるが、本発明の六方晶系フ
ェライト薄膜の製造法は、公知のバインダーを用いる塗
布法とは全く異なる原理に基づく製造法である。
持体上に形成する方法ではあるが、本発明の六方晶系フ
ェライト薄膜の製造法は、公知のバインダーを用いる塗
布法とは全く異なる原理に基づく製造法である。
［発明の効果］ 本発明により得られる六方晶系フェライト薄膜は、その
表面硬度が高いため傷がつきにくく、表面が平滑であ
り、かつ透明である。またこの六方晶系フェライト薄膜
は実質的にバインダーを含むことなく、実質的に六方晶
系フェライトのみから形成され、かつ六方晶系フェライ
ト結晶（平板状結晶）の多くが該薄膜の平面と平行に配
列しているから、この六方晶系フェライト薄膜からなる
磁気記録媒体は特に垂直磁気記録方式及び光磁気記録に
用いた場合、優れた磁気特性を示す。
表面硬度が高いため傷がつきにくく、表面が平滑であ
り、かつ透明である。またこの六方晶系フェライト薄膜
は実質的にバインダーを含むことなく、実質的に六方晶
系フェライトのみから形成され、かつ六方晶系フェライ
ト結晶（平板状結晶）の多くが該薄膜の平面と平行に配
列しているから、この六方晶系フェライト薄膜からなる
磁気記録媒体は特に垂直磁気記録方式及び光磁気記録に
用いた場合、優れた磁気特性を示す。
また本発明の方法を利用することにより、前記の特願昭
５９−２５８７４７号の明細書に記載された六方晶系フ
ェライト薄膜の製法に比較して、該薄膜中に生成しやす
い非磁性のα−酸化鉄などの生成が低減される。従っ
て、本発明の製造法を利用することにより、六方晶系フ
ェライト薄膜中に目的の六方晶系フェライトを更に高純
度にて存在させることができるため、本発明の製造法に
より製造される六方晶系フェライト薄膜は特に優れた磁
気特性を示す。
５９−２５８７４７号の明細書に記載された六方晶系フ
ェライト薄膜の製法に比較して、該薄膜中に生成しやす
い非磁性のα−酸化鉄などの生成が低減される。従っ
て、本発明の製造法を利用することにより、六方晶系フ
ェライト薄膜中に目的の六方晶系フェライトを更に高純
度にて存在させることができるため、本発明の製造法に
より製造される六方晶系フェライト薄膜は特に優れた磁
気特性を示す。
［発明の詳細な記述］ 次に本発明の六方晶系フェライト薄膜の製造法を、上記
組成式（II）により表わされる化合物に含まれるＢａＦ
ｅ12-2XＣｏＸＴｉＸＯ19六方晶系フェライト薄膜の製
造方法を例にとって詳しく説明する。
組成式（II）により表わされる化合物に含まれるＢａＦ
ｅ12-2XＣｏＸＴｉＸＯ19六方晶系フェライト薄膜の製
造方法を例にとって詳しく説明する。
本発明の製造法において、フェライト成分は全て有機金
属化合物として導入される。すなわち、Ｂａ、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｔｉなどの金属成分は、たとえば、アルコキシド、
有機酸塩、錯体、有機化合物とのエステルなどの有機金
属化合物として用いられる。
属化合物として導入される。すなわち、Ｂａ、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｔｉなどの金属成分は、たとえば、アルコキシド、
有機酸塩、錯体、有機化合物とのエステルなどの有機金
属化合物として用いられる。
本発明において原料として使用される有機金属化合物は
通常の有機溶媒に溶解するものであれば特に限定はな
い。用い得る有機金属化合物の例としては、メトキシ
ド、エトキシド、プロポキシド、イソプロポキシド、ブ
トキシドなどのアルコキシド（特に炭素数６以下の脂肪
族アルコールとのアルコキシド）、ギ酸塩、酢酸塩、プ
ロピオン酸塩、シュウ酸塩、グリコール酸塩などの有機
酸塩（特に炭素数６以下の脂肪酸との塩）、アセチル酢
酸、ＥＤＴＡなどの配位子との錯体を挙げることができ
る。また、たとえば、チタンについては、チタン酸テト
ライソプロピル、チタン酸テトラブチル、チタン酸テト
ラ（２−エチル）ヘキシル、チタン酸テトラステアリル
など各種のエステルなどを使用することができる。
通常の有機溶媒に溶解するものであれば特に限定はな
い。用い得る有機金属化合物の例としては、メトキシ
ド、エトキシド、プロポキシド、イソプロポキシド、ブ
トキシドなどのアルコキシド（特に炭素数６以下の脂肪
族アルコールとのアルコキシド）、ギ酸塩、酢酸塩、プ
ロピオン酸塩、シュウ酸塩、グリコール酸塩などの有機
酸塩（特に炭素数６以下の脂肪酸との塩）、アセチル酢
酸、ＥＤＴＡなどの配位子との錯体を挙げることができ
る。また、たとえば、チタンについては、チタン酸テト
ライソプロピル、チタン酸テトラブチル、チタン酸テト
ラ（２−エチル）ヘキシル、チタン酸テトラステアリル
など各種のエステルなどを使用することができる。
なお、上記有機金属化合物は金属のアルコキシドもしく
は有機酸塩であることが好ましく、またそれらのアルコ
キシドもしくは有機酸塩を形成するアルコール成分もし
くは有機酸成分が炭素数６以下の脂肪族アルコールもし
くは脂肪族カルボン酸であることが好ましい。
は有機酸塩であることが好ましく、またそれらのアルコ
キシドもしくは有機酸塩を形成するアルコール成分もし
くは有機酸成分が炭素数６以下の脂肪族アルコールもし
くは脂肪族カルボン酸であることが好ましい。
原料の有機金属化合物は、一般にはそれぞれに含まれる
金属原子が最終的に目的とする六方晶系フェライト結晶
の組成比に対応するような比率にて混合される。
金属原子が最終的に目的とする六方晶系フェライト結晶
の組成比に対応するような比率にて混合される。
ただし、バリウム成分などの前記各組成式にてＲで示さ
れる成分の量は、酸化鉄成分などの他の成分に比べて目
的物の組成が示す化学量論比よりも若干多い量（好まし
くは、化学量論比相当量の１００〜１２０％）にて用い
ることが好ましい。これは、非磁性のα−Ｆｅ２Ｏ３の
析出を効果的に避けるためである。
れる成分の量は、酸化鉄成分などの他の成分に比べて目
的物の組成が示す化学量論比よりも若干多い量（好まし
くは、化学量論比相当量の１００〜１２０％）にて用い
ることが好ましい。これは、非磁性のα−Ｆｅ２Ｏ３の
析出を効果的に避けるためである。
原料の有機金属化合物は有機溶媒溶液として用意され、
通常は、該有機溶媒中で各有機金属化合物の反応が行な
われる。有機溶媒としては、用いる有機金属化合物を溶
解し、かつそれらの有機金属化合物に対して高い反応性
を示すものでない限り特に制限はない。ただし、原料の
有機金属化合物は一般に極性を示すものが多いため、メ
チルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ブチルアルコールなどの
低級アルコール、アセトン、メチルエチルケトンなどの
ケトン、ジメチルエーテル、メチルエチルエーテル、ジ
エチルエーテル、ジオキサンなどのエーテル、ギ酸メチ
ル、ギ酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、プロピオン
酸メチル、プロピオン酸エチルなどの低級脂肪酸と低級
アルコールとのエステル、ギ酸、酢酸、プロピオン酸な
どの低級脂肪酸のような極性有機溶媒が用いられる。こ
れらの極性有機溶媒は単独で、あるいはそれぞれを混合
して、または他の有機溶媒と混合して用いることができ
る。
通常は、該有機溶媒中で各有機金属化合物の反応が行な
われる。有機溶媒としては、用いる有機金属化合物を溶
解し、かつそれらの有機金属化合物に対して高い反応性
を示すものでない限り特に制限はない。ただし、原料の
有機金属化合物は一般に極性を示すものが多いため、メ
チルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ブチルアルコールなどの
低級アルコール、アセトン、メチルエチルケトンなどの
ケトン、ジメチルエーテル、メチルエチルエーテル、ジ
エチルエーテル、ジオキサンなどのエーテル、ギ酸メチ
ル、ギ酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、プロピオン
酸メチル、プロピオン酸エチルなどの低級脂肪酸と低級
アルコールとのエステル、ギ酸、酢酸、プロピオン酸な
どの低級脂肪酸のような極性有機溶媒が用いられる。こ
れらの極性有機溶媒は単独で、あるいはそれぞれを混合
して、または他の有機溶媒と混合して用いることができ
る。
上記の有機溶媒は脂肪族アルコール、脂肪族カルボン
酸、もしくはそれらの混合物であることが望ましい。
酸、もしくはそれらの混合物であることが望ましい。
原料有機金属化合物を含む有機溶媒溶液は、そのまま、
あるいは加温などの処理を受けて反応を経由したのち、
プラスチックシート（あるいはフィルム）、ガラス板、
セラミック板及び金属板などの支持体上に塗布される、
この塗布方法には特に制限はなく、ドクターブレード、
ロールコーターなどを用いる通常の塗布方法、支持体上
に該溶液を流延する方法、支持体を該溶液に浸漬する方
法、支持体上に該溶液をスプレーする方法など各種の方
法を利用することができる。
あるいは加温などの処理を受けて反応を経由したのち、
プラスチックシート（あるいはフィルム）、ガラス板、
セラミック板及び金属板などの支持体上に塗布される、
この塗布方法には特に制限はなく、ドクターブレード、
ロールコーターなどを用いる通常の塗布方法、支持体上
に該溶液を流延する方法、支持体を該溶液に浸漬する方
法、支持体上に該溶液をスプレーする方法など各種の方
法を利用することができる。
なお、有機金属化合物の形の原料金属成分を含む有機溶
媒溶液を支持体上に塗布する前に、該有機溶媒溶液を有
機酸で処理して、該有機金属化合物を一旦加水分解し、
この加水分解物を含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布し
て目的の金属成分含有有機溶液層を形成させる方法もま
た好ましい方法である。この方法を利用することによ
り、生成するフェライト薄膜中のフェライト結晶のサイ
ズをより小さく、かつより均一にすることができる。
媒溶液を支持体上に塗布する前に、該有機溶媒溶液を有
機酸で処理して、該有機金属化合物を一旦加水分解し、
この加水分解物を含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布し
て目的の金属成分含有有機溶液層を形成させる方法もま
た好ましい方法である。この方法を利用することによ
り、生成するフェライト薄膜中のフェライト結晶のサイ
ズをより小さく、かつより均一にすることができる。
次に該有機溶液層を、酸素を少なくとも３０重量％含む
雰囲気にて加熱することにより加熱することにより、該
有機溶液層を六方晶系フェライト薄膜に変換する。な
お、この加熱雰囲気は酸素を５０重量％以上含むことが
好ましく、７０重量％以上含むことがさらに好ましい。
特に好ましい加熱雰囲気は酸素ガスのみからなる雰囲気
である。
雰囲気にて加熱することにより加熱することにより、該
有機溶液層を六方晶系フェライト薄膜に変換する。な
お、この加熱雰囲気は酸素を５０重量％以上含むことが
好ましく、７０重量％以上含むことがさらに好ましい。
特に好ましい加熱雰囲気は酸素ガスのみからなる雰囲気
である。
上記の加熱処理は該有機溶液層に含まれる溶媒を除去
し、かつ有機金属化合物を熱分解して目的とする六方晶
系フェライト結晶を生成させることを目的とする工程で
あり、この加熱工程は焼成工程ともいうことができる。
従って、最後の有機金属化合物の熱分解のための段階で
は、比較的高温の加熱条件、たとえば３００℃以上（好
ましくは４００〜８００℃）が利用される。ただし、有
機金属化合物が熱分解して六方晶系フェライト結晶に変
換する加熱条件は、用いる有機金属化合物の種類および
目的のフェライトの種類によっても変動することに留意
すべきである。
し、かつ有機金属化合物を熱分解して目的とする六方晶
系フェライト結晶を生成させることを目的とする工程で
あり、この加熱工程は焼成工程ともいうことができる。
従って、最後の有機金属化合物の熱分解のための段階で
は、比較的高温の加熱条件、たとえば３００℃以上（好
ましくは４００〜８００℃）が利用される。ただし、有
機金属化合物が熱分解して六方晶系フェライト結晶に変
換する加熱条件は、用いる有機金属化合物の種類および
目的のフェライトの種類によっても変動することに留意
すべきである。
また、目的のフェライト薄膜を厚くするためには、支持
体上に金属成分含有有機溶液層を形成させたのち、これ
をフェライト結晶が生成しない程度の温度で加熱して乾
燥塗膜としたのち、この乾燥塗膜上に再度同じ金属成分
含有有機溶液層を形成し、加熱乾燥させて乾燥塗膜を重
ねる工程を、所望回数繰返し、最後に高温度に加熱（焼
成）してフェライト結晶を生成させる方法などを利用す
ることもできる。
体上に金属成分含有有機溶液層を形成させたのち、これ
をフェライト結晶が生成しない程度の温度で加熱して乾
燥塗膜としたのち、この乾燥塗膜上に再度同じ金属成分
含有有機溶液層を形成し、加熱乾燥させて乾燥塗膜を重
ねる工程を、所望回数繰返し、最後に高温度に加熱（焼
成）してフェライト結晶を生成させる方法などを利用す
ることもできる。
なお、上記においては組成式ＢａＦｅ12-2XＣｏＸＴｉ
ＸＯ19を有する六方晶系フェライトの薄膜の製造法につ
いて説明したが、組成式（II）により表わされる他の六
方晶系フェライト、そして組成式（Ｉ）および組成式
（III）により表わされる他の六方晶系フェライトもま
た同様な方法を利用して製造することができる。
ＸＯ19を有する六方晶系フェライトの薄膜の製造法につ
いて説明したが、組成式（II）により表わされる他の六
方晶系フェライト、そして組成式（Ｉ）および組成式
（III）により表わされる他の六方晶系フェライトもま
た同様な方法を利用して製造することができる。
本発明によれば、工業的に有利な塗布法により高い硬度
を有し、また表面が均質で平滑であり、かつ透明な六方
晶系フェライト薄膜を容易に得ることができる。そして
本発明により得られる六方晶系フェライト薄膜は抗磁
力、飽和磁束密度などの磁気特性において優れた特性を
示す。なお、本発明により製造される六方晶系フェライ
ト薄膜においては、平板状の六方晶系フェライト結晶の
多くのものが、その平板面を薄膜と平行する配置を取り
やすく、このため垂直磁気記録方式を利用する磁気記録
材料及び光磁気記録媒体として特に有用である。
を有し、また表面が均質で平滑であり、かつ透明な六方
晶系フェライト薄膜を容易に得ることができる。そして
本発明により得られる六方晶系フェライト薄膜は抗磁
力、飽和磁束密度などの磁気特性において優れた特性を
示す。なお、本発明により製造される六方晶系フェライ
ト薄膜においては、平板状の六方晶系フェライト結晶の
多くのものが、その平板面を薄膜と平行する配置を取り
やすく、このため垂直磁気記録方式を利用する磁気記録
材料及び光磁気記録媒体として特に有用である。
次に本発明の実施例を示す。
［実施例１−比較例１］ バリウムエトキシド［Ｂａ（ＯＣ２Ｈ５）２］のエチル
アルコール溶液（バリウム１重量％含有）およびプロピ
オン酸鉄［Ｆｅ（Ｃ２Ｈ５ＣＯＯ）３］のエチルアルコ
ール溶液（鉄を１０重量％含量）を調製した。
アルコール溶液（バリウム１重量％含有）およびプロピ
オン酸鉄［Ｆｅ（Ｃ２Ｈ５ＣＯＯ）３］のエチルアルコ
ール溶液（鉄を１０重量％含量）を調製した。
バリウム原子と鉄原子との比率（原子比）が１：１１．
６となるように上記のバリウムエトキシド溶液とプロピ
オン酸鉄溶液とを混合し、撹拌下にて約８０℃で３時間
還流を行なった。この反応液を２５℃にまで冷却したの
ち、グリコール酸を５％含有するエチルアルコールを該
反応液に撹拌下にて滴下して反応生成物を加水分解し
た。
６となるように上記のバリウムエトキシド溶液とプロピ
オン酸鉄溶液とを混合し、撹拌下にて約８０℃で３時間
還流を行なった。この反応液を２５℃にまで冷却したの
ち、グリコール酸を５％含有するエチルアルコールを該
反応液に撹拌下にて滴下して反応生成物を加水分解し
た。
次いで、上記加水分解液を８０℃にまで加温して、撹拌
下にて還流しながら、プロピオン酸を該加水分解液が溶
解するまで添加し安定化させた。
下にて還流しながら、プロピオン酸を該加水分解液が溶
解するまで添加し安定化させた。
別に親水化処理した耐熱性ガラス支持体を用意し、これ
を上記の加水分解液に浸漬したのち、速度１０ｃｍ／分
にて引き上げ、次いで４００℃にて３０分間加熱して支
持体上に塗膜を形成した。次に、この塗膜を表面に有す
る支持体を同じ加水分解液に浸漬し、同速度で引き上
げ、次いで同じ条件で加熱する工程を三回繰り返して塗
膜の膜厚を増大させたのち、焼成を行なった。
を上記の加水分解液に浸漬したのち、速度１０ｃｍ／分
にて引き上げ、次いで４００℃にて３０分間加熱して支
持体上に塗膜を形成した。次に、この塗膜を表面に有す
る支持体を同じ加水分解液に浸漬し、同速度で引き上
げ、次いで同じ条件で加熱する工程を三回繰り返して塗
膜の膜厚を増大させたのち、焼成を行なった。
上記の塗膜の形成は二枚の支持体について実施し、焼成
は、得られた二枚の塗膜付設支持体のそれぞれを空気中
（比較例１）と酸素ガス中（実施例１）とにて６００
℃、５時間加熱することにより行なった。
は、得られた二枚の塗膜付設支持体のそれぞれを空気中
（比較例１）と酸素ガス中（実施例１）とにて６００
℃、５時間加熱することにより行なった。
焼成後の塗膜はいずれも茶褐色の透明の膜であり、その
表面を２００倍の顕微鏡で観察したところ、ひび割れ等
の不均質部分は見られず、良好な状態であった。また、
焼成塗膜表面を硬い鉛筆（５Ｈ）を用い通常の筆圧にて
こすったが全く傷がつかなかった。さらに、接着テープ
を用いた剥離試験でも焼成塗膜の剥離は発生しなかっ
た。これらの結果より、得られた焼成塗膜（フェライト
薄膜）は、硬度および強度の優れた透明で安定な薄膜で
あることが確認された。
表面を２００倍の顕微鏡で観察したところ、ひび割れ等
の不均質部分は見られず、良好な状態であった。また、
焼成塗膜表面を硬い鉛筆（５Ｈ）を用い通常の筆圧にて
こすったが全く傷がつかなかった。さらに、接着テープ
を用いた剥離試験でも焼成塗膜の剥離は発生しなかっ
た。これらの結果より、得られた焼成塗膜（フェライト
薄膜）は、硬度および強度の優れた透明で安定な薄膜で
あることが確認された。
焼成塗膜の膜厚は、いずれも約４０００オングストロー
ムであった（テンコール社製アルファーステップによる
測定値）。
ムであった（テンコール社製アルファーステップによる
測定値）。
次に、それぞれの焼成塗膜の結晶状態および粒子サイズ
をＸ線回折により調べたところ、いずれも六方晶系のバ
リウムフェライトであることが確認された。ただし、実
施例１により得られた焼成塗膜はバリウムフェライトの
みから構成されていたが、比較例１により得られた焼成
塗膜はバリウムフェライト中に約１０％のα−酸化鉄が
混在していた。Ｘ線回折による粒子サイズはいずれも約
３００オングストロームであることが確認された。
をＸ線回折により調べたところ、いずれも六方晶系のバ
リウムフェライトであることが確認された。ただし、実
施例１により得られた焼成塗膜はバリウムフェライトの
みから構成されていたが、比較例１により得られた焼成
塗膜はバリウムフェライト中に約１０％のα−酸化鉄が
混在していた。Ｘ線回折による粒子サイズはいずれも約
３００オングストロームであることが確認された。
さらに各焼成塗膜の磁気特性を東英工業（株）製振動式
試料型磁気測定装置を用いて測定したところ第１表に示
す値が得られた。
試料型磁気測定装置を用いて測定したところ第１表に示
す値が得られた。
［実施例２−比較例２］ 塗膜の焼成温度を８００℃に変えた以外は実施例１およ
び比較例１と同様にして焼成塗膜を支持体上に形成し
た。
び比較例１と同様にして焼成塗膜を支持体上に形成し
た。
焼成後の塗膜はいずれも茶褐色の透明の膜であり、その
表面を２００倍の顕微鏡で観察したところ、ひび割れ等
の不均質部分は見られず、良好な状態であった。また、
焼成塗膜表面を硬い鉛筆（５Ｈ）を用い通常の筆圧にて
こすったが全く傷がつかなかった。さらに、接着テープ
を用いた剥離試験でも焼成塗膜の剥離は発生しなかっ
た。これらの結果より、得られた焼成塗膜（フェライト
薄膜）は、硬度および強度の優れた透明で安定な薄膜で
あることが確認された。
表面を２００倍の顕微鏡で観察したところ、ひび割れ等
の不均質部分は見られず、良好な状態であった。また、
焼成塗膜表面を硬い鉛筆（５Ｈ）を用い通常の筆圧にて
こすったが全く傷がつかなかった。さらに、接着テープ
を用いた剥離試験でも焼成塗膜の剥離は発生しなかっ
た。これらの結果より、得られた焼成塗膜（フェライト
薄膜）は、硬度および強度の優れた透明で安定な薄膜で
あることが確認された。
焼成塗膜の膜厚は、いずれも約４０００オングストロー
ムであった（テンコール社製アルファーステップによる
測定値）。
ムであった（テンコール社製アルファーステップによる
測定値）。
次に、それぞれの焼成塗膜の結晶状態および粒子サイズ
をＸ線回折により調べたところ、いずれも六方晶系のバ
リウムフェライトであることが確認された。ただし、実
施例２により得られた焼成塗膜はバリウムフェライトの
みから構成されていたが、比較例２により得られた焼成
塗膜はバリウムフェライト中に約１０％のα−酸化鉄が
混在していた。Ｘ線回折による粒子サイズはいずれも約
８００オングストロームであることが確認された。
をＸ線回折により調べたところ、いずれも六方晶系のバ
リウムフェライトであることが確認された。ただし、実
施例２により得られた焼成塗膜はバリウムフェライトの
みから構成されていたが、比較例２により得られた焼成
塗膜はバリウムフェライト中に約１０％のα−酸化鉄が
混在していた。Ｘ線回折による粒子サイズはいずれも約
８００オングストロームであることが確認された。
さらに各焼成塗膜の磁気特性を東英工業（株）製振動式
試料型磁気測定装置を用いて測定したところ第２表に示
す値が得られた。
試料型磁気測定装置を用いて測定したところ第２表に示
す値が得られた。
Claims (5)
- 【請求項１】焼成物が、下記の組成式（Ｉ）、（II）も
しくは（III）： ＲＦｅ12Ｏ19 （Ｉ） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子である］ ＲＦｅ12-2XＭＸＭ’ＸＯ19 （II） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子、ＭはＣｏ、Ｎｉ
およびＺｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の二
価金属原子、Ｍ’はＴｉ、ＺｒおよびＨｆからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の四価金属原子、そしてｘ
は、０＜ｘ≦１．２の範囲の数値である］ ＲＦｅ12-2XＭ”ＸＯ19 （III） ［但し、ＲはＢａ、Ｃａ、ＳｒおよびＰｂからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種の金属原子、Ｍ”はＡｌ、Ｇ
ａおよびＩｎからなる群より選ばれる少なくとも一種の
三価金属原子、そしてｘは、０＜ｘ≦２．４の範囲の数
値である］ を示すような量比にて、もしくはＲ成分が該量比より２
０％以内の量で増量された量にて、各金属成分を有機金
属化合物の状態にて含む有機溶媒溶液を支持体上に塗布
して、該支持体上に金属成分含有有機溶液層を形成させ
たのち、該有機溶液層を、酸素を少なくとも３０重量％
含む雰囲気にて３００℃以上に加熱焼成することによ
り、該有機金属化合物を熱分解し、該層を六方晶系フェ
ライト薄膜に変換することからなる六方晶系フェライト
薄膜の製造法。 - 【請求項２】上記有機金属化合物の少なくとも一つが金
属のアルコキシドもしくは有機酸塩である特許請求の範
囲第１項記載の六方晶系フェライト薄膜の製造法。 - 【請求項３】上記のアルコキシドもしくは有機酸塩を形
成するアルコール成分もしくは有機酸成分が炭素数６以
下の脂肪族アルコールもしくは脂肪族カルボン酸である
特許請求の範囲第２項記載の六方晶系フェライト薄膜の
製造法。 - 【請求項４】上記の有機溶媒が脂肪族アルコール、脂肪
族カルボン酸、もしくはそれらの混合物である特許請求
の範囲第１項記載の六方晶系フェライト薄膜の製造法。 - 【請求項５】有機金属化合物の形の原料金属成分を含む
有機溶媒溶液を有機酸で処理して、該有機金属化合物を
一旦加水分解し、この加水分解物を含む有機溶媒溶液を
支持体上に塗布して金属成分含有有機溶液層を形成させ
たのち、該有機溶液層を、酸素を少なくとも３０重量％
含む雰囲気にて加熱することにより、該層を六方晶系フ
ェライト薄膜に変換する特許請求の範囲第１項記載の六
方晶系フェライト薄膜の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61025575A JPH0610353B2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 六方晶系フエライト薄膜の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61025575A JPH0610353B2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 六方晶系フエライト薄膜の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182281A JPS62182281A (ja) | 1987-08-10 |
| JPH0610353B2 true JPH0610353B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=12169725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61025575A Expired - Fee Related JPH0610353B2 (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 六方晶系フエライト薄膜の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610353B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9201305B2 (en) * | 2013-06-28 | 2015-12-01 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Spin-on compositions of soluble metal oxide carboxylates and methods of their use |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP61025575A patent/JPH0610353B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62182281A (ja) | 1987-08-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |