JPH0610240B2 - ゴム変性エポキシ樹脂の製造方法 - Google Patents
ゴム変性エポキシ樹脂の製造方法Info
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- JPH0610240B2 JPH0610240B2 JP60122529A JP12252985A JPH0610240B2 JP H0610240 B2 JPH0610240 B2 JP H0610240B2 JP 60122529 A JP60122529 A JP 60122529A JP 12252985 A JP12252985 A JP 12252985A JP H0610240 B2 JPH0610240 B2 JP H0610240B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- acid
- diazocyano
- butadiene
- polymer
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は半導体封止剤として用いられるイオン性不純物
のNaおよびClの極めて少いゴム変性エポキシ樹脂に
関する。
のNaおよびClの極めて少いゴム変性エポキシ樹脂に
関する。
[従来の技術] 半導体の封止方法としてはセラミック封止と樹脂封止が
あるが、80%以上は樹脂封止である。この樹脂封止剤
としてはエポキシ樹脂が大半である。このエポキシ樹脂
は硬化剤、無機充填剤と混合して一般に低圧トランスフ
ァー成型で集積回路を封止している。最近LS1の高集
積化が進みチップサイズの大型化配線の微細化が進むこ
とにより、半導体封止に使用されるエポキシ樹脂とシリ
コン素子の間に発生する熱応力によりクラックが発生す
ることが問題となっており、半導体封止剤の低応力化の
要求が大きくなっている。クラック発生防止、すなわち
低応力化の方法の1つとしてシリコン素子と封止剤の線
膨張係数を近づけるため無機充填剤の量を増加すること
が行われており、封止剤組成物の70%程度まで充填剤
が占めている。更に応力を低下させるには、封止剤の弾
性率を低下させる事が必要である。このため各種可撓剤
の検討が行われ、その中でも両末端にカルボキシル基を
もつブタジエンあるいはブタジエンとアクリロニトリル
との低(共)重合体、好ましくは両末端カルボキシル化
ブタジエン−アクリロニトリル共重合体が効果があるこ
とが知られている。又、半導体封止剤の極めて重要な要
求性能として耐湿性があるがこれも封止剤とシリコン素
子の接着性の改良、あるいはエポキシ樹脂のイオン性不
純物の低減などにより、改善が進んできた。現在、市販
の樹脂はフリーのNa、Clイオンが実用上問題になら
ないレベルまで低減されており、問題は高温高湿下で塩
素イオンを遊離し、アルミ配線の腐食を引き起こす加水
分解性塩素含量をいかに低減させるかという事であり、
種々のエポキシ樹脂メーカーにより、多くの低減方法が
提案されている。エポキシ樹脂中の加水分解性塩素含量
が600ppm程度のものは64Kビットまでしか対応で
きず、256Kビットで200ppm、1Mビットになる
と25〜50ppmのものが要求されると考えられてい
る。現在、市販品で加水分解性Clは200〜400pp
mである。このため従来のゴム変性エポキシ樹脂では低
応力化が不充分であった。
あるが、80%以上は樹脂封止である。この樹脂封止剤
としてはエポキシ樹脂が大半である。このエポキシ樹脂
は硬化剤、無機充填剤と混合して一般に低圧トランスフ
ァー成型で集積回路を封止している。最近LS1の高集
積化が進みチップサイズの大型化配線の微細化が進むこ
とにより、半導体封止に使用されるエポキシ樹脂とシリ
コン素子の間に発生する熱応力によりクラックが発生す
ることが問題となっており、半導体封止剤の低応力化の
要求が大きくなっている。クラック発生防止、すなわち
低応力化の方法の1つとしてシリコン素子と封止剤の線
膨張係数を近づけるため無機充填剤の量を増加すること
が行われており、封止剤組成物の70%程度まで充填剤
が占めている。更に応力を低下させるには、封止剤の弾
性率を低下させる事が必要である。このため各種可撓剤
の検討が行われ、その中でも両末端にカルボキシル基を
もつブタジエンあるいはブタジエンとアクリロニトリル
との低(共)重合体、好ましくは両末端カルボキシル化
ブタジエン−アクリロニトリル共重合体が効果があるこ
とが知られている。又、半導体封止剤の極めて重要な要
求性能として耐湿性があるがこれも封止剤とシリコン素
子の接着性の改良、あるいはエポキシ樹脂のイオン性不
純物の低減などにより、改善が進んできた。現在、市販
の樹脂はフリーのNa、Clイオンが実用上問題になら
ないレベルまで低減されており、問題は高温高湿下で塩
素イオンを遊離し、アルミ配線の腐食を引き起こす加水
分解性塩素含量をいかに低減させるかという事であり、
種々のエポキシ樹脂メーカーにより、多くの低減方法が
提案されている。エポキシ樹脂中の加水分解性塩素含量
が600ppm程度のものは64Kビットまでしか対応で
きず、256Kビットで200ppm、1Mビットになる
と25〜50ppmのものが要求されると考えられてい
る。現在、市販品で加水分解性Clは200〜400pp
mである。このため従来のゴム変性エポキシ樹脂では低
応力化が不充分であった。
[発明が解決しようとする問題点] 現在市販されているカルボキシル末端のブタジエン−ア
クリロニトリル共重合体はNa30〜200ppm、全ク
ロル700〜1000ppmであり、これをエポキシ樹脂
に混ぜ半導体封止剤とした時、低応力化の効果はみられ
ても耐湿性の面で悪影響を与えるという欠点をもってい
た。
クリロニトリル共重合体はNa30〜200ppm、全ク
ロル700〜1000ppmであり、これをエポキシ樹脂
に混ぜ半導体封止剤とした時、低応力化の効果はみられ
ても耐湿性の面で悪影響を与えるという欠点をもってい
た。
[問題点を解決するための手段] 本発明はこの欠点を解決するためになされた。
すなわち、この発明は、ポリマー鎖当りのカルボキシル
基数1.85〜2.01、アクリロニトリル含量0〜4
0重量%、分子量1000〜10000、Na含量5pp
m以下、Cl含量400ppm以下好ましくは100ppm以
下の両末端カルボキシル化ブタジエン系重合体を用いて
エポキシ樹脂と反応させた反応生成物を含むゴム変形エ
ポキシ樹脂に関する。
基数1.85〜2.01、アクリロニトリル含量0〜4
0重量%、分子量1000〜10000、Na含量5pp
m以下、Cl含量400ppm以下好ましくは100ppm以
下の両末端カルボキシル化ブタジエン系重合体を用いて
エポキシ樹脂と反応させた反応生成物を含むゴム変形エ
ポキシ樹脂に関する。
この発明において用いられる両末端カルボキシル化ブタ
ジエンあるいはブタジエン−アクリロニトリル(共)重
合体は、次の様にして得られる。青酸ソーダとケト酸、
ヒドラジンを水存在下反応させヒドラゾ化合物を合成
し、これをCl2ガスで酸化してジアゾシアノ酸を得る
際、酸化時、あるいは酸化後にアセトンを加えてジアゾ
シアノ酸を溶解し、副生NaClの大部分を結晶あるい
は水溶液として系外へ除去した後、アセトンを留去し釜
残のジアゾシアノ酸の水、スラリー液を水洗して水可溶
のイオン性不純物を除いたジアゾシアノ酸を得、これを
ラジカル開始剤として、ブタジエン、アクリロニトリル
を重合する。この場合ポリマー中にはNaが0.5ppm
以下、Clが5ppm以下である。このようにして得られ
たポリマーを、良溶媒の存在下、水と接触させてイオン
性の不純物を除去したものでもよい。
ジエンあるいはブタジエン−アクリロニトリル(共)重
合体は、次の様にして得られる。青酸ソーダとケト酸、
ヒドラジンを水存在下反応させヒドラゾ化合物を合成
し、これをCl2ガスで酸化してジアゾシアノ酸を得る
際、酸化時、あるいは酸化後にアセトンを加えてジアゾ
シアノ酸を溶解し、副生NaClの大部分を結晶あるい
は水溶液として系外へ除去した後、アセトンを留去し釜
残のジアゾシアノ酸の水、スラリー液を水洗して水可溶
のイオン性不純物を除いたジアゾシアノ酸を得、これを
ラジカル開始剤として、ブタジエン、アクリロニトリル
を重合する。この場合ポリマー中にはNaが0.5ppm
以下、Clが5ppm以下である。このようにして得られ
たポリマーを、良溶媒の存在下、水と接触させてイオン
性の不純物を除去したものでもよい。
この発明に使用されるエポキシ樹脂は加水分解性の塩基
含量の低いグレード(200〜400ppm以下)のノボ
ラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等を用いる
のが好ましい。
含量の低いグレード(200〜400ppm以下)のノボ
ラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等を用いる
のが好ましい。
エポキシ樹脂と両末端カルボキシルブタジエン−(アク
リロニトリル共)重合体は触媒の存在下あるいは不存在
下、窒素雰囲気下100〜200℃で1〜10時間反応
させてゴム変性エポキシ樹脂を得ることができる。
リロニトリル共)重合体は触媒の存在下あるいは不存在
下、窒素雰囲気下100〜200℃で1〜10時間反応
させてゴム変性エポキシ樹脂を得ることができる。
両末端カルボキシルブタジエン−(アクリロニトリル
共)重合体の使用量はエポキシ樹脂の低応力化に対し効
果があり、かつエポキシ樹脂の耐熱性を低下させない量
が選ばれる。エポキシ樹脂100重量部に対し1〜15
重量部が好ましい。これより少さと低応力化の効果は小
さい。又、多いと耐熱性が低下する。
共)重合体の使用量はエポキシ樹脂の低応力化に対し効
果があり、かつエポキシ樹脂の耐熱性を低下させない量
が選ばれる。エポキシ樹脂100重量部に対し1〜15
重量部が好ましい。これより少さと低応力化の効果は小
さい。又、多いと耐熱性が低下する。
この発明によるゴム変性エポキシ樹脂を用いることによ
り半導体封止剤の低応力化が達成され、かつ、耐湿性も
エポキシ成分としてエポキシ樹脂のみを用いた場合と比
べ、同等あるいはそれ以上であった。
り半導体封止剤の低応力化が達成され、かつ、耐湿性も
エポキシ成分としてエポキシ樹脂のみを用いた場合と比
べ、同等あるいはそれ以上であった。
以下、実施例によりこの発明を具体的に示す。
[実施例] 実施例1 表1の4種類の両末端カルボキシルブタジエン−アクリ
ロニトリル共重合体を用いてゴム変性エポキシ樹脂を得
た。
ロニトリル共重合体を用いてゴム変性エポキシ樹脂を得
た。
実施例1で使用した共重合体は特許請求の範囲第1、2
項に記載の方法を組み合わせて得たものである。
項に記載の方法を組み合わせて得たものである。
四つ口フラスコにクレゾールノボラックエポキシ樹脂1
00部をとり、窒素雰囲気下、溶融させ、温度が140
℃になった時点で、上記の両末端カルボキシルブタジエ
ン−アクリロニトリル共重合体を、3部加え2時間反応
させ。次にこのゴム変性エポキシ樹脂全量、硬化剤とし
てのフェノールノボラック40部、硬化促進剤1.5
部、シリカ粉末350部、添加剤(カーボンブラック、
シランカップリング剤、離型剤)8部を加熱ロールで混
練し、冷却後、粉砕して半導体封止用エポキシ樹脂組成
物を得た。
00部をとり、窒素雰囲気下、溶融させ、温度が140
℃になった時点で、上記の両末端カルボキシルブタジエ
ン−アクリロニトリル共重合体を、3部加え2時間反応
させ。次にこのゴム変性エポキシ樹脂全量、硬化剤とし
てのフェノールノボラック40部、硬化促進剤1.5
部、シリカ粉末350部、添加剤(カーボンブラック、
シランカップリング剤、離型剤)8部を加熱ロールで混
練し、冷却後、粉砕して半導体封止用エポキシ樹脂組成
物を得た。
比較例1 官能基数;1,91、アクリロニトリル含量;17重量
%、分子量;3500、Na含量61ppm、Cl含量9
00ppmの両末端カルボキシルブタジエン−アクリロニ
トリル共重合体を用いて、実施例1と同様にゴム変性エ
ポキシ樹脂を得、更に、同様の配合量でエポキシ樹脂組
成物を得た。
%、分子量;3500、Na含量61ppm、Cl含量9
00ppmの両末端カルボキシルブタジエン−アクリロニ
トリル共重合体を用いて、実施例1と同様にゴム変性エ
ポキシ樹脂を得、更に、同様の配合量でエポキシ樹脂組
成物を得た。
比較例2 ゴム変性していないクレゾールノボラックエポキシ樹脂
を用いる事以外は実施例1と同様にエポキシ樹脂組成物
を得た。
を用いる事以外は実施例1と同様にエポキシ樹脂組成物
を得た。
それぞれのエポキシ樹脂組成物を用い低圧トランスファ
ー成形法により180℃、2分間の成形条件でプレッシ
ャークッカー用素子を得た。これを常法に従い120℃
2気圧プレッシャークッカーテストを行い、アルミニウ
ム配線に断線が起きる時間を求め、耐熱性を判定した。
ー成形法により180℃、2分間の成形条件でプレッシ
ャークッカー用素子を得た。これを常法に従い120℃
2気圧プレッシャークッカーテストを行い、アルミニウ
ム配線に断線が起きる時間を求め、耐熱性を判定した。
又、それぞれの樹脂組成物について180℃×2分硬化
で試験片を作成し、180℃×8時間後硬化した。それ
ぞれの試験片について曲げ弾性率、ガラス転移点を示し
た。
で試験片を作成し、180℃×8時間後硬化した。それ
ぞれの試験片について曲げ弾性率、ガラス転移点を示し
た。
[発明の効果] 前述のようにNa、clを低減した両末端カルボブタジ
エンあるいはブタジエン−アクリロニトリル(共)重合
体をゴム変性エポキシ樹脂として半導体封止樹脂に用い
ると、従来品に比べ、耐湿性が向上し、可撓性も付与さ
れることが確認された。
エンあるいはブタジエン−アクリロニトリル(共)重合
体をゴム変性エポキシ樹脂として半導体封止樹脂に用い
ると、従来品に比べ、耐湿性が向上し、可撓性も付与さ
れることが確認された。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−137125(JP,A) 特開 昭57−102919(JP,A) 垣内弘編「新エポキシ樹脂」昭晃堂発行 昭和60年第416〜424頁
Claims (2)
- 【請求項1】1,3−ブタジエンのみ、或いは1,3
−ブタジエンとアクリロニトリルを、以下のようにして
得られたジアゾシアノ酸、即ち、 (a)青酸ソーダとケト酸、ヒドラジンを水存在下で反応
させてヒドラゾ化合物を合成し、 (b)このヒドラゾ化合物の水溶液にCl2ガスを吹き込
む前又は後にアセトンを加えて、副生したNaClの大
部分を結晶或いは水溶液として除去するとともに、生成
したジアゾシアノ酸をアセトン水溶液として回収し、 (c)このジアゾシアノ酸のアセトン水溶液からアセトン
を溜去し、 (d)残部のジアゾシアノ酸の水スラリー液を水洗して水
可溶のイオン性不純物を除去してなる、 ジアゾシアノ酸を用いて、(共)重合して得たものであ
り、且つ、 ポリマー鎖当たりのカルボキシル基数1.85〜2.01、 アクリロニトリル含量0〜40重量%、 分子量1000〜10,000、 Na含量5ppm以下、 Cl含量4000ppm以下、 である両末端カルボキシル化ブタジエン系重合体を用い
てエポキシ樹脂と反応させる事を特徴とするゴム変性エ
ポキシ樹脂の製造方法。 - 【請求項2】両末端カルボキシル化ブタジエン重合体
が、重合体中に含まれる無機イオンなどの不純物を両溶
媒の存在下、水と接触させて分離取得したものである特
許請求の範囲第1項記載のゴム変性エポキシ樹脂の製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60122529A JPH0610240B2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | ゴム変性エポキシ樹脂の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60122529A JPH0610240B2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | ゴム変性エポキシ樹脂の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61281120A JPS61281120A (ja) | 1986-12-11 |
JPH0610240B2 true JPH0610240B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=14838106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60122529A Expired - Lifetime JPH0610240B2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | ゴム変性エポキシ樹脂の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0610240B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08282852A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-10-29 | Murata Mach Ltd | 成形工場用の簡易ストッカー |
WO2008077932A2 (de) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Sika Technology Ag | Hydroxyester-vorverlängerte epoxidgruppen terminierte zähigkeitsverbesserer und verfahren zu deren herstellung |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR900006033B1 (ko) * | 1987-05-30 | 1990-08-20 | 고려화학 주식회사 | 저응력화 변성제 제조방법 및 본 변성제를 함유한 반도체 봉지용 에폭시수지 조성물 |
US5108824A (en) * | 1990-02-06 | 1992-04-28 | The Dow Chemical Company | Rubber modified epoxy resins |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55137125A (en) * | 1979-04-12 | 1980-10-25 | Nippon Soda Co Ltd | Production of polybutadiene-modified epoxy resin |
JPS57102919A (en) * | 1980-12-16 | 1982-06-26 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Epoxy resin composition |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP60122529A patent/JPH0610240B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
垣内弘編「新エポキシ樹脂」昭晃堂発行昭和60年第416〜424頁 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08282852A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-10-29 | Murata Mach Ltd | 成形工場用の簡易ストッカー |
WO2008077932A2 (de) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Sika Technology Ag | Hydroxyester-vorverlängerte epoxidgruppen terminierte zähigkeitsverbesserer und verfahren zu deren herstellung |
WO2008077932A3 (de) * | 2006-12-22 | 2008-08-21 | Sika Technology Ag | Hydroxyester-vorverlängerte epoxidgruppen terminierte zähigkeitsverbesserer und verfahren zu deren herstellung |
US7951879B2 (en) | 2006-12-22 | 2011-05-31 | Sika Technology Ag | Hydroxy ester pre-extended epoxy-terminated viscosifiers and method for producing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61281120A (ja) | 1986-12-11 |
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