JPH06103485A - フィールド機器の二重化システム - Google Patents

フィールド機器の二重化システム

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JPH06103485A
JPH06103485A JP24950792A JP24950792A JPH06103485A JP H06103485 A JPH06103485 A JP H06103485A JP 24950792 A JP24950792 A JP 24950792A JP 24950792 A JP24950792 A JP 24950792A JP H06103485 A JPH06103485 A JP H06103485A
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field
signal
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JP24950792A
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Koji Tamaoki
康二 玉置
Makoto Kogure
誠 小暮
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【構成】主フィールド機器1a ,1b ,1c 、および補
助用フィールド機器2a,2b,2c は、伝送路6を介し
て外部電源5から供給される電力により動作し、4〜2
0mAのアナログ電流信号にディジタル信号を重畳させ
る場合、もしくは、双方向のディジタル信号で上位機器
と通信を行う。この構成において、主フィールド機器1
a ,1b ,1c は、補助用フィールド機器2a ,2b
c と相互通信し、両方のフィールド機器の出力値を比
較判定する。 【効果】致命的な異常であるフィールド機器に関する異
常でも、各フィールド機器が使用するフィールド機器を
切り替えて、その前後に、他の機器へその情報を送信
し、プロセス量などの制御が中断なく動作することがで
きるという効果がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、二線式伝送路上で信号
伝送を行うフィールド機器に係り、特に、フィールド機
器を二重化する構成とし、フィールド機器とシステムの
高信頼性の維持が、容易に実現できるフィールド機器の
二重化システムに関する。
【0002】
【従来の技術】いわゆるフィールド機器と称される機器
は各種プラントの圧力,温度,流量などの物理量を検出
し、その値を電気信号に変換し、伝送路を介して上位計
器へ伝送したり、また、逆に、上位計器から伝送される
制御信号を受信し、プラントのバルブなどを制御してい
るのが通常である。
【0003】そして、該電気信号の伝送は、信号がアナ
ログ信号の場合に、規格化されており、フィールド機器
と上位計器との間は、4〜20mAのアナログ電流信号
の伝送が行われている。また、一般的にはフィールド機
器と上位計器との間は、アナログ信号での一方向通信が
行われていた。
【0004】しかし、近年、半導体集積回路技術の向上
により、マイクロプロセッサ内蔵のフィールド機器が開
発され実用化されてきている。これによれば、前記伝送
路上で一方向のアナログ信号の通信のほかに、双方向の
ディジタル信号の通信を行い、フィールド機器のレンジ
設定,自己診断などを遠隔から指令できるようになって
きている。この種の装置は、例えば、特開昭58−48198
号公報,特開昭59−201535号公報などに開示されてい
る。
【0005】具体的な例を図6を用いて説明する。同図
は、外部電源を必要とするアナログ電流出力形のフィー
ルド機器に関する装置構成例を示す。フィールド機器1
a ,1b,1cは外部電源5から供給される電力により動
作し、検出した物理量に対応した電流を伝送路に流す定
電流源としてアナログ電流信号を出力し、上位受信計器
4は、伝送路に直列に挿入された抵抗を流れる前記アナ
ログ電流信号(以下、アナログ信号という)を抵抗の両
端の電位差の検出により受信し、フィールド機器1a
b,1c の指示値として使用している。上位通信機器
3は、フィールド機器1a,1b,1c と上位計器4,外
部電源5との間の任意の場所に接続でき、フィールド機
器1a,1b,1cとディジタル信号で双方向の通信を行
っている。この伝送路と信号を伝送する方式としては、
アナログ信号上にディジタル信号をのせて、アナログ信
号に影響を与えないようにディジタル信号の通信を行う
方式,アナログ信号とディジタル信号とを切り換えて信
号伝送する方式、およびディジタル信号のみによる信号
伝送方式、などが知られている。
【0006】また、最近、複数台のフィールド機器を同
一伝送路上にマルチドロップ接続し、双方向のディジタ
ル信号だけで通信を行うシステムとしてフィールドバス
・システムが提案されている。フィールドバス・システ
ムの代表的な構成例を図7を用いて説明する。同図は、
複数台のフィールド機器と上位計器とが伝送路を介して
ツリー形に接続された装置構成例を示している。フィー
ルド機器1a ,1b ,1c は、伝送路6を介して、外部
電源5から供給される電力により動作し、伝送路6を介
して、順番に上位計器4とディジタル信号で双方向の通
信を行い、検出した物理量の送信,制御値の受信などを
処理を行う。上位通信機器3は、フィールド機器1a,1
b,1c と上位計器4,外部電源5との間に接続され、フ
ィールド機器1a ,1b ,1c などとディジタル信号で
双方向の通信を行っている。また、ターミネータ7は、
直列に接続した抵抗とコンデンサで構成され、伝送路6
の両端に接続される。
【0007】このターミネータ7は、伝送路6上に接続
されるフィールド機器の通信周波数帯域での入力インピ
ーダンスと比べて、かなり小さい値にすることにより、
フィールド機器の接続個所、および接続台数などの条件
による通信信号への影響を小さく押さえている。
【0008】また、通信を行う送信回路(以下、ドライ
バと呼ぶ。)の方式として、電圧ドライバと電流ドライ
バなどがあるが、その送信信号としてはターミネータを
接続した状態での送信電圧値で規定されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
技術にあっては、ディジタル通信により、複数の情報が
伝送できるようになり、自己診断など機器の異常が検知
でき信頼性が向上したが、あくまで、検知のみであり、
システム全体として信頼性を向上するまでには考慮され
ていなかった。
【0010】また、信頼性を向上させる方式として、伝
送路を含めて二重化する方式もあるが、致命的な故障・
異常は、フィールド機器自身であり、高価なシステムと
なりコストパフォーマンスの点で問題がある。
【0011】本発明は、フィールド機器を二重化し、上
記欠点を補い、容易に信頼性の高いシステムが実現でき
る、フィールド機器の方式を提供することを目的として
いる。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、フィールド機器を二重化する構成とし、
2つのフィールド機器を有効に活用することにより、信
頼性の向上を図り、それに加えて、常時、2つのフィー
ルド機器の出力値を比較判定し、主フィールド機器に異
常が起こったとき、補助用のフィールド機器で代替運転
させ、プロセス量などの制御が中断することなく行え
る。さらに、主フィールド機器の異常時に、使用するフ
ィールド機器を補助用に切り替える前後に異常信号を出
力し、他のフィールド機器や上位機器へ通信する。これ
により、簡単な構成で、十分に信頼性が高い、フィール
ド機器が実現できるようにしたものである。
【0013】
【作用】本発明による二重化されたフィールド機器は、
上述のように主フィールド機器に異常が起きて、通信不
能、および、システムがダウンする困難な状態になって
も、補助用のフィールド機器に切り替えることにより、
上記状態になるのを避けることができる。
【0014】また、2つのフィールド機器を常時動作さ
せれば、2つのフィールド機器の出力値を比較判定する
ことにより、主フィールド機器の異常の有無が判り、フ
ィールド機器を補助用に切り替え代替運転することによ
り、プロセス量などの制御を中断することなく動作させ
ることができ、その信頼性が向上する。
【0015】また、常時、補助用のフィールド機器を使
用して、フィールド機器の診断,通信データのエラーチ
ェック、主フィールド機器と同等の通信などを行えば、
フィールド機器の制御など一定周期での通信を妨げるこ
となく、フィールド機器の異常予知,通信データの信頼
性向上などの信頼性向上に関する処理を実施できる。
【0016】
【実施例】以下、図面を用いて、本発明の一実施例を説
明する。
【0017】図1は、本発明を用いて、アナログ信号伝
送のフィールド機器を二重化した装置構成例である。
【0018】図1において、主フィールド機器1a ,1
b ,1c の出力は、4〜20mAのアナログ電流信号で
あり、それに重畳したディジタル信号により通信を行う
ものであり、各種プラントにおけるプロセスの圧力,温
度,流量などの物理量を検出して、その値を送信した
り、または、バルブなどの制御量を受信したりするもの
である。主フィールド機器1a ,1b ,1c は、伝送路
6を介して外部電源5から供給される電力により動作す
る。
【0019】補助用フィールド機器2a ,2b ,2
c は、主フィールド機器1a,1b,1cに、それぞれパ
ラレルに接続され、主フィールド機器1a ,1b ,1c
と同様に伝送路6を介して外部電源5から供給される電
力により動作し、主フィールド機器1a ,1b ,1
c と、それぞれ相互通信できる。
【0020】本実施例においては、3つの主フィールド
機器1a ,1b ,1c に全て補助用フィールド機器
a ,2b ,2c を接続した例を示したが、重要でない
フィールド機器は、必ずしもフィールド機器を二重化す
る必要はなく、特に重要なプロセスの制御をしているフ
ィールド機器のみを二重化することもできる。
【0021】上位計器4は、主フィールド機器1a ,1
b ,1c と伝送路6を介して、4〜20mAに重畳した
ディジタル信号での通信を行い、主フィールド機器
a ,1b ,1c の検出した各種物理量(圧力,温度,
流量など)を受信し、また、プラントの制御情報とし
て、バルブなどのフィールド機器1d へ制御信号を送信
している。外部電源5は、前述のように、伝送路6を介
して主フィールド機器1a,1b ,1c および補助用フ
ィールド機器2a ,2b ,2c が動作するための電力を
供給している。
【0022】上位通信機器3は、伝送路6上の任意の場
所に接続でき、上位通信機器3内にあるディスプレイや
キーボードを操作することにより、主フィールド機器1
a ,1b ,1c あるいは補助用フィールド機器2a ,2
b ,2c の出力値のモニタ,調整などの処理を、伝送路
6を介して通信を行うことにより、実行できる。
【0023】また、上位通信機器3は、適時に、伝送路
6から着脱でき、例えば、通信プロトコルがトークンパ
ッシングのように一定順序で通信を行う方式であって
も、割り込んで通信を行えるようにしている。
【0024】図2は、本発明を用いて、ディジタル信号
伝送のフィールド機器を二重化した装置構成例である。
【0025】図2において、主フィールド機器1a ,1
b ,1c と補助用フィールド機器2a ,2b ,2c は、
ディジタル信号で双方向のシリアル通信を行うものであ
る。
【0026】本実施例においては、主フィールド機器1
a ,1b ,1c がフィールド側のジャンクション・ボッ
クス(中継箱)に接続した例を示すが、これは、他の、
例えば伝送路6の中間からであっても問題ない。
【0027】外部電源5は、伝送路6を介して主フィー
ルド機器1a ,1b ,1c および補助用フィールド機器
a ,2b ,2c が動作するための電力を供給し、通信
信号への影響を低く押さえるために、直列にインダクタ
ンスを挿入するなどして、通信周波数帯域でのインピー
ダンスを大きくする構成にしている。
【0028】ターミネータ7は、直列に接続した抵抗と
コンデンサで構成され、伝送路6の両端に接続される。
このターミネータ7は、伝送路6上に接続される主フィ
ールド機器1a ,1b ,1c 、補助用フィールド機器2
a ,2b ,2c 、上位通信機器3,上位計器4の通信周
波数帯域での入力インピーダンスと比べて、かなり小さ
い値にすることにより、各装置の接続箇所、および、接
続台数などの条件による通信信号への影響を低く押さえ
ている。
【0029】このため、伝送路からどちらか一方のター
ミネータが外れた場合に、各装置からみた伝送路の通信
周波数帯域でのインピーダンスが倍増し、各フィールド
機器からの送信信号が、電流ドライブであった場合、電
圧信号で受信すると信号電圧は、倍増する方向に変化す
る。また、逆に、伝送路に接続する各装置の台数が増加
すると、各装置からみた伝送路の通信周波数帯域でのイ
ンピーダンスが減少し、信号電圧は、減少する方向に変
化する。よって、各装置は、受信できる信号の範囲を余
裕を持って広げておく必要があり、これが、ノイズマー
ジンを狭くし、通信の信頼性を低下させる要因となって
いる。
【0030】その他は、図1と比べて、アナログ信号伝
送とディジタル信号伝送といった、信号伝送方式の違い
はあるが、その点を除けば、装置構成上は同じである。
【0031】次に、図1,図2における各装置の動作に
ついて、説明する。
【0032】各装置の通信動作としては、通常、伝送路
6を使用して各種物理量,バルブなどの制御量の情報を
データとして一定周期で通信しており、上位通信機器3
を、伝送路6に接続して、割り込んで通信を行う場合
や、マージンを超えるノイズの発生などにより通信エラ
ーが発生した場合を除き、この周期は、一定に保たれて
通信を行っている。このため、頻繁に通信エラーが発生
したり、長期間、通信不能状態が続いたりした場合に
は、システム異常の状態になるのを避けるために、シス
テム上に接続されている装置の中で、通信の主導権を握
ることができる装置の指示により、主フィールド機器1
a ,1b ,1c を、瞬時に、補助用フィールド機器
a ,2b ,2c に切り替える動作を行う。よって、主
フィールド機器1a ,1b ,1c が故障した場合は、使
用するフィールド機器を補助用フィールド機器2a ,2
b ,2c に切り替えるだけで、プロセス量などの制御が
中断することなく、連続してシステムの動作を行うこと
ができる。
【0033】よって、本実施例によれば、プロセス量な
どの制御が行えず、システムがダウンするといった、主
フィールド機器が故障するといった致命的な異常が発生
しても、補助用フィールド機器が同時に異常状態になら
なければ、システムの通信周期を乱すことなく、連続し
て通信が行えるという効果がある。また、フィールド機
器以外は、二重に設けなくともシステムを構成できるた
め、信頼性の高いシステムが、容易に、実現できる効果
もある。
【0034】次に、図3を用いて、フィールド機器の代
表的動作について、差圧伝送器を例として、詳細に説明
する。
【0035】図3において、DC−DCコンバータ10
7は伝送路を介して外部電源より加えられる電圧から主
フィールド機器1自身の内部回路が動作するための電圧
DDを作りだし、定電流回路110は、前記内部回路全
体の消費電流が一定になるように制御する。これによ
り、主フィールド機器1全体で消費する電流は、一定値
である内部回路の消費電流に、通信信号のための電流を
加えた値になる。尚、補助用フィールド機器2の構成お
よび動作は、主フィールド機器1と同じである。次に、
伝送器としての動作について説明する。
【0036】複合センサ108の差圧,静圧,温度など
の各出力はマルチプレクサ109へ入力されるようにな
っており、前記マルチプレクサ109には、I/Oイン
ターフェイス106からの入力切換信号が入力され、そ
の信号はA/D変換器105に入力されディジタル値に
変換される。さらに、この信号は、マイクロプロセッサ
101により、前記A/D変換器105から順次、送り
込まれる出力と、ROM103,RAM102に格納されている種々
の係数を用いて、補正演算を行い、これにより真値を求
め、RAM102にその値が格納される。
【0037】主フィールド機器1が通信を行う場合に
は、次の動作を行う。送信動作は、最初に、マイクロプ
ロセッサ101の指令で、RAM102に格納されているデー
タなどを、送受信回路104からシリアルのディジタル
信号列を出力する。この信号は、変調回路112で変調
された信号となり、ドライバ111に入力され、ドライ
バ111からスイッチ115を介して、伝送路へ通信信
号として出力される。ここで、変調方式としては、例え
ば、ディジタル信号の“1”,“0”に対応する2種類
の周波数で変調する周波数変調方式、および、ベースバ
ンド信号のマンチェスタ符号に変換する方式などがあ
る。また、ドライバの方式としては、電圧信号で出力す
る方式と電流信号で出力する方式とがある。
【0038】受信動作は、伝送路からの通信信号をスイ
ッチ115を介して、復調回路113で前記変調信号を復
調して、シリアルのディジタル信号列で取り出し、送受
信回路104にディジタル信号の“1”,“0”からな
るデータとして入力される。送受信回路104に入力さ
れた信号は、マイクロプロセッサ101により、受信デ
ータとして取り出される。
【0039】ここで、主フィールド機器1の出力比較回
路114は、主フィールド機器1の出力と補助用フィー
ルド機器2の出力とを比較判定し、その信号が規定値の
範囲外である場合に異常があるとして、異常信号をI/
Oインターフェイス106に出力する。マイクロプロセ
ッサ101は、I/Oインターフェイス106を介し
て、異常があることを認識し、スイッチ115を切り替
える指示をI/Oインターフェイス106から行う。こ
の動作により、主フィールド機器1が使用するフィール
ド機器を補助用フィールド機器2に切り替えることがで
きる。その前後に、主フィールド機器1に異常があるこ
とを通信信号として、他のフィールド機器、および、上
位計器へ向かって送信する。
【0040】主フィールド機器を切り替え、前記異常信
号が出力される例としては、この他に、過大なノイズが
伝送路上に入り込んで、通信エラーが頻繁に発生した例
と、長期間通信不能になった例などがある。ここで、通
信エラーが発生する要因には、一過性のものがほとんど
であるため、連続して通信エラーが検出されたときの
み、フィールド機器を切り替えれば、本質的な異常のみ
を異常として検出することができる。
【0041】よって、上述のように主フィールド機器
は、各種異常が起こった場合に、瞬時に、補助用フィー
ルド機器に切り替えて、プロセス量などの制御を連続し
て動作を続けることができるので、信頼性を高めること
ができるという効果がある。
【0042】図4は、図1,図2のフィールド機器の信
号変換器のみを二重化した装置構成例である。
【0043】図4において、主フィールド機器の信号変
換器1′に異常が起こった場合、フィールド機器検出器
9の検出値を主フィールド機器信号変換器1′と補助用
フィールド機器信号変換器2′の出力値を比較判定し、
その値が規定値の範囲外である場合に異常があるとし
て、補助用フィールド機器信号変換器2′に切り替え
る。
【0044】本実施例では、フィールド機器の信号変換
器のみを二重化することにより、両方のフィールド機器
の信号変換器が、同時に故障してプロセス量などの制御
などができなくなることが、ほとんど考えられなくなる
ため、フィールド機器の信号変換器の信頼性が向上で
き、フィールド機器全体の二重化よりもコストパフォー
マンスの点で効果がある。
【0045】また、両方のフィールド機器信号変換器の
出力値を比較判定することにより、信号変換器の異常が
検知でき、正常な方へ切り替えることができる効果があ
る。また、比較判定することによりデータの信頼性が向
上できる効果がある。
【0046】さらに、プロセス量などの制御が中断する
ことがなくなるので、システムの信頼性が向上する。
【0047】図5は、図1,図2のフィールド機器の検
出器のみを二重化した装置構成例である。
【0048】図5において、主フィールド機器の検出器
a に異常が起こった場合、フィールド機器の信号変換
器1″は主フィールド機器検出器9a と補助用フィール
ド機器検出器9b の検出値を比較判定し、その値が規定
値の範囲外である場合に異常があるとして、補助用フィ
ールド機器検出器9b に切り替える。
【0049】本実施例では、フィールド機器の検出器の
みを二重化することにより、両方のフィールド機器の検
出器が、同時に故障してプロセス量などの制御などがで
きなくなることが、ほとんど考えられなくなるため、フ
ィールド機器の検出器が使用条件の厳しい場所に設置さ
れる場合に、フィールド機器の検出器の信頼性が向上で
き、フィールド機器全体の二重化よりもコストパフォー
マンスの点で効果がある。また、フィールド機器の検出
器の異常を検知して切り替えることにより、致命的な異
常の発生をシステム的に防ぐことができるという効果も
ある。
【0050】以上、説明したように本実施例によれば、
各装置の通信動作としては、通常状態においても、フィ
ールド機器の両方を使用して、各種物理量,バルブなど
の制御量の情報をデータとして通信しており、どちらの
フィールド機器を使用するかは、ランダムに選択されて
送信し、受信した装置は、その応答を同じフィールド機
器から送信する。
【0051】また、頻繁に通信エラーが発生したり、長
期間、通信不能状態が続いたりした場合には、システム
異常の状態になるのを避けるために、従来システムある
いはフィールドバスシステムに接続されている装置の中
で、通信の主導権を握ることができる装置の指示によ
り、使用するフィールド機器を、異常が無いほうのフィ
ールド機器だけに限定して通信を行うので、通信が途絶
えることはなく動作を続けることができる。よって、常
時、両方のフィールド機器が使えるので、通信としての
スループットが向上でき、高速制御に適したシステムが
構成できるという効果がある。
【0052】また、各装置が、両方のフィールド機器に
同じデータを送信し、両方のフィールド機器から受信し
たデータを比較して、エラーチェックする動作を行った
場合には、通信データの信頼性を、さらに、高められる
という効果がある。
【0053】この他に、片方のフィールド機器を、常
に、補助用として使用し、フィールド機器の自己診断,
設定データの変更などを行うことにより、異常予知がで
き、フィールド機器自身の信頼性も向上できるという効
果もある。
【0054】
【発明の効果】以上、説明したように構成されているの
で、以下に記載されるような効果を奏する。
【0055】フィールド機器を二重化することにより、
フィールド機器自身に故障が起こった場合に、通信不良
が頻繁に発生すると、今まで一定周期で行われていたプ
ロセス量などの制御が行えず、全てのシステムがダウン
してしまう欠点を補うことができる。また、フィールド
機器の二重化だけで、充分に、信頼性を向上できる。さ
らに、両方のフィールド機器を有効に使用することによ
り、通信の信頼性,フィールド機器の信頼性,通信のス
ループットなどが向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるアナログ信号伝送においてフィー
ルド機器を二重化した装置構成図である。
【図2】本発明によるディジタル信号伝送においてフィ
ールド機器を二重化した装置構成図である。
【図3】本発明によるフィールド機器のブロック図であ
る。
【図4】図1,図2フィールド機器の信号変換部のみを
二重化した場合の実施例を示す装置構成図である。
【図5】図1,図2フィールド機器の検出部のみを二重
化した場合の実施例を示す装置構成図である。
【図6】従来システムの装置構成図である。
【図7】フィールドバスシステムの装置構成図である。
【符号の説明】
a ,1b ,1c ,1d …主フィールド機器、1′…主
フィールド機器信号変換器、1″…フィールド機器信号
変換器、2a ,2b ,2c …補助用フィールド機器、
2′…補助用フィールド機器信号変換器、3…上位通信
器、4…上位機器、5…外部電源、6…伝送路、7…タ
ーミネータ、9…フィールド機器検出器、9a …主フィ
ールド機器検出器、9b …補助用フィールド機器検出
器。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フィールド機器と上位機器との間で、二線
    式伝送路を介して、フィールド機器の電力供給と信号伝
    送を行うシステムにおいて、前記フィールド機器を二重
    化する構成とし、第1のフィールド機器を主用、第2の
    フィールド機器を補助用として分けて使用する機能と、
    フィールド機器の異常時に補助用のフィールド機器で代
    替する機能とを有し、プロセス量などの制御が中断する
    ことなく動作する手段を前記フィールド機器の内部また
    は外部に備えたことを特徴とするフィールド機器の二重
    化システム。
  2. 【請求項2】請求項1記載のフィールド機器の二重化シ
    ステムにおいて、前記第1及び第2のフィールド機器の
    両方を常時使用し、その間の相互通信を行う機能を前記
    フィールド機器の内部または外部に備えたことを特徴と
    するフィールド機器の二重化システム。
  3. 【請求項3】請求項1記載のフィールド機器の二重化シ
    ステムにおいて、前記第1及び第2のフィールド機器の
    両方の出力信号を比較判定する機能を、フィールド機器
    の内部または外部に備えたことを特徴とするフィールド
    機器の二重化システム。
  4. 【請求項4】請求項1記載のフィールド機器の二重化シ
    ステムにおいて、前記第1のフィールド機器の異常時
    に、使用するフィールド機器を第2のフィールド機器に
    切り替える前後に異常信号を出力し、上位機器へ通信す
    る機能をフィールド機器の内部または外部に備えたこと
    を特徴とするフィールド機器の二重化システム。
  5. 【請求項5】請求項1,2,3又は4記載のフィールド
    機器の二重化システムにおいて、フィールド機器の信号
    変換部を二重化したことを特徴とするフィールド機器の
    二重化システム。
  6. 【請求項6】請求項1,2,3又は4記載のフィールド
    機器の二重化システにおいて、フィールド機器の検出部
    を二重化したことを特徴とするフィールド機器の二重化
    システム。
JP24950792A 1992-09-18 1992-09-18 フィールド機器の二重化システム Pending JPH06103485A (ja)

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JP24950792A Pending JPH06103485A (ja) 1992-09-18 1992-09-18 フィールド機器の二重化システム

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010257361A (ja) * 2009-04-28 2010-11-11 Yokogawa Electric Corp 二重化フィールド機器
JP2013160763A (ja) * 2012-02-03 2013-08-19 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JP2019075025A (ja) * 2017-10-19 2019-05-16 中国電力株式会社 二重化計装システム

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