JPH0596466A - 両面研磨方法及び装置 - Google Patents
両面研磨方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0596466A JPH0596466A JP3282235A JP28223591A JPH0596466A JP H0596466 A JPH0596466 A JP H0596466A JP 3282235 A JP3282235 A JP 3282235A JP 28223591 A JP28223591 A JP 28223591A JP H0596466 A JPH0596466 A JP H0596466A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- sun gear
- rotation
- gear
- double
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な機構によりキャリヤを一定の位置及び
向きに停止させることができる両面研磨装置を提供する
こと。 【構成】 回転自在の太陽歯車１、固定的に配設された
内歯歯車２、これら両歯車１，２に噛合する複数のキャ
リヤ３、各キャリヤ３に保持されたワーク６を両側から
挟んでその両面を研磨する回転自在の上下の定盤４，５
を備えた両面研磨装置において、太陽歯車１とキャリヤ
３の歯数の比を、該キャリヤ３の自転数及び公転数が共
に整数のとき太陽歯車１の回転数も整数となるような値
に設定すると共に、太陽歯車１の回転数を検出するセン
サ１０と、該センサ１０からの出力に基づいて太陽歯車
１の回転数を制御する制御手段１１を設け、該制御手段
１１で太陽歯車１の回転数を制御することにより、加工
終了時にキャリヤ３を所望の整数回自転及び公転した位
置で停止させるようにした。
向きに停止させることができる両面研磨装置を提供する
こと。 【構成】 回転自在の太陽歯車１、固定的に配設された
内歯歯車２、これら両歯車１，２に噛合する複数のキャ
リヤ３、各キャリヤ３に保持されたワーク６を両側から
挟んでその両面を研磨する回転自在の上下の定盤４，５
を備えた両面研磨装置において、太陽歯車１とキャリヤ
３の歯数の比を、該キャリヤ３の自転数及び公転数が共
に整数のとき太陽歯車１の回転数も整数となるような値
に設定すると共に、太陽歯車１の回転数を検出するセン
サ１０と、該センサ１０からの出力に基づいて太陽歯車
１の回転数を制御する制御手段１１を設け、該制御手段
１１で太陽歯車１の回転数を制御することにより、加工
終了時にキャリヤ３を所望の整数回自転及び公転した位
置で停止させるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、磁器デ
ィスク基板、ガラス基板、その他のセラミック基板等の
ワークの両面を研磨加工するための両面研磨方法及び装
置に関するものである。
ィスク基板、ガラス基板、その他のセラミック基板等の
ワークの両面を研磨加工するための両面研磨方法及び装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワークを保持するキャリヤを太陽歯車と
内歯歯車とに噛合させ、太陽歯車を回転させることによ
りキャリヤを遊星運動させながら、該キャリヤに保持さ
れたワークを上下の定盤により両側から挟んで研磨する
両面研磨装置は公知である。
内歯歯車とに噛合させ、太陽歯車を回転させることによ
りキャリヤを遊星運動させながら、該キャリヤに保持さ
れたワークを上下の定盤により両側から挟んで研磨する
両面研磨装置は公知である。
【０００３】この種の両面研磨装置においては、作業の
能率向上を図ったり、ワークの汚染を防いで研磨精度の
維持を図るため、ワークのローディング及びアンローデ
ィングを自動的に行うことが要望されているが、その自
動化を実現するためには、加工が終了して装置を停止さ
せたときキャリヤを常に一定の位置及び向きに停止させ
ることが必要であり、そのための方法が各種提案されて
いる。例えば実公昭63-9407 号公報には、遊星歯車装置
駆動用モータに速度信号用タコジェネレータを設けると
共に、遊星歯車装置駆動軸に太陽歯車の回転数を出力す
るロータリエンコーダを設け、該ロータリエンコーダか
らのフィードバックパルス数と、太陽歯車と内歯歯車の
歯数及び回転数比から算出された太陽歯車１回転当りの
遊星歯車（キャリヤ）の公転数に基づく算出データとを
比較し、数値制御装置で遊星歯車装置駆動用モータを制
御することにより、遊星歯車に保持された被加工物を取
出し位置に停止させるようにした両面加工装置が開示さ
れている。
能率向上を図ったり、ワークの汚染を防いで研磨精度の
維持を図るため、ワークのローディング及びアンローデ
ィングを自動的に行うことが要望されているが、その自
動化を実現するためには、加工が終了して装置を停止さ
せたときキャリヤを常に一定の位置及び向きに停止させ
ることが必要であり、そのための方法が各種提案されて
いる。例えば実公昭63-9407 号公報には、遊星歯車装置
駆動用モータに速度信号用タコジェネレータを設けると
共に、遊星歯車装置駆動軸に太陽歯車の回転数を出力す
るロータリエンコーダを設け、該ロータリエンコーダか
らのフィードバックパルス数と、太陽歯車と内歯歯車の
歯数及び回転数比から算出された太陽歯車１回転当りの
遊星歯車（キャリヤ）の公転数に基づく算出データとを
比較し、数値制御装置で遊星歯車装置駆動用モータを制
御することにより、遊星歯車に保持された被加工物を取
出し位置に停止させるようにした両面加工装置が開示さ
れている。
【０００４】しかしながら、上記従来の加工装置は、被
加工物を取出し位置に停止させるための機構が非常に複
雑で構成部品数も多く、装置全体の容積が大きくなって
コストも高くなるという欠点があった。
加工物を取出し位置に停止させるための機構が非常に複
雑で構成部品数も多く、装置全体の容積が大きくなって
コストも高くなるという欠点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、簡単
な機構によりキャリヤを一定の位置及び向きに停止させ
ることができる両面研磨装置を提供することにある。
な機構によりキャリヤを一定の位置及び向きに停止させ
ることができる両面研磨装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の両面研磨方法は、ワークを保持するキャリ
ヤを太陽歯車と内歯歯車とに噛合させ、太陽歯車を回転
させることによりキャリヤを遊星運動させながら、該キ
ャリヤに保持されたワークを回転する上下の定盤により
両側から挟んで研磨する両面研磨方法において、前記太
陽歯車とキャリヤの歯数の比を、キャリヤの自転数及び
公転数が整数のとき太陽歯車の回転数も整数となる値に
設定し、太陽歯車の回転数を制御することにより、加工
終了時にキャリヤを所望の整数回自転及び公転した位置
で停止させるようにしている。
め、本発明の両面研磨方法は、ワークを保持するキャリ
ヤを太陽歯車と内歯歯車とに噛合させ、太陽歯車を回転
させることによりキャリヤを遊星運動させながら、該キ
ャリヤに保持されたワークを回転する上下の定盤により
両側から挟んで研磨する両面研磨方法において、前記太
陽歯車とキャリヤの歯数の比を、キャリヤの自転数及び
公転数が整数のとき太陽歯車の回転数も整数となる値に
設定し、太陽歯車の回転数を制御することにより、加工
終了時にキャリヤを所望の整数回自転及び公転した位置
で停止させるようにしている。
【０００７】また、本発明の両面研磨装置は、回転自在
の太陽歯車、固定的に配設された内歯歯車、両歯車に噛
合して遊星運動するキャリヤ、該キャリヤに保持された
ワークを両側から挟んで研磨する回転自在の上下の定盤
を備えた両面研磨装置において、前記太陽歯車とキャリ
ヤの歯数の比を、該キャリヤの自転数及び公転数が共に
整数のとき太陽歯車の回転数も整数となる値に設定する
と共に、太陽歯車の駆動系に該太陽歯車の回転数を制御
する制御手段を付設し、該制御手段による太陽歯車の回
転数の制御により、加工終了時にキャリヤを所望の整数
回自転及び公転した位置で停止させるものとして構成し
たことを特徴とするものである。
の太陽歯車、固定的に配設された内歯歯車、両歯車に噛
合して遊星運動するキャリヤ、該キャリヤに保持された
ワークを両側から挟んで研磨する回転自在の上下の定盤
を備えた両面研磨装置において、前記太陽歯車とキャリ
ヤの歯数の比を、該キャリヤの自転数及び公転数が共に
整数のとき太陽歯車の回転数も整数となる値に設定する
と共に、太陽歯車の駆動系に該太陽歯車の回転数を制御
する制御手段を付設し、該制御手段による太陽歯車の回
転数の制御により、加工終了時にキャリヤを所望の整数
回自転及び公転した位置で停止させるものとして構成し
たことを特徴とするものである。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。図１及び図２に示す両面研磨装置は、
回転自在の太陽歯車１、固定的に配設された内歯歯車
２、これら両歯車１，２に噛合する複数のキャリヤ３、
各キャリヤ３に保持されたワーク６の両面を研磨する回
転自在の上下の定盤４，５を備え、上定盤４は、シリン
ダ１２により昇降自在の定盤吊り１３に複数のスタッド
１４及び中継プレート１５を介して吊設され、図示の如
くワーク６に当接する加工位置まで下降したとき、中継
プレート１５上のフック１６が上定盤駆動軸４ａの上端
のドライバ１７に係合するようになっている。また、前
記太陽歯車１に連なる太陽歯車駆動軸１ａと、下定盤５
に連なる下定盤駆動軸５ａ及び前記上定盤駆動軸４ａと
は、互いに独立した駆動系７，８に接続されて別々に駆
動されるようになっており、駆動系７で太陽歯車１を回
転させることによりキャリヤ３を遊星運動させながら、
駆動系８で上下の定盤４，５を回転させ、キャリヤ３に
保持されたワーク６をこれらの定盤４，５により両側か
ら挟んで研磨加工するように構成されている。
詳細に説明する。図１及び図２に示す両面研磨装置は、
回転自在の太陽歯車１、固定的に配設された内歯歯車
２、これら両歯車１，２に噛合する複数のキャリヤ３、
各キャリヤ３に保持されたワーク６の両面を研磨する回
転自在の上下の定盤４，５を備え、上定盤４は、シリン
ダ１２により昇降自在の定盤吊り１３に複数のスタッド
１４及び中継プレート１５を介して吊設され、図示の如
くワーク６に当接する加工位置まで下降したとき、中継
プレート１５上のフック１６が上定盤駆動軸４ａの上端
のドライバ１７に係合するようになっている。また、前
記太陽歯車１に連なる太陽歯車駆動軸１ａと、下定盤５
に連なる下定盤駆動軸５ａ及び前記上定盤駆動軸４ａと
は、互いに独立した駆動系７，８に接続されて別々に駆
動されるようになっており、駆動系７で太陽歯車１を回
転させることによりキャリヤ３を遊星運動させながら、
駆動系８で上下の定盤４，５を回転させ、キャリヤ３に
保持されたワーク６をこれらの定盤４，５により両側か
ら挟んで研磨加工するように構成されている。
【０００９】前記太陽歯車１とキャリヤ３の歯数の比
は、該キャリヤ３の自転数及び公転数が共に整数のとき
太陽歯車１の回転数も整数となるような値に設定されて
おり、また、研磨装置の適宜位置には、前記太陽歯車１
の回転数を検出するセンサ１０が設けられると共に、該
センサ１０からの出力に基づいて太陽歯車１の回転数を
制御する制御手段１１が前記駆動系７に接続されて配設
され、該制御手段１１で太陽歯車１の回転数を制御する
ことにより、加工終了時にキャリヤ３を所望の整数回自
転及び公転した位置で停止させ得るようになっている。
は、該キャリヤ３の自転数及び公転数が共に整数のとき
太陽歯車１の回転数も整数となるような値に設定されて
おり、また、研磨装置の適宜位置には、前記太陽歯車１
の回転数を検出するセンサ１０が設けられると共に、該
センサ１０からの出力に基づいて太陽歯車１の回転数を
制御する制御手段１１が前記駆動系７に接続されて配設
され、該制御手段１１で太陽歯車１の回転数を制御する
ことにより、加工終了時にキャリヤ３を所望の整数回自
転及び公転した位置で停止させ得るようになっている。
【００１０】いま、太陽歯車１の歯数をＺａ、キャリヤ
３の歯数をＺｂ、太陽歯車１の回転数をａ1 、キャリヤ
３の自転数をｂ1 、キャリヤ３の公転数をｂ2 とすれ
ば、遊星歯車の原理から である。
３の歯数をＺｂ、太陽歯車１の回転数をａ1 、キャリヤ
３の自転数をｂ1 、キャリヤ３の公転数をｂ2 とすれ
ば、遊星歯車の原理から である。
【００１１】ここで、例えば太陽歯車１の歯数をＺａ＝
８０、キャリヤ３の歯数をＺｂ＝８０とすることにより
それらの歯数比を１：１とし、且つキャリヤ３の公転数
をｂ2 ＝１とすると、前式から太陽歯車１の回転数はａ
1 ＝４、キャリヤ３の自転数はｂ1 ＝−３となる。従っ
て、太陽歯車１の回転数が４ｎ（ｎは自然数）であると
き、キャリヤ３の公転数はｎ、自転数は−３ｎとなっ
て、該キャリヤ３は必ず一定の位置及び向きに停止する
ことになる。即ち、歯数比を１：１に設定した場合に
は、制御手段１１で太陽歯車１の回転数を４ｎに制御す
ることにより、キャリヤ３を必ず一定の位置及び向きに
停止させることができる。
８０、キャリヤ３の歯数をＺｂ＝８０とすることにより
それらの歯数比を１：１とし、且つキャリヤ３の公転数
をｂ2 ＝１とすると、前式から太陽歯車１の回転数はａ
1 ＝４、キャリヤ３の自転数はｂ1 ＝−３となる。従っ
て、太陽歯車１の回転数が４ｎ（ｎは自然数）であると
き、キャリヤ３の公転数はｎ、自転数は−３ｎとなっ
て、該キャリヤ３は必ず一定の位置及び向きに停止する
ことになる。即ち、歯数比を１：１に設定した場合に
は、制御手段１１で太陽歯車１の回転数を４ｎに制御す
ることにより、キャリヤ３を必ず一定の位置及び向きに
停止させることができる。
【００１２】また、太陽歯車１の歯数をＺａ＝１６０、
キャリヤ３の歯数をＺｂ＝８０とすることによりそれら
の歯数比を２：１とし、且つキャリヤ３の公転数をｂ2
＝１とすると、太陽歯車１の回転数はａ1 ＝３、キャリ
ヤ３の自転数はｂ1 ＝−４となる。従って、制御手段１
１で太陽歯車１の回転数を３ｎに制御すれば、キャリヤ
３の公転数がｎ、自転数が−４ｎとなるから、前記の例
と同様に該キャリヤ３を必ず一定の位置及び向きに停止
させることができる。
キャリヤ３の歯数をＺｂ＝８０とすることによりそれら
の歯数比を２：１とし、且つキャリヤ３の公転数をｂ2
＝１とすると、太陽歯車１の回転数はａ1 ＝３、キャリ
ヤ３の自転数はｂ1 ＝−４となる。従って、制御手段１
１で太陽歯車１の回転数を３ｎに制御すれば、キャリヤ
３の公転数がｎ、自転数が−４ｎとなるから、前記の例
と同様に該キャリヤ３を必ず一定の位置及び向きに停止
させることができる。
【００１３】図示の実施例では、太陽歯車１と上定盤４
及び下定盤５とを互いに独立した駆動系７，８で別個に
駆動するようにしているが、それぞれをクラッチにより
切り離し自在の動力伝達機構を介して共通の駆動源で駆
動するように構成することもできる。
及び下定盤５とを互いに独立した駆動系７，８で別個に
駆動するようにしているが、それぞれをクラッチにより
切り離し自在の動力伝達機構を介して共通の駆動源で駆
動するように構成することもできる。
【００１４】
【発明の効果】このように本発明によれば、太陽歯車と
キャリヤの歯数の比を、キャリヤの自転数及び公転数が
共に整数のとき太陽歯車の回転数も整数となるように設
定し、太陽歯車の回転数を制御するという簡単な方法に
より、加工終了時にキャリヤを一定の位置及び向きに確
実に停止させることができる。
キャリヤの歯数の比を、キャリヤの自転数及び公転数が
共に整数のとき太陽歯車の回転数も整数となるように設
定し、太陽歯車の回転数を制御するという簡単な方法に
より、加工終了時にキャリヤを一定の位置及び向きに確
実に停止させることができる。
【図１】本発明に係る両面研磨装置の一実施例を示す要
部断面図である。
部断面図である。
【図２】図１の両面研磨装置の要部平面図である。
１ 太陽歯車 ２ 内歯歯車 ３ キャリヤ ４ 上定盤 ５ 下定盤 ６ ワーク １１ 制御手段
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークを保持するキャリヤを太陽歯車と
内歯歯車とに噛合させ、太陽歯車を回転させることによ
りキャリヤを遊星運動させながら、該キャリヤに保持さ
れたワークを回転する上下の定盤により両側から挟んで
研磨する両面研磨方法において、 前記太陽歯車とキャリヤの歯数の比を、キャリヤの自転
数及び公転数が共に整数のとき太陽歯車の回転数も整数
となる値に設定し、太陽歯車の回転数を制御することに
より、加工終了時にキャリヤを所望の整数回自転及び公
転した位置で停止させる、 ことを特徴とする両面研磨方法。 - 【請求項２】 回転自在の太陽歯車、固定的に配設され
た内歯歯車、両歯車に噛合して遊星運動するキャリヤ、
該キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨す
る回転自在の上下の定盤、を備えた両面研磨装置におい
て、 前記太陽歯車とキャリヤの歯数の比を、該キャリヤの自
転数及び公転数が共に整数のとき太陽歯車の回転数も整
数となる値に設定すると共に、太陽歯車の駆動系に該太
陽歯車の回転数を制御する制御手段を付設し、該制御手
段による太陽歯車の回転数の制御により、加工終了時に
キャリヤを所望の整数回自転及び公転した位置で停止さ
せるものとして構成した、ことを特徴とする両面研磨装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3282235A JPH0596466A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 両面研磨方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3282235A JPH0596466A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 両面研磨方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596466A true JPH0596466A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17649818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3282235A Pending JPH0596466A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 両面研磨方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596466A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000010771A1 (fr) * | 1998-08-20 | 2000-03-02 | Hamai Co., Ltd. | Dispositif a plans paralleles pour systeme de train d'engrenages planetaire |
| JP2013129004A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Olympus Corp | 光学素子製造装置及び製造方法 |
| CN115302404A (zh) * | 2022-09-13 | 2022-11-08 | 广东顺捷威玻璃机械有限公司 | 一种光学玻璃双面研磨抛光游星轮定位设备 |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP3282235A patent/JPH0596466A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000010771A1 (fr) * | 1998-08-20 | 2000-03-02 | Hamai Co., Ltd. | Dispositif a plans paralleles pour systeme de train d'engrenages planetaire |
| JP2013129004A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Olympus Corp | 光学素子製造装置及び製造方法 |
| CN115302404A (zh) * | 2022-09-13 | 2022-11-08 | 广东顺捷威玻璃机械有限公司 | 一种光学玻璃双面研磨抛光游星轮定位设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001107 |