JPH0594768A - シヤドウマスク用原板およびシヤドウマスク - Google Patents
シヤドウマスク用原板およびシヤドウマスクInfo
- Publication number
- JPH0594768A JPH0594768A JP25641291A JP25641291A JPH0594768A JP H0594768 A JPH0594768 A JP H0594768A JP 25641291 A JP25641291 A JP 25641291A JP 25641291 A JP25641291 A JP 25641291A JP H0594768 A JPH0594768 A JP H0594768A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shadow mask
- original plate
- plate thickness
- plate
- edge surfaces
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- Pending
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 アンバー合金のような低熱膨脹特性を有する
金属合金からなるシャドウマスク用原板において、エッ
チングにより穿設される孔の径や形状のばらつきをなく
し、開孔マトリックスの透過光にむらが生じないように
する。 【構成】 シャドウマスク用原板１の端面（幅方向両端
面）１ａにおける板厚Ｌと平均板厚Ｌ0 との比率を 1以
下とし、かつこれらの端面１ａが平均板厚の基準となる
2つの主面３の延長線の間に存在するようにする。この
ような端面１ａの加工は、面取り加工、あるいは平均板
厚Ｌに等しい間隔をあけて配置された一対のロール間を
通すことにより行うことができる。
金属合金からなるシャドウマスク用原板において、エッ
チングにより穿設される孔の径や形状のばらつきをなく
し、開孔マトリックスの透過光にむらが生じないように
する。 【構成】 シャドウマスク用原板１の端面（幅方向両端
面）１ａにおける板厚Ｌと平均板厚Ｌ0 との比率を 1以
下とし、かつこれらの端面１ａが平均板厚の基準となる
2つの主面３の延長線の間に存在するようにする。この
ような端面１ａの加工は、面取り加工、あるいは平均板
厚Ｌに等しい間隔をあけて配置された一対のロール間を
通すことにより行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管のシャド
ウマスクを製造する際に用いる金属原板およびそれを用
いたシャドウマスクに関する。
ウマスクを製造する際に用いる金属原板およびそれを用
いたシャドウマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カラー受像管の蛍光面の直前に
は、所定の設計基準に基づいてマトリックス状に穿設さ
れた、多数の開孔を有するシャドウマスクが配設されて
いる。そして、後方の電子銃から射出された電子ビーム
は、シャドウマスクの開孔を透過して蛍光面における所
定位置の蛍光ドットに照射され、そこにカラー画像を現
出させる。しかし、このとき射出された電子ビームの全
てが開孔を通過するわけではなく、開孔を通過する電子
ビームは全体の約 1/3以下であり、残りの電子ビームは
シャドウマスクを直撃してこれを加熱する。その結果、
シャドウマスクは熱膨脹して開孔の位置が設計基準から
ずれて変位するため、蛍光面における色ずれ現象を招く
ことがある。そのため最近では、低熱膨脹特性を備えた
Fe-Ni系合金、例えば36wt%Ni-Fe合金（アンバー合金）
でシャドウマスク自体を構成し、色ずれ現象を防止する
ことが試みられている。
は、所定の設計基準に基づいてマトリックス状に穿設さ
れた、多数の開孔を有するシャドウマスクが配設されて
いる。そして、後方の電子銃から射出された電子ビーム
は、シャドウマスクの開孔を透過して蛍光面における所
定位置の蛍光ドットに照射され、そこにカラー画像を現
出させる。しかし、このとき射出された電子ビームの全
てが開孔を通過するわけではなく、開孔を通過する電子
ビームは全体の約 1/3以下であり、残りの電子ビームは
シャドウマスクを直撃してこれを加熱する。その結果、
シャドウマスクは熱膨脹して開孔の位置が設計基準から
ずれて変位するため、蛍光面における色ずれ現象を招く
ことがある。そのため最近では、低熱膨脹特性を備えた
Fe-Ni系合金、例えば36wt%Ni-Fe合金（アンバー合金）
でシャドウマスク自体を構成し、色ずれ現象を防止する
ことが試みられている。
【０００３】ところで、このような Fe-Ni系合金からシ
ャドウマスクを製造する方法としては、まず所定の合金
組成に調整され、溶解鋳造された素材塊に、常法により
鍛造、圧延、焼鈍等の各処理を施して所定の厚さとし、
かつスリットロール等により必要な幅寸法に切断して原
板とする。次いで、この原板の開孔位置をエッチング
し、所定形状の電子ビーム透過孔をマトリックス状に穿
設する。エッチング方法としては、まず原板にフォトレ
ジストを塗布、乾燥し、レジスト膜を形成した後、ガラ
ス板上にシャドウマスクのパターンを焼き付けたワーキ
ングネガ（ネガ）を、レジスト膜を設けた原板上に配置
し、真空引きにより密着させる。次いで、水銀ランプ等
により光（ＵＶ光）を照射してレジスト膜を感光させた
後、現像、乾燥、焼き付けを順に行ってから、エッチン
グ液で腐食して穿孔する方法が採られている。
ャドウマスクを製造する方法としては、まず所定の合金
組成に調整され、溶解鋳造された素材塊に、常法により
鍛造、圧延、焼鈍等の各処理を施して所定の厚さとし、
かつスリットロール等により必要な幅寸法に切断して原
板とする。次いで、この原板の開孔位置をエッチング
し、所定形状の電子ビーム透過孔をマトリックス状に穿
設する。エッチング方法としては、まず原板にフォトレ
ジストを塗布、乾燥し、レジスト膜を形成した後、ガラ
ス板上にシャドウマスクのパターンを焼き付けたワーキ
ングネガ（ネガ）を、レジスト膜を設けた原板上に配置
し、真空引きにより密着させる。次いで、水銀ランプ等
により光（ＵＶ光）を照射してレジスト膜を感光させた
後、現像、乾燥、焼き付けを順に行ってから、エッチン
グ液で腐食して穿孔する方法が採られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、カラー受像
管に対する高精細度化の要求が高まるにつれて、上述し
たようなシャドウマスクにおいても、高精密化が要求さ
れており、その要求は年々厳しさを増している。しかし
ながら、従来のシャドウマスク用原板を用いた場合、エ
ッチングにより形成される開孔（電子ビーム透過孔）の
径や形状にばらつきが生じ易く、開孔部に光を透過させ
た際に、むらが生じてしまうという問題があった。この
ようなことから、現状のシャドウマスクでは、近年のカ
ラー受像管における高精細度化の要求に充分に応えてい
るとはいい難い。
管に対する高精細度化の要求が高まるにつれて、上述し
たようなシャドウマスクにおいても、高精密化が要求さ
れており、その要求は年々厳しさを増している。しかし
ながら、従来のシャドウマスク用原板を用いた場合、エ
ッチングにより形成される開孔（電子ビーム透過孔）の
径や形状にばらつきが生じ易く、開孔部に光を透過させ
た際に、むらが生じてしまうという問題があった。この
ようなことから、現状のシャドウマスクでは、近年のカ
ラー受像管における高精細度化の要求に充分に応えてい
るとはいい難い。
【０００５】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、本発明の第１の目的は、例えばエッ
チング加工により径や形状の均一な電子ビーム透過孔を
形成することができ、むらがなく高品位のシャドウマス
クを得ることができるシャドウマスク用原板を提供する
ことにあり、また第２の目的は、開孔部に光を透過させ
た際にむらが生じることを防止したシャドウマスクを提
供することにある。
になされたもので、本発明の第１の目的は、例えばエッ
チング加工により径や形状の均一な電子ビーム透過孔を
形成することができ、むらがなく高品位のシャドウマス
クを得ることができるシャドウマスク用原板を提供する
ことにあり、また第２の目的は、開孔部に光を透過させ
た際にむらが生じることを防止したシャドウマスクを提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段と作用】本発明者らは、上
記エッチングによるむらの原因について検討を重ねた結
果、レジスト膜を形成した原板にネガを密着させるため
に行っている真空引きが不充分な場合に、ネガと原板と
の間に空隙が生じ、それにより孔径や孔形状のばらつき
が生じることを見出だした。そして、幅方向の端面（切
断端面）の形状が、上記真空引きによる密着性の良否に
大きく影響を及ぼしているという知見を得た。すなわ
ち、本発明のシャドウマスク用原板は、上記した知見に
基づいてなされたものであり、電子ビーム透過孔が形成
され、シャドウマスクを製造する際に用いられる金属原
板において、前記原板の端面における板厚をＬ、平均板
厚をＬ0 としたとき、Ｌ／Ｌ0 ≦ 1という関係が成立
し、かつ前記端面が前記平均板厚の基準となる 2つの主
面の延長線の間に存在することを特徴とするものであ
る。
記エッチングによるむらの原因について検討を重ねた結
果、レジスト膜を形成した原板にネガを密着させるため
に行っている真空引きが不充分な場合に、ネガと原板と
の間に空隙が生じ、それにより孔径や孔形状のばらつき
が生じることを見出だした。そして、幅方向の端面（切
断端面）の形状が、上記真空引きによる密着性の良否に
大きく影響を及ぼしているという知見を得た。すなわ
ち、本発明のシャドウマスク用原板は、上記した知見に
基づいてなされたものであり、電子ビーム透過孔が形成
され、シャドウマスクを製造する際に用いられる金属原
板において、前記原板の端面における板厚をＬ、平均板
厚をＬ0 としたとき、Ｌ／Ｌ0 ≦ 1という関係が成立
し、かつ前記端面が前記平均板厚の基準となる 2つの主
面の延長線の間に存在することを特徴とするものであ
る。
【０００７】また、本発明のシャドウマスクは、上記し
たシャドウマスク用原板を用いたことを特徴とするもの
である。
たシャドウマスク用原板を用いたことを特徴とするもの
である。
【０００８】本発明のシャドウマスク用原板を構成する
素材は、特に限定されるものではなく、各種合金を適用
することが可能であり、例えば Ni-Fe系合金、Ni-Cr-Fe
系合金、Ni-Co-Fe系合金、 Ni-Co-Cr-Fe系合金等が例示
される。
素材は、特に限定されるものではなく、各種合金を適用
することが可能であり、例えば Ni-Fe系合金、Ni-Cr-Fe
系合金、Ni-Co-Fe系合金、 Ni-Co-Cr-Fe系合金等が例示
される。
【０００９】本発明のシャドウマスク用原板は、図１に
示すように、原板１の端面（幅方向の両端面）１ａの板
厚Ｌと平均板厚Ｌ0 との比率Ｌ／Ｌ0 を、 1以下に規定
したものであり、このように規定した理由は以下に示す
通りである。
示すように、原板１の端面（幅方向の両端面）１ａの板
厚Ｌと平均板厚Ｌ0 との比率Ｌ／Ｌ0 を、 1以下に規定
したものであり、このように規定した理由は以下に示す
通りである。
【００１０】すなわち、Ｌ／Ｌ0 の値が 1より大きい場
合には、端面の板厚膨大部が真空引き時の原板とネガと
の密着性、特に中央部の密着性を低下させ、この原板と
ネガとの密着不良に基づいてエッチングによる孔径や孔
形状が不均一となる。Ｌ／Ｌ0 のより好ましい範囲は、
0.5〜 1の範囲である。また、Ｌ／Ｌ0 の値が 1以下で
あっても、図２に示すように、スリットの際のダレやバ
リ等によって端部に突起部（あるいは垂下部）２がある
場合には、ネガを原板に充分に真空引き密着させること
ができないため、それぞれ平均板厚の基準となる 2つの
主面３中央部を延長した線の間に、両端面を存在させ
る。
合には、端面の板厚膨大部が真空引き時の原板とネガと
の密着性、特に中央部の密着性を低下させ、この原板と
ネガとの密着不良に基づいてエッチングによる孔径や孔
形状が不均一となる。Ｌ／Ｌ0 のより好ましい範囲は、
0.5〜 1の範囲である。また、Ｌ／Ｌ0 の値が 1以下で
あっても、図２に示すように、スリットの際のダレやバ
リ等によって端部に突起部（あるいは垂下部）２がある
場合には、ネガを原板に充分に真空引き密着させること
ができないため、それぞれ平均板厚の基準となる 2つの
主面３中央部を延長した線の間に、両端面を存在させ
る。
【００１１】本発明において、原板端面の板厚、形状等
を上記したように調整するには、例えば以下に示す方法
を採ることができる。すなわち、所望の幅寸法にスリッ
ト加工した後、端面を面取りしダレやバリの部分を削り
取るか、あるいはほぼ平均板厚Ｌ0 に等しい間隔をあけ
て配置された一対のロール間を通し、突出した部分を圧
潰する方法を採ることができる。
を上記したように調整するには、例えば以下に示す方法
を採ることができる。すなわち、所望の幅寸法にスリッ
ト加工した後、端面を面取りしダレやバリの部分を削り
取るか、あるいはほぼ平均板厚Ｌ0 に等しい間隔をあけ
て配置された一対のロール間を通し、突出した部分を圧
潰する方法を採ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１３】実施例 まず、所定の成分からなる36wt%Ni-Fe合金いわゆるアン
バー合金を溶解、鋳造し、熱間圧延、表面研削後、冷間
圧延と焼鈍を繰り返し、最終ダル圧延を順に行い、厚さ
0.25mmの板材とした後、両端をスリットして幅 600mmの
シャドウマスク用原板を得た。この原板の両端面には、
それぞれスリットバリが生じていたため、平均板厚であ
る0.25mmの間隔をあけて配置された一対のロール間を通
し、バリの部分を圧潰した。こうして、幅方向の両端面
の板厚がそれぞれ0.23mmでスリットバリの全くない原板
を得た。
バー合金を溶解、鋳造し、熱間圧延、表面研削後、冷間
圧延と焼鈍を繰り返し、最終ダル圧延を順に行い、厚さ
0.25mmの板材とした後、両端をスリットして幅 600mmの
シャドウマスク用原板を得た。この原板の両端面には、
それぞれスリットバリが生じていたため、平均板厚であ
る0.25mmの間隔をあけて配置された一対のロール間を通
し、バリの部分を圧潰した。こうして、幅方向の両端面
の板厚がそれぞれ0.23mmでスリットバリの全くない原板
を得た。
【００１４】また、本発明との比較のために、板材の両
端をスリットしたままで、バリが存在する原板を用意し
た。
端をスリットしたままで、バリが存在する原板を用意し
た。
【００１５】こうして得られた実施例および比較例の各
原板に対して、以下に示すようにしてエッチングを行
い、電子ビーム透過孔をマトリックス状に開孔した。す
なわち、まず原板表面の脱脂を行った後、両面に感光液
を塗布してレジスト膜を形成した。次に、両面のレジス
ト膜上に大小の孔パターンを有するネガを配置し、真空
引きにより密着させた後、ネガの後方から超高圧水銀ラ
ンプで露光することにより、レジストを感光させた。そ
の後、現像、乾燥、焼き付け硬化を経て、塩化第二鉄溶
液を使用してエッチングを行った。
原板に対して、以下に示すようにしてエッチングを行
い、電子ビーム透過孔をマトリックス状に開孔した。す
なわち、まず原板表面の脱脂を行った後、両面に感光液
を塗布してレジスト膜を形成した。次に、両面のレジス
ト膜上に大小の孔パターンを有するネガを配置し、真空
引きにより密着させた後、ネガの後方から超高圧水銀ラ
ンプで露光することにより、レジストを感光させた。そ
の後、現像、乾燥、焼き付け硬化を経て、塩化第二鉄溶
液を使用してエッチングを行った。
【００１６】このようにして作製したシャドウマスクを
暗室内で透過光により観察し、むら品位を評価した。そ
の結果、実施例の原板から作製されたシャドウマスク
は、径および形状の均一な電子ビーム透過孔が設けられ
ており、むらは全く生じなかった。これに対して、比較
例の原板から作製されたシャドウマスクは、孔径および
孔形状の不均一な部分が生じており、はっきりとむらが
発生していることを確認した。
暗室内で透過光により観察し、むら品位を評価した。そ
の結果、実施例の原板から作製されたシャドウマスク
は、径および形状の均一な電子ビーム透過孔が設けられ
ており、むらは全く生じなかった。これに対して、比較
例の原板から作製されたシャドウマスクは、孔径および
孔形状の不均一な部分が生じており、はっきりとむらが
発生していることを確認した。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明したように本発明によれば、
端面の板厚が適当な範囲に抑えられ、かつ端面が 2つの
主面の延長線の間に存在するように、ダレやバリ等が除
去されているため、真空引きによりネガを原板に充分に
密着させることができ、例えばエッチングにより孔径や
孔形状のばらつきがなく、むらが生じない高品位のシャ
ドウマスクを得ることができる。したがって、設計基準
に適合し、性能の優れたシャドウマスクが得られ、近年
のカラー受像管の高精細度化の要求を充分に満足させる
ことができる。
端面の板厚が適当な範囲に抑えられ、かつ端面が 2つの
主面の延長線の間に存在するように、ダレやバリ等が除
去されているため、真空引きによりネガを原板に充分に
密着させることができ、例えばエッチングにより孔径や
孔形状のばらつきがなく、むらが生じない高品位のシャ
ドウマスクを得ることができる。したがって、設計基準
に適合し、性能の優れたシャドウマスクが得られ、近年
のカラー受像管の高精細度化の要求を充分に満足させる
ことができる。
【図１】本発明のシャドウマスク用原板の端面形状を説
明するための図である。
明するための図である。
【図２】本発明のシャドウマスク用原板における端面と
平均板厚の基準となる2つの主面との関係を説明するた
めの図である。
平均板厚の基準となる2つの主面との関係を説明するた
めの図である。
１……シャドウマスク用原板 １ａ…端面 ２……突起部（あるいは垂下部） ３……平均板厚の基準となる主面
Claims (2)
- 【請求項１】 電子ビーム透過孔が形成され、シャドウ
マスクを製造する際に用いられる金属原板において、 前記原板の端面における板厚をＬ、平均板厚をＬ0 とし
たとき、Ｌ／Ｌ0 ≦1という関係が成立し、かつ前記端
面が前記平均板厚の基準となる 2つの主面の延長線の間
に存在することを特徴とするシャドウマスク用原板。 - 【請求項２】 請求項１記載のシャドウマスク用原板を
用いたことを特徴とするシャドウマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25641291A JPH0594768A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | シヤドウマスク用原板およびシヤドウマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25641291A JPH0594768A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | シヤドウマスク用原板およびシヤドウマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594768A true JPH0594768A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17292319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25641291A Pending JPH0594768A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | シヤドウマスク用原板およびシヤドウマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0594768A (ja) |
-
1991
- 1991-10-03 JP JP25641291A patent/JPH0594768A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001107 |